JPH07221372A - 交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極 - Google Patents
交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極Info
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- JPH07221372A JPH07221372A JP1427894A JP1427894A JPH07221372A JP H07221372 A JPH07221372 A JP H07221372A JP 1427894 A JP1427894 A JP 1427894A JP 1427894 A JP1427894 A JP 1427894A JP H07221372 A JPH07221372 A JP H07221372A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 交流放電ガスレーザ装置において、構造が簡
単で、発振効率が高く、更に大電力の投入可能な誘電体
電極を提供する。 【構成】 相対向する誘電体電極３、３´が、それぞれ
誘電体パイプ５、５´と、その内壁の対向側に接触して
設けられた金属電極７、７´と、誘電体パイプ内の金属
電極の隙き間を充填する絶縁物９、９´からなり、前記
金属電極が内部に冷却水路１１、１１´を備え、この冷
却水路に接続された冷却水の供給用金属パイプ１３、１
３´が、高周波交流の給電路を兼ねたものである。
単で、発振効率が高く、更に大電力の投入可能な誘電体
電極を提供する。 【構成】 相対向する誘電体電極３、３´が、それぞれ
誘電体パイプ５、５´と、その内壁の対向側に接触して
設けられた金属電極７、７´と、誘電体パイプ内の金属
電極の隙き間を充填する絶縁物９、９´からなり、前記
金属電極が内部に冷却水路１１、１１´を備え、この冷
却水路に接続された冷却水の供給用金属パイプ１３、１
３´が、高周波交流の給電路を兼ねたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は交流放電ガスレーザ装
置の誘電体電極の改良に関するものである。
置の誘電体電極の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極の
例として、三軸直交形の炭酸ガスレーザ装置にこれを設
けたものがある。その誘電体電極は、高電圧交流が印加
される相対向する二つの金属電極と、その外周を覆おう
誘電体からなっており、金属電極は放電プラズマによっ
てスパッタされることがないので、半永久的に使用でき
るという特徴がある。金属電極に印加される交流は１０
０ＫＨｚ〜１００ＭＨｚ、数ＫＶ程度の高周波交流で、
金属電極は加熱されるので空気又は水によって冷却され
ている。
例として、三軸直交形の炭酸ガスレーザ装置にこれを設
けたものがある。その誘電体電極は、高電圧交流が印加
される相対向する二つの金属電極と、その外周を覆おう
誘電体からなっており、金属電極は放電プラズマによっ
てスパッタされることがないので、半永久的に使用でき
るという特徴がある。金属電極に印加される交流は１０
０ＫＨｚ〜１００ＭＨｚ、数ＫＶ程度の高周波交流で、
金属電極は加熱されるので空気又は水によって冷却され
ている。
【０００３】この誘電体電極については、種々の先行技
術がある。特許公報昭６２−４５７１７に見られるもの
では、金属電極は水冷され、対向面には誘電率が３〜６
程度のガラス等の物質がライニングされており、対向面
以外はシリコンゴム等の柔軟な絶縁物質によって厚く覆
われ、沿面放電を防止している。公開特許公報平１−２
６０８７１に見られるのものは、対向して設けられたガ
ラス管の内壁の対向面側にそれぞれ金属電極を配置し、
ガラス管には金属電極の冷却のために外気を流通させて
いる。
術がある。特許公報昭６２−４５７１７に見られるもの
では、金属電極は水冷され、対向面には誘電率が３〜６
程度のガラス等の物質がライニングされており、対向面
以外はシリコンゴム等の柔軟な絶縁物質によって厚く覆
われ、沿面放電を防止している。公開特許公報平１−２
６０８７１に見られるのものは、対向して設けられたガ
ラス管の内壁の対向面側にそれぞれ金属電極を配置し、
ガラス管には金属電極の冷却のために外気を流通させて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記のように、先行技
術の前者では、金属電極をガラス等の物質でライニング
して放電プラズマのスパッタを防止しているが、ライニ
ングの厚さは一般に不均一になりやすく、その不均一に
起因する熱膨脹の差により、ガラス物質が破損するとい
う問題があつた。
術の前者では、金属電極をガラス等の物質でライニング
