JPH07240448A - ウエハプローバ - Google Patents
ウエハプローバInfo
- Publication number
- JPH07240448A JPH07240448A JP6287327A JP28732794A JPH07240448A JP H07240448 A JPH07240448 A JP H07240448A JP 6287327 A JP6287327 A JP 6287327A JP 28732794 A JP28732794 A JP 28732794A JP H07240448 A JPH07240448 A JP H07240448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- test head
- inner space
- cylinder
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】テストヘッドが如何なる角度の位置にあっても
一定の力で円滑に回転させることが可能なウエハプロ−
バを提供すること。 【構成】シリンダ１２の内空部に流入したエア−圧で、
回転軸４に片支持されたテストヘッド２を回転させる機
構を備え、このテストヘッド２によりウエハの電気的特
性を検査するウエハプロ−バにおいて、シリンダ１２の
内空部１２ａの設定圧力に対する差圧を感知する圧力ス
イッチ１９ａと、内空部１２ａの設定圧力より高圧を感
知すると設定圧に到達するまでエア−を放出するリリ−
フ弁２４と、内空部１２ａの設定圧力より低圧を感知す
ると設定圧に達するまでエア−を流入させる流体供給源
２０とからなる流体供給手段１９を備え、テストヘッド
２の荷重とシリンダ１２の内空部１２ａの圧力とを均衡
させて、テストヘッド２の回転に必要な力を軽減させる
ように構成した。
一定の力で円滑に回転させることが可能なウエハプロ−
バを提供すること。 【構成】シリンダ１２の内空部に流入したエア−圧で、
回転軸４に片支持されたテストヘッド２を回転させる機
構を備え、このテストヘッド２によりウエハの電気的特
性を検査するウエハプロ−バにおいて、シリンダ１２の
内空部１２ａの設定圧力に対する差圧を感知する圧力ス
イッチ１９ａと、内空部１２ａの設定圧力より高圧を感
知すると設定圧に到達するまでエア−を放出するリリ−
フ弁２４と、内空部１２ａの設定圧力より低圧を感知す
ると設定圧に達するまでエア−を流入させる流体供給源
２０とからなる流体供給手段１９を備え、テストヘッド
２の荷重とシリンダ１２の内空部１２ａの圧力とを均衡
させて、テストヘッド２の回転に必要な力を軽減させる
ように構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハを測定す
るウエハプロ−バに関する。
るウエハプロ−バに関する。
【０００２】
【従来の技術】上記ウエハプロ−バは、半導体ウエハを
測定するためのテストヘッドを搭載しており、このテス
トヘッドの回転機構にバランスウエイトを設けて回転力
を軽減していた。
測定するためのテストヘッドを搭載しており、このテス
トヘッドの回転機構にバランスウエイトを設けて回転力
を軽減していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】バランスウエイト方式
を採用したウエハプロ−バでは、ウエハプロ−バ全体の
重量が重くなるばかりでなく、回転機構部分のスペ−ス
が嵩むことになる。しかも、テストヘッドの重量に対応
したバランスウエイトを設置する必要があるので、異な
った重量のテストヘッドには適用することができない。
また、テストヘッドが如何なる角度の位置にあっても、
一定の力で円滑に回転させるための手段として、このバ
ランスウエイト方式は、必ずしも満足できるものではな
かった。
を採用したウエハプロ−バでは、ウエハプロ−バ全体の
重量が重くなるばかりでなく、回転機構部分のスペ−ス
が嵩むことになる。しかも、テストヘッドの重量に対応
したバランスウエイトを設置する必要があるので、異な
った重量のテストヘッドには適用することができない。
また、テストヘッドが如何なる角度の位置にあっても、
一定の力で円滑に回転させるための手段として、このバ
ランスウエイト方式は、必ずしも満足できるものではな
かった。
【０００４】本発明は、上記した従来の問題点に鑑み
て、テストヘッドが如何なる角度の位置にあっても、一
定の力で円滑に回転させることが可能なウエハプロ−バ
を提供することを目的としている。
て、テストヘッドが如何なる角度の位置にあっても、一
定の力で円滑に回転させることが可能なウエハプロ−バ
を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、シリンダの内空部に流入したエア−圧
で、回転軸に片支持されたテストヘッドを回転させる機
構を備え、このテストヘッドによりウエハの電気的特性
を検査するウエハプロ−バにおいて、上記シリンダの内
