JPH07243062A - エッチング方法及びエッチング装置 - Google Patents
エッチング方法及びエッチング装置Info
- Publication number
- JPH07243062A JPH07243062A JP3273294A JP3273294A JPH07243062A JP H07243062 A JPH07243062 A JP H07243062A JP 3273294 A JP3273294 A JP 3273294A JP 3273294 A JP3273294 A JP 3273294A JP H07243062 A JPH07243062 A JP H07243062A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- compressed air
- chloride
- air
- cupric chloride
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- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 銅を塩化第二銅でエッチングした後のエッチ
ング液を空気を酸素源として再生する。 【構成】 銅を塩化第二銅でエッチングして生じた塩化
第一銅を含むエッチング液に、圧縮空気を圧入して、塩
化第一銅を塩化第二銅に再生する方法。圧縮空気は、ス
プレー装置１と加圧タンク９との間を、エッチング液が
循環するようにしたエッチング装置において、スプレー
装置１からの戻り管に設けた圧縮空気圧入装置７から圧
入され、そして、エッチング液が加圧タンク９内に滞留
している間に、エッチング液中に溶け込み、含まれた酸
素の作用によって塩化第一銅が塩化第二銅に変化する。
ング液を空気を酸素源として再生する。 【構成】 銅を塩化第二銅でエッチングして生じた塩化
第一銅を含むエッチング液に、圧縮空気を圧入して、塩
化第一銅を塩化第二銅に再生する方法。圧縮空気は、ス
プレー装置１と加圧タンク９との間を、エッチング液が
循環するようにしたエッチング装置において、スプレー
装置１からの戻り管に設けた圧縮空気圧入装置７から圧
入され、そして、エッチング液が加圧タンク９内に滞留
している間に、エッチング液中に溶け込み、含まれた酸
素の作用によって塩化第一銅が塩化第二銅に変化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、銅のエッチング方法及
びエッチング装置に関し、特に塩化第二銅溶液を用いて
回路を形成するプリント配線板製造用エッチング装置に
関する。
びエッチング装置に関し、特に塩化第二銅溶液を用いて
回路を形成するプリント配線板製造用エッチング装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板の製造に使用されるエッ
チング装置は、ロール式コンベアー搬送を行いながら上
面若しくは上面、下面よりスプレー方式でエッチング液
を吹き付け、回路として不要な銅はくを溶解除去する方
法が一般的である。エッチング液としては、塩化第二銅
溶液が用いられる。銅をエッチングすると、塩化第二銅
は、銅と反応して塩化第一銅に変化し、エッチング性能
が漸次失われる（化１参照）。
チング装置は、ロール式コンベアー搬送を行いながら上
面若しくは上面、下面よりスプレー方式でエッチング液
を吹き付け、回路として不要な銅はくを溶解除去する方
法が一般的である。エッチング液としては、塩化第二銅
溶液が用いられる。銅をエッチングすると、塩化第二銅
は、銅と反応して塩化第一銅に変化し、エッチング性能
が漸次失われる（化１参照）。
【０００３】
【化１】Ｃｕ＋ＣｕＣｌ2 →２ＣｕＣｌ
【０００４】失われたエッチング性能は、エッチング液
に酸素を供給して、塩化第一銅を塩化第二銅にすること
により回復する（化２参照）。
に酸素を供給して、塩化第一銅を塩化第二銅にすること
により回復する（化２参照）。
【０００５】
【化２】 ２ＣｕＣｌ＋４ＨＣｌ＋Ｏ2 →４ＣｕＣｌ2 ＋２Ｈ2 Ｏ
【０００６】化２の反応は、空気中の酸素によっても生
ずるが、実装置では、過酸化水素をエッチング液に補給
して、酸素を補給するようにしている。
ずるが、実装置では、過酸化水素をエッチング液に補給
して、酸素を補給するようにしている。
【０００７】ところが、過酸化水素を補給すると、過酸
化水素が分解して過剰の酸素ガスを生ずることがある。
そこで、スプレーノズル周囲に空気孔を設け空気を吸引
させる装置（実開昭６１−１０８３５９号公報参照）、
スプレーから吐出する直前のエッチング液に酸素ガスを
吹き込む方法及び装置（更に特開平２−１１５３８３号
