JPH07218439A - 照明状態良否判定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】物体の表面に対して予め設定された適正な照明
を行なうべく用いられる照明手段の照明状態についての
良否を直感的に判断できる状態を、迅速かつ容易に設定
できるものとなす。 【構成】照明手段１０により照明された面を撮像する撮
像部１６からの出力に基づく照明状態データを得るＡ−
Ｄ変換部２２及びフレームメモリ部２３と、基準データ
を送出する基準データ送出部２６と、照明状態データと
基準データとを比較し、照明状態データが基準データの
範囲内にあるとき高レベルをあらわし、照明状態データ
が基準データの範囲から外れているとき低レベルをあら
わす比較出力データを得るデータ比較部２５と、比較出
力データがあらわすレベルに応じた変化を伴う画像表示
を行い、照明手段１０の照明状態を画像表示上の変化を
もってあらわす画像表示部２０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、照明装置の照明状態の
良否を、その照明装置により照明された面についての撮
像を行なう撮像部から得られる撮像出力信号に基づいて
判定する照明状態良否判定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】物体の表面における傷等の欠陥を検出す
る表面検査装置として、撮像手段を用いるものが提案さ
れている。斯かる撮像手段を用いた表面検査装置は、例
えば、特開平4-204314号にも記載されている如く、欠陥
検出がなされるべき物体の表面を照明手段により照明し
たもとで、照明された表面を撮像手段を用いて撮像し、
その撮像手段から得られる撮像出力信号に基づいて、あ
るいは、その撮像手段から得られる撮像出力信号により
再生される画像に基づいて、欠陥検出がなされるべき物
体の表面における欠陥を検出するものとされる。

【０００３】このような撮像手段を用いた表面検査装置
による表面検査にあっては、欠陥検出がなされるべき物
体の表面における照明手段による照明の状態が、検査結
果に大なる影響を及ぼすことになる。例えば、欠陥検出
がなされるべき物体の表面が予め設定された適正な照明
のもとにない場合には、その不適正な照明に起因して、
実際には表面に欠陥が有るにもかかわらず、撮像手段か
ら得られる撮像出力信号中に欠陥に応じた変化が現れな
いことになって、欠陥検出がなされない事態、あるい
は、実際には表面に欠陥が無いにもかかわらず、撮像手
段から得られる撮像出力信号中に現れた不適正な照明に
基づく変化が欠陥に応じた変化として扱われることとな
って、欠陥についての誤検出がなされる事態等が生じる
虞がある。

【０００４】従って、照明手段が、物体の表面に対して
予め設定された適正な照明を行なう良好な照明状態にお
かれることが極めて重要であり、そのため、照明手段の
照明状態の如何を適宜検査し、その検査結果に基づい
て、照明手段を良好な照明状態のもとに維持するように
なすことが必要とされる。斯かる際において照明手段に
要求される物体の表面に対して予め設定された適正な照
明を行なう良好な照明状態とは、例えば、物体の表面
を、所定の方向に沿って照度が一定の勾配のもとに小か
ら大へと変化していくことになる定勾配変化照度をもっ
て照明する状態，物体の表面を均一な照度をもって照明
する状態等とされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述の如くにして必要
とされる、撮像手段を用いた表面検査装置における照明
手段の照明状態の如何についての検査は、従来、例え
ば、検査用の面が設定され、その検査用の面が、その上
に多数の検査ラインが想定されるとともに、検査される
べき照明手段により照明される状態におかれたもとで、
撮像手段による検査用の面についての撮像が行なわれ、
それにより撮像手段から得られる撮像出力信号に基づい
て、検査用の面上における多数の検査ラインの各々に沿
った輝度変化の計測及び計測結果についての解析が行な
われ、その解析の結果に基づいて照明手段の照明状態の
良否が判定されることにより行なわれている。しかしな
がら、このような検査にあっては、計測結果についての
解析が、膨大な計測データに関する解析とされて、それ
に多大な時間と労力とが要求されることになるととも
に、計測データに関する解析がなされて得られる結果
が、照明手段の照明状態の良否を直感的に判断すること
が困難なものとされるという不都合があり、さらに、そ
の結果、照明手段が良好な照明状態のもとにない場合
に、照明手段を良好な照明状態のもとにおくための処置
が迅速に行なわれないことになってしまう。