空部の設定圧力に対する差圧を感知する圧力スイッチ
と、上記内空部の設定圧力より高圧を感知すると設定圧
に到達するまでエア−を放出するリリ−フ弁と、上記内
空部の設定圧力より低圧を感知すると設定圧に達するま
でエア−を流入させる流体供給源とからなる流体供給手
段を備え、上記テストヘッドの荷重と上記シリンダの内
空部の圧力とを均衡させて、上記テストヘッドの回転に
必要な力を軽減させるように構成したことを特徴として
いる。
め、本発明は、シリンダの内空部に流入したエア−圧
で、回転軸に片支持されたテストヘッドを回転させる機
構を備え、このテストヘッドによりウエハの電気的特性
を検査するウエハプロ−バにおいて、上記シリンダの内
空部の設定圧力に対する差圧を感知する圧力スイッチ
と、上記内空部の設定圧力より高圧を感知すると設定圧
に到達するまでエア−を放出するリリ−フ弁と、上記内
空部の設定圧力より低圧を感知すると設定圧に達するま
でエア−を流入させる流体供給源とからなる流体供給手
段を備え、上記テストヘッドの荷重と上記シリンダの内
空部の圧力とを均衡させて、上記テストヘッドの回転に
必要な力を軽減させるように構成したことを特徴として
いる。
【０００６】
【作用】本発明では、シリンダの内空部がピストンによ
り上下に分けられ、一方の内空部に流入したエア−圧を
感知し、所定圧力であればテストヘッドの荷重と内空部
の圧力とが均衡しているので、小さい回転力でテストヘ
ッドをウエハプロ−バ本体側からほぼ垂直位置まで回転
させることができる。また、小さい回転力でテストヘッ
ドを垂直位置からウエハプロ−バ本体側に回転させるこ
とができる。
り上下に分けられ、一方の内空部に流入したエア−圧を
感知し、所定圧力であればテストヘッドの荷重と内空部
の圧力とが均衡しているので、小さい回転力でテストヘ
ッドをウエハプロ−バ本体側からほぼ垂直位置まで回転
させることができる。また、小さい回転力でテストヘッ
ドを垂直位置からウエハプロ−バ本体側に回転させるこ
とができる。
【０００７】
【実施例】本発明をウエハプロ−バに用いた一実例を図
を用いて説明する。上記ウエハプロ−バは、図１に示す
ように、ウエハプロ−バ本体１とテストヘッド２と回転
移動機構３とから構成されている。
を用いて説明する。上記ウエハプロ−バは、図１に示す
ように、ウエハプロ−バ本体１とテストヘッド２と回転
移動機構３とから構成されている。
【０００８】上記ウエハプロ−バ本体１の側部に回転移
動機構３の回転軸４を設け、この回転軸４にテストヘッ
ド２が片支持されている。この片支持されたテストヘッ
ド２は回転軸４を中心に回転するように設けられてい
る。上記回転移動機構３は、図２に示すように、ウエハ
プロ−バ本体１の側部に設けられた軸受けに回転軸４を
軸着し、この回転軸４に歯形のベルト車５及び連節片６
が固着されている。且つ上記歯形のベルト車５の直下位
置に従ベルト車７が配置されている。この配置はウエハ
プロ−バ本体１の側面に突出した板に固定軸８を設け、
この固定軸８に従ベルト車７を軸着している。上記歯形
のベルト車５と従ベルト車７との間をタイミングベルト
９が掛設されている。
動機構３の回転軸４を設け、この回転軸４にテストヘッ
ド２が片支持されている。この片支持されたテストヘッ
ド２は回転軸４を中心に回転するように設けられてい
る。上記回転移動機構３は、図２に示すように、ウエハ
プロ−バ本体１の側部に設けられた軸受けに回転軸４を
軸着し、この回転軸４に歯形のベルト車５及び連節片６
が固着されている。且つ上記歯形のベルト車５の直下位
置に従ベルト車７が配置されている。この配置はウエハ
プロ−バ本体１の側面に突出した板に固定軸８を設け、
この固定軸８に従ベルト車７を軸着している。上記歯形
のベルト車５と従ベルト車７との間をタイミングベルト
９が掛設されている。
【０００９】上記回転軸４には、片支持されたテストヘ
ッド２と回転軸４を介した反対側に連節片６の一端が固
着されている。この連節片６を含めて平行四辺形の動作
機構が設けられている。上記連節片６と、歯形のベルト
車５と従ベルト車７間に掛設されたタイミングベルト９
と、従ベルト車７と連鎖片１１とを結ぶ連結片１０と、
連結片１０と連節片６とを結ぶ連鎖片１１とから平行四
辺形状の回転移動機構３が形成されている。
ッド２と回転軸４を介した反対側に連節片６の一端が固
着されている。この連節片６を含めて平行四辺形の動作
機構が設けられている。上記連節片６と、歯形のベルト
車５と従ベルト車７間に掛設されたタイミングベルト９
と、従ベルト車７と連鎖片１１とを結ぶ連結片１０と、
連結片１０と連節片６とを結ぶ連鎖片１１とから平行四
辺形状の回転移動機構３が形成されている。
【００１０】更に、上記平行四辺形の一辺である連鎖片
１１の長さ方向に沿って複動式シリンダ１２が垂直に固
着されている。この複動式シリンダ１２を用いたシリン
ダ機構は、図１に戻って説明すると、複動式シリンダ１
２の内空部１２ａにピストン１４が摺動自在に内設さ
れ、このピストン１４にはロッド軸１５が垂直に設けら
