JPH07244694A - 品質管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 半導体製造工程及び精密電子機器製造工程等
における品質管理を行なう品質管理装置に関し、均一な
検出力での品質管理が容易に行なえる品質管理装置を提
供することを目的とする。 【構成】 入力部１２により入力されデータファイル部
１６に保持された品質特性値を計算部１８で群及びパッ
セージ毎に分け、群毎に平均値（１）を算出し、その平
均値より総平均（２）を算出し、中心値とする。また、
群毎の平均値（３） よりパッセージ毎の標準偏差を算出し、パッセージ毎の
標準偏差の平均値を算出する。さらにパッセージ毎の標
準偏差の平均値に基づいて群毎の平均値の変動（バラツ
キ）を算出し、算出した変動及び中心値に基づいて管理
の上下限値を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は品質管理装置に係り、特
に、半導体製造工程、及び、精密電子機器部品製造工程
等における品質管理を行なう品質管理装置及びそれを用
いた電子装置の製造方法に関する。

【０００２】近年、半導体産業も成熟期に入り、極めて
高い信頼性とコストダウンの両立が要求されている。

【０００３】このため、製造現場で品質の異常や傾向の
変化を読み取り、工程に対してその場で処置を行い、で
きるだけ無駄を出さない品質管理が望まれている。この
ような品質管理を行なうためには管理図を用いた品質管
理が有効とされている。この管理図を用いて品質管理を
行なうためにはサンプリングされる膨大な量の品質特性
値を処理し、即時に正確かつ精密な情報を提供する品質
管理装置が必要となる。

【０００４】

【従来の技術】従来の管理図を用いた品質管理装置にお
いては、群内のバラツキを標準として工程の異常原因に
よる変動を検出する、Ｓｈｅｗｈａｒｔ流管理図の手法
を適用させており、品質特性値を合理的な群に群分けし
た後、群内の平均値とバラツキを採り、工程の中心値の
変動とバラツキの変動を管理していた。

【０００５】図６に従来の一例のブロック構成図を示
す。

【０００６】従来の品質管理装置２１はパソコンもしく
はワークステーション規模の電子計算機で構成され、入
力部２２、計算機本体２３、表示部２４、印刷部２５よ
り構成される。

【０００７】入力部２２はキーボード等より構成され、
ユーザにより品質特性値ｘ及び計算条件の入力が行なわ
れる。

【０００８】計算機本体２３は品質特性値、及び、計算
結果となる管理限界値を記憶するデータファイル部２
６、データファイル部２６に記憶された品質特性値に基
づいて管理限界値の算出を行なう計算部２７、データフ
ァイル部２６に記憶された品質特性値及び管理限界値に
基づいて管理図を作成する画像処理部２８より構成され
る。

【０００９】画像処理部２８はデータファイル部２６に
記憶された管理限界値及び各ロット毎の平均値に応じて
管理図を作成する。画像処理部２８で作成された管理図
は表示部２４及び印刷部２５に供給される。表示部２４
はカラーディスプレイ等で構成され、画像処理部２８で
作成された管理図等を表示する。また、印刷部２５はプ
リンタ装置等で構成され、画像処理部２８で作成された
管理図等を印刷し出力する。

【００１０】図７に従来の一例の計算部の動作説明図を
示す。計算部２７では限界値の算出が指令されると、ま
ず、データファイル部２６から格納済データが読み込ま
れる（ステップＳ−１）。次に算出範囲を決定し、例え
ばｍ個分のロットを抽出する（ステップＳ２−２）。さ
らに、一ロットのデータを例えばｎ個として群を形成す
る（ステップＳ２−３）。