【０００６】斯かる点に鑑み、本発明は、物体の表面に
対して予め設定された適正な照明を行なうべく用いられ
る照明手段の照明状態についての良否を判定するにあた
り、照明手段の照明状態の良否を直感的に判断すること
ができる状態を、迅速かつ容易に設定できることになる
照明状態良否判定装置を提供することを目的とする。

【０００７】さらに、本発明は、物体の表面に対して予
め設定された適正な照明を行なうべく用いられる照明手
段の照明状態についての良否を判定するにあたり、照明
手段が良好な照明状態のもとにない場合に、照明手段を
良好な照明状態のもとにおくための処置が迅速に行なわ
れ得ることになるものとされる照明状態良否判定装置を
提供することを他の目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成すべ
く、本発明に係る照明状態良否判定装置は、照明手段に
より照明された面についての撮像を行なう撮像部からの
撮像出力信号に基づく照明状態データを得るデータ形成
部と、照明手段により照明された面が適正な照明のもと
にあるとき撮像部からの撮像出力信号に基づいて得られ
る照明状態データに相当する基準データを送出する基準
データ送出部と、データ形成部から得られる照明状態デ
ータと基準データ送出部から送出される基準データとを
比較し、照明状態データが基準データの範囲内にあると
き第１の比較出力を発生するとともに、照明状態データ
が基準データの範囲から外れているとき第２の比較出力
を発生するデータ比較部とを備え、それに加えて、デー
タ比較部から得られる第１及び第２の比較出力の各々に
応じた変化を伴う画像表示を行い、照明手段の照明状態
を画像表示上の変化をもってあらわす画像表示部が設け
られて、構成される。

【０００９】

【作用】上述の如くに構成される本発明に係る照明状態
良否判定装置にあっては、データ形成部から得られる照
明状態データが、照明手段の面に対する実際の照明状態
をあらわすものとされ、また、基準データ送出部から送
出される基準データが、照明手段の面に対する適正な照
明状態をあらわすものとされる。そして、照明状態デー
タと基準データとを比較するデータ比較部から、照明状
態データが基準データの範囲内にあるとき、即ち、照明
手段の面に対する実際の照明状態が適正であるとき、第
１の比較出力が得られるとともに、照明状態データが基
準データの範囲から外れているとき、即ち、照明手段の
面に対する実際の照明状態が適正でないとき、第２の比
較出力が得られる。それにより、画像表示部により行な
われる、データ比較部から得られる第１及び第２の比較
出力の各々に応じた変化を伴う画像表示は、第１の比較
出力に基づく、照明手段の面に対する実際の照明状態が
適正であることをあらわす部分と、第２の比較出力に基
づく、照明手段の面に対する実際の照明状態が適正でな
いことをあらわす部分とを含むものとされることにな
る。

【００１０】従って、本発明に係る照明状態良否判定装
置によれば、画像表示部により行なわれる、照明手段の
面に対する実際の照明状態が適正であることをあらわす
部分と照明手段の面に対する実際の照明状態が適正でな
いことをあらわす部分とを含むものとされる画像表示に
よって、照明手段の照明状態の良否を直感的に判断する
ことができる状態が設定されることになる。しかも、斯
かる状態の設定は、照明状態データと基準データとの間
のデータ比較が行なわれて、第１及び第２の比較出力が
形成され、その第１及び第２の比較出力に基づく画像表
示が行なわれることによりなされるので、迅速かつ容易
に行なわれる。

