JP3282086B2 - 測定結果を記述する方法 - Google Patents
測定結果を記述する方法Info
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- G01—MEASURING; TESTING
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に、実験結果を整
理する方法に関し、さらに詳しくは、実験測定値の総称
データベース(generic database)を構築する方法に関す
る。
理する方法に関し、さらに詳しくは、実験測定値の総称
データベース(generic database)を構築する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】市販の設定では、エンジニアリング・デ
ータベースは、システムに関連するデータ解析コンポー
ネントを用いて、エンジニアの解析用に利用可能であ
る。測定値は、パラメータと呼ばれる固有の識別子を測
定値にタグ(tag) することにより、このようなデータベ
ースに一般に格納される。各パラメータは、それに関連
するネーム(name)および番号(number)を有する。パラメ
ータは、データと、このデータが収集される条件とを記
述し、またデータを特定の使用試験装置と関連づける。
ータベースは、システムに関連するデータ解析コンポー
ネントを用いて、エンジニアの解析用に利用可能であ
る。測定値は、パラメータと呼ばれる固有の識別子を測
定値にタグ(tag) することにより、このようなデータベ
ースに一般に格納される。各パラメータは、それに関連
するネーム(name)および番号(number)を有する。パラメ
ータは、データと、このデータが収集される条件とを記
述し、またデータを特定の使用試験装置と関連づける。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般的な市販の研究デ
ータベース(laboratory database) に格納・解析するた
めに測定される固有パラメータの数は、５０，０００以
上である。これらのパラメータの格納された測定値の数
は、５０００万を越える。新規パラメータ定義は、毎週
数百〜数千の割合で生成される。これらの大量のパラメ
ータについて規格を定義・実施する方法は、質の高い解
析を行い、かつ有為な情報をエンジニア・グループ間で
やりとりするためには絶対に不可欠である。パラメータ
定義を定義・管理するために従来利用可能であったツー
ルは、この目的には不十分であった。
ータベース(laboratory database) に格納・解析するた
めに測定される固有パラメータの数は、５０，０００以
上である。これらのパラメータの格納された測定値の数
は、５０００万を越える。新規パラメータ定義は、毎週
数百〜数千の割合で生成される。これらの大量のパラメ
ータについて規格を定義・実施する方法は、質の高い解
析を行い、かつ有為な情報をエンジニア・グループ間で
やりとりするためには絶対に不可欠である。パラメータ
定義を定義・管理するために従来利用可能であったツー
ルは、この目的には不十分であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】大量のエンジニアリング
・データを整然と収集・格納・解析する方法が必要とさ
れる。この方法は、多くの場所で利用可能であり、柔軟
なコンフィギュレーション・オプションを有していなけ
ればならない。理想的には、システム・コンフィギュレ
ーションは、情報を標準データベース・テーブルに展開
することからなる。その結果、コンフィギュレーション
は、システム・コンポーネント間の関係ならびに個々の
システム・コンポーネントの挙動を定義する。
・データを整然と収集・格納・解析する方法が必要とさ
れる。この方法は、多くの場所で利用可能であり、柔軟
なコンフィギュレーション・オプションを有していなけ
ればならない。理想的には、システム・コンフィギュレ
ーションは、情報を標準データベース・テーブルに展開
することからなる。その結果、コンフィギュレーション
は、システム・コンポーネント間の関係ならびに個々の
システム・コンポーネントの挙動を定義する。
【０００５】
【実施例】図１は、データベース・システムを示す構成
図である。ファイル１４は、テスト・エンジニアリング
によって生成され、製品を試験する条件または基準(cri
teria)を反映する。ファイル１４は、製品または製品を
製造するためのプロセス構造について利用可能な試験オ
プションを特定する。各製品は、関連する測定セットを
有し、製品を製造するための各プロセス構造は、関連す
る被測定エンティティ(measured entity)を有する。ロ
ード・テスト・プログラム(load test program)１３
は、これらのファイルをデータベース１２に適した形式
に変換する。ロード・テスト・プログラム１３は、各製
品および構造タイプのさまざまな試験オプションをデー
タベース１２に挿入する。データベース１２は、製品お
よび構造タイプに関するあらゆる情報の中央保管所とし
て機能する。格納される情報には、構造クラス内で個々