れ、このロッド軸１５の下端部には、ウエハプロ−バ本
体１に横設された摺動レ−ル１６に沿って摺動移動する
ように把持形ベアリング１７が設けられている。
１１の長さ方向に沿って複動式シリンダ１２が垂直に固
着されている。この複動式シリンダ１２を用いたシリン
ダ機構は、図１に戻って説明すると、複動式シリンダ１
２の内空部１２ａにピストン１４が摺動自在に内設さ
れ、このピストン１４にはロッド軸１５が垂直に設けら
れ、このロッド軸１５の下端部には、ウエハプロ−バ本
体１に横設された摺動レ−ル１６に沿って摺動移動する
ように把持形ベアリング１７が設けられている。
【００１１】しかも、上記複動式シリンダ１２の吸入口
１８からエア−が流入されるようになっている。この吸
入口１８に連通した流体供給手段１９でエア−を送り込
むように構成されている。上記シリンダ１２の内空部１
２ａに流入したエア−圧力で、シリンダ本体側が降下
し、ロッド軸１５側は把持形ベアリング１７が横方向に
移動する。即ち、ロッド軸１５は上下方向の移動はでき
ないので、エア−圧力が増すとシリンダ本体が降下する
ことになる。
１８からエア−が流入されるようになっている。この吸
入口１８に連通した流体供給手段１９でエア−を送り込
むように構成されている。上記シリンダ１２の内空部１
２ａに流入したエア−圧力で、シリンダ本体側が降下
し、ロッド軸１５側は把持形ベアリング１７が横方向に
移動する。即ち、ロッド軸１５は上下方向の移動はでき
ないので、エア−圧力が増すとシリンダ本体が降下する
ことになる。
【００１２】上記流体供給手段１９は、図３に示すよう
に、流体供給源２０よりエア−等の流体がレギュレ−タ
２１を介して電磁弁２２のオンオフ操作によりパイプ２
３を通ってシリンダ１２の吸入口１８から流入する。上
記電磁弁２２と併設したリリ−フ弁２４は、内空部１２
ａの圧力が所定圧力より高圧になると、圧力スイッチ１
９ａで高圧を感知し、テストヘッドの回転荷重と内空部
１２ａの圧力が均衡圧力に戻るように流体を排出する構
成になっている。
に、流体供給源２０よりエア−等の流体がレギュレ−タ
２１を介して電磁弁２２のオンオフ操作によりパイプ２
３を通ってシリンダ１２の吸入口１８から流入する。上
記電磁弁２２と併設したリリ−フ弁２４は、内空部１２
ａの圧力が所定圧力より高圧になると、圧力スイッチ１
９ａで高圧を感知し、テストヘッドの回転荷重と内空部
１２ａの圧力が均衡圧力に戻るように流体を排出する構
成になっている。
【００１３】次に、上記テストヘッド２を回転させる動
作について説明する。上記テストヘッド２をウエハプロ
−バ本体１上に位置した状態から、上記テストヘッド２
を垂直に立設するように回転移動させるに際し、この回
転移動させるにはシリンダ１２の内空部１２ａにエア−
を流体供給源２０から供給し、テストヘッドの荷重と内
空部１２ａの圧力が均衡し、テストヘッドを人為的に回
動させることにより、ウエハプロ−バ本体上に位置した
テストヘッドを垂直にするように回転移動させる。
作について説明する。上記テストヘッド２をウエハプロ
−バ本体１上に位置した状態から、上記テストヘッド２
を垂直に立設するように回転移動させるに際し、この回
転移動させるにはシリンダ１２の内空部１２ａにエア−
を流体供給源２０から供給し、テストヘッドの荷重と内
空部１２ａの圧力が均衡し、テストヘッドを人為的に回
動させることにより、ウエハプロ−バ本体上に位置した
テストヘッドを垂直にするように回転移動させる。
【００１４】この回転移動は、テストヘッド２と反対側
に設けた連節片６が時計方向に回転することにより実行
される。この連節片６の一端に設けた連鎖片１１は垂直
を保って左方向に移動する。この移動に伴い、シリンダ
本体は降下する。ピストン１４の位置は一定で、シリン
ダ本体が降下することにより内空部１２ａの体積が拡大
されてエア−圧力が低下するが、常時一定圧力の流体が
流体供給源２０から送られているので、その流体が自動
的に内空部１２ａに流入され所定圧力が維持される。こ
こで、所定圧力はテストヘッド２の回転する位置に伴っ
て変化することは言うまでもない。
に設けた連節片６が時計方向に回転することにより実行
される。この連節片６の一端に設けた連鎖片１１は垂直
を保って左方向に移動する。この移動に伴い、シリンダ
本体は降下する。ピストン１４の位置は一定で、シリン
ダ本体が降下することにより内空部１２ａの体積が拡大
されてエア−圧力が低下するが、常時一定圧力の流体が
流体供給源２０から送られているので、その流体が自動
的に内空部１２ａに流入され所定圧力が維持される。こ
こで、所定圧力はテストヘッド２の回転する位置に伴っ
て変化することは言うまでもない。
【００１５】ほぼ垂直位置に達したテストヘッド２が、
ウエハプロ−バ本体１の反対側のサイドデスク（図示せ
ず）上に位置した時、上記シリンダ１２のシリンダ本体
が上方に移動するに伴ってシリンダ１２の内空部１２ａ
の体積が収縮され、エア−等の流体圧力が高圧に変化す