【００１１】次に群毎の平均値

【００１２】

【外１】

【００１３】を計算する（ステップＳ２−４）。ここで
平均値

【００１４】

【外２】

【００１５】は

【００１６】

【数１】

【００１７】で計算される。

【００１８】次に平均値

【００１９】

【外３】

【００２０】の総平均値

【００２１】

【外４】

【００２２】を計算する（ステップＳ２−５）。ここ
で、総平均値

【００２３】

【外５】

【００２４】は

【００２５】

【数２】

【００２６】で計算される。

【００２７】次に、各群内の標準偏差を計算する（ステ
ップＳ２−６）。ここで標準偏差ｓ _w は

【００２８】

【数３】

【００２９】で計算される。

【００３０】次に、各群で求められた標準偏差ｓ_w の平
均値を計算する（ステップＳ２−７）。ここで、標準偏
差ｓ_w1〜ｓ_wnの平均値

【００３１】

【外６】

【００３２】は

【００３３】

【数４】

【００３４】で求められる。

【００３５】次に

【００３６】

【外７】

【００３７】の変動（バラツキ）σ_w を計算する（ステ
ップＳ２−８）。ここで、

【００３８】

【外８】

【００３９】の変動σｗは

【００４０】

【数５】

【００４１】で求められる。

【００４２】次に中心値ＣＬを総平均

【００４３】

【外９】

【００４４】とし、中心値ＣＬを中心とした上限値ＵＣ
Ｌ及び下限値ＬＣＣを

【００４５】

【外１０】

【００４６】の変動σ_w に基づいて計算する（ステップ
Ｓ２−９）。

【００４７】このとき、上限値ＵＣＬは

【００４８】

【数６】

【００４９】で求められ、下限値ＬＣＬは

【００５０】

【数７】

【００５１】で求められる。ここで、ｕは定数で、管理
水準に応じて設定される。

【００５２】図８に従来の一例の動作説明図を示す。図
８（Ａ）は管理図を示す。管理図は中心値ＣＬが総平均
値

【００５３】

【外１１】

【００５４】に設定され、上限値ＵＣＬが

【００５５】

【外１２】

【００５６】、下限値ＬＣＬが

【００５７】

【外１３】

【００５８】に設定されており、各群の平均値

【００５９】

【外１４】

【００６０】が等間隔にプロットされている。管理図に
おいて、群の平均値

【００６１】

【外１５】

【００６２】が時刻ｔ₀ において●で示すように上限値
ＵＣＬ又は下限値ＬＣＬとの間にあれば、正常であると
判断でき、群の平均値

【００６３】

【外１６】

【００６４】が時刻ｔ₀ において○で示すように上限値
ＵＣＬ又は下限値ＬＣＬを超えると工程に異常が発生し
たと判断できる。

【００６５】以上に説明した品質管理の手法はＳｈｅｗ
ｈａｒｔ流管理図を用いた品質管理法で、詳しくは日科
技連ＱＣリサーチ・グループ編「品質管理教程管理図法
（改訂版）」（株）日科技連出版社、第３章管理とは、
及び第４章管理図の作り方を参照のこと。

【００６６】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の品質
管理装置では均一な検出力を得るためには品質特性値の
合理的な群への群分けが必要とされ、合理的な群への群
分けという大前提が損なわれると、実際の管理図上の点
の変動幅に対して、管理限界線間が狭くなったり広くな
ったりするため、異常の検出に信憑性が失われる。

【００６７】ところが、合理的な群への群分けには、工
法や製造技術の理解と、統計的手法への見識が必要であ
り、担当者の技量によってその確度が左右されるため、
誰でも簡単に操作できるものではない等の問題点があっ
た。

【００６８】又、工程異常の検出力は、群の大きさが大
きくなる程高くなるが、実際には１ロット当たりにサン
プリングされるデータ数は、品質計画によって予め決め
られているため、自由に群の大きさを設定して検出力を
調整することは出来ない等の問題点があった。

【００６９】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、均一な検出力での品質管理が容易に行なえる品質管
理装置を提供することを目的とする。

【００７０】

【課題を解決するための手段】図１に本発明の原理ブロ
ック図を示す。入力手段１は品質の良否に応じた品質特
性値を入力する。算出手段２は、入力手段１により入力
された品質特性値を群に分け、品質特性値を群毎に処理
しつつ前記品質特性値の群への分け方によらず均一な検
出力の品質限界値を算出する。

【００７１】出力手段３は算出手段２で算出された品質
限界値を出力する。

【００７２】請求項２においては、前記算出手段２は前
記品質特性値を所定の群に群分けすると共に複数の群よ
りなるパッセージに分け、該パッセージ毎に前記品質特
性値のバラツキを示す標準偏差を算出し、算出されたパ
ッセージ毎の標準偏差の平均値に基づいて前記管理限界
値を求める。