公報参照）が提案された。
化水素が分解して過剰の酸素ガスを生ずることがある。
そこで、スプレーノズル周囲に空気孔を設け空気を吸引
させる装置（実開昭６１−１０８３５９号公報参照）、
スプレーから吐出する直前のエッチング液に酸素ガスを
吹き込む方法及び装置（更に特開平２−１１５３８３号
公報参照）が提案された。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、実開昭６１−
１０８３５９号公報に開示された、スプレーノズル周囲
に空気孔を設け空気を吸引させる装置では、酸素溶解量
は、液圧と空気／液比による吸引空気量と酸素溶解効率
で決定されるが、エゼクター効果による吸引空気量は少
なく、また常圧下、混合時間も短くエッチング液に酸素
が十分に溶解しない。従って、高エッチング速度が要求
される実際の製造設備の場合には、高圧で循環エッチン
グ液量を大きくする必要があり、結果的に設備費、電力
費が過大となってしまう。
１０８３５９号公報に開示された、スプレーノズル周囲
に空気孔を設け空気を吸引させる装置では、酸素溶解量
は、液圧と空気／液比による吸引空気量と酸素溶解効率
で決定されるが、エゼクター効果による吸引空気量は少
なく、また常圧下、混合時間も短くエッチング液に酸素
が十分に溶解しない。従って、高エッチング速度が要求
される実際の製造設備の場合には、高圧で循環エッチン
グ液量を大きくする必要があり、結果的に設備費、電力
費が過大となってしまう。
【０００９】また特開平２−１１５３８３号公報による
方法では、前者に比較しより大きなの酸素溶解量は得ら
れるが、使用純酸素全てを溶解することは不可能であ
り、スプレー装置周辺の酸素濃度が高くなり、安全上問
題がある。
方法では、前者に比較しより大きなの酸素溶解量は得ら
れるが、使用純酸素全てを溶解することは不可能であ
り、スプレー装置周辺の酸素濃度が高くなり、安全上問
題がある。
【００１０】本発明は、安全面、コスト面いずれも問題
のない空気を酸素源として、エッチング中の塩化第一銅
を効率良く塩化第二銅に変化させる方法及び装置を提供
することを目的とするものである。
のない空気を酸素源として、エッチング中の塩化第一銅
を効率良く塩化第二銅に変化させる方法及び装置を提供
することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、銅を塩化第二
銅でエッチングして生じた塩化第一銅を含むエッチング
液に、圧縮空気を圧入して、塩化第一銅を塩化第二銅に
再生することを特徴とするエッチング方法である。
銅でエッチングして生じた塩化第一銅を含むエッチング
液に、圧縮空気を圧入して、塩化第一銅を塩化第二銅に
再生することを特徴とするエッチング方法である。
【００１２】圧縮空気は、スプレー装置１と加圧タンク
９との間を、エッチング液が循環するようにしたエッチ
ング装置において、スプレー装置１からの戻り管に設け
た圧縮空気圧入装置７から圧入され（図１（ａ）参
照）、そして、エッチング液が加圧タンク９内に滞留し
ている間に、エッチング液中に溶け込み、含まれた酸素
の作用によって塩化第一銅を塩化第二銅に変化する。
９との間を、エッチング液が循環するようにしたエッチ
ング装置において、スプレー装置１からの戻り管に設け
た圧縮空気圧入装置７から圧入され（図１（ａ）参
照）、そして、エッチング液が加圧タンク９内に滞留し
ている間に、エッチング液中に溶け込み、含まれた酸素
の作用によって塩化第一銅を塩化第二銅に変化する。
【００１３】圧縮空気圧入装置７は、エッチング液循環
ポンプ６と加圧タンク９との中間のエッチング液循環配
管にあり、かつ圧入孔部分の循環配管を他配管部より小
径とした絞り部１３となし、更に圧入管１４の先端部分
を循環液の流下方向に向けておく（図１（ｂ））参
照）。このようにすると、圧縮空気とエッチング液との
混合が促進される。
ポンプ６と加圧タンク９との中間のエッチング液循環配
管にあり、かつ圧入孔部分の循環配管を他配管部より小
径とした絞り部１３となし、更に圧入管１４の先端部分
を循環液の流下方向に向けておく（図１（ｂ））参
照）。このようにすると、圧縮空気とエッチング液との
混合が促進される。
【００１４】圧縮空気は、空気圧縮機８から圧入管１４
に送られ、エッチング液と混合されて加圧タンク９に入
る。加圧タンク９内には、内部に空気とエッチング液と
の混合を促進するための邪魔板を設けておくとよい。加
圧タンク内の圧力は高いほど酸素の溶解性が良好となる
が、高過ぎるとエッチング液循環ポンプ６の動力増を必
要とし、また、加圧タンク９の耐圧性の問題もあり、２
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度が実際的である。加圧タンク９内の
