JPH07230478A - 測定結果を総称的に記述する方法 - Google Patents
測定結果を総称的に記述する方法Info
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Abstract
れるエンティティのクラス内のエンティティを区別する
条件のセットとを定義することを含む、測定結果を総称
的に記述する方法を提供する。 【構成】 コンピュータ・ディスプレイ・フォーマット
は、条件のセットに基づいてダイナミックに構成され
る。条件のセットは、このコンピュータ・ディスプレイ
・フォーマットに従ってコンピュータ・ディスプレイ3
1に表示される。個々のエンティティに関連する値は、
対話式に指定される。測定されるエンティティのクラス
に関連する測定値のセットは、コンピュータ・ディスプ
レイ・スクリーンに表示され、条件のセットと関連づけ
られる。
Description
理する方法に関し、さらに詳しくは、実験測定値の総称
データベース(generic database)を構築する方法に関す
る。
ータベースは、システムに関連するデータ解析コンポー
ネントを用いて、エンジニアの解析用に利用可能であ
る。測定値は、パラメータと呼ばれる固有の識別子を測
定値にタグ(tag) することにより、このようなデータベ
ースに一般に格納される。各パラメータは、それに関連
するネーム(name)および番号(number)を有する。パラメ
ータは、データと、このデータが収集される条件とを記
述し、またデータを特定の使用試験装置と関連づける。
ータベース(laboratory database) に格納・解析するた
めに測定される固有パラメータの数は、50,000以
上である。これらのパラメータの格納された測定値の数
は、5000万を越える。新規パラメータ定義は、毎週
数百〜数千の割合で生成される。これらの大量のパラメ
ータについて規格を定義・実施する方法は、質の高い解
析を行い、かつ有為な情報をエンジニア・グループ間で
やりとりするためには絶対に不可欠である。パラメータ
定義を定義・管理するために従来利用可能であったツー
ルは、この目的には不十分であった。
・データを整然と収集・格納・解析する方法が必要とさ
れる。この方法は、多くの場所で利用可能であり、柔軟
なコンフィギュレーション・オプションを有していなけ
ればならない。理想的には、システム・コンフィギュレ
ーションは、情報を標準データベース・テーブルに展開
することからなる。その結果、コンフィギュレーション
は、システム・コンポーネント間の関係ならびに個々の
システム・コンポーネントの挙動を定義する。
図である。ファイル14は、テスト・エンジニアリング
によって生成され、製品を試験する条件(criteria)を反
映する。ファイル14は、製品または製品を製造するた
めのプロセス構造について利用可能な試験オプションを
特定する。各製品は、関連する測定セットを有し、製品
を製造するための各プロセス構造は、関連する被測定エ
ンティティ(measured entity) を有する。ロード・テス
ト・プログラム(load test program) 13は、これらの
ファイルをデータベース12に適した形式に変換する。
ロード・テスト・プログラム13は、各製品および構造
タイプのさまざまな試験オプションをデータベース12
に挿入する。データベース12は、製品および構造タイ
プに関するあらゆる情報の中央保管所として機能する。
格納される情報には、構造クラス内で個々の製品および
処理エンティティを区別する条件のセット,パラメータ
・ネームのフォーマティング,制限データ(limit data)
および試験オプションが含まれる。コンフィギュレーシ
ョン・プログラム11は、コンフィギュレーション・フ
ァイル18と相互作用して、各測定値または被測定エン
ティティについて作成されたパラメータ・ネームおよび
関連テスト記述を記載する情報のセットを保持する。コ
ンフィギュレーション・ファイルからの情報は、総称テ
スト記述(generic test description)15を形成するた
めに抽出される。テスト・ジェネレータ16は、総称テ
スト記述15を利用して、試験されるプロセスおよび製
品エンティティに適したテスト・プログラム17を生成
する。ロード・パラメータ・プログラム(load paramete
r program)21は、コンフィギュレーション・ファイル
18を利用して、特定の製品および処理エンティティの
テスト記述および選択された試験オプションに関する情
報をデータベース12から抽出する。ロード・パラメー
タ・プログラム21は、この情報にデータベースからの