【００７３】請求項３は、前記算出手段で行なわれる計
算の計算条件を設定する設定手段４を有し、該設定手段
４により設定される該計算条件に応じて前記検出力の調
整を行なう。

【００７４】請求項４においては、前記設定手段４は前
記計算条件として前記パッセージ及び前記群の大きさを
設定する。

【００７５】

【作用】請求項１によれば、算出部は入力された品質特
性値の群の分け方によらず均一な検出力となる品質限界
値を算出するため、品質特性値が合理的に群分けされて
いない場合においても品質特性値に対して均一な検出力
が得られ、したがって、品質管理対象の管理が容易に行
なえる。

【００７６】また請求項２によれば、群をさらにパッセ
ージに分け、パッセージ毎に品質特性値のバラツキに応
じた偏差を算出し、その偏差の平均値に基づいて管理限
界値を求めることにより、品質特性値固有の特異なデー
タ構造等に左右されず、全体として略均一な検出力を得
ることができるため、群の分け方に左右されない検出力
が得られる。

【００７７】請求項３によれば、設定手段を設け、設定
手段により算出手段での計算の計算条件を設定すること
により、算出手段での計算条件を自由に変えることがで
き、検出力の調整を行なうことができる。

【００７８】請求項４によれば、設定手段によりパッセ
ージの大きさを設定することにより、パッセージの大き
さを自由に設定でき、これにより各群による影響を調整
できるため、検出力を調整できる。例えば、パッセージ
の大きさを小さくすると一つのパッセージに含まれる群
の数が少なくなり、各群の影響が反映されやすくなり検
出力は低くなり、また、逆にパッセージの大きさを大き
くすると、一つのパッセージに含まれる群の数が多くな
り、各群の影響が反映されにくいため、検出力は高くな
る。

【００７９】

【実施例】図２に本発明の一実施例のブロック構成図を
示す。本実施例の品質管理装置１１はパソコンもしくは
ワークステーション規模の電子計算機で構成され、入力
部１２、計算機本体１３、表示部１４、印刷部１５より
構成される。

【００８０】入力部１２はキーボード等より構成され、
ユーザにより品質特性値ｘ及び計算条件の入力が行われ
る。

【００８１】計算機本体１３は品質特性値、及び、計算
結果となる管理限界値を記憶するデータファイル部１
６、計算条件を記憶する設定部１７、データファイル部
１６に記憶された品質特性値及び設定部１７に記憶され
た計算条件に基づいて管理限界値の算出を行う計算部１
８、データファイル部１６に記憶された品質特性値及び
管理限界値に基づいて管理図を作成する画像処理部１９
より構成される。

【００８２】画像処理部１９はデータファイル部１６に
記憶された管理限界値及び各ロット毎の平均値に応じて
管理図を作成する。画像処理部１９で作成された管理図
は表示部１４及び印刷部１５に供給される。表示部１４
はカラーディスプレイ等で構成され、画像処理部１９で
作成された管理図等を表示する。また、印刷部１５はプ
リンタ装置等で構成され、画像処理部１９で作成された
管理図等を印刷し、出力する。

【００８３】以上の構成のうち、図１の入力手段１は入
力部１２及びデータファイル１６に相当し、算出部２は
計算部１８に相当し、出力部３はデータファイル部１６
及び画像処理部１９、表示部１４、印刷部１５に相当
し、設定手段４は入力部１２及び設定部１７に相当して
いる。

【００８４】品質特性値はロット番号Ｌ₁ 〜Ｌ_M を一つ
の群として入力され、各ロット番号Ｌ₁ 〜Ｌ_M 毎に複数
の固体又は位置ｄｔ₁ 〜ｄｔ_N で計測された特性値ｘ₁₁
〜ｘ _MNが夫々記憶されている。

【００８５】例えば、半導体装置の製造工程の一工程で
形成される膜厚を管理しようとする場合、同一時期に成
膜されたウェハより一つのウェハを抽出して、異なる時
期に抽出されたウェハ毎にロット番号Ｌ₁ 〜Ｌ_M を付与
し、また、各ウェハ上の所定の複数点に対してｄｔ₁ 〜
ｄｔ_N を付与し、各点ｄｔ₁ 〜ｄｔ_N で測定された膜厚
を特性値ｘ₁₁〜ｘ_MNに設定する。