【００１１】さらに、このようにして、照明手段の照明
状態の良否を直感的に判断することができる状態が迅速
かつ容易に設定されることにより、照明手段の照明状態
についての良否についての判定の結果、照明手段が良好
な照明状態のもとにない場合に、照明手段を良好な照明
状態のもとにおくための処置が迅速に行なわれ得る状況
がもたらされることになる。

【００１２】

【実施例】図２は、本発明に係る照明状態良否判定装置
の一例を、それにより照明状態の良否が判定される照明
手段と共に示す。

【００１３】図２においては、照明手段１０が、照明状
態の良否判定がなされるべき照明手段、即ち、検査対象
照明手段として配されており、この照明手段１０は、例
えば、ハロゲンランプを内蔵した発光部１１と発光部１
１により発せられた光を透過させるフィルタ部１２とを
含んで構成されている。フィルタ部１２は、予め設定さ
れた特定の方向であるＸ方向に沿って光透過度が小から
大へと次第に変化していき、それを透過した発光部１１
からの光をＸ方向に沿って強度が小から大へと次第に変
化していく照明光となす定勾配変化光透過フィルタ、も
しくは、全体に亙って光透過度が均一であり、それを透
過した発光部１１からの光を全方向において強度が実質
的に一定な照明光となす均一光透過フィルタにより形成
される。

【００１４】照明手段１０に対して、検査用の面１３が
設定されており、この検査用の面１３は、精度が高い平
面とされる。そして、この検査用の面１３に、照明手段
１０からフィルタ部１２を透過して発せられる照明光１
４が、ハーフミラー部１５により反射せしめられて照射
され、それにより、検査用の面１３上に、照明手段１０
からの照明光によって照明された照明領域１３Ｌが形成
される。照明領域１３Ｌは、照明手段１０が良好な照明
状態にあるもとにあっては、フィルタ部１２が定勾配変
化光透過フィルタにより形成される場合に、図３に示さ
れる如く、その一端縁部Ｐから他端縁部Ｑへと上述のＸ
方向に応じて定まるＹ方向に沿って照度が一定の勾配の
もとに小から大へと変化していくことになる定勾配変化
照度をもって照明される状態におかれ、また、フィルタ
部１２が均一光透過フィルタにより形成される場合に、
図４に示される如く、その全体に亙って実質的に均一な
照度をもって照明される状態におかれる。

【００１５】ハーフミラー部１５に関して検査用の面１
３とは反対側となる位置に、撮像部１６が配されてい
る。撮像部１６は、例えば、多数の微小な光電変換領域
が行列配置されるとともに、外部から入射する光に基づ
き各光電変換領域において得られる信号電荷を所定の態
様をもって転送するチャージ・カップルド・ディバイス
（ＣＣＤ）により形成された電荷転送部が設けられた、
受光・光電変換面を備える固体撮像装置により構成され
る。そして、撮像部１６には、検査用の面１３における
照明領域１３Ｌからの光がハーフミラー部１５を通じて
入射し、撮像部１６によって照明領域１３Ｌについての
撮像が行なわれる。

【００１６】照明領域１３Ｌについての撮像を行なう撮
像部１６からは、照明領域１３Ｌにおける実際の照明の
状態に応じた撮像出力信号ＳＩが得られて、その撮像出
力信号ＳＩが撮像出力処理部１７に供給される。そし
て、撮像出力処理部１７から、撮像出力信号ＳＩに基づ
いて得られる、照明手段１０の検査用の面１３に対する
実際の照明状態に応じた出力データＤＯ、及び、出力デ
ータＤＯに基づいて形成された映像信号ＶＯが送出され
る。出力データＤＯは、データ出力端子１８に導出さ
れ、また、映像信号ＶＯは、信号出力端子１９に導出さ
れるとともに、画像表示部２０に供給される。それによ
り、画像表示部２０において、映像信号ＶＯに基づく画
像が再生される。

【００１７】斯かるもとで、撮像出力処理部１７及び画
像表示部２０が、本発明に係る照明状態良否判定装置の
一例の主要部を構成するものとされ、撮像出力処理部１
７の具体構成は、例えば、図１に示される如くのものと
される。

