JPH07212014A - Clogging removing method for substrate through hole - Google Patents

Clogging removing method for substrate through hole

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JPH07212014A
JPH07212014A JP411394A JP411394A JPH07212014A JP H07212014 A JPH07212014 A JP H07212014A JP 411394 A JP411394 A JP 411394A JP 411394 A JP411394 A JP 411394A JP H07212014 A JPH07212014 A JP H07212014A
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JP
Japan
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resist material
substrate
hole
holes
nozzle
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JP411394A
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Japanese (ja)
Inventor
洋一 ▲真▼道
Yoichi Shindo
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MEIWA KK
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MEIWA KK
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Abstract

PURPOSE:To completely remove the clogging of a through hole without any restriction on the coating of a resist material in an optimum state CONSTITUTION:The surface of a substrate 2, having a through hole 4, is coated with resist material 1. Then, before the resist material 1 is completely dried up, a gas stream is suddenly generated in the through hole 4. The resist material 1, with which the through hole is blocked, is removed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、回路基板の製造工程に
おいて、基板に設けられたスルホールが、基板表面に塗
布されたレジスト材料によってふさがれたままになるの
を防止する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of preventing through holes formed in a substrate from being left blocked by a resist material applied to the surface of the substrate in the process of manufacturing a circuit substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】写真法により基板にソルダマスクを形成
するために、感光性フォトレジスト材料が基板表面に塗
布される。塗布方法としては、スクリーン印刷法、ロー
ルコーター塗布法、スピンナー塗布法、スプレー塗布
法、カーテンコーター塗布法などが知られている。
2. Description of the Related Art A photosensitive photoresist material is applied to the surface of a substrate to form a solder mask on the substrate by a photographic method. As a coating method, a screen printing method, a roll coater coating method, a spinner coating method, a spray coating method, a curtain coater coating method and the like are known.

【0003】しかしながら、いずれの塗布方法を採用し
た場合にも、レジスト材料が基板のスルホールをふさい
でしまうことにより、種々の問題が起きている。
However, no matter which coating method is adopted, various problems occur due to the resist material blocking the through holes of the substrate.

【0004】例えば基板の両面に塗布されたレジスト材
料がスルホールの両端をふさいだまま加熱乾燥される
と、スルホール内部の圧力上昇によりレジスト材料の破
裂が生じる。また、スルホールの片側がふさがれている
状態で反対側をコートした場合、スルホールがふさがれ
ていない箇所が生じ、片側のみふさがれている状態にな
る。以上のような場合、後工程において処理液等が洗浄
されにくく、スルホール内に残った残痕が時間の経過に
より化学変化を起こし、スルホール内断線になるおそれ
がある。また、スルホール内にレジスト材料が詰まった
場合には、これを現像時に除去しきれず、スルホール内
レジスト残りとなる。
For example, if the resist material applied to both surfaces of the substrate is heated and dried while blocking both ends of the through hole, the pressure inside the through hole rises and the resist material bursts. Further, when one side of the through hole is blocked and the other side is coated, there are some areas where the through hole is not blocked, and only one side is blocked. In the case as described above, the treatment liquid or the like is difficult to be washed in the subsequent step, and the residual marks left in the through holes may chemically change over time, resulting in disconnection in the through holes. Further, when the resist material is clogged in the through hole, it cannot be completely removed during development, and the resist in the through hole remains.