圧力は、圧力調整弁１０で調整される。エッチング液
は、加圧タンク９からスプレーノズル４に供給され、ロ
ールコンベヤ３によって運ばれてくる現像終了後のプリ
ント配線板２にスプレーされ、エッチング液溜め５を経
て加圧タンク９に戻る。
に送られ、エッチング液と混合されて加圧タンク９に入
る。加圧タンク９内には、内部に空気とエッチング液と
の混合を促進するための邪魔板を設けておくとよい。加
圧タンク内の圧力は高いほど酸素の溶解性が良好となる
が、高過ぎるとエッチング液循環ポンプ６の動力増を必
要とし、また、加圧タンク９の耐圧性の問題もあり、２
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度が実際的である。加圧タンク９内の
圧力は、圧力調整弁１０で調整される。エッチング液
は、加圧タンク９からスプレーノズル４に供給され、ロ
ールコンベヤ３によって運ばれてくる現像終了後のプリ
ント配線板２にスプレーされ、エッチング液溜め５を経
て加圧タンク９に戻る。
【００１５】化２の反応に必要な塩酸は、補充タンク１
２から、補充ポンプ１２により一定量補給される。
２から、補充ポンプ１２により一定量補給される。
【００１６】
【作用】加圧空気が圧入されたエッチング液が、加圧タ
ンクに送られ、加圧された状態に保持され空気と混合さ
れるので、酸素が溶け込み、化２で示される、塩化第一
銅を塩化第二銅に変化させる反応が促進される。
ンクに送られ、加圧された状態に保持され空気と混合さ
れるので、酸素が溶け込み、化２で示される、塩化第一
銅を塩化第二銅に変化させる反応が促進される。
【００１７】
【実施例】装置の仕様を、エッチング液循環量２５０ｌ
／分、空気圧力２．２ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ、圧入空気量１２
０ｌ／分、液加圧圧力２．０ｋｇ／ｃｍ2 Ｇとして、プ
リント配線板をエッチングした。エッチングに用いたプ
リント配線板は、銅はく厚さが、７０μｍの銅張積層板
であり、エッチング液濃度は、ＨＣｌが１４０g／ｌ、
Ｃｕが６０g／ｌ、液温度は４５℃とした。その結果、
酸素溶解効率（酸素溶解量／送入空気中の酸素量×１０
０％）は２４．１％であり、エッチング速度は、５０．
３μｍ／分であった。
／分、空気圧力２．２ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ、圧入空気量１２
０ｌ／分、液加圧圧力２．０ｋｇ／ｃｍ2 Ｇとして、プ
リント配線板をエッチングした。エッチングに用いたプ
リント配線板は、銅はく厚さが、７０μｍの銅張積層板
であり、エッチング液濃度は、ＨＣｌが１４０g／ｌ、
Ｃｕが６０g／ｌ、液温度は４５℃とした。その結果、
酸素溶解効率（酸素溶解量／送入空気中の酸素量×１０
０％）は２４．１％であり、エッチング速度は、５０．
３μｍ／分であった。
【００１８】比較例 比較のため、酸素源として過酸素水素を用い、エッチン
グ液循環量２５０ｌ／分、液加圧圧力１．２ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇ、実施例と同じ濃度のエッチング液で、実施例と同
じプリント配線板をエッチングした。その結果、エッチ
ング速度は、３９．３μｍ／分であった。
グ液循環量２５０ｌ／分、液加圧圧力１．２ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇ、実施例と同じ濃度のエッチング液で、実施例と同
じプリント配線板をエッチングした。その結果、エッチ
ング速度は、３９．３μｍ／分であった。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、プリント配線板の銅は
くの塩化第二銅エッチング液に空気を圧入しするので、
酸素溶解効果を高めることができ、従来の過酸素水素方
式に比較しエッチング速度は同等以上で、かつ必要酸素
コストは、循環ポンプ動力増加と空気圧縮機動力増加に
も拘らず１／５〜１／８と大幅に低減できる。
くの塩化第二銅エッチング液に空気を圧入しするので、
酸素溶解効果を高めることができ、従来の過酸素水素方
式に比較しエッチング速度は同等以上で、かつ必要酸素
コストは、循環ポンプ動力増加と空気圧縮機動力増加に
も拘らず１／５〜１／８と大幅に低減できる。
【図１】本発明の一実施例を示し、（ａ）は、装置シス
テムを表す概略図、（ｂ）は、加圧空気の圧入部の構造
を示す断面図である。
テムを表す概略図、（ｂ）は、加圧空気の圧入部の構造
を示す断面図である。
