JPH07208971A - 物体検出方法 - Google Patents
物体検出方法Info
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- JPH07208971A JPH07208971A JP1477494A JP1477494A JPH07208971A JP H07208971 A JPH07208971 A JP H07208971A JP 1477494 A JP1477494 A JP 1477494A JP 1477494 A JP1477494 A JP 1477494A JP H07208971 A JPH07208971 A JP H07208971A
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- JP
- Japan
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- coil
- width
- interval
- light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 確実に物体の位置を測定し、信頼度の高いコ
イル搬送を実現させる。 【構成】 投光部３１と受光部３３を有する距離計３０
を物体を横切るように相対移動させ、この間の距離計３
０の出力変化から演算装置４０を介して物体を検出する
物体検出方法であって、前記演算装置４０は物体の高さ
変化、複数の物体間の間隔および物体の幅が予め設定さ
れた関係にあるか否かを演算する。
イル搬送を実現させる。 【構成】 投光部３１と受光部３３を有する距離計３０
を物体を横切るように相対移動させ、この間の距離計３
０の出力変化から演算装置４０を介して物体を検出する
物体検出方法であって、前記演算装置４０は物体の高さ
変化、複数の物体間の間隔および物体の幅が予め設定さ
れた関係にあるか否かを演算する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は離れた位置にある物体を
光又は超音波を利用して検出する物体検出方法に関す
る。
光又は超音波を利用して検出する物体検出方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の物体検出方法の一例として製鋼工
場で生産される製鋼コイル（以下コイルという）を天井
クレーンで自動搬送する際に用いられるコイルの位置検
出方法を説明する。
場で生産される製鋼コイル（以下コイルという）を天井
クレーンで自動搬送する際に用いられるコイルの位置検
出方法を説明する。
【０００３】台車によりコイルヤードに搬入されたコイ
ルを天井クレーンにより自動で吊り上げる場合、天井ク
レーンをコイルに正確に誘導するために、コイルの位置
及び大きさを正確に検出する必要がある。このためコイ
ル位置検出装置として、例えば特開平３−１６２３９５
号公報に記載の発明がある。前記発明の検出装置はレー
ザ光源と、レーザ光源のスポット光をコイルの縦又は横
方向にスキャンする２台の走査ミラーと、コイルに照射
したスポット光を撮影する２台のＴＶカメラからなって
おり、これ等を天井クレーン上に設置している。そして
レーザ光をコイルに向けて照射し、その反射光によりコ
イル位置を三次元位置座標に変換し、コイル位置を計算
するように構成されている。
ルを天井クレーンにより自動で吊り上げる場合、天井ク
レーンをコイルに正確に誘導するために、コイルの位置
及び大きさを正確に検出する必要がある。このためコイ
ル位置検出装置として、例えば特開平３−１６２３９５
号公報に記載の発明がある。前記発明の検出装置はレー
ザ光源と、レーザ光源のスポット光をコイルの縦又は横
方向にスキャンする２台の走査ミラーと、コイルに照射
したスポット光を撮影する２台のＴＶカメラからなって
おり、これ等を天井クレーン上に設置している。そして
