JPH07240486A - 温度制御装置 - Google Patents

温度制御装置

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JPH07240486A
JPH07240486A JP3158194A JP3158194A JPH07240486A JP H07240486 A JPH07240486 A JP H07240486A JP 3158194 A JP3158194 A JP 3158194A JP 3158194 A JP3158194 A JP 3158194A JP H07240486 A JPH07240486 A JP H07240486A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行う
ことができる温度制御装置を提供する。 【構成】 本発明の特徴は、温度制御装置において、熱
媒体としての液体を第１の設定温度に維持せしめてなる
第１の蓄液タンクと、熱媒体としての液体を第２の設定
温度に維持せしめてなる第２の蓄液タンクと、前記第１
または第２の蓄液タンクから前記液体を供給することに
より目的温度に保持せしめられる温度調節ブロック６
と、前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第
１または第２の蓄液タンクの切り替えを行う第１の切り
替え弁と、前記第１の切り替え弁の開閉を制御する弁制
御装置１０と、前記第１および第２の蓄液タンクの熱容
量は前記温度調節ブロックの熱容量に比べて大きく構成
され、かつ前記弁制御装置は、第１の切り替え弁を駆動
し、いずれの蓄液タンク１から液体を供給するかによっ
て温度調節を行うようにしたことにある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温度制御装置に係り、
特に急速加熱あるいは急速冷却を行うに際し、立上がり
および立ち下がりが急俊でかつ、多段の温度サイクルを
設定することができる温度制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体部品などの信頼性試験等に使用す
る加熱冷却装置には極めて高精度の温度管理と、立上が
りおよび立ち下がりが急俊であることが求められる。例
えばこれらの部品の信頼性を予測するためには短時間で
試料を周期的に加熱冷却させる必要がある。
【０００３】しかしながら、装置内の加熱冷却される部
分が熱容量を持つため、追従性が十分に得られず、急俊
なプロファイルを示す温度制御は極めて困難であった。
特に多段の温度設定を行う必要のある場合、所望の温度
に安定化されるまでの時間の短縮は極めて困難であると
いう問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように温度変化に
対する追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うこと
ができる低コストの温度制御装置が求められているが、
従来この要求を満たすことのできる装置はなかった。
【０００５】本発明は前記実情に鑑みてなされたもの
で、追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うことが
できる温度制御装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴は、
温度制御装置において、熱媒体としての液体を第１の設
定温度に維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、熱媒体
としての液体を第２の設定温度に維持せしめてなる第２
の蓄液タンクと、前記第１または第２の蓄液タンクから
前記液体を供給することにより目的温度に保持せしめら
れる温度調節ブロックと、前記液体の温度調節ブロック
への送出対象となる第１または第２の蓄液タンクの切り
替えを行う第１の切り替え弁と、前記第１の切り替え弁
の開閉を制御する弁制御装置と、前記第１および第２の
蓄液タンクの熱容量は前記温度調節ブロックの熱容量に
比べて大きく構成され、かつ前記弁制御装置は、第１の
切り替え弁を駆動し、いずれの蓄液タンクから液体を供
給するかによって温度調節を行うようにしたことにあ
る。
【０００７】望ましくは、上記第１の構成に加え、弁制
御装置によって制御される第２の切り替え弁を具備し、
前記弁制御装置は、第１および第２の蓄液タンクから液
体が供給される場合、第１の切り替え弁の切り替えと同
時にこの第２の切り替え弁を開き所定時間バイパスに液
体を流した後、温度調節ブロックに流すように構成され
る。
【０００８】さらに望ましくは、上記第１の構成に加
え、温度調節ブロックの温度を検出する温度センサと、
前記弁制御装置によって制御される第２の切り替え弁と
を具備し、前記弁制御装置は、第１および第２の蓄液タ
ンクから液体が供給される場合、第１の切り替え弁の切