の製品および処理エンティティを区別する条件のセッ
ト，パラメータ・ネームのフォーマッティング，制限デ
ータ(limit data)および試験オプションが含まれる。コ
ンフィギュレーション・プログラム１１は、コンフィギ
ュレーション・ファイル１８と相互作用して、各測定値
または被測定エンティティについて作成されたパラメー
タ・ネームおよび関連テスト記述を記載する情報のセッ
トを保持する。コンフィギュレーション・ファイルから
の情報は、総称テスト記述(generic test description)
１５を形成するために抽出される。テスト・ジェネレー
タ１６は、総称テスト記述１５を利用して、試験される
プロセスおよび製品エンティティに適したテスト・プロ
グラム１７を生成する。代表的には、本プログラムは、
本発明とともに用いる特定の試験装置に特有のものであ
る。本発明とともに用いる特定の試験装置は本発明を限
定するのものではないことに留意すべきである。ロード
・パラメータ・プログラム(load parameter program)２
１は、コンフィギュレーション・ファイル１８を利用し
て、特定の製品および処理エンティティのテスト記述お
よび選択された試験オプションに関する情報をデータベ
ース１２から抽出する。ロード・パラメータ・プログラ
ム２１は、この情報にデータベースからの製品およびプ
ロセス・データを補足して、個別のエンティティ・デー
タを特定する。ロード・パラメータ・プログラムは、テ
スト，製品およびプロセス情報の組合せを用いて、パラ
メータ・ファイル１９の記述を生成し、これらの記述は
製品を修正・改良するためにエンジニアによって利用さ
れる。その結果、すべての関連パラメータは、一回のデ
ータ収集オペレーションにおいてパラメータ・ファイル
１９のセットにまとめられる。図１で用いられる参照番
号は、以下の説明の全体を通じて用いられる。
図である。ファイル１４は、テスト・エンジニアリング
によって生成され、製品を試験する条件または基準(cri
teria)を反映する。ファイル１４は、製品または製品を
製造するためのプロセス構造について利用可能な試験オ
プションを特定する。各製品は、関連する測定セットを
有し、製品を製造するための各プロセス構造は、関連す
る被測定エンティティ(measured entity)を有する。ロ
ード・テスト・プログラム(load test program)１３
は、これらのファイルをデータベース１２に適した形式
に変換する。ロード・テスト・プログラム１３は、各製
品および構造タイプのさまざまな試験オプションをデー
タベース１２に挿入する。データベース１２は、製品お
よび構造タイプに関するあらゆる情報の中央保管所とし
て機能する。格納される情報には、構造クラス内で個々
の製品および処理エンティティを区別する条件のセッ
ト，パラメータ・ネームのフォーマッティング，制限デ
ータ(limit data)および試験オプションが含まれる。コ
ンフィギュレーション・プログラム１１は、コンフィギ
ュレーション・ファイル１８と相互作用して、各測定値
または被測定エンティティについて作成されたパラメー
タ・ネームおよび関連テスト記述を記載する情報のセッ
トを保持する。コンフィギュレーション・ファイルから
の情報は、総称テスト記述(generic test description)
１５を形成するために抽出される。テスト・ジェネレー
タ１６は、総称テスト記述１５を利用して、試験される
プロセスおよび製品エンティティに適したテスト・プロ
グラム１７を生成する。代表的には、本プログラムは、
本発明とともに用いる特定の試験装置に特有のものであ
る。本発明とともに用いる特定の試験装置は本発明を限
定するのものではないことに留意すべきである。ロード
・パラメータ・プログラム(load parameter program)２
１は、コンフィギュレーション・ファイル１８を利用し
て、特定の製品および処理エンティティのテスト記述お
よび選択された試験オプションに関する情報をデータベ
ース１２から抽出する。ロード・パラメータ・プログラ
ム２１は、この情報にデータベースからの製品およびプ
ロセス・データを補足して、個別のエンティティ・デー
タを特定する。ロード・パラメータ・プログラムは、テ
スト，製品およびプロセス情報の組合せを用いて、パラ
メータ・ファイル１９の記述を生成し、これらの記述は
製品を修正・改良するためにエンジニアによって利用さ
れる。その結果、すべての関連パラメータは、一回のデ
ータ収集オペレーションにおいてパラメータ・ファイル
１９のセットにまとめられる。図１で用いられる参照番
号は、以下の説明の全体を通じて用いられる。
【０００６】図２は、図１のシステムによって情報収集
のために用いられるダイアログ・スクリーン(dialog sc
reen)を示す。ディスプレイ・スクリーン３１は、デー
タ収集のための対話式問い合わせ(interactive query)
を表示するために用いられ、構造タイプ４３の特定のエ
ンティティを特定する。この例では、構造タイプ４３は
Ｎ型ＭＯＳトランジスタである。構造タイプ４３は、測
定されるエンティティのクラスを定義する。図２に示す
例では、一組のＮ型ＭＯＳトランジスタがエンティティ