【００８６】計算条件を指定するデータは算出対象の範
囲を指定する群番号の範囲Ｌ_M-m 〜Ｌ_M 、その範囲に含
まれる群の数ｍ、一つのパッセージを構成する群の個数
１、指定された群の範囲に含まれるパッセージの個数
ｋ、一つのロットから抽出した特性値からなる群の大き
さｎ、管理水準を決定する係数ｕより構成される。

【００８７】なお、パッセージは複数の群を一群と考え
た集合である。

【００８８】以上の計算条件を指定するデータＬ_M-m 〜
Ｌ_M 、ｍ，１，ｋ，ｎ，ｕは入力部１２の指令により計
算機本体１３の動作モードを計算条件設定モードにする
ことにより入力部１２より入力され、設定部１７に記憶
される。

【００８９】図３に計算部１８での計算手順を説明する
ための図を示す。

【００９０】計算部１８では限界値の計算が指令される
と、データファイル部１６から格納済のＭ×Ｎ個の特性
値データを読み込む（ステップＳ１−１）。このとき、
特性値データはＭ個のロットＬ₁ 〜Ｌ_M 夫々で特性の計
測位置ｄｔ₁ 〜ｄｔ_N 毎に記憶されている。

【００９１】次に、設定部１７に予め記憶された計算条
件データＬ_M-m 〜Ｌ_M ，ｍ，１，ｋ，ｎ，ｕを読み込む
（ステップＳ１−２）。

【００９２】次にステップＳ１−２で設定された算出範
囲Ｌ_M-m 〜Ｌ_M のｍ個のロットのデータをデータファイ
ル部１６から読み込まれたデータより抽出する（ステッ
プＳ１−３）。

【００９３】次に抽出された各ロットのｎ個のデータに
より群を形成する（ステップＳ１−４）。

【００９４】ステップＳ１−４で形成された群毎の平均
値

【００９５】

【外１７】

【００９６】を計算する（ステップＳ１−５）。

【００９７】ここで、各群の平均値

【００９８】

【数８】

【００９９】で求められる。

【０１００】次にステップＳ１−５で算出された各群毎
の平均値

【０１０１】

【外１８】

【０１０２】の平均となる総平均値

【０１０３】

【外１９】

【０１０４】を計算する（ステップＳ１−６）。ここ
で、総平均値

【０１０５】

【数９】

【０１０６】で求められる。

【０１０７】次に、ステップＳ１−５で算出された群毎
の平均値

【０１０８】

【外２０】

【０１０９】をｌ個の群を一組としたｋ個のパッセージ
に分ける（ステップＳ１−７）。

【０１１０】次にステップＳ１−７で分けられたパッセ
ージ毎に各パッセージに含まれる群の平均値

【０１１１】

【外２１】

【０１１２】に基づいて標準偏差ｓ_b1〜ｓ_bKを求める
（ステップＳ１−８）。

【０１１３】ここで、パッセージ毎の標準偏差ｓ_b1〜ｓ
_b-K は

【０１１４】

【数１０】

【０１１５】で求められる。

【０１１６】次に標準偏差ｓ_b1〜ｓ_bKの平均値

【０１１７】

【外２２】

【０１１８】を算出する（ステップＳ１−９）。

【０１１９】ここで、標準偏差ｓ_b1〜ｓ_bkの平均値

【０１２０】

【外２３】

【０１２１】は

【０１２２】

【数１１】

【０１２３】で求められる。

【０１２４】次にステップＳ１−９で算出された標準偏
差ｓ_b1〜ｓ_bkの平均値

【０１２５】

【外２４】

【０１２６】に基づいて

【０１２７】

【外２５】

【０１２８】の変動（バラツキ）σ_b を計算する（ステ
ップＳ１−１０）。

【０１２９】ここで、

【０１３０】

【外２６】

【０１３１】の変動σ_b は、

【０１３２】

【外２７】

【０１３３】で求められる。

【０１３４】このとき、ｃ₂ は係数で Ｅ（ｓ）＝ｃ₂ σ で表される。ここで、Ｅ（ｓ）：サンプルの標準偏差の
期待値、 σ：母標準偏差の値 であり、近似値として係数ｃ₂ は