【００１８】図１に示される撮像出力処理部１７の具体
構成例にあっては、撮像部１６からの照明領域１３Ｌに
おける実際の照明の状態に応じた撮像出力信号ＳＩが、
例えば、撮像部１６における各撮像画面分（多数のライ
ン期間分を含む１フレーム期間分）を単位として、信号
入力端子２１を通じてアナログ−ディジタル変換部（Ａ
−Ｄ変換部）２２に供給される。Ａ−Ｄ変換部２２にお
いては、撮像部１６から１フレーム期間分を単位として
順次到来する撮像出力信号ＳＩに基づいて、照明手段１
０により照明された照明領域１３Ｌにおける実際の照明
の状態を輝度レベルをもってあらわす照明状態データＤ
Ｉが形成される。そして、Ａ−Ｄ変換部２２により形成
された照明状態データＤＩが、撮像出力信号ＳＩの１フ
レーム期間分に対応する分宛、フレームメモリ部２３に
格納される。照明状態データＤＩのフレームメモリ部２
３への格納は、メモリ制御部２４からフレームメモリ部
２３に供給される書込制御信号ＣＷ１に従って行なわれ
る。

【００１９】フレームメモリ部２３に格納された、撮像
出力信号ＳＩの１フレーム期間分に対応する照明状態デ
ータＤＩは、メモリ制御部２４からフレームメモリ部２
３に供給される読出制御信号ＣＲ１に従って、例えば、
撮像出力信号ＳＩの各ライン期間分ずつ適宜読み出さ
れ、順次読み出される撮像出力信号ＳＩの各ライン期間
分の照明状態データＤＩの夫々が区分照明状態データＤ
ＩＰとされてデータ比較部２５に供給される。

【００２０】データ比較部２５は、基準データ送出部２
６から、フレームメモリ部２３からの各区分照明状態デ
ータＤＩＰの供給と同期して送出される基準データＤＩ
Ｒが供給される。基準データＤＩＲは、検査用の面１３
における照明領域１３Ｌが適正な照明のもとにあるとき
撮像部１６からの撮像出力信号ＳＩに基づいて得られる
照明状態データＤＩにおける各ライン期間分に相当する
ものとされ、フレームメモリ部２３からの各区分照明状
態データＤＩＰに対応する基準データＤＩＲがデータ比
較部２５に供給される。斯かる基準データＤＩＲは、フ
ィルタ部１２が定勾配変化光透過フィルタにより形成さ
れる場合とフィルタ部１２が均一光透過フィルタにより
形成される場合とでは、当然に異なったものとなる。

【００２１】フィルタ部１２が定勾配変化光透過フィル
タにより形成される場合には、照明領域１３Ｌが適正な
照明のもとにあるとき、即ち、照明手段１０が良好な照
明状態にあるもとにあって、照明領域１３Ｌが、図３に
示される如くに、定勾配変化照度をもって照明される状
態におかれているとき、照明領域１３ＬにおけるＹ方向
に沿う任意の線Ｈａ上の輝度は、照明領域１３Ｌにおけ
る一端縁部ＰからのＹ方向に沿って他端縁部Ｑに向かう
向きに計測される距離Ｄが横軸にとられ、輝度レベルＬ
が縦軸にとられてあらわされる図５のグラフ上におい
て、横軸に対して勾配をもった直線Ｇｕ及びＧｂとの間
の斜線が付されて示される範囲ＬＧ内で変化するものと
なる。従って、線Ｈａに対応する撮像出力信号ＳＩの１
ライン期間分に基づいて得られる照明状態データＤＩに
おける１ライン期間分に相当する基準データＤＩＲは、
図５のグラフ上における範囲ＬＧ内の輝度レベルをあら
わすものとされる。