【0005】そこで、レジスト材料によってスルホール
がふさがれることのないよう、いくつかの提案がなされ
ていた。例えば、従来のある方法では、特定粘度範囲の
ソルダレジスト材料をカーテンコーターにより制御され
た落下速度で薄く塗布することによりスルホール内への
レジスト材料の侵入をできるだけ少なくすることが提案
された(特開昭54−82073号公報)。しかしなが
ら、回路を形成されて凹凸のある基板表面をソルダレジ
スト材料で充分に覆うには、ある程度塗膜を厚くして被
覆不良がないようにしなくてはならない。一方、塗膜を
厚くするために塗布作業を何回か繰り返すとすれば、せ
っかくのカーテンコーターの効率性が無意味になってし
まう。
Therefore, several proposals have been made to prevent the through holes from being blocked by the resist material. For example, in one conventional method, it has been proposed that a solder resist material having a specific viscosity range is thinly applied at a controlled drop speed by a curtain coater to minimize the invasion of the resist material into the through hole (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-242242). JP-A-54-82073). However, in order to sufficiently cover the surface of the substrate on which the circuit is formed and has irregularities with the solder resist material, it is necessary to thicken the coating film to some extent to prevent defective coating. On the other hand, if the coating operation is repeated several times in order to thicken the coating film, the efficiency of the curtain coater will be meaningless.

【0006】また、別の従来方法では、現像性および溶
解性に優れた特定組成の感光液をソルダレジストとして
利用することにより、カーテンコーターによる塗布時に
スルホール内に流入したレジスト材料を現像時に除去し
やすいようにすることが提案されている(特開昭63−
80594号公報)。しかしながら、この方法において
は、レジスト材料を確実に除去するためには、使用され
るレジスト材料の組成が制約を受けることになる。
[0006] In another conventional method, a photosensitive solution having a specific composition excellent in developability and solubility is used as a solder resist to remove the resist material flowing into the through holes during coating by a curtain coater during development. It has been proposed to make it easier (Japanese Patent Laid-Open No. 63-
80594). However, in this method, the composition of the resist material used is restricted in order to reliably remove the resist material.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決すべき課
題は、レジスト材料の理想的な状態での塗布に何ら制約
を加えることなく、スルホールの目詰まりを確実に除去
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The problem to be solved by the present invention is to reliably remove the clogging of through holes without any restrictions on the application of the resist material in an ideal state.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、回路基板の製造工程において、ス
ルホールを有する基板の表面にレジスト材料を塗布した
後、レジスト材料が完全に乾燥する前にスルホール内に
急激な気体流を生じせしめ、この急激な気体流によっ
て、スルホールをふさいでいるレジスト材料を除去する
ことを特徴とする、基板のスルホールの目詰まり除去方
法が提供される。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, after the resist material is applied to the surface of the substrate having through holes in the circuit board manufacturing process, the resist material is completely dried. There is provided a method for removing clogging of a through hole of a substrate, which is characterized in that a rapid gas flow is previously generated in the through hole, and the resist material blocking the through hole is removed by the rapid gas flow.

【0009】前記急激な気体流は、前記スルホールに向
けられたノズルからの気体噴射によって得られるものと
することができる。
The sudden gas flow may be obtained by gas injection from a nozzle directed to the through hole.

【0010】また、前記急激な気体流が、前記スルホー
ルに向けられたノズルによる気体吸引によって得られる
ようにしてもよい。
The sudden gas flow may be obtained by gas suction by a nozzle directed to the through hole.

【0011】さらに、前記基板を挟んで前記気体噴射用
のノズルと反対側の位置に減圧ボックスを配置するよう
にしてもよい。
Further, a decompression box may be arranged at a position opposite to the gas injection nozzle with the substrate interposed therebetween.

【0012】前記ノズルはスリットノズルとすることが
できる。
The nozzle may be a slit nozzle.

【0013】前記基板の表面へのレジスト材料の塗布
は、カーテンコーターによって行うことができる。
The coating of the resist material on the surface of the substrate can be performed by a curtain coater.

【0014】[0014]

【作用】回路基板の製造工程において、本発明による目
詰まり除去方法は、スルホールを有する基板の表面にレ
ジスト材料を塗布した後であって、レジスト材料が完全
に乾燥する前に行われる。回路パターンやソルダマスク
を形成するために基板表面に塗布されるレジスト材料の
組成や粘度、また、塗膜の厚さなどの種々の塗布条件
は、目的にかなった最適の塗布が行われるよう、自由に
設定することができる。
In the circuit board manufacturing process, the method for removing clogging according to the present invention is performed after the resist material is applied to the surface of the substrate having through holes and before the resist material is completely dried. Various coating conditions such as the composition and viscosity of the resist material that is applied to the substrate surface to form the circuit pattern and solder mask, and the thickness of the coating film are set so that the optimum coating can be performed according to the purpose. Can be set to.