り替えと同時にこの第２の切り替え弁を開き、バイパス
に液体を流した後、温度調節ブロックに供給するように
構成され、前記温度センサの出力に応じて前記第１およ
び第２の切り替え弁の開閉を制御する。
【０００９】また本発明の第２の特徴は、第１の構成に
加え、さらに温度調節ブロックの温度を検出する温度セ
ンサと、前記温度調節ブロックに接触して設置された熱
源とを具備し、前記弁制御装置は、前記温度調節ブロッ
クの温度が第１または第２の目的温度に到達した後前記
第１の切り替え弁を制御して第１および第２の蓄液タン
クから液体の供給を停止し、前記温度センサの出力に応
じて前記熱源を制御することにより、前記温度調節ブロ
ックの温度を一定に維持するように構成されていること
にある。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、第１および第２の蓄液タン
クのいずれから熱媒体となる液体を供給するかを選択
し、これを急速に入れ替えることにより、温度調節ブロ
ックの温度を急速に変化させることができ、多段の温度
制御に対しスイッチングの高速化をはかることができ
る。
【００１１】すなわち、第１の目的温度（〜第１の設定
温度）に設定したいとき、弁制御装置によって切り替え
弁を第１の蓄液タンクに対して開く。このとき温度調節
ブロック内には第１の設定温度の液体が供給され、この
温度調節ブロックは急速に第１の目的温度に到達せしめ
られる。
【００１２】そして続いて第２の目的温度（〜第２の設
定温度）に設定したいときはさらに、弁制御装置によっ
て切り替え弁を第２の蓄液タンクに対して開く。すると
温度調節ブロック内には第２の設定温度の液体が供給さ
れ、この温度調節ブロックは急速に第２の目的温度に到
達せしめられる。
【００１３】このように液体の入れ替えのみで温度設定
がなされるため、高速で温度設定を行うことが可能とな
る。
【００１４】なお、切り替えに際しては、第１の蓄液タ
ンクに対して弁を開いた状態で第２の蓄液タンクから液
体の供給を開始し、供給開始後第１の蓄液タンクに対す
る弁を閉じるようにすれば、液体供給用のポンプがしめ
きり運転するのを避けることができる。
【００１５】さらに望ましくは、第１の切り替え弁の切
り替えと同時にバイパス流路を制御する第２の切り替え
弁を開き所定時間バイパスに液体を流した後、温度調節
ブロックに流すようにすれば、途中の循環路の温度を目
的温度にしたのち温度調節ブロックに流れ込むため、目
的温度に到達するまでの時間を短縮することができ、よ
り急俊に温度設定をすることができる。
【００１６】さらに望ましくは、上記構成に加え、目的
温度としたい温度調節ブロックの温度を直接検出し、そ
の出力に応じて弁の開閉を制御するようにすれば目的温
度をより正確に設定することができる。
【００１７】また熱媒体としての液体としてはシリコン
オイル、水のほか比重が小さく粘度の小さい液体であれ
ば他の液体を用いるようにしてもよい。
【００１８】本発明の第２によれば、熱源を具備し、温
度保持時には、サーモモジュールあるいはヒータなどを
用いてブロックを温度制御するブロック温調を用いるよ
うにしているため、長時間にわたり、同一温度を維持す
る必要のある場合には、温度の切り替え時、すなわち立
上がりおよび立ち下がりに際してのみ、熱媒体として液
体を用い、温度保持時には、サーモモジュールあるいは
ヒータなどの熱源を用いてブロックを温度制御するた
め、効率的で信頼性の高い温度制御を行うことが可能と
なる。
【００１９】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照しつ
つ詳細に説明する。
【００２０】この温度制御装置は、図１に説明図を示す
ように、第１の設定温度Ｔ1 に維持された熱媒体として
のシリコンオイルを供給した第１の蓄液タンク１ａと、
第２の設定温度Ｔ2 に維持された熱媒体としてのシリコ
ンオイルを供給した第２の蓄液タンク１ｂと、第３の設
定温度Ｔ3 に維持された熱媒体としてのシリコンオイル
を供給した第３の蓄液タンク１ｃとが断熱部材２を介し
て一体化せしめられてなる蓄液タンク部１と、これに接
続され循環路３への切り替えを行う電磁弁４と、蓄液タ
ンク１から循環路３に液体を送出するマグネットドライ
ブ式のポンプ５と、循環路３の一部に熱接触するように
配設された温度調節ブロック６と、温度調節ブロック６
の恒温時の加熱あるいは冷却を行うサーモモジュール９
とから構成され、弁制御装置１０によって電磁弁４の切
り替えを行い、温度制御ブロック６に載置された部品の
温度サイクルテストを行うように構成されている。な
お、循環路３の熱容量は各蓄液タンクの熱容量の１０分
の１程度であり十分に小さいものとする。また第１乃至
第３の蓄液タンクには、それぞれ図示しない温度センサ
が設けられている。
【００２１】次に、この温度制御装置の動作についてタ
イムチャートを参照しつつ説明する。 図２に示すよう
に、目的温度がＴ´1 ，Ｔ´2 ，Ｔ´3 と、階段状に変
化していくような温度制御を行うものであるとする。図