【００２２】それに対して、フィルタ部１２が均一光透
過フィルタにより形成される場合には、照明領域１３Ｌ
が適正な照明のもとにあるとき、即ち、照明手段１０が
良好な照明状態にあるもとにあって、照明領域１３Ｌ
が、図４に示される如くに、均一な照度をもって照明さ
れる状態におかれているとき、照明領域１３Ｌにおける
Ｙ方向に沿う任意の線Ｈｂ上の輝度は、距離Ｄが横軸に
とられ、輝度レベルＬが縦軸にとられてあらわされる図
６のグラフ上において、横軸に対して平行な直線Ｆｕ及
びＦｂとの間の斜線が付されて示される範囲ＬＦ内で変
化するものとなる。従って、線Ｈｂに対応する撮像出力
信号ＳＩの１ライン期間分に基づいて得られる照明状態
データＤＩにおける１ライン期間分に相当する基準デー
タＤＩＲは、図６のグラフ上における範囲ＬＦ内の輝度
レベルをあらわすものとされる。

【００２３】データ比較部２５においては、フレームメ
モリ部２３から供給される各区分照明状態データＤＩＰ
とそれに対応する基準データＤＩＲとが比較される。そ
して、データ比較部２５からは、区分照明状態データＤ
ＩＰとそれに対応する基準データＤＩＲとの比較の結
果、区分照明状態データＤＩＰがあらわす輝度レベルが
基準データＤＩＲがあらわす輝度レベルの範囲内にある
とき高レベルをあらわし、区分照明状態データＤＩＰが
あらわす輝度レベルが基準データＤＩＲがあらわす輝度
レベルの範囲外であるとき低レベルをあらわす比較出力
データＤＤが形成される。そして、データ比較部２５に
より形成された比較出力データＤＤが、データメモリ部
２７に格納される。比較出力データＤＤのデータメモリ
部２７への格納は、メモリ制御部２８からデータメモリ
部２７に供給される書込制御信号ＣＷ２に従って行なわ
れる。

【００２４】例えば、フィルタ部１２が定勾配変化光透
過フィルタにより形成される場合であって、照明領域１
３Ｌが適正な照明のもとになく、即ち、照明手段１０が
良好な照明状態にされていず、照明領域１３Ｌが、本
来、定勾配変化照度をもって照明される状態におかれる
べきところ、実際には、例えば、図７に示される如く
に、照度が過大とされる部分ＸＡを含むことになると
き、照明領域１３ＬにおけるＹ方向に沿って部分ＸＡを
通る線Ｈｃ上の輝度は、距離Ｄが横軸にとられ、輝度レ
ベルＬが縦軸にとられてあらわされる図８のグラフ上に
おいて、線ＧＸＡによりあらわされるものとされる。斯
かる場合には、線ＧＸＡにおける、図５のグラフ上と同
様にして、直線Ｇｕ及びＧｂとの間の斜線が付されて示
される範囲ＬＧから外れる部分が、照明領域１３Ｌにお
ける線Ｈｃ上の照度が過大とされている部分をあらわし
ている。

【００２５】従って、データ比較部２５における、線Ｈ
ｃに対応する撮像出力信号ＳＩの１ライン期間分に基づ
く区分照明状態データＤＩＰとそれに対応する基準デー
タＤＩＲとの比較にあっては、図８のグラフ上において
線ＧＸＡの範囲ＬＧ内にある部分に対応して高レベルを
あらわす比較出力データＤＤが得られ、また、図８のグ
ラフ上において線ＧＸＡの範囲ＬＧから外れる部分に対
応して低レベルをあらわす比較出力データＤＤが得られ
る。