【０１３５】

【数１２】

【０１３６】で表わされる。ここで、ｎはサンプルの大
きさを示す。

【０１３７】次に、ステップＳ１−６で算出された総平
均値

【０１３８】

【外２８】

【０１３９】を中心値ＣＬとすると共に、中心値ＣＬと
ステップＳ１−１０で算出された

【０１４０】

【外２９】

【０１４１】の変動σ_b 及び設定部１７に記憶された管
理水準を決める定数ｕに基づいて上方の管理限界値ＵＣ
Ｌ、及び下方の管理限界値ＬＣＬを計算し、中心値Ｃ
Ｌ、上下方管理限界値ＵＣＬ、ＬＣＬ、及び群毎の平均
値

【０１４２】

【外３０】

【０１４３】をデータのファイル部１６に格納する（ス
テップＳ１−１１）。

【０１４４】図４に本発明の一実施例の動作説明図を示
す。

【０１４５】図４（Ａ）は管理図を示す。管理図１２は
各群毎にその平均値

【０１４６】

【外３１】

【０１４７】及び平均値

【０１４８】

【外３２】

【０１４９】の総平均となる中心値

【０１５０】

【外３３】

【０１５１】、上下限界値

【０１５２】

【外３４】

【０１５３】が示され、ユーザはこの管理図を見て各群
毎の平均値

【０１５４】

【外３５】

【０１５５】と上下限界値ＵＣＬ，ＬＣＬ及び中心値Ｃ
Ｌとの関係により、工程の管理を行なう。

【０１５６】このとき、ユーザは平均値

【０１５７】

【外３６】

【０１５８】の変化の傾向を見ることにより中心値ＣＬ
に近づくように、工程に対して対処できる。

【０１５９】上述の実施例では、ｘ管理図の管理限界の
計算を行っているが、群の大きさｎを１として各群に含
まれる品質特性値を１つとし、ｘ管理図としてもよい。
又、計算された管理限界値が、どれほどの検出力を以て
品質管理を行う事が出来るかを定量的に把握する機能を
持つ、管理図の検出力の動作特性曲線（ＯＣ曲線）を表
示してもよい。

【０１６０】図５に本発明の一実施例の検証例の説明図
を示す。

【０１６１】計算部１８で行われる「群間算出法」の一
検証例を以下に示す。

【０１６２】チップ実験の形式を用いて説明する。

【０１６３】下記の様な（平均，分散）を持つ、正規
分布チップα，β及びεを用意する。

【０１６４】

【外３７】

【０１６５】群内の変動と群間の変動が製造技術的に
別の要因で構成されている（合理的な群分けに当たらな
い群分けの）場合、図５の様に変量模型的なチップ配置
をモデルとする。いずれもランダムサンプリングが行わ
れたものとし、各因子間の交互作用は考慮しない。この
時、データの構造を下記の通り定義する。

【０１６６】ｘ_ij＝μ＋α_i ＋β_j ＋ε_ij μ：一般平均（μ＝０とおいて、図５では割愛） α_i ：水準ｉ（群間変動）の効果 β_j ：水準ｊ（群内変動）の効果 ε_ij：水準ｉにおけるｊ番目のデータに付随する誤差 とする。