のクラスとして機能し、構造タイプと呼ばれる。さら
に、個々のＮ型ＭＯＳトランジスタである個々のトラン
ジスタがエンティティのクラス内のエントリとして機能
する。例えば、幅１０ミクロン、長さ１０ミクロンのＮ
型ＭＯＳトランジスタがエンティティのクラス内の１つ
の個々のエンティティとなり、幅１１ミクロン、長さ１
１ミクロンのＮ型ＭＯＳトランジスタがエンティティの
クラス内の他の個々のエンティティとなる。特定のエン
ティティを記述するために必要な情報は、スクリーン内
の問い合わせエリア３５に表示される。問い合わせエリ
ア３５の内容および形式は、本明細書およびユーザ要件
にしたがって構成される。例えば、Ｎ型ＭＯＳトランジ
スタであるエンティティのクラスにしたがって、問い合
わせエリア３５は、エンティティのクラスの名前、すな
わちＮ型ＭＯＳトランジスタ； エンティティのクラス
内の素子またはエンティティについてのコメント； エ
ンティティのクラス内のエンティティを記述するパラメ
ータ３６； およびエンティティにより所有される属性
を含む。この情報は、エンドユーザの好みにしたがって
フォーマットされるので、ダイナミックに構成される。
この構造タイプの特定のエンティティのためのこの記述
情報は、データベース１２に記録される。テスト固有情
報３４は、テスト・エンジニアリングから導出されたフ
ァイル１４から得られるテスト情報を補足するため、コ
メントおよび判読可能テキストを記録する。パラメータ
３６は、例えば、試験されるトランジスタの幅，長さ，
回転および全面積などの詳細情報を含むことに留意すべ
きである。この詳細情報は、データベース１２に保持さ
れる記述条件に基づいて問い合わせが行われる。エンテ
ィティのクラス内のエンティティを識別するための基準
(criteria)として機能するあるパラメータは、属性(att
ribute)３８および所定の値３９の両方を有する。これ
らは、内部コードではなく記述ラベルであり、特定の構
造記述について選択された値を有する。別の値３７のリ
ストにより、値３９は適正値(legal value)のリストか
ら選択できる。図２で用いられる参照番号は、以下の説
明の全体を通じて用いられる。
のために用いられるダイアログ・スクリーン(dialog sc
reen)を示す。ディスプレイ・スクリーン３１は、デー
タ収集のための対話式問い合わせ(interactive query)
を表示するために用いられ、構造タイプ４３の特定のエ
ンティティを特定する。この例では、構造タイプ４３は
Ｎ型ＭＯＳトランジスタである。構造タイプ４３は、測
定されるエンティティのクラスを定義する。図２に示す
例では、一組のＮ型ＭＯＳトランジスタがエンティティ
のクラスとして機能し、構造タイプと呼ばれる。さら
に、個々のＮ型ＭＯＳトランジスタである個々のトラン
ジスタがエンティティのクラス内のエントリとして機能
する。例えば、幅１０ミクロン、長さ１０ミクロンのＮ
型ＭＯＳトランジスタがエンティティのクラス内の１つ
の個々のエンティティとなり、幅１１ミクロン、長さ１
１ミクロンのＮ型ＭＯＳトランジスタがエンティティの
クラス内の他の個々のエンティティとなる。特定のエン
ティティを記述するために必要な情報は、スクリーン内
の問い合わせエリア３５に表示される。問い合わせエリ
ア３５の内容および形式は、本明細書およびユーザ要件
にしたがって構成される。例えば、Ｎ型ＭＯＳトランジ
スタであるエンティティのクラスにしたがって、問い合
わせエリア３５は、エンティティのクラスの名前、すな
わちＮ型ＭＯＳトランジスタ； エンティティのクラス
内の素子またはエンティティについてのコメント； エ
ンティティのクラス内のエンティティを記述するパラメ
ータ３６； およびエンティティにより所有される属性
を含む。この情報は、エンドユーザの好みにしたがって
フォーマットされるので、ダイナミックに構成される。
この構造タイプの特定のエンティティのためのこの記述
情報は、データベース１２に記録される。テスト固有情
報３４は、テスト・エンジニアリングから導出されたフ
ァイル１４から得られるテスト情報を補足するため、コ
メントおよび判読可能テキストを記録する。パラメータ
３６は、例えば、試験されるトランジスタの幅，長さ，
回転および全面積などの詳細情報を含むことに留意すべ
きである。この詳細情報は、データベース１２に保持さ
れる記述条件に基づいて問い合わせが行われる。エンテ
ィティのクラス内のエンティティを識別するための基準
(criteria)として機能するあるパラメータは、属性(att
ribute)３８および所定の値３９の両方を有する。これ
らは、内部コードではなく記述ラベルであり、特定の構
造記述について選択された値を有する。別の値３７のリ
ストにより、値３９は適正値(legal value)のリストか
ら選択できる。図２で用いられる参照番号は、以下の説
明の全体を通じて用いられる。
【０００７】図３は、対話スクリーンの例を示し、ディ
スプレイ・スクリーン４０が、どのエンティティおよび
関連テストをパラメータおよび被測定テスト結果として
定義するかについて、ユーザに促し問い合わせるために
用いられる。さらに詳細には、図３に示すように、Ｎ型
ＭＯＳトランジスタの構造タイプ４３の場合には、潜在