【0015】基板への塗布時、レジスト材料はスルホー
ルの端部を覆ったり、あるいはスルホール内部に入り込
んで、スルホールをふさいでしまうことがある。本発明
を実施するにあたっては、これらの事態をあえて積極的
に防止する必要はない。本発明は、スルホール内に急激
な気体流を生じせしめ、その勢いによって、スルホール
の端部または内部をふさいでいるレジスト材料を除去し
ようとするものであるからである。したがって、この目
詰まり除去作業は、レジスト材料の塗布終了後、レジス
ト材料が完全に乾燥する前に行われる必要がある。スル
ホール内に生じせしめる急激な気体流は、スルホールに
向けられたノズルからの気体噴射によって与えてもよい
し、スルホールに向けられたノズルによる気体吸引によ
って与えてもよい。さらに言えば、基板を挟んで気体噴
射用のノズルと反対側の位置に減圧ボックスを配置する
ようにしてもよい。
At the time of coating on the substrate, the resist material may cover the ends of the through holes or enter the inside of the through holes to block the through holes. In carrying out the present invention, it is not necessary to intentionally prevent these situations. This is because the present invention is intended to cause a rapid gas flow in the through hole and to remove the resist material blocking the end portion or the inside of the through hole by its force. Therefore, this clogging removal work needs to be performed after the application of the resist material is completed and before the resist material is completely dried. The rapid gas flow generated in the through hole may be provided by the gas injection from the nozzle directed toward the through hole or the gas suction by the nozzle directed toward the through hole. Further, the decompression box may be arranged at a position opposite to the gas injection nozzle with the substrate sandwiched therebetween.

【0016】スルホールの端部または内部をふさいでい
るレジスト材料は、気体噴射によって押され、または気
体吸引によって引かれ、スルホールの端部または内部か
ら外方へと除去される。
The resist material covering the ends or the inside of the through holes is pushed by a gas jet or drawn by a gas suction, and is removed outward from the ends or the inside of the through holes.

【0017】完全乾燥前のレジスト材料が塗布された基
板は、基板下面の両縁部を支持する搬送コンベヤによっ
て搬送されるようにしてもよい。そして、この搬送路の
上側または下側にノズルを配置し、基板がこれらのノズ
ルを通過するときに気体噴射または気体吸引が行われる
ようにしてもよい。ノズルの形状は、基板の幅方向に延
びる開口を有するスリットノズルとすることができる。
The substrate coated with the resist material before complete drying may be transported by a transport conveyor that supports both edges of the lower surface of the substrate. Then, nozzles may be arranged on the upper side or the lower side of this transport path so that gas injection or gas suction is performed when the substrate passes through these nozzles. The shape of the nozzle may be a slit nozzle having an opening extending in the width direction of the substrate.

【0018】基板の表面へのレジスト材料の塗布は、最
適のものとされるカーテンコーターによって行うことが
できる。
The coating of the resist material on the surface of the substrate can be performed by a curtain coater which is optimized.

【0019】[0019]