【０１６７】又、配置されたチップの（平均，分散）は
それぞれの母集団分布に近くし、その差は見逃せるもの
とする。

【０１６８】各群の平均値を算出する。

【０１６９】

【数１３】

【０１７０】「群間算出法」における管理限界の幅を
算出する。管理水準をｕとすると、 ±ｕσ_b である。

【０１７１】σ_b は、各群を１個ずつのパッセージに分
けた中の

【０１７２】

【外３８】

【０１７３】のバラツキを標準偏差で表したものであ
り、

【０１７４】

【外３９】

【０１７５】の成分であるαと

【０１７６】

【外４０】

【０１７７】の標準偏差に置き換えると、

【０１７８】

【数１４】

【０１７９】となり、α，εそれぞれの母集団から１個
ずつランダムに取り出したチップの標準偏差を、各々

【０１８０】

【外４１】

【０１８１】とすると、

【０１８２】

【数１５】

【０１８３】で表せる。

【０１８４】前記式±ｕσ_b により、管理限界の幅は、

【０１８５】

【数１６】

【０１８６】となる。

【０１８７】Ｓｈｅｗｈａｒｔ流の手法における管理
限界の幅を算出する。管理水準をｕとすると、

【０１８８】

【数１７】

【０１８９】である。

【０１９０】σ_w は、ｎ個毎に分けた群内のｘのバラツ
キを標準偏差で表したものであり、ｘの成分であるαと
βとεの標準偏差に置き換えると、群内のαの標準偏差
は０で、

【０１９１】

【数１８】

【０１９２】となり、β，εそれぞれの母集団からｎ個
ずつランダムに取り出したチップの標準偏差を、各々

【０１９３】

【外４２】

【０１９４】とすると、

【０１９５】

【数１９】

【０１９６】となる。

【０１９７】

【０１９８】

【外４３】

【０１９９】の変動を群毎の標準偏差σ_Y で表す。

【０２００】

【数２０】

【０２０１】α，εそれぞれのチップの標準偏差

【０２０２】

【外４４】

【０２０３】で表すと、

【０２０４】

【数２１】

【０２０５】となる。

【０２０６】検出力の均一性を検証する。

【０２０７】σ_Y の増幅に応じて、常に一定の割合で管
理限界の幅が算出されるとき、検出力は均一であるとす
る。「群間算出法」においては、

【０２０８】

【数２２】

【０２０９】に対して、

【０２１０】

【数２３】

【０２１１】の管理限界幅が算出され、

【０２１２】

【外４５】

【０２１３】であるから、σ_Y がＡ倍変化したとき、

【０２１４】

【数２４】

【０２１５】に対し、

【０２１６】

【数２５】

【０２１７】と算出され、σ_Y の変化に管理限界が比例
して変化することが分かる。

【０２１８】∴検出力は常に均一である。

【０２１９】一方、Ｓｈｅｗｈａｒｔ流の手法において
は、

【０２２０】

【数２６】

【０２２１】に対して、

【０２２２】

【数２７】

【０２２３】の管理限界幅が算出され、

【０２２４】

【外４６】

【０２２５】であり、σ_Y がＡ倍変化したときには、

【０２２６】

【数２８】

【０２２７】に対し、

【０２２８】

【数２９】

【０２２９】と算出され、σ_Y の変化に比例的に追従し
ない。

【０２３０】∴検出力は常に均一であると言えない。

【０２３１】検出力の可変性を検証する。

【０２３２】管理限界の幅をＢとして前記式

【０２３３】

【数３０】

【０２３４】を用いて表すと、

【０２３５】

【数３１】

【０２３６】となる。

【０２３７】１を大きくすると、

【０２３８】

【数３２】

【０２３９】が小さくなり、幅Ｂ自体が小さくなる。

【０２４０】

【外４７】

【０２４１】の変動σ_Y が一定で、Ｂが小さくなれば相
対的に、

【０２４２】

【外４８】

【０２４３】が管理限界の外に飛び出す確率が増えてく
る。

【０２４４】１は群の大きさｎと独立な値であり、した
がって、パッセージの長さ１を調節することで、群の大
きさに左右されずに、検出力の調節が可能といえる。

【０２４５】なお、以上の検証例で行ったチップ実験に
ついては、日科技連ＱＣリサーチ・グループ編「品質管
理教程管理図法（改訂版）」（株）日科技連出版社の
“第５章−４ 管理図の点の動き”及び“第５章−６
管理図の性能”を参照。

【０２４６】次に上記品質管理装置１１を用いた半導体
装置の製造方法について説明する。説明を簡単にするた
めにウェハ上に一様な膜厚の薄膜を形成する場合につい
て説明する。