ると、均等圧になるまでリリ−フ弁２４からエア−を排
気して所定の圧力を維持するようになっている。また、
テストヘッド２をサイドデスク上より離してウエハプロ
−バ本体１側に回動させる場合には、上記と同じ方法で
テストヘッド２を人為的に回転軸４を中心に回動させる
ことにより行なう。
ウエハプロ−バ本体１の反対側のサイドデスク（図示せ
ず）上に位置した時、上記シリンダ１２のシリンダ本体
が上方に移動するに伴ってシリンダ１２の内空部１２ａ
の体積が収縮され、エア−等の流体圧力が高圧に変化す
ると、均等圧になるまでリリ−フ弁２４からエア−を排
気して所定の圧力を維持するようになっている。また、
テストヘッド２をサイドデスク上より離してウエハプロ
−バ本体１側に回動させる場合には、上記と同じ方法で
テストヘッド２を人為的に回転軸４を中心に回動させる
ことにより行なう。
【００１６】
【発明の効果】本発明によると、テストヘッドの位置の
如何に拘らず常に一定の小さい回転力を与えることで、
テストヘッドを容易に回転させることができ、また、テ
ストヘッドを如何なる角度の位置でも停止させることが
できる。
如何に拘らず常に一定の小さい回転力を与えることで、
テストヘッドを容易に回転させることができ、また、テ
ストヘッドを如何なる角度の位置でも停止させることが
できる。
【図１】本発明の全体構成を示す正面図である。
【図２】本発明の全体構成を示す側面図である。
【図３】本発明のウエハプロ−バにおけるシリンダを制
御する流体回路の回路図である。
御する流体回路の回路図である。
２…テストヘッド ４…回転軸 １２…シリンダ １２ａ…内空部 １９…流体供給手段 １９ａ…圧力スイッチ ２０…流体供給源 ２４…リリ−フ弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｆ１５Ｂ 11/028
Claims (1)
- 【請求項１】 シリンダの内空部に流入したエア−圧
で、回転軸に片支持されたテストヘッドを回転させる機
構を備え、このテストヘッドによりウエハの電気的特性
を検査するウエハプロ−バにおいて、 上記シリンダの内空部の設定圧力に対する差圧を感知す
る圧力スイッチと、上記内空部の設定圧力より高圧を感
知すると設定圧に到達するまでエア−を放出するリリ−
フ弁と、上記内空部の設定圧力より低圧を感知すると設
定圧に達するまでエア−を流入させる流体供給源とから
なる流体供給手段を備え、上記テストヘッドの荷重と上
記シリンダの内空部の圧力とを均衡させて、上記テスト
ヘッドの回転に必要な力を軽減させるように構成したこ
とを特徴とするウエハプロ−バ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6287327A JP2578084B2 (ja) | 1986-11-25 | 1994-10-27 | ウエハプローバ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28031086 | 1986-11-25 | ||
| JP61-280310 | 1986-11-25 | ||
| JP6287327A JP2578084B2 (ja) | 1986-11-25 | 1994-10-27 | ウエハプローバ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62199538A Division JP2514820B2 (ja) | 1986-11-25 | 1987-08-07 | ウエハプロ−バ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07240448A true JPH07240448A (ja) | 1995-09-12 |
| JP2578084B2 JP2578084B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=26553717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6287327A Expired - Lifetime JP2578084B2 (ja) | 1986-11-25 | 1994-10-27 | ウエハプローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578084B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
| US7084358B2 (en) * | 2000-09-22 | 2006-08-01 | Intest Corporation | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
| EP1712923A3 (en) * | 2000-09-22 | 2008-05-07 | inTEST Corporation | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