３は第１乃至第３の蓄液タンクの切り替えのタイムチャ
ートである。
【００２２】まず、第１乃至第３の蓄液タンクはそれぞ
れ第１乃至第３の設定温度Ｔ´1w，Ｔ´2w，Ｔ´3wに設
定されているものとする。これらの実際の温度はＴ1w，
Ｔ2w，Ｔ3wで表されている。
【００２３】初期状態として温度調節ブロックは目的温
度Ｔ´3 に設定され実際に温度センサ７はＴ3 を示して
いるものとする。この状態で弁制御装置１０からの指令
により、電磁弁４が駆動されて第１の蓄液タンクから温
度Ｔ´1wに設定されたシリコンオイルがポンプ５によっ
て循環路３に噴出せしめられると循環路３ではＴ3wのシ
リコンオイルにＴ1wのシリコンオイルが混ざりながら急
速にＴ1wのシリコンオイルにおき替わり、温度調節ブロ
ック６の温度は第１の設定温度Ｔ´1wに等しいＴ1wにな
る。このようにして急速に第１の目的温度Ｔ´1 近くま
で低下せしめられる。
【００２４】続いて、弁制御装置１０からの指令によ
り、電磁弁４が駆動されて第１の蓄液タンクからの流路
が閉じられ、これに代わり温度Ｔ´2wに設定されたシリ
コンオイルがポンプ５によって循環路３に噴出せしめら
れると循環路３ではＴ2wのシリコンオイルがＴ1wのシリ
コンオイルに混ざりながら急速にＴ2wのシリコンオイル
におき替わり、温度調節ブロック６の温度は第２の設定
温度Ｔ´2wに等しいＴ2wになる。このようにして急速に
第２の目的温度Ｔ´2 に近付くように上昇せしめられ
る。
【００２５】さらに、弁制御装置１０からの指令によ
り、電磁弁４が駆動されて第２の蓄液タンクからの流路
が閉じられ、これに代わり温度Ｔ´3wに設定されたシリ
コンオイルがポンプ５によって循環路３に噴出せしめら
れると循環路３ではＴ3wのシリコンオイルがＴ2wのシリ
コンオイルに混ざりながら急速にＴ3wのシリコンオイル
におき替わり、温度調節ブロック６の温度は第３の設定
温度Ｔ´3wに等しいＴ3wになる。このようにして急速に
第３の目的温度Ｔ´3 に近付くように上昇せしめられ
る。
【００２６】このようにして高速に３段の温度サイクル
を繰り返すことができる。
【００２７】なお、恒温状態を維持する場合にはヒータ
またはサーモモジュールによる温度制御を続行するよう
にすればよい。
【００２８】しかしながら、微視的にみると、図４に示
すように蓄液タンクの設定温度は実際には循環路３で温
度の異なるシリコンオイルや温度調節ブロックの熱容量
により、実際の温度は設定温度から僅かに変動する。こ
のため、温度調節ブロックの実際の温度も目的温度から
僅かにずれることになる。温度調節ブロックの実際の温
度を目的温度に一致させるには、蓄液タンクの温度のず
れを考慮して補償する必要がある。
【００２９】なお、前記実施例ではマグネットドライブ
式ポンプを用いたが、電磁ポンプを用いるようにしても
よい。
【００３０】次に、本発明の第２の実施例の温度制御装
置について説明する。
【００３１】この装置では図５に示すように、前記第１
の実施例の構成に第２の切り替え弁１１を追加し、蓄液
タンクの切り替え前、すなわち定温状態のときに次の蓄
液タンクのシリコンオイルをバイパスさせることによ
り、次の蓄液タンクの設定温度に近付けておくようにす
るともに、さらに温度調節ブロックの温度を検出する温
度センサ７と、目的温度に到達した後は、温度調節ブロ
ックに接触して設置されたヒータ１２を用いて温度制御
するようにしたことを特徴とする。
【００３２】次に、この温度制御装置の動作についてタ
イムチャートを参照しつつ説明する。 図６に示すよう
に、目的温度がＴ´1 ，Ｔ´2 ，Ｔ´3 ，Ｔ´1 …と、
階段状に上昇・下降していくような温度制御を行うもの
であるとする。図７は第１乃至第３の蓄液タンクおよび
バイパスの切り替えのタイムチャートである。
【００３３】図２および３に示した第１の実施例の動作
と異なるのは、第２の切り替え弁１１によって、定温状
態のときに次の蓄液タンクのシリコンオイルをバイパス
させることにより、次の蓄液タンクの設定温度に近付け
ておくように構成されている点と、第１の蓄液タンクの
設定温度は第１の目的温度に比べて低く、第２および第
３の蓄液タンクの設定温度はそれぞれ第２および第３の
目的温度に比べて高く設定されている点であり、このタ
イムチャートには図示しないが、目的温度に到達した
後、次の目的温度に切り替える間は温度センサ７の出力
に応じてヒータ１２によって温度調節を行うようにして
いる。
【００３４】なおこのバイパスは第１ないし第３の蓄液
タンクの切り替え開始後それぞれ所定時間だけ開かれ、
後は閉じるように、時間でオンオフしてもよい。
【００３５】このようにして第１の実施例よりもさらに
高精度の温度サイクルを提供することが可能となる。
【００３６】このようにして極めて容易に、急俊で高精
度の温度制御を行うことが可能となる。この装置は、特
に短時間毎に温度を変化させる必要がある場合や、短時
間の温度サイクル試験を行う場合などに特に有効であ
る。
【００３７】