製品およびプロセス・データを補足して、個別のエンテ
ィティ・データを特定する。ロード・パラメータ・プロ
グラムは、テスト,製品およびプロセス情報の組合せを
用いて、パラメータ・ファイル19の記述を生成し、こ
れらの記述は製品を修正・改良するためにエンジニアに
よって利用される。その結果、すべての関連パラメータ
は、一回のデータ収集オペレーションにおいてパラメー
タ・ファイル19のセットにまとめられる。図1で用い
られる参照番号は、以下の説明の全体を通じて用いられ
る。
のために用いられるダイアログ・スクリーン(dialog sc
reen) を示す。ディスプレイ・スクリーン31は、デー
タ収集のための対話式問い合わせ(interactive query)
を表示するために用いられ、構造タイプ43の特定のエ
ンティティを特定する。この例では、構造タイプ43は
N型MOSトランジスタである。構造タイプ43は、測
定されるエンティティのクラスを定義する。特定のエン
ティティを記述するために必要な情報は、スクリーン内
の問い合わせエリア35に表示される。問い合わせエリ
アの内容およびその様子(look-and-feel) は、エンティ
ティを記述するための条件に基づき、かつユーザ要件に
よってダイナミックに構成される。この構造タイプの特
定のエンティティのためのこの記述情報は、データベー
ス12に記録される。テスト固有情報34は、テスト・
エンジニアリングから導出されたファイル14から得ら
れるテスト情報を補足するため、コメントおよび判読可
能テキストを記録する。詳細情報、例えば、トランジス
タ・パラメータ36は、試験されるトランジスタの幅,
長さ,回転および全面積を含む。この詳細情報は、デー
タベース12に保持される記述条件に基づいて問い合わ
せが行われる。ある条件(criteria)37は、属性(attri
bute) 38および所定の値39の両方を有する。これら
は、内部コードではなく記述ラベルであり、特定の構造
記述について選択された値を有する。別の値36のリス
トにより、値39は適正値(legal value) のリストから
選択できる。図2で用いられる参照番号は、以下の説明
の全体を通じて用いられる。
能性のあるタスク41の相互作用を記述するマトリクス
を示す。ディスプレイ・スクリーン40は、どのエンテ
ィティおよび関連テストをパラメータおよび被測定テス
ト結果として定義するかについて、ユーザに促し問い合
わせるために用いられる。各エンティティ42は、その
エンティティに対して実行できる可能なテスト41を表
す選択セル(selectioncell)44を有する。次に、ユー
ザは、ポイント・アンド・クリック(point-and-click)
インタフェースを用いて、選択セル44と未選択セル4
7との間で各選択を切り換える。各選択セル44は、エ
ンティティと関連テストとの固有の組合せを特定する。
選択セル44は、コンフィギュレーション・ファイル1
8(図1)において定義されたパラメータおよびテスト
記述を有する。テスト・ジェネレータ16およびロード
・パラメータ・プログラム21は、コンフィギュレーシ
ョン・ファイル18の内容に基づいて、テスト・プログ
ラム17およびパラメータ・ファイル19を生成する。
関連情報は、中間の総称テスト記述15内に抽出され、
次にこれを用いて試験者固有のテスト・プログラム17
を生成する。各選択セル44,未選択セル47および未
定義セル46は、特定のエンティティにおける特定のデ
バイスに対して実行されるテストを表す可能なパラメー
タである。
エンティティは、エンティティ・コラム標目(heading)
48を指して、マウス・ボタンをクリックすることによ
って容易に追加される。エンティティ・コラム標目48
をクリックすると、対話式問い合わせ33が表示され
る。次に、この構造タイプについて既存のエンティティ
からの新規エンティティを記述するための詳細が入力さ
れる。既存のエンティティ42に相当するエンティティ
・コラム標目48をクリックすることにより、そのエン
ティティ42に相当する対話式問い合わせ33が表示さ
れ、定義済みエンティティ情報の編集が可能になる。
は、測定されるエンティティのクラス、この場合、構造
タイプ43を定義する必要がある。測定されるエンティ
ティのクラス内の所望のエンティティを区別する条件の
セットが定義される。一般に、このセットは、トランジ
スタ・タイプの幅および高さなどのパラメータを含む。
コンピュータ・ディスプレイは、条件のセットに基づ
き、かつ問い合わせエリア35によって定義されたフォ
ーマットを利用して、対応する問い合わせエリア35を
表示するために用いられる。ユーザは、問い合わせエリ