【００２６】また、フィルタ部１２が均一光透過フィル
タにより形成される場合であって、照明領域１３Ｌが適
正な照明のもとになく、即ち、照明手段１０が良好な照
明状態にされていず、照明領域１３Ｌが、本来、均一な
照度をもって照明される状態におかれるべきところ、実
際には、例えば、図９に示される如くに、照度が過大と
される部分ＸＢ及び照度が過小とされる部分ＸＣを含む
ことになるとき、照明領域１３ＬにおけるＹ方向に沿っ
て部分ＸＢを通る線Ｈｄ上の輝度は、距離Ｄが横軸にと
られ、輝度レベルＬが縦軸にとられてあらわされる図１
０のグラフ上において、線ＦＸＢによりあらわされるも
のとされ、また、照明領域１３ＬにおけるＹ方向に沿っ
て部分ＸＣを通る線Ｈｅ上の輝度は、図１０のグラフ上
において、線ＦＸＣによりあらわされるものとされる。
斯かる場合には、線ＦＸＢにおける、図６のグラフ上と
同様にして、直線Ｆｕ及びＦｂとの間の斜線が付されて
示される範囲ＬＦから外れる部分が、照明領域１３Ｌに
おける線Ｈｄ上の照度が過大とされている部分をあらわ
し、また、線ＦＸＣにおける範囲ＬＦから外れる部分
が、照明領域１３Ｌにおける線Ｈｅ上の照度が過小とさ
れている部分をあらわしている。

【００２７】従って、データ比較部２５における、線Ｈ
ｄに対応する撮像出力信号ＳＩの１ライン期間分に基づ
く区分照明状態データＤＩＰとそれに対応する基準デー
タＤＩＲとの比較にあっては、図１０のグラフ上におい
て線ＦＸＢの範囲ＬＦ内にある部分に対応して高レベル
をあらわす比較出力データＤＤが得られるとともに、図
１０のグラフ上において線ＦＸＢの範囲ＬＦから外れる
部分に対応して低レベルをあらわす比較出力データＤＤ
が得られる。また、線Ｈｅに対応する撮像出力信号ＳＩ
の１ライン期間分に基づく区分照明状態データＤＩＰと
それに対応する基準データＤＩＲとの比較にあっては、
図１０のグラフ上において線ＦＸＣの範囲ＬＦ内にある
部分に対応して高レベルをあらわす比較出力データＤＤ
が得られるとともに、図１０のグラフ上において線ＦＸ
Ｃの範囲ＬＦから外れる部分に対応して低レベルをあら
わす比較出力データＤＤが得られる。

【００２８】データメモリ部２７に格納された高レベル
もしくは低レベルをあらわす比較出力データＤＤは、メ
モリ制御部２８からデータメモリ部２７に供給される読
出制御信号ＣＲ２に従って、例えば、フレームメモリ部
２３に格納された撮像出力信号ＳＩの１フレーム期間分
に対応する照明状態データＤＩに対応する分ずつ適宜読
み出されて、出力データＤＯとされる。そして、データ
メモリ部２７から得られる出力データＤＯは、データ出
力端子１８に導出されるとともに、映像信号形成部３０
に供給される。

【００２９】上述の如くの動作を行なう撮像部１６，メ
モリ制御部２４，基準データ送出部２６及びメモリ制御
部２８は、それらに対して設けられた制御ユニット２９
からの動作制御信号ＣＩ，ＣＭ１，ＣＳ及びＣＭ２が夫
々供給されて、相互間の動作タイミングの制御等が制御
ユニット２９により総合的に行なわれるものとされてい
る。

【００３０】映像信号形成部３０においては、出力デー
タＤＯ、即ち、データメモリ部２７から読み出された比
較出力データＤＤに基づき、例えば、比較出力データＤ
Ｄがあらわす高レベルに応じて白レベルをとるととも
に、比較出力データＤＤがあらわす低レベルに応じて黒
レベルをとるものとされる映像信号ＶＯが形成される。
そして、映像信号形成部３０から得られる映像信号ＶＯ
が、信号出力端子１９に導出されるとともに、画像表示
部２０に供給される。