レーザ光をコイルに向けて照射し、その反射光によりコ
イル位置を三次元位置座標に変換し、コイル位置を計算
するように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記検
出方法は、屋内外を問わず実施されるものであるが、物
体測定エリア内に鳩等がコイル上面に飛来した場合には
その影響により誤測定するという問題点があった。
出方法は、屋内外を問わず実施されるものであるが、物
体測定エリア内に鳩等がコイル上面に飛来した場合には
その影響により誤測定するという問題点があった。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みて創案されたもの
で、従来の欠点をカバーし、確実にコイルの位置を測定
し、信頼性の高いコイル搬送を実現させる物体検出方法
を提供するすることを目的とする。
で、従来の欠点をカバーし、確実にコイルの位置を測定
し、信頼性の高いコイル搬送を実現させる物体検出方法
を提供するすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る物体検出方
法は、光又は超音波を物体に向けて発射する発信部と、
前記物体から反射する反射光又は反射超音波を受信する
受信部とを備えた距離計を前記物体を横切るように相対
移動させ、この間の距離計の出力変化から演算装置を介
して前記物体を検出する物体検出方法であって、前記演
算装置は物体の高さ変化、複数の物体間の間隔および物
体の幅が予め設定された関係にあるか否かを演算するよ
うにしたことを特徴としている。
法は、光又は超音波を物体に向けて発射する発信部と、
前記物体から反射する反射光又は反射超音波を受信する
受信部とを備えた距離計を前記物体を横切るように相対
移動させ、この間の距離計の出力変化から演算装置を介
して前記物体を検出する物体検出方法であって、前記演
算装置は物体の高さ変化、複数の物体間の間隔および物
体の幅が予め設定された関係にあるか否かを演算するよ
うにしたことを特徴としている。
【０００７】そして前記演算装置によって、物体の高さ
変化、複数の物体間の間隔および物体の幅が前記予め設
定された関係にあると判断した場合に、複数の物体間の
間隔および物体の幅を修正演算するようにしたものを含
んでいる。
変化、複数の物体間の間隔および物体の幅が前記予め設
定された関係にあると判断した場合に、複数の物体間の
間隔および物体の幅を修正演算するようにしたものを含
んでいる。
【０００８】
【作用】演算装置は物体の高さ変化、複数の物体間の間
隔および物体の幅が予め設定された関係にあるか演算
し、これが予め設定された関係にあるときはノイズあり
と判断し複数の物体間の間隔および物体の幅を修正演算
し、ノイズを除去する。
隔および物体の幅が予め設定された関係にあるか演算
し、これが予め設定された関係にあるときはノイズあり
と判断し複数の物体間の間隔および物体の幅を修正演算
し、ノイズを除去する。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図１は本発明に使用する物体検出方法（以下本
発明方法という）の正常動作時を説明する正面図、図２
は図１におけるコイルの検出値例示図、図３は異物体の
存在時を説明する正面図、図４は図３におけるコイル検
出値例示図、図５は本発明方法の動作を説明するフロー
チャートである。
明する。図１は本発明に使用する物体検出方法（以下本
発明方法という）の正常動作時を説明する正面図、図２
は図１におけるコイルの検出値例示図、図３は異物体の
存在時を説明する正面図、図４は図３におけるコイル検
出値例示図、図５は本発明方法の動作を説明するフロー
チャートである。
【００１０】以下の説明において検出対象とする物体は
前記と同様にコイルとする。本発明方法に使用される装
置は天井クレーン２０、レーザ距離計３０、演算装置４
０からなっている。
前記と同様にコイルとする。本発明方法に使用される装