【発明の効果】以上説明してきたように、温度制御装置
によれば、急俊でかつ高精度の温度制御を行うことが可
能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の温度制御装置を示す図
【図２】同装置による温度制御のタイムチャートを示す
図
【図３】同装置による電磁弁の切り替えのタイムチャー
トを示す図
【図４】同装置による温度制御のタイムチャートの要部
を示す説明図
【図５】本発明の第２の実施例の温度制御装置を示す図
【図６】同装置による温度制御のタイムチャートを示す
図
【図７】同装置による電磁弁の切り替えのタイムチャー
トを示す図
【符号の説明】 １ａ 第１の蓄液タンク １ｂ 第２の蓄液タンク １ｃ 第３の蓄液タンク ２ 断熱部材 ３ 循環路 ４ 電磁弁 ５ マグネットドライブ式のポンプ ６ 温度調節ブロック ７ 温度センサ ９ サーモモジュール １０ 弁制御装置 １１ 第２の切り替え弁

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 熱媒体としての液体を第１の設定温度に
    維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、 熱媒体としての液体を第２の設定温度に維持せしめてな
    る第２の蓄液タンクと、 前記第１または第２の蓄液タ
    ンクから前記液体を供給することにより目的温度に保持
    せしめられる温度調節ブロックと、 前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第１ま
    たは第２の蓄液タンクの切り替えを行う第１の切り替え
    弁と、 前記第１の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置と、 前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量は前記温度調
    節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、かつ前記
    弁制御装置は、前記第１の切り替え弁を駆動し、いずれ
    の蓄液タンクから液体を供給するかによって温度調節を
    行うようにしたことを特徴とする温度制御装置。
  2. 【請求項２】 さらに前記弁制御装置によって制御され
    る第２の切り替え弁を具備し、前記弁制御装置は、第１
    および第２の蓄液タンクから液体が供給される場合、第
    １の切り替え弁の切り替えと同時に前記第２の切り替え
    弁を開き所定時間バイパスに液体を流した後、温度調節
    ブロックに流すように構成されていることを特徴とする
    請求項１に記載の温度制御装置。
  3. 【請求項３】 さらに温度調節ブロックに接触して設置
    された温度センサと、前記弁制御装置によって制御され
    る第２の切り替え弁とを具備し、 前記弁制御装置は、第１および第２の蓄液タンクから液
    体が供給される場合、第１の切り替え弁の切り替えと同
    時に前記第２の切り替え弁を開き、バイパスに液体を流
    した後、温度調節ブロックに供給するように構成され、
    前記温度センサの出力に応じて前記第１および第２の切
    り替え弁の開閉を制御するようにしたことを特徴とする
    請求項１に記載の温度制御装置。
  4. 【請求項４】 熱媒体としての液体を第１の設定温度に
    維持せしめてなる第１の蓄液タンクと、 熱媒体としての液体を第２の設定温度に維持せしめてな
    る第２の蓄液タンクと、 前記第１または第２の蓄液タ
    ンクから前記液体を供給することにより目的温度に保持
    せしめられる温度調節ブロックと、 前記温度調節ブロックに接触して設置された温度センサ
    と、 前記温度調節ブロックに接触して設置された熱源と、 前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第１ま
    たは第２の蓄液タンクの切り替えを行う第１の切り替え
    弁と、 前記第１の切り替え弁の開閉を制御する弁制御装置と、 前記第１および第２の蓄液タンクの熱容量は前記温度調
    節ブロックの熱容量に比べて大きく構成され、かつ前記
    弁制御装置は、前記第１の切り替え弁を駆動し、いずれ
    の蓄液タンクから液体を供給するかによって温度調節を
    行うとともに、前記温度調節ブロックの温度が第１また
    は第２の設定温度に到達した後前記第１の切り替え弁を
    制御して第１および第２の蓄液タンクから液体の供給を
    停止し、前記温度センサの出力に応じて前記熱源を制御
    することにより、前記温度調節ブロックの温度を一定に
    維持するように構成されていることを特徴とする温度制
    御装置。
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