【００３１】それにより、画像表示部２０において、映
像信号ＶＯに基づく画像再生が行なわれ、映像信号ＶＯ
の白レベルに応じて白い部分があらわされ、また、映像
信号ＶＯの黒レベルに応じて黒い部分があらわされる画
像が得られる。斯かる画像が得られる画像表示部２０に
おける画像画面は、撮像部１６により撮像された検査用
の面１３における照明領域１３Ｌに対応することにな
る。それにより、例えば、上述の如くに、フィルタ部１
２が定勾配変化光透過フィルタにより形成される場合で
あって、照明領域１３Ｌが適正な照明のもとになく、照
明領域１３Ｌが、本来、定勾配変化照度をもって照明さ
れる状態におかれるべきところ、実際には、図７に示さ
れる如くに、照度が過大とされる部分ＸＡを含むことに
なるときには、画像表示部２０における画像画面は、図
１１に示される如く、照明領域１３Ｌにおける照度が過
大とされる部分ＸＡに対応して黒い部分ＡＢがあらわさ
れ、照明領域１３Ｌにおける照度が適正な範囲とされる
部分に対応して白い部分ＡＷがあらわされるものとされ
る。

【００３２】また、同じく、上述の如くに、フィルタ部
１２が均一光透過フィルタにより形成される場合であっ
て、照明領域１３Ｌが適正な照明のもとになく、照明領
域１３Ｌが、本来、均一な照度をもって照明される状態
におかれるべきところ、実際には、例えば、図９に示さ
れる如くに、照度が過大とされる部分ＸＢ及び照度が過
小とされる部分ＸＣを含むことになるときには、画像表
示部２０における画像画面は、図１２に示される如く、
照明領域１３Ｌにおける照度が過大とされる部分ＸＢ及
び照度が過小とされる部分ＸＣの夫々に対応して黒い部
分ＡＢがあらわされ、照明領域１３Ｌにおける照度が適
正な範囲とされる部分に対応して白い部分ＡＷがあらわ
されるものとされる。

【００３３】このようにして、画像表示部２０における
画像画面は、照明手段１０により照明領域１３Ｌに対す
る照明が適正になされている状態と適正になされていな
い状態とを、夫々、白い部分と黒い部分とで区分してあ
らわすことになり、従って、照明手段１０の照明領域１
３Ｌに対する照明状態の良否を、極めて明瞭に把握で
き、直感的に判断することができるものとされることに
なる。しかも、撮像部１６により照明領域１３Ｌについ
ての撮像が行なわれた後、膨大な計測データの解析等が
伴われることなく、迅速に画像表示部２０における画像
画面が得られることになる。

【００３４】なお、上述の例においては、画像表示部２
０における画像画面が、照明手段１０により照明領域１
３Ｌに対する照明が適正になされている状態と適正にな
されていない状態とを、夫々、白い部分と黒い部分とで
区分してあらわすものとされているが、本発明に係る照
明状態良否判定装置は、斯かる例に限られることなく、
例えば、画像表示部２０における画像画面を、照明手段
１０により照明領域１３Ｌに対する照明が適正になされ
ている状態と適正になされていない状態とを、夫々、色
光を異にする部分により区分してあらわすもの，表示模
様を異にする部分により区分してあらわすもの等とする
こともできる。要は、本発明に係る照明状態良否判定装
置における画像表示部は、照明手段１０の照明領域１３
Ｌに対する照明状態を、画像表示上の変化をもってあら
わすものとされればよい。

【００３５】

【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、本発明に
係る照明状態良否判定装置にあっては、画像表示部によ
り行なわれる画像表示が、照明手段の面に対する実際の
照明状態が適正であることをあらわす部分と、照明手段
の面に対する実際の照明状態が適正でないことをあらわ
す部分とを含むものとされることになるので、画像表示
部により行なわれる、照明手段の面に対する実際の照明
状態が適正であることをあらわす部分と照明手段の面に
対する実際の照明状態が適正でないことをあらわす部分
とを含むものとされる画像表示によって、照明手段の照
明状態の良否を直感的に判断することができる状態が設
定されることになる。しかも、斯かる状態の設定は、撮
像部からの撮像出力信号に基づいて形成される照明状態
データと基準データとの比較が行なわれ、それによって
得られる比較出力に基づく画像表示が行なわれることに
よりなされるので、迅速かつ容易に行なわれる。