置は天井クレーン２０、レーザ距離計３０、演算装置４
０からなっている。
【００１１】図１に示すように、コイル１０、１１は台
車１２に載置されてコイルヤードに搬入され、天井クレ
ーン２０により自動的に台車１２上から吊り上げられ
る。
車１２に載置されてコイルヤードに搬入され、天井クレ
ーン２０により自動的に台車１２上から吊り上げられ
る。
【００１２】天井クレーン２０の横方向をＹ、これに垂
直な走査方向をＸ（但し図示せず）、高さ方向をＺとす
る。台車１２上のコイル１０、１１は中心軸を略Ｙ方向
に向けた状態で台車１２の中心軸線上に並置され、それ
ぞれが台車１２上に位置決め固定されている。天井クレ
ーン20はＸ方向に走行するガーダ２１、Ｙ方向に横行す
るクラブ２２、Ｚ方向に上下するコイル吊り具２３によ
り構成されている。
直な走査方向をＸ（但し図示せず）、高さ方向をＺとす
る。台車１２上のコイル１０、１１は中心軸を略Ｙ方向
に向けた状態で台車１２の中心軸線上に並置され、それ
ぞれが台車１２上に位置決め固定されている。天井クレ
ーン20はＸ方向に走行するガーダ２１、Ｙ方向に横行す
るクラブ２２、Ｚ方向に上下するコイル吊り具２３によ
り構成されている。
【００１３】距離計３０は例えばレーザ距離計であっ
て、クラブ２２に下方をコイル１０、１１に向けて取り
付けられている。前記レーザ距離計３０は投光部３１、
受光部３３を有しており、演算装置４０に電気接続され
ている。
て、クラブ２２に下方をコイル１０、１１に向けて取り
付けられている。前記レーザ距離計３０は投光部３１、
受光部３３を有しており、演算装置４０に電気接続され
ている。
【００１４】投光部３１は下方に向けてレーザ光３２１
を投光し、受光部３３はコイル１０、１１からの反射光
３２２を受光する。演算装置４０はマイコンを内蔵して
おり、前記レーザ光３２１と反射光３２２との交わる角
度により三角測量方式を用い、各反射点までの距離を演
算するようになっている。
を投光し、受光部３３はコイル１０、１１からの反射光
３２２を受光する。演算装置４０はマイコンを内蔵して
おり、前記レーザ光３２１と反射光３２２との交わる角
度により三角測量方式を用い、各反射点までの距離を演
算するようになっている。
【００１５】台車１２に載置されたコイル１０、１１の
位置を測定するには、まずレーザ距離計３０の測定アリ
ア内に台車１２を搬入する。ついでコイル１０、１１を
レーザ光３２１が完全に順次通過するようにレーザ距離
計３０を図１に示すＹ方向に移動させる。前記移動はク
ラブ２２を横行させることによってレーザ光３２１が台
車１２上を走査する。
位置を測定するには、まずレーザ距離計３０の測定アリ
ア内に台車１２を搬入する。ついでコイル１０、１１を
レーザ光３２１が完全に順次通過するようにレーザ距離
計３０を図１に示すＹ方向に移動させる。前記移動はク
ラブ２２を横行させることによってレーザ光３２１が台
車１２上を走査する。
【００１６】この走査によって得られたコイル１０、１
１までの距離分布データは演算装置４０のメモリに蓄え
られる。図２はコイル１０、１１及び台車１２に対して
得られたメモリの中の距離分布データを示す。図２にお
いて横軸は走査距離を、縦軸はコイルの高さＺｍを示
す。
１までの距離分布データは演算装置４０のメモリに蓄え
られる。図２はコイル１０、１１及び台車１２に対して
得られたメモリの中の距離分布データを示す。図２にお
いて横軸は走査距離を、縦軸はコイルの高さＺｍを示
す。
【００１７】図１において投光部３１から台車１２まで
の距離Ｌは一定であるので、投光部３１と反射対象物で
あるコイルまでの距離、例えば、コイル１１上面までの
距離をＬｍとすると、コイル１１の高さＺｍはＺｍ＝Ｌ
−Ｌｍにより算出される。
の距離Ｌは一定であるので、投光部３１と反射対象物で
あるコイルまでの距離、例えば、コイル１１上面までの
距離をＬｍとすると、コイル１１の高さＺｍはＺｍ＝Ｌ
−Ｌｍにより算出される。
【００１８】ここに前記距離分布データとして台車１２