的なタスク４１として、例えばしきい値電圧(VT)テス
ト、トランスコンダクタンス(GM)テスト、漏洩電流テス
トなどのテストが含まれる。さらに、各タスク４１また
はそこのテストに対して、関連するエンティティ４２ま
たは装置タイプがある。こうしてディスプレイ・スクリ
ーン４０は、特定のエンティティ４２およびエンティテ
ィ４２で実行されるべきタスクまたはテスト４１を選択
するためのマトリックスとして機能する。言い換えれ
ば、例示として、ディスプレイ・スクリーン４０のコラ
ム（列）はエンティティを表示し、そのエンティティ上
でテストが実行される。行は実行すべき特定のテストを
指示する。特定のエンティティ上で所望の１または複数
のテストを実行するために、その特定のテストに関連す
る行および列が選択される。言い換えれば、特定の行お
よび列に伴うセルが選択される。こうして、中に”Ｘ”
を有するセルが選択されたセルとなり、選択されないセ
ルはブランクのままである。図３の例示にしたがって、
幅および長さが１０ミクロンの第１のトランジスタがテ
ストされ、そして幅および長さが１３ミクロンの第２の
トランジスタがテストされる。第１のトランジスタのた
めに測定されたパラメータは、しきい値電圧およびトラ
ンスコンダクタンスを含む。第１のトランジスタをテス
トするためのテスト条件は、ドレインに１００ミリボル
ト、ウェルに０ボルトを印加した場合の、しきい値電圧
とトランスコンダクタンスの測定を含む。第２のトラン
ジスタを測定するためのパラメータは、しきい値電圧，
トランスコンダクタンスおよびドレイン電流を含む。第
１のトランジスタをテストするためのテスト条件は、ド
レインに１００ミリボルト、ウェルに０ボルトを印加し
た場合の、しきい値電圧とトランスコンダクタンスの測
定を含む。ゲートおよびドレインに３．３ボルトを印加
し、ウェルに０ボルトを印加して、ドレイン電流を測定
する。各エンティティ４２は、そのエンティティに対し
て実行できる可能なテスト４１を表す選択セル(selecti
on cell)４４を有することに留意すべきである。ユーザ
は、ポイント・アンド・クリック(point-and-click) イ
ンタフェースを用いて、選択セル４４と未選択セル４７
との間で各選択を切り換える。各選択セル４４は、エン
ティティと関連テストおよびテスト条件との固有の組合
せを特定する。選択セル４４は、コンフィギュレーショ
ン・ファイル１８（図１）において定義されたパラメー
タおよびテスト記述を有する。テスト・ジェネレータ１
６およびロード・パラメータ・プログラム２１は、コン
フィギュレーション・ファイル１８の内容に基づいて、
テスト・プログラム１７およびパラメータ・ファイル１
９を生成する。関連情報は、中間の総称テスト記述１５
内に抽出され、次にこれを用いて試験装置固有のテスト
・プログラム１７を生成する。各選択セル４４，未選択
セル４７および未定義セル４６は、特定のエンティティ
における特定のデバイスに対して実行されるテストを表
す可能なパラメータである。
スプレイ・スクリーン４０が、どのエンティティおよび
関連テストをパラメータおよび被測定テスト結果として
定義するかについて、ユーザに促し問い合わせるために
用いられる。さらに詳細には、図３に示すように、Ｎ型
ＭＯＳトランジスタの構造タイプ４３の場合には、潜在
的なタスク４１として、例えばしきい値電圧(VT)テス
ト、トランスコンダクタンス(GM)テスト、漏洩電流テス
トなどのテストが含まれる。さらに、各タスク４１また
はそこのテストに対して、関連するエンティティ４２ま
たは装置タイプがある。こうしてディスプレイ・スクリ
ーン４０は、特定のエンティティ４２およびエンティテ
ィ４２で実行されるべきタスクまたはテスト４１を選択
するためのマトリックスとして機能する。言い換えれ
ば、例示として、ディスプレイ・スクリーン４０のコラ
ム（列）はエンティティを表示し、そのエンティティ上
でテストが実行される。行は実行すべき特定のテストを
指示する。特定のエンティティ上で所望の１または複数
のテストを実行するために、その特定のテストに関連す
る行および列が選択される。言い換えれば、特定の行お
よび列に伴うセルが選択される。こうして、中に”Ｘ”
を有するセルが選択されたセルとなり、選択されないセ
ルはブランクのままである。図３の例示にしたがって、
幅および長さが１０ミクロンの第１のトランジスタがテ
ストされ、そして幅および長さが１３ミクロンの第２の
トランジスタがテストされる。第１のトランジスタのた
めに測定されたパラメータは、しきい値電圧およびトラ
ンスコンダクタンスを含む。第１のトランジスタをテス
トするためのテスト条件は、ドレインに１００ミリボル
ト、ウェルに０ボルトを印加した場合の、しきい値電圧
とトランスコンダクタンスの測定を含む。第２のトラン
ジスタを測定するためのパラメータは、しきい値電圧，
トランスコンダクタンスおよびドレイン電流を含む。第
１のトランジスタをテストするためのテスト条件は、ド
レインに１００ミリボルト、ウェルに０ボルトを印加し
た場合の、しきい値電圧とトランスコンダクタンスの測
定を含む。ゲートおよびドレインに３．３ボルトを印加
し、ウェルに０ボルトを印加して、ドレイン電流を測定