して放電プラズマのスパッタを防止しているが、ライニ
ングの厚さは一般に不均一になりやすく、その不均一に
起因する熱膨脹の差により、ガラス物質が破損するとい
う問題があつた。
【０００５】また後者では、ガラス管内に冷却用の大気
圧の外気を流入させているので、ガラス管に破損を防止
するために充分な強度を持たせる必要があり、電極保持
部の構造が複雑で高価になるという問題があった。更に
金属電極が空冷であるため冷却効果が低く、大電力の投
入が難しいという問題があった。
圧の外気を流入させているので、ガラス管に破損を防止
するために充分な強度を持たせる必要があり、電極保持
部の構造が複雑で高価になるという問題があった。更に
金属電極が空冷であるため冷却効果が低く、大電力の投
入が難しいという問題があった。
【０００６】この発明はこのような問題に鑑みてなされ
たもので、構造が簡単で、無駄な放電が少なく、冷却効
果が大きく、大電力の投入が可能な交流放電ガスレーザ
装置の誘電体電極を提供することを目的とする。
たもので、構造が簡単で、無駄な放電が少なく、冷却効
果が大きく、大電力の投入が可能な交流放電ガスレーザ
装置の誘電体電極を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明の交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極
は、それぞれの誘電体電極が、誘電体パイプと、その内
壁の対向側に接触して設けられた金属電極と、誘電体パ
イプ内の金属電極の隙き間を充填する絶縁物からなり、
前記金属電極が内部に冷却水路を備え、この冷却水路に
接続された冷却水の供給用金属パイプが高周波交流の給
電路を兼ねたものである。
めに、この発明の交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極
は、それぞれの誘電体電極が、誘電体パイプと、その内
壁の対向側に接触して設けられた金属電極と、誘電体パ
イプ内の金属電極の隙き間を充填する絶縁物からなり、
前記金属電極が内部に冷却水路を備え、この冷却水路に
接続された冷却水の供給用金属パイプが高周波交流の給
電路を兼ねたものである。
【０００８】
【作用】前記のように構成されているので、無駄な放電
が少なくそのため発振効率が高くなり、また、金属電極
が冷却水によって充分に冷却されるので大電力の投入が
可能になる。更に、誘電体電極の構造が比較的簡単であ
り製作が容易である。従って、製造コストを低減するこ
とができる。
が少なくそのため発振効率が高くなり、また、金属電極
が冷却水によって充分に冷却されるので大電力の投入が
可能になる。更に、誘電体電極の構造が比較的簡単であ
り製作が容易である。従って、製造コストを低減するこ
とができる。
【０００９】
【実施例】次に、この発明の実施例について添付図面に
基づいて説明する。図１はこの発明の一つの実施例で、
三軸直交形炭酸ガスレーザ装置に設置された誘電体電極
の構成の概略図である。図示のように、放電空間１に誘
電体電極３、３´が相対向して設けてあり、その放電に
よって紙面に直角方向へ流れるレーザガスが励起され、
左右に設けられた図示を省略した光共振器によって増幅
され、発生したレーザ光の一部が出力ミラーから外部へ
放出される。
基づいて説明する。図１はこの発明の一つの実施例で、
三軸直交形炭酸ガスレーザ装置に設置された誘電体電極
の構成の概略図である。図示のように、放電空間１に誘
電体電極３、３´が相対向して設けてあり、その放電に
よって紙面に直角方向へ流れるレーザガスが励起され、
左右に設けられた図示を省略した光共振器によって増幅
され、発生したレーザ光の一部が出力ミラーから外部へ
放出される。
【００１０】誘電体電極３、３´は、ガラス管５、５´
と、その内壁の対向側に接触して設けられた金属電極
７、７´と、ガラス管５、５´の隙き間を充填するシリ
コンゴム９、９´から構成されている。また、金属電極
７、７´の内部にはこれを冷却する冷却水路１１、１１
´が設けられている。図２に示したＡ−Ａ断面のよう
に、誘電体電極３、３´の金属電極７、７´の非対向面
は、シリコンゴム９、９´及びガラス管５、５´で覆わ
れ、金属電極７，７´がガラス管５，５´の内面に密着
し固定されている。
と、その内壁の対向側に接触して設けられた金属電極
７、７´と、ガラス管５、５´の隙き間を充填するシリ
コンゴム９、９´から構成されている。また、金属電極
７、７´の内部にはこれを冷却する冷却水路１１、１１
´が設けられている。図２に示したＡ−Ａ断面のよう
に、誘電体電極３、３´の金属電極７、７´の非対向面
は、シリコンゴム９、９´及びガラス管５、５´で覆わ
れ、金属電極７，７´がガラス管５，５´の内面に密着
し固定されている。
【００１１】金属電極７、７´は冷却水の供給路と、高