の後端、コイル１０、コイル１０とコイル１１との間隔
Ｓ1 、コイル１１、台車１２の前端の高さの測定値をＺ
ｍ1、Ｚｍ2 、Ｚｍ3 、Ｚｍ4 、Ｚｍ5 とする。前記測
定値Ｚｍ1 、Ｚｍ3 、Ｚｍ5はいずれも略零となる。
の後端、コイル１０、コイル１０とコイル１１との間隔
Ｓ1 、コイル１１、台車１２の前端の高さの測定値をＺ
ｍ1、Ｚｍ2 、Ｚｍ3 、Ｚｍ4 、Ｚｍ5 とする。前記測
定値Ｚｍ1 、Ｚｍ3 、Ｚｍ5はいずれも略零となる。
【００１９】図２において測定値Ｚｍ1 、Ｚｍ3 の一部
５１、５２は、レーザ光３２１による台車１２からの反
射光３２２がコイル１０又はコイル１１の端部に当たる
ため影となった部分で、当該部分の距離測定ができない
ことになる。
５１、５２は、レーザ光３２１による台車１２からの反
射光３２２がコイル１０又はコイル１１の端部に当たる
ため影となった部分で、当該部分の距離測定ができない
ことになる。
【００２０】ここに測定値Ｚｍ1 〜Ｚｍ5 に対し、予め
設定した基準値Ｚ１、Ｚ２を用い Ｚｍ1 〜Ｚｍ5 ≦Ｚ１ またＺｍ1 〜Ｚｍ5 ≧Ｚ２ となるデータはコイル検出に無関係であるため距離分布
データより削除すると、コイルデータは残りの測定値Ｚ
ｍ2 、Ｚｍ4 となる。
設定した基準値Ｚ１、Ｚ２を用い Ｚｍ1 〜Ｚｍ5 ≦Ｚ１ またＺｍ1 〜Ｚｍ5 ≧Ｚ２ となるデータはコイル検出に無関係であるため距離分布
データより削除すると、コイルデータは残りの測定値Ｚ
ｍ2 、Ｚｍ4 となる。
【００２１】そして測定値Ｚｍ2 、Ｚｍ4 に対応するコ
イル１０、１１の外径Ｄ１、Ｄ２およびコイル幅Ｗ１、
Ｗ２が容易に求められる。また図外のエンコーダ等でレ
ーザ距離計３０の位置を測定しておけば、各コイル１
０、１１の中心座標も容易に計算可能であり、各コイル
の間隔Ｓ１も計算できる。
イル１０、１１の外径Ｄ１、Ｄ２およびコイル幅Ｗ１、
Ｗ２が容易に求められる。また図外のエンコーダ等でレ
ーザ距離計３０の位置を測定しておけば、各コイル１
０、１１の中心座標も容易に計算可能であり、各コイル
の間隔Ｓ１も計算できる。
【００２２】図３は図１において物体検出中に鳩等の異
物５０が測定エリア内に飛来した場合を示している。投
光部３１より投光したレーザ光３２１は異物５０を照射
し、受光部３３は異物５０によって反射された反射光３
２３を受光する。
物５０が測定エリア内に飛来した場合を示している。投
光部３１より投光したレーザ光３２１は異物５０を照射
し、受光部３３は異物５０によって反射された反射光３
２３を受光する。
【００２３】ここに図１と同じ機能、動作を示すものに
は同一の符号を用い、異物５０の影響を受けた部分の符
号を下記とする。即ち、コイル１１の左端面と異物５０
との間隔をＷ３、この間の計測値をＺｍ6 、異物５０の
幅をＳ２、異物５０の平均計測値をＺｍ7 、異物５０通
過後のコイル１１の右端面との間隔をＷ４、この間の計
測値をＺｍ8 とする。
は同一の符号を用い、異物５０の影響を受けた部分の符
号を下記とする。即ち、コイル１１の左端面と異物５０
との間隔をＷ３、この間の計測値をＺｍ6 、異物５０の
幅をＳ２、異物５０の平均計測値をＺｍ7 、異物５０通
過後のコイル１１の右端面との間隔をＷ４、この間の計
測値をＺｍ8 とする。
【００２４】前記に準じ Ｚｍ1 〜Ｚｍ8 ≦Ｚ１ またＺｍ1 〜Ｚｍ8 ≧Ｚ２ を削除すると、コイルデータはＺｍ2 、Ｚｍ6 、Ｚｍ8
となり、各コイル１０、１１の外径てＤ１、Ｄ３、Ｄ
４、各コイル幅Ｗ１、Ｗ３、Ｗ４、コイル間隔Ｓ１、Ｓ
２が容易に求められる。この場合、間隔Ｓ２は異物によ
り生じたものであり、ノイズとして削除する必要があ
る。
となり、各コイル１０、１１の外径てＤ１、Ｄ３、Ｄ
４、各コイル幅Ｗ１、Ｗ３、Ｗ４、コイル間隔Ｓ１、Ｓ
２が容易に求められる。この場合、間隔Ｓ２は異物によ
り生じたものであり、ノイズとして削除する必要があ
る。
【００２５】前記ノイズ削除方法を図５を参照して説明