１ スプレー装置 ２ プリント配線板 ３ ロールコンベヤ ４ スプレーノズル ５ エッチング液溜め ６ 循環ポンプ ７ 圧縮空気圧入装置 ８ 空気圧縮機 ９ 加圧タンク １０ 圧力調整弁 １１ 補充タンク １２ 補充ポンプ １３ 絞り部 １４ 圧入管
フロントページの続き (72)発明者 増山 徳幸 東京都千代田区神田駿河台３丁目１番地２ 日立化成テクノプラント株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 銅を塩化第二銅でエッチングして生じた
塩化第一銅を含むエッチング液に、圧縮空気を圧入し
て、塩化第一銅を塩化第二銅に再生することを特徴とす
るエッチング方法。 - 【請求項２】 スプレー装置と加圧タンクとの間を、エ
ッチング液が循環するようにしたエッチング装置におい
て、スプレー装置からの戻り管に、圧縮空気圧入装置を
設けたエッチング装置。 - 【請求項３】 圧縮空気を圧入する装置が、エッチング
液循環ポンプと加圧タンクとの中間のエッチング液循環
配管にあり、かつ圧入孔部分の循環配管を他配管部より
小径となし、更に圧入管先端部分を循環液の流下方向に
向けてなる請求項２記載のエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273294A JPH07243062A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | エッチング方法及びエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3273294A JPH07243062A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | エッチング方法及びエッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243062A true JPH07243062A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12367017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3273294A Pending JPH07243062A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | エッチング方法及びエッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243062A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1307107C (zh) * | 2005-04-21 | 2007-03-28 | 吴江市阮氏化工有限公司 | 用废氯化铜蚀板液生产氯化亚铜的方法 |
| CN100443636C (zh) * | 2006-08-18 | 2008-12-17 | 丁四宜 | 氯化铵蚀刻液的充氧装置 |
| JP2014528516A (ja) * | 2011-10-08 | 2014-10-27 | ヘルクレ、クリストフHERKLE, Christoph | 銅の電解エッチングを行うエッチング装置 |
| JP2017514015A (ja) * | 2014-04-01 | 2017-06-01 | シグマ エンジニアリング アクティエボラーグ | 酸化剤としての酸素及び／又は空気の使用による銅エッチング溶液中の銅の酸化 |
-
1994
- 1994-03-03 JP JP3273294A patent/JPH07243062A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1307107C (zh) * | 2005-04-21 | 2007-03-28 | 吴江市阮氏化工有限公司 | 用废氯化铜蚀板液生产氯化亚铜的方法 |
| CN100443636C (zh) * | 2006-08-18 | 2008-12-17 | 丁四宜 | 氯化铵蚀刻液的充氧装置 |
| JP2014528516A (ja) * | 2011-10-08 | 2014-10-27 | ヘルクレ、クリストフHERKLE, Christoph | 銅の電解エッチングを行うエッチング装置 |
| JP2017514015A (ja) * | 2014-04-01 | 2017-06-01 | シグマ エンジニアリング アクティエボラーグ | 酸化剤としての酸素及び／又は空気の使用による銅エッチング溶液中の銅の酸化 |
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