周波交流の給電路を兼ねる金属パイプ１３、１３´に接
続され真空容器外へ導かれ、図示を省略した給水装置及
び電源装置へ接続されている。金属電極７には高電圧が
印加されているので、金属パイプ１３は絶縁部材１５に
固定されＯリングを介して真空容器の外板１７へ取り付
けられており、その周囲は沿面放電を防止するためにシ
リコンゴムによって厚く覆われている。
周波交流の給電路を兼ねる金属パイプ１３、１３´に接
続され真空容器外へ導かれ、図示を省略した給水装置及
び電源装置へ接続されている。金属電極７には高電圧が
印加されているので、金属パイプ１３は絶縁部材１５に
固定されＯリングを介して真空容器の外板１７へ取り付
けられており、その周囲は沿面放電を防止するためにシ
リコンゴムによって厚く覆われている。
【００１２】図１では、金属電極７´は接地されている
ので、金属パイプ１３´は金属支柱１９によって支持さ
れ真空容器の外板１７へ取り付けられているが、金属電
極７´を接地しない場合には、金属パイプ１３と同様な
方法で真空容器の外板１７へ取り付けられる。
ので、金属パイプ１３´は金属支柱１９によって支持さ
れ真空容器の外板１７へ取り付けられているが、金属電
極７´を接地しない場合には、金属パイプ１３と同様な
方法で真空容器の外板１７へ取り付けられる。
【００１３】この実施例のガラス管５、５´はセラミッ
クス管やカーボン管を使用してもよく、また、管の内外
の圧力差がないので、レーザガスの流れの抵抗を少なく
するために、管の断面形状を四角形断面にしてもよい。
クス管やカーボン管を使用してもよく、また、管の内外
の圧力差がないので、レーザガスの流れの抵抗を少なく
するために、管の断面形状を四角形断面にしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
無駄な放電が少ないため発振効率が高くなり、また、金
属電極を充分に冷却することができるので大電力を投入
することが可能になる、更に、誘電体電極の構造が比較
的簡単で製作が容易なため、製造コストを低減すること
ができる。
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
無駄な放電が少ないため発振効率が高くなり、また、金
属電極を充分に冷却することができるので大電力を投入
することが可能になる、更に、誘電体電極の構造が比較
的簡単で製作が容易なため、製造コストを低減すること
ができる。
【図１】この発明の実施例の説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
１ 放電空間 ３ ３´ 誘電体電極 ５ ５´ ガラス管（誘電体パイプ） ７ ７´ 金属電極 ９ ９´ シリコンゴム（絶縁物） １１ １１´ 冷却水路 １３ １３´ 金属パイプ
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザガス中に相対向して配置された誘
電体電極に高周波高電圧を印加して放電を発生させ、レ
ーザ光を励起する交流放電ガスレーザ装置において、そ
れぞれの誘電体電極が、誘電体パイプと、その内壁の対
向側に接触して設けられた金属電極と、誘電体パイプ内
の金属電極の隙き間を充填する絶縁物からなり、前記金
属電極が内部に冷却水路を備え、この冷却水路に接続さ
れた冷却水の供給用金属パイプが高周波交流の給電路を
兼ねたことを特徴とする交流放電ガスレーザ装置の誘電
体電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1427894A JPH07221372A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1427894A JPH07221372A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07221372A true JPH07221372A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11856634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1427894A Abandoned JPH07221372A (ja) | 1994-02-08 | 1994-02-08 | 交流放電ガスレーザ装置の誘電体電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07221372A (ja) |
-
1994
- 1994-02-08 JP JP1427894A patent/JPH07221372A/ja not_active Abandoned
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20040623 |