ア35を用いて、個別エンティティに関連する値を対話
式に指定する。測定されるエンティティのクラスに関連
する測定値41のセットは、コンピュータ・スクリーン
に表示される。次に、測定値のセットは、データベース
12内の条件のセットと関連づけられる。
生成され、これらのラベルは、データベース12にある
条件のセットに基づいて、測定値とエンティティとの各
関連を独自に特定する。さらに、パラメータ・ラベル
は、エンティティ42およびテスト記述41から情報を
抽出するフォーマティング・ルールを用いて生成され
る。仕様制限および制御制限などの関連エンジニアリン
グ制限のセットは、各ラベル付きパラメータについて定
義され、データベース12に保存される。測定値および
被測定エンティティの両方の個別条件を記述するパラメ
ータ・コンポーネントの詳細リストは、そのエンティテ
ィに関連する選択セル44に基づいて生成される。総称
テスト記述15は、パラメータ・コンポーネントの詳細
リストと、テスト固有情報34と、テスト記述41と、
パラメータ・ラベルとに基づいて生成される。コンポー
ネントの詳細リストは、すべての関連クラスにおいてこ
れらのパラメータを解析するため所望のパラメータの選
択を容易にするために用いられる。例えば、この段階に
よって、他の条件に関係なく、10ミクロンの長さを有
するすべてのN−MOSトランジスタに関するデータを
抽出できる。
・データを整然と収集・格納・解析する方法を提供する
ことが明らかである。この方法は、多くの場所で利用で
き、柔軟なコンフィギュレーション・オプションを有す
る。システム・コンフィギュレーションは、情報を標準
データベース・テーブルに展開することからなる。その
結果、コンフィギュレーションは、システム・コンポー
ネント間の関係ならびに個別のシステム・コンポーネン
トの挙動を定義する。
たが、更なる修正および改善は当業者に想起される。本
発明は図示の特定の形式に限定されず、特許請求の範囲
は本発明の精神および範囲から逸脱しない一切の修正を
網羅するものとする。
用いられる一般的なダイアログ・スクリーンを示す図で
ある。
造およびテスト・マトリクスのマトリクス・ディスプレ
イを示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 測定結果を総称的に記述する方法であっ
て:測定されるエンティティのクラスを定義する段階;
測定されるエンティティのクラス内のエンティティを区
別する条件のセットを定義する段階;前記条件のセット
に基づいて、コンピュータ・ディスプレイ・フォーマッ
トをダイナミックに構成する段階;前記コンピュータ・
ディスプレイ・フォーマットに従って、前記条件のセッ
トをコンピュータ・ディスプレイ(31)に表示する段
階;個別のエンティティに関する値を対話式に指定する
段階;測定値の所定のセットを前記コンピュータ・ディ
スプレイ(31)に表示する段階であって、この測定値
のセットは測定値されるエンティティの有効クラスに関
するセットである段階;および測定値の所定のセットを
前記条件のセットと関連づける段階;によって構成され
ることを特徴とする方法。 - 【請求項2】 測定結果を総称的に記述する方法であっ
て:コンポーネントによって記述された各クラスについ
て測定条件を定義する段階;各クラス内のエンティティ
を定義するエンティティ条件を定義する段階;複数のコ
ンポーネントのそれぞれに関連する制限について制限条
件を定義する段階;および測定条件,エンティティ条件
および制限条件に基づいて、コンピュータ・ディスプレ
イ(31)を初期化する段階;によって構成されること
を特徴とする方法。 - 【請求項3】 測定結果を総称的に記述する方法であっ
て:コンポーネントによって記述された各クラスについ
て測定条件を定義する段階;各クラス内のエンティティ
を定義するエンティティ条件を定義する段階;複数のコ
ンポーネントのそれぞれに関連する制限について制限条
件を定義する段階;測定条件,エンティティ条件および
制限条件に基づいて、コンピュータ・ディスプレイ(3
1)を初期化する段階;測定値および被測定エンティテ
ィの両方について個別の条件を記述するパラメータ・コ
ンポーネントの詳細リストを生成する段階;複数のパラ
メータを単一データ収集オペレーションの記述にまとめ
る段階;コンポーネントの詳細リストに基づいて、総称
テスト記述を生成する段階;および前記総称テスト記述
に基づいて、試験者固有のテスト・プログラムを生成す
る段階;によって構成されることを特徴とする方法。
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