する。各エンティティ４２は、そのエンティティに対し
て実行できる可能なテスト４１を表す選択セル(selecti
on cell)４４を有することに留意すべきである。ユーザ
は、ポイント・アンド・クリック(point-and-click) イ
ンタフェースを用いて、選択セル４４と未選択セル４７
との間で各選択を切り換える。各選択セル４４は、エン
ティティと関連テストおよびテスト条件との固有の組合
せを特定する。選択セル４４は、コンフィギュレーショ
ン・ファイル１８（図１）において定義されたパラメー
タおよびテスト記述を有する。テスト・ジェネレータ１
６およびロード・パラメータ・プログラム２１は、コン
フィギュレーション・ファイル１８の内容に基づいて、
テスト・プログラム１７およびパラメータ・ファイル１
９を生成する。関連情報は、中間の総称テスト記述１５
内に抽出され、次にこれを用いて試験装置固有のテスト
・プログラム１７を生成する。各選択セル４４，未選択
セル４７および未定義セル４６は、特定のエンティティ
における特定のデバイスに対して実行されるテストを表
す可能なパラメータである。
【０００８】未定義セル４６を用いる構造タイプの追加
エンティティは、エンティティ・コラム標目(heading)
４８を指して、マウス・ボタンをクリックすることによ
って容易に追加される。エンティティ・コラム標目４８
をクリックすると、対話式問い合わせ３３が表示され
る。次に、この構造タイプについて既存のエンティティ
からの新規エンティティを記述するための詳細が入力さ
れる。既存のエンティティ４２に相当するエンティティ
・コラム標目４８をクリックすることにより、そのエン
ティティ４２に相当する対話式問い合わせ３３が表示さ
れ、定義済みエンティティ情報の編集が可能になる。
エンティティは、エンティティ・コラム標目(heading)
４８を指して、マウス・ボタンをクリックすることによ
って容易に追加される。エンティティ・コラム標目４８
をクリックすると、対話式問い合わせ３３が表示され
る。次に、この構造タイプについて既存のエンティティ
からの新規エンティティを記述するための詳細が入力さ
れる。既存のエンティティ４２に相当するエンティティ
・コラム標目４８をクリックすることにより、そのエン
ティティ４２に相当する対話式問い合わせ３３が表示さ
れ、定義済みエンティティ情報の編集が可能になる。
【０００９】データベース・システムのオペレーション
は、測定されるエンティティのクラス、この場合、構造
タイプ４３を定義する必要がある。測定されるエンティ
ティのクラス内の所望のエンティティを区別する条件の
セットが定義される。一般に、このセットは、トランジ
スタ・タイプの幅および高さなどのパラメータを含む。
図２および３の例示にしたがって、エンティティ４３の
クラスはＮ型ＭＯＳトランジスタを含み、エンティティ
のクラス内の所望のエンティティは、長さ・幅などの１
組の基準によって識別される個々のＮ型ＭＯＳトランジ
スタである。こうして、１つの所望のＮ型ＭＯＳトラン
ジスタが、１０ミクロンの長さ・幅を含む１組の基準に
よって定義できる。他の所望のＮ型ＭＯＳトランジスタ
が、１１ミクロンの長さ・幅を含む１組の基準によって
定義できる。コンピュータ・ディスプレイは、条件のセ
ットにしたがって、かつ問い合わせエリア３５によって
定義されたフォーマットを利用して、対応する問い合わ
せエリア３５を表示するために用いられる。ユーザは、
問い合わせエリア３５を用いて、個別エンティティに関
連する値を対話式に指定する。測定されるエンティティ
のクラスに関連する測定値４１のセットは、コンピュー
タ・スクリーンに表示される。次に、測定値のセット
は、データベース１２内の条件のセットと関連づけられ
る。
は、測定されるエンティティのクラス、この場合、構造
タイプ４３を定義する必要がある。測定されるエンティ
ティのクラス内の所望のエンティティを区別する条件の
セットが定義される。一般に、このセットは、トランジ
スタ・タイプの幅および高さなどのパラメータを含む。
図２および３の例示にしたがって、エンティティ４３の
クラスはＮ型ＭＯＳトランジスタを含み、エンティティ
のクラス内の所望のエンティティは、長さ・幅などの１
組の基準によって識別される個々のＮ型ＭＯＳトランジ
スタである。こうして、１つの所望のＮ型ＭＯＳトラン
ジスタが、１０ミクロンの長さ・幅を含む１組の基準に
よって定義できる。他の所望のＮ型ＭＯＳトランジスタ
が、１１ミクロンの長さ・幅を含む１組の基準によって
定義できる。コンピュータ・ディスプレイは、条件のセ
ットにしたがって、かつ問い合わせエリア３５によって
定義されたフォーマットを利用して、対応する問い合わ
せエリア３５を表示するために用いられる。ユーザは、
問い合わせエリア３５を用いて、個別エンティティに関
連する値を対話式に指定する。測定されるエンティティ
のクラスに関連する測定値４１のセットは、コンピュー
タ・スクリーンに表示される。次に、測定値のセット
は、データベース１２内の条件のセットと関連づけられ
る。
【００１０】パラメータ・ラベルは、選択セル４４から
生成され、これらのラベルは、データベース１２にある
条件のセットに基づいて、測定値とエンティティとの各