| JP2018032873A (ja) * | 2009-03-25 | 2018-03-01 | エイアー テスト システムズ | デバイスの集積回路を試験するためのシステム及びその使用方法 |
-
1994
- 1994-10-27 JP JP6287327A patent/JP2578084B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6271657B1 (en) | 1997-07-25 | 2001-08-07 | Advantest Corporation | Test head positioner for semiconductor device testing apparatus |
| US7084358B2 (en) * | 2000-09-22 | 2006-08-01 | Intest Corporation | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
| US7340972B2 (en) | 2000-09-22 | 2008-03-11 | Intest Corporation | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
| EP1712923A3 (en) * | 2000-09-22 | 2008-05-07 | inTEST Corporation | Apparatus and method for balancing and for providing a compliant range to a test head |
| JP2018032873A (ja) * | 2009-03-25 | 2018-03-01 | エイアー テスト システムズ | デバイスの集積回路を試験するためのシステム及びその使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2578084B2 (ja) | 1997-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8317453B2 (en) | Compound-arm manipulator | |
| CN1938573B (zh) | 轮胎平衡设备 | |
| CN105459153A (zh) | 铁路隧道衬砌质量无损检测臂架及其检测方法 | |
| US11204296B2 (en) | Horizontal instrument, a supporting device and a method for adjusting the bearing surface of the supporting device to be horizontal | |
| JPH07240448A (ja) | ウエハプローバ | |
| US4666364A (en) | Low friction cylinder for manipulators, based on the pantograph principle and equipped with a pneumatic balancer control | |
| CN115585942A (zh) | 一种自行车动平衡测试系统 | |
| US4215972A (en) | Transfer mechanism employing swingable arm formed as a parallelogram linkage | |
| CN208171605U (zh) | 汽车四门两盖耐久测试装置 | |
| JP2514820B2 (ja) | ウエハプロ−バ | |
| CN107300447A (zh) | 一种扇叶单面动平衡机 | |
| CN112729873A (zh) | 一种座椅翻折耐久试验工装 | |
| JP3924766B2 (ja) | センサーロール用キャリブレーション装置 | |
| JPH09291000A (ja) | 昇降装置 | |
| JP3379777B2 (ja) | 昇降アーム型荷役装置のバランス駆動装置 | |
| JPH0542080Y2 (ja) | ||
| JP2974482B2 (ja) | プロービング装置のテストヘッドの回動機構 | |
| CN209567736U (zh) | 一种动滑轮可调节吊挂升降系统 | |
| CN208086999U (zh) | 电梯门开闭驱动电机的性能检测装置 | |
| JPH0233086A (ja) | 吊下用自動天秤装置 | |
| JP2652698B2 (ja) | ウェーハプローバ | |
| JP2003221191A (ja) | 高所作業車のレベリング装置 | |
| JPH0370763B2 (ja) | ||
| JPS5812196B2 (ja) | 荷役機 | |
| JPH0535999Y2 (ja) |