【実施例】図1および図2には、例えばカーテンコータ
ー等で一方の表面にレジスト材料1を塗布された基板2
が、コンベヤ装置(図示せず)によって矢印3の方向に
搬送されている状態が示されている。図1に示すよう
に、基板2に形成された小径のスルホール4の上側開口
端部は、レジスト材料1によって覆われている。基板搬
送路の上方には気体吸引用の減圧ボックス5が配置さ
れ、これに対向して搬送路の下方には気体噴射用のノズ
ル6が配置されている。図2からわかるように、ノズル
6は基板2の幅方向に延びる開口を有するスリットノズ
ルとして形成されている。また、図2に示すように、気
体噴射用のノズル6を減圧ボックス5’内に配置するよ
うにしてもよい。
1 and 2, a substrate 2 whose one surface is coated with a resist material 1 by a curtain coater or the like.
Are conveyed in the direction of arrow 3 by a conveyor device (not shown). As shown in FIG. 1, the upper opening end portion of the small diameter through hole 4 formed in the substrate 2 is covered with the resist material 1. A decompression box 5 for sucking gas is arranged above the substrate transfer path, and a nozzle 6 for injecting gas is arranged facing the decompression box 5 below the transfer path. As can be seen from FIG. 2, the nozzle 6 is formed as a slit nozzle having an opening extending in the width direction of the substrate 2. Further, as shown in FIG. 2, the gas injection nozzle 6 may be arranged in the decompression box 5 ′.

【0020】作動状態にある減圧ボックス5およびノズ
ル6間を、レジスト材料1がまだ完全には乾燥していな
い状態の基板2が搬送されるときに、基板2のスルホー
ル4の位置がノズル6の開口位置と整合すると(図
1)、スルホール4の上側開口端部を覆っているレジス
ト材料1は、ノズル6からの急激な気体流に押されてス
ルホール4内を上方に通過せしめられる。この間、減圧
ボックス5は気体吸引作用を行う。開口端部を覆うレジ
スト材料1を既に除去されたスルホールを符号4’で示
す。レジスト材料1の粘度が比較的低く、塗布時にスル
ホール4内に流入して詰まってしまうこともあるが、こ
のようなレジスト材料1の除去にも本発明の方法は有効
である。
When the substrate 2 in which the resist material 1 is not completely dried is conveyed between the depressurizing box 5 and the nozzle 6 in the operating state, the position of the through hole 4 of the substrate 2 is the position of the nozzle 6. When aligned with the opening position (FIG. 1), the resist material 1 covering the upper opening end of the through hole 4 is pushed upward by the rapid gas flow from the nozzle 6 to pass through the through hole 4. During this time, the decompression box 5 performs a gas suction action. Reference numeral 4'denotes a through hole in which the resist material 1 covering the opening end has already been removed. Although the viscosity of the resist material 1 is relatively low, it may flow into the through holes 4 and become clogged during coating, but the method of the present invention is also effective for removing such resist material 1.

【0021】図3には本発明の方法を実施する別の態様
が示されている。(a)は下から気体流を噴射するだけ
の場合、(b)は下から気体吸引するだけの場合、
(c)は上から気体吸引するだけの場合である。
FIG. 3 shows another embodiment for carrying out the method of the present invention. (A) is a case of only injecting a gas flow from below, (b) is a case of only sucking a gas from below,
(C) is a case where gas is only sucked from above.

【0022】ノズルから噴射される気体は、空気でもよ
いし、それ以外の成分の気体でもよい。
The gas jetted from the nozzle may be air or a gas of other components.

【0023】基板2の両面にレジスト材料1を塗布する
場合であれば、片方の面にレジスト材料を塗布してから
上述したようにスルホール4の目詰まりを除去し、しか
るのち、残りの面にレジスト材料1を塗布し、同様にし
てスルホール4の目詰まりを除去すればよい。短時間の
うちに両面にレジスト材料1を塗布することが可能であ
るならば、両面への塗布が終了した後にスルホール4の
両端部における目詰まりを同時に除去するようにしても
よい。
When the resist material 1 is applied to both surfaces of the substrate 2, the resist material is applied to one surface of the substrate 2 and then the clogging of the through holes 4 is removed as described above, and then the remaining surface is applied. The resist material 1 may be applied and the through holes 4 may be similarly clogged. If the resist material 1 can be applied to both surfaces in a short time, the clogging at both ends of the through hole 4 may be simultaneously removed after the application to both surfaces is completed.