関連を独自に特定する。さらに、パラメータ・ラベル
は、エンティティ４２およびテスト記述４１から情報を
抽出するフォーマティング・ルールを用いて生成され
る。仕様制限および制御制限などの関連エンジニアリン
グ制限のセットは、各ラベル付きパラメータについて定
義され、データベース１２に保存される。測定値および
被測定エンティティの両方の個別条件を記述するパラメ
ータ・コンポーネントの詳細リストは、そのエンティテ
ィに関連する選択セル４４に基づいて生成される。総称
テスト記述１５は、パラメータ・コンポーネントの詳細
リストと、テスト固有情報３４と、テスト記述４１と、
パラメータ・ラベルとに基づいて生成される。コンポー
ネントの詳細リストは、すべての関連クラスにおいてこ
れらのパラメータを解析するため所望のパラメータの選
択を容易にするために用いられる。例えば、この段階に
よって、他の条件に関係なく、１０ミクロンの長さを有
するすべてのＮ−ＭＯＳトランジスタに関するデータを
抽出できる。
生成され、これらのラベルは、データベース１２にある
条件のセットに基づいて、測定値とエンティティとの各
関連を独自に特定する。さらに、パラメータ・ラベル
は、エンティティ４２およびテスト記述４１から情報を
抽出するフォーマティング・ルールを用いて生成され
る。仕様制限および制御制限などの関連エンジニアリン
グ制限のセットは、各ラベル付きパラメータについて定
義され、データベース１２に保存される。測定値および
被測定エンティティの両方の個別条件を記述するパラメ
ータ・コンポーネントの詳細リストは、そのエンティテ
ィに関連する選択セル４４に基づいて生成される。総称
テスト記述１５は、パラメータ・コンポーネントの詳細
リストと、テスト固有情報３４と、テスト記述４１と、
パラメータ・ラベルとに基づいて生成される。コンポー
ネントの詳細リストは、すべての関連クラスにおいてこ
れらのパラメータを解析するため所望のパラメータの選
択を容易にするために用いられる。例えば、この段階に
よって、他の条件に関係なく、１０ミクロンの長さを有
するすべてのＮ−ＭＯＳトランジスタに関するデータを
抽出できる。
【００１１】以上、本発明は、大量のエンジニアリング
・データを整然と収集・格納・解析する方法を提供する
ことが明らかである。この方法は、多くの場所で利用で
き、柔軟なコンフィギュレーション・オプションを有す
る。システム・コンフィギュレーションは、情報を標準
データベース・テーブルに展開することからなる。その
結果、コンフィギュレーションは、システム・コンポー
ネント間の関係ならびに個別のシステム・コンポーネン
トの挙動を定義する。
・データを整然と収集・格納・解析する方法を提供する
ことが明らかである。この方法は、多くの場所で利用で
き、柔軟なコンフィギュレーション・オプションを有す
る。システム・コンフィギュレーションは、情報を標準
データベース・テーブルに展開することからなる。その
結果、コンフィギュレーションは、システム・コンポー
ネント間の関係ならびに個別のシステム・コンポーネン
トの挙動を定義する。
【００１２】本発明の特定の実施例について図説してき
たが、更なる修正および改善は当業者に想起される。本
発明は図示の特定の形式に限定されず、特許請求の範囲
は本発明の精神および範囲から逸脱しない一切の修正を
網羅するものとする。
たが、更なる修正および改善は当業者に想起される。本
発明は図示の特定の形式に限定されず、特許請求の範囲
は本発明の精神および範囲から逸脱しない一切の修正を
網羅するものとする。
【図１】データベース・システムの構成図である。
【図２】図１のシステムについて情報を収集するために
用いられる一般的なダイアログ・スクリーンを示す図で
ある。
用いられる一般的なダイアログ・スクリーンを示す図で
ある。
【図３】図１のシステムによって利用される一般的な構
造およびテスト・マトリクスのマトリクス・ディスプレ
イを示す図である。
造およびテスト・マトリクスのマトリクス・ディスプレ
イを示す図である。
１１ コンフィギュレーション・プログラム １２ データベース １３ ロード・テスト・プログラム １４ ファイル １５ 総称テスト記述 １６ テスト・ジェネレータ １７ テスト・プログラム １８ コンフィギュレーション・ファイル １９ パラメータ・ファイル ２１ ロード・パラメータ・プログラム ３１ ディスプレイ・スクリーン ３３ 対話式問い合わせ ３４ テスト固有情報 ３５ 問い合わせエリア ３６ トランジスタ・パラメータ（詳細情報） ３７ 条件 ３８ 属性 ３９ 値 ４０ ディスプレイ・スクリーン ４１ タスク ４２ エンティティ ４３ 構造タイプ ４４ 選択セル ４６ 未定義セル ４７ 未選択セル ４８ エンティティ・コラム標目