【００３６】さらに、本発明に係る照明状態良否判定装
置によれば、照明手段の照明状態の良否を直感的に判断
することができる状態が迅速かつ容易に設定されること
により、照明手段の照明状態についての良否についての
判定の結果、照明手段が良好な照明状態のもとにない場
合に、照明手段を良好な照明状態のもとにおくための処
置が迅速に行なわれ得る状況をもたらすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る照明状態良否判定装置一例におけ
る主要部の構成を示すブロック構成図である。

【図２】本発明に係る照明状態良否判定装置の一例を、
それにより照明状態の良否が判定される照明手段と共に
示す概略構成図である。

【図３】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供される概念図である。

【図４】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供される概念図である。

【図５】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供されるグラフである。

【図６】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供されるグラフである。

【図７】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供される概念図である。

【図８】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供されるグラフである。

【図９】照明手段の検査用の面における照明領域に対す
る照明状態の説明に供される概念図である。

【図１０】照明手段の検査用の面における照明領域に対
する照明状態の説明に供されるグラフである。

【図１１】本発明に係る照明状態良否判定装置の一例に
おける画像表示部により得られる画像の説明に供される
概念図である。

【図１２】本発明に係る照明状態良否判定装置の一例に
おける画像表示部により得られる画像の説明に供される
概念図である。

【符号の説明】

１０ 照明手段 １２ フィルタ部 １３ 検査用の面 １３Ｌ 照明領域 １５ ハーフミラー部 １６ 撮像部 １７ 撮像出力処理部 ２０ 画像表示部 ２２ Ａ−Ｄ変換部 ２３ フレームメモリ部 ２４，２８ メモリ制御部 ２５ データ比較部 ２６ 基準データ送出部 ２７ データメモリ部 ２９ 制御ユニット ３０ 映像信号形成部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】照明手段により照明された面についての撮
   像を行なう撮像部からの撮像出力信号に基づく照明状態
   データを得るデータ形成部と、 上記面が適正な照明のもとにあるとき上記撮像部からの
   撮像出力信号に基づいて得られる照明状態データに相当
   する基準データを送出する基準データ送出部と、 上記データ形成部から得られる照明状態データと上記基
   準データ送出部から送出される基準データとを比較し、
   上記照明状態データが上記基準データの範囲内にあると
   き第１の比較出力を発生するとともに、上記照明状態デ
   ータが上記基準データの範囲から外れているとき第２の
   比較出力を発生するデータ比較部と、 該データ比較部から得られる第１及び第２の比較出力の
   各々に応じた変化を伴う画像表示を行い、上記照明手段
   の照明状態を画像表示上の変化をもってあらわす画像表
   示部と、を備えて構成される照明状態良否判定装置。
2. 【請求項２】データ形成部が、撮像部から順次得られる
   該撮像部による撮像画面の全体に亙る撮像出力信号に応
   じて、該撮像出力信号に基づく照明状態データを順次形
   成することを特徴とする請求項１記載の照明状態良否判
   定装置。
3. 【請求項３】基準データ送出部及びデータ比較部が、デ
   ータ形成部により形成される照明状態データを、撮像部
   から順次得られる撮像出力信号における各ライン期間分
   に相当する分を単位として、対応する基準データと比較
   することを特徴とする請求項２記載の照明状態良否判定
   装置。
4. 【請求項４】画像表示部が、データ比較部から得られる
   第１及び第２の比較出力の夫々に対応する部分から成る
   画像画面を形成し、上記第１の比較出力に対応する部分
   と上記第２の比較出力に対応する部分とで画像表示態様
   を異にするものとされることを特徴とする請求項２記載
   の照明状態良否判定装置。