【０２４７】複数のウェハに同じ工程で薄膜が形成され
るものとする。このとき、同一加工条件毎に数枚のウェ
ハをサンプリングし、各ウェハの所定の複数ケ所の薄膜
の膜厚を計測して、品質特性値として品質管理装置１１
に入力しておく。このとき、同一加工条件毎に同一ロッ
ト番号を設定し、計測位置毎にデータを格納しておく。

【０２４８】以上により計測されたデータを品質管理装
置１１に順次保持しておき、このとき、同じ工程で形成
されたロット毎に群が形成され、さらに、連続的に加工
された群によりパッセージが形成され、上限値、下限値
の算出が行われる。

【０２４９】品質管理装置１１は、保持されたデータに
基づいて管理図として表示又は印刷してユーザに提供す
る。ユーザは管理図の各群が上下限界値を越えていない
かどうかを見たり、又は、どのような傾向にあるかを見
て、薄膜の形成時のパワー等の設定を調整する。

【０２５０】半導体製造工程において、群分け方法を吟
味せず、ともすれば誤った管理限界の基に行われていた
品質管理を、誰でも簡単にバラツキのない管理限界の設
定が可能となったことで、精密且つ正確な管理の実行を
可能とする効果を奏し、係る半導体装置の品質及び信頼
性を向上させることができる。

【０２５１】なお、ここでは半導体装置の一製造工程に
品質管理装置１１を用いた例を説明したが、これに限る
ことはなく、半導体製造工程の他の工程や多種多様な製
品の品質管理に用いることができるのは言うまでもな
い。

【０２５２】

【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、品質特性値の群の分け方によらず、均一の検出が得
られるため、群の分け方を吟味する必要がなく、誰にで
も簡単に管理限界を求めることができ、品質の管理が行
える等の特長を有する。

【０２５３】請求項２によれば、群をさらにパッセージ
分け、従来よりある算出方法により均一な検出力が得ら
れるため、複雑な算出が不要で容易に群の分け方によら
ず均一な検出力が得られる等の特長を有する。

【０２５４】請求項３によれば、設定手段により算出手
段における計算条件を自由に設定し、計算条件により検
出力の調整が行われるため、検出力を自由に設定でき、
必要とする管理を行い得る等の特長を有する。

【０２５５】請求項４によれば、設定手段によりパッセ
ージの大きさを変えることにより検出力の調整を行える
ため、簡単に検出力の調整が行える等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理図である。

【図２】本発明の一実施例のブロック構成図である。

【図３】本発明の一実施例の計算部の動作説明図であ
る。

【図４】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図５】本発明の一実施例の検証例を説明するための図
である。

【図６】従来の一例のブロック構成図である。

【図７】従来の一例の計算部の動作説明図である。

【図８】従来の一例の動作説明図である。

【符号の説明】

１ 入力手段 ２ 算出手段 ３ 出力手段 ４ 設定手段 １１ 品質管理装置 １２ 入力部 １３ 計算機本体 １４ 表示部 １５ 印刷部 １６ データファイル部 １７ 設定部 １８ 計算部 １９ 画像処理部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 管理対象の品質に応じた品質特性値を入
   力する入力手段（１）と、 前記入力手段（１）から入力された前記品質特性値を群
   に分け、前記品質特性値を群毎に処理しつつ、前記品質
   特性値の群への分け方によらず均一な検出力の品質限界
   値を算出する算出手段（２）と、 前記算出手段（２）で算出された前記品質限界値を出力
   する出力手段（３）とを有する品質管理装置。
2. 【請求項２】 前記算出手段（２）は前記品質特性値を
   所定の群に群分けすると共に複数の群よりなるパッセー
   ジに分け、該パッセージ毎に前記品質特性値のバラツキ
   に応じた偏差を算出し、算出されたパッセージ毎の偏差
   の平均値に基づいて前記管理限界値を求めることを特徴
   とする請求項１記載の品質管理装置。
3. 【請求項３】 前記算出手段（２）で行なわれる計算の
   計算条件を設定する設定手段（４）を有し、該設定手段
   （４）により設定される該計算条件に応じて前記検出力
   の調整を行なうことを特徴とする請求項１又は２記載の
   品質管理装置。
4. 【請求項４】 前記設定手段（４）は前記計算条件とし
   て前記パッセージの大きさを設定することを特徴とする
   請求項３記載の品質管理装置。