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エメラルド・ワン アメリカ合衆国アリゾナ州テンピ、イ ー・モルガン・ドライブ1978 (72)発明者 ジェイムズ・ホルト アメリカ合衆国テキサス州デル・バー ル、フォレスト・レイクス・ドライヴ 4414 (72)発明者 リー・ホウィントン アメリカ合衆国テキサス州オースチン、 ロウンツリー・アベニュー2114 (72)発明者 ジェイムズ・チャルマーズ アメリカ合衆国テキサス州フルジャービ ル、レッドウッド・レーン104 (56)参考文献 特開 平１−195381（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−165677（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−188119（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−218843（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−189476（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−276572（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−124441（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−305177（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−48046（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G06F 17/30
Claims (1)
- 【請求項１】 測定されるエンティティのクラス（４
３）において選択されたテストを実行することによる測
定結果を記述する方法であって： 測定されるエンティティのクラスを定義する段階； 測定されるエンティティのクラス内のエンティティを区
別する基準セット（３６）を定義する段階； 前記基準セットに基づいて、コンピュータ・ディスプレ
イ・フォーマットをダイナミックに構成する段階； 前記コンピュータ・ディスプレイ・フォーマットに従っ
て、前記基準セットをコンピュータ・ディスプレイ（３
１）に表示する段階； 個別のエンティティに関する値（３６，３７，３８，３
９）を対話式に指定する段階； 測定値の所定のセット（４１）を前記コンピュータ・デ
ィスプレイに表示する段階であって、前記測定値の所定
のセットは測定されるエンティティのクラスに関するセ
ットである、ところの段階；複数のセル（４４，４６）を表示することによって、定
義された基準セットを有する特定のエンティティに関し
て実行される測定の所定のセットを選択する段階であっ
て、前記複数のセルの各々は、エンティティのクラス内
の特定のエンティティに関し所定のテストが実行される
か否かを示すところの 段階；およびパラメータ・プログ
ラム（２１）を利用して複数のラベル（１９）を生成す
る段階であって、前記複数のラベルはエンティティのク
ラス内の各エンティティにおいて実行される測定の各々
を識別するところの段階；より成る ことを特徴とする方法。
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|---|---|---|---|
| US19653994A | 1994-02-15 | 1994-02-15 | |
| US196539 | 1994-02-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07230478A JPH07230478A (ja) | 1995-08-29 |
| JP3282086B2 true JP3282086B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=22725818
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| US6711561B1 (en) | 2000-05-02 | 2004-03-23 | Iphrase.Com, Inc. | Prose feedback in information access system |
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| US8290768B1 (en) | 2000-06-21 | 2012-10-16 | International Business Machines Corporation | System and method for determining a set of attributes based on content of communications |
| US7644057B2 (en) | 2001-01-03 | 2010-01-05 | International Business Machines Corporation | System and method for electronic communication management |
| US7343372B2 (en) | 2002-02-22 | 2008-03-11 | International Business Machines Corporation | Direct navigation for information retrieval |