【0024】本発明の方法は、最も理想的とされるカー
テンコーター塗布方法以外の塗布方法を用いた場合にも
有効である。
The method of the present invention is also effective when a coating method other than the most ideal curtain coater coating method is used.

【0025】本発明の方法は、回路パターンやソルダマ
スクを形成するために基板に塗布されるレジスト材料に
よるスルホールの目詰まりを除去するのに最適である
が、他の目的のためにレジスト材料が塗布される場合に
も有効である。
The method of the present invention is most suitable for removing the clogging of through holes due to the resist material applied to the substrate for forming a circuit pattern or a solder mask, but the resist material is applied for other purposes. It is also effective when

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明の方法によれば、レジスト材料を
最適な状態で塗布することに何ら制約を加えることな
く、スルホールの目詰まりを確実に除去することができ
る。
According to the method of the present invention, it is possible to surely remove the clogging of the through holes without applying any restriction to the application of the resist material in the optimum state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】スルホールの端部上を覆うレジスト材料を本発
明の方法により除去する一態様を示す概略側断面図。
FIG. 1 is a schematic side sectional view showing an embodiment of removing a resist material covering an end portion of a through hole by a method of the present invention.

【図2】図1で示した態様の斜示図。2 is a perspective view of the embodiment shown in FIG. 1. FIG.

【図3】本発明の方法の他の態様を示す概略側断面図。FIG. 3 is a schematic side sectional view showing another embodiment of the method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レジスト材料、2 基板、4 スルホール、5 上
側ノズル、6 下側ノズル。
1 resist material, 2 substrate, 4 through hole, 5 upper nozzle, 6 lower nozzle.

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─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成6年2月2日[Submission date] February 2, 1994

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図1[Name of item to be corrected] Figure 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図1】 [Figure 1]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図2[Name of item to be corrected] Figure 2

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図2】 [Fig. 2]

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路基板の製造工程において、スルホー
ルを有する基板の表面にレジスト材料を塗布した後、レ
ジスト材料が完全に乾燥する前にスルホール内に急激な
気体流を生じせしめ、この急激な気体流によって、スル
ホールをふさいでいるレジスト材料を除去することを特
徴とする、基板のスルホールの目詰まり除去方法。
1. In a circuit board manufacturing process, after a resist material is applied to the surface of a substrate having through holes, a rapid gas flow is generated in the through holes before the resist material is completely dried. A method for removing clogging of through-holes in a substrate, characterized in that the resist material that blocks the through-holes is removed by a flow.
【請求項2】 前記急激な気体流が、前記スルホールに
向けられたノズルからの気体噴射によって得られること
を特徴とする請求項1記載の目詰まり除去方法。
2. The clogging removal method according to claim 1, wherein the rapid gas flow is obtained by gas injection from a nozzle directed to the through hole.
【請求項3】 前記急激な気体流が、前記スルホールに
向けられたノズルによる気体吸引によって得られること
を特徴とする請求項1記載の目詰まり除去方法。
3. The clogging removal method according to claim 1, wherein the rapid gas flow is obtained by gas suction by a nozzle directed to the through hole.
【請求項4】 前記基板を挟んで前記ノズルと反対側の
位置に減圧ボックスが配置されていることを特徴とする
請求項2記載の目詰まり除去方法。
4. The method for removing clogging according to claim 2, wherein a decompression box is arranged at a position opposite to the nozzle with the substrate interposed therebetween.
【請求項5】 前記ノズルがスリットノズルであること
を特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の目詰
まり除去方法。
5. The method for removing clogging according to claim 1, wherein the nozzle is a slit nozzle.
【請求項6】 前記基板の表面へのレジスト材料塗布が
カーテンコーターによって行われることを特徴とする請
求項1ないし5のいずれかに記載の目詰まり除去方法。
6. The method of removing clogging according to claim 1, wherein the resist material is applied to the surface of the substrate by a curtain coater.
JP411394A 1994-01-19 1994-01-19 Clogging removing method for substrate through hole Pending JPH07212014A (en)

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