| DE10252298B3 (de) | 2002-11-11 | 2004-08-19 | Mehl, Albert, Prof. Dr. Dr. | Verfahren zur Herstellung von Zahnersatzteilen oder Zahnrestaurationen unter Verwendung elektronischer Zahndarstellungen |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US4967381A (en) * | 1985-04-30 | 1990-10-30 | Prometrix Corporation | Process control interface system for managing measurement data |
| US4951190A (en) * | 1985-04-30 | 1990-08-21 | Prometrix Corporation | Multilevel menu and hierarchy for selecting items and performing tasks thereon in a computer system |
| US4843538A (en) * | 1985-04-30 | 1989-06-27 | Prometrix Corporation | Multi-level dynamic menu which suppresses display of items previously designated as non-selectable |
| US4805089A (en) * | 1985-04-30 | 1989-02-14 | Prometrix Corporation | Process control interface system for managing measurement data |
| US4847795A (en) * | 1987-08-24 | 1989-07-11 | Hughes Aircraft Company | System for diagnosing defects in electronic assemblies |
| JPH039436A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Nec Corp | 自動テスト設計・実行制御方式 |
| US5208765A (en) * | 1990-07-20 | 1993-05-04 | Advanced Micro Devices, Inc. | Computer-based method and system for product development |
| BE1002551A6 (fr) * | 1990-12-27 | 1991-03-19 | Vapourware Ltd | Appareil de controle d'essai. |
| US5226118A (en) * | 1991-01-29 | 1993-07-06 | Prometrix Corporation | Data analysis system and method for industrial process control systems |
| US5434971A (en) * | 1991-06-28 | 1995-07-18 | Digital Equipment Corp. | System for constructing a table data structure based on an associated configuration data structure and loading it with chemical sample physical data |
| US5418943A (en) * | 1991-10-23 | 1995-05-23 | At&T Corp. | Information system with knowledge base and data base |
-
1995
- 1995-02-02 EP EP95101406A patent/EP0667587A3/en not_active Withdrawn
- 1995-02-06 KR KR1019950002037A patent/KR100392722B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-02-13 JP JP04661995A patent/JP3282086B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-24 US US08/410,649 patent/US5590055A/en not_active Expired - Fee Related
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| US5590055A (en) | 1996-12-31 |
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