する。図中Ｓはステップを示す。 レーザ距離計３０が距離テータ採取後、演算装置がメ
モリの探索を行い（Ｓ１）、コイルが存在するか否かの
選定を行う。 コイルが存在すれば基準値Ｚ１、Ｚ２を上下に越える
データの有無を判断する（Ｓ３）。コイルが存在しない
場合にはＳ７に進む。
する。図中Ｓはステップを示す。 レーザ距離計３０が距離テータ採取後、演算装置がメ
モリの探索を行い（Ｓ１）、コイルが存在するか否かの
選定を行う。 コイルが存在すれば基準値Ｚ１、Ｚ２を上下に越える
データの有無を判断する（Ｓ３）。コイルが存在しない
場合にはＳ７に進む。
【００２６】基準値Ｚ１、Ｚ２を越えるデータがある
場合、そのデータを除く（Ｓ４）。前記基準値Ｚ１、Ｚ
２を越えるデータがない場合、次にコイル外径、コイル
幅等をもとめ（Ｓ５）、続いてコイル間隔を計算する
（Ｓ６）。
場合、そのデータを除く（Ｓ４）。前記基準値Ｚ１、Ｚ
２を越えるデータがない場合、次にコイル外径、コイル
幅等をもとめ（Ｓ５）、続いてコイル間隔を計算する
（Ｓ６）。
【００２７】前記ステップＳ２において、コイルが存
在しない場合も含め、引続きメモリの検索を行い、メモ
リ探索完了か否かを確認し（Ｓ７）、探索が完了してい
ない場合はステップＳ１に戻る。探索を完了した場合、
まずコイル幅が正常か否かを判断する（Ｓ８）。 コイル幅が異常に狭い場合（ＮＯ）は、例えば電子ノ
イズによる影響とみなしてデータより削除する（Ｓ
９）。
在しない場合も含め、引続きメモリの検索を行い、メモ
リ探索完了か否かを確認し（Ｓ７）、探索が完了してい
ない場合はステップＳ１に戻る。探索を完了した場合、
まずコイル幅が正常か否かを判断する（Ｓ８）。 コイル幅が異常に狭い場合（ＮＯ）は、例えば電子ノ
イズによる影響とみなしてデータより削除する（Ｓ
９）。
【００２８】コイル幅が正常である場合（ＹＥＳ）
は、隣り合うコイル間隔が正常か否かを判断する（Ｓ１
０）。コイル間隔が異常に狭い場合には、隣り合うコイ
ルの外径差の絶対値Δｄを計算する（Ｓ１１）。
は、隣り合うコイル間隔が正常か否かを判断する（Ｓ１
０）。コイル間隔が異常に狭い場合には、隣り合うコイ
ルの外径差の絶対値Δｄを計算する（Ｓ１１）。
【００２９】前記絶対値ΔＤと予め設定した基準値Ｃ
を比較し（Ｓ１２）、ΔＤ≦Ｃの場合にはコイル幅を修
正する（Ｓ１３）。なお、前記コイル幅の修正は隣り合
うコイルの幅および間隔を加算して求める。図４図示例
のコイル１１においては、修正後のコイル幅は（Ｗ３＋
Ｓ２＋Ｗ４）である。
を比較し（Ｓ１２）、ΔＤ≦Ｃの場合にはコイル幅を修
正する（Ｓ１３）。なお、前記コイル幅の修正は隣り合
うコイルの幅および間隔を加算して求める。図４図示例
のコイル１１においては、修正後のコイル幅は（Ｗ３＋
Ｓ２＋Ｗ４）である。
【００３０】前記ステップＳ１０においてコイル間隔
が正常である場合はステップＳ１４に進む。 全てのコイルに対して以上の計算が終了すると、計算
結果の出力を行い、図外の上位のコンピュータへの通信
を行って（Ｓ１４）、終了する。
が正常である場合はステップＳ１４に進む。 全てのコイルに対して以上の計算が終了すると、計算
結果の出力を行い、図外の上位のコンピュータへの通信
を行って（Ｓ１４）、終了する。
【００３１】なお本実施例においては、三角測量方式の
レーザ距離計を用いたものを示したが、レーザ光の反射
時間を計測することにより物体までの距離を測定する方
式の距離計を用いてもよい。またレーザ光に限らず、他
の超音波等を用いてもよい。
レーザ距離計を用いたものを示したが、レーザ光の反射
時間を計測することにより物体までの距離を測定する方
式の距離計を用いてもよい。またレーザ光に限らず、他
の超音波等を用いてもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明方法は物体
の高さ変化、複数の物体間 間隔および物体の幅が予め
設定された関係にあるか否かを判断し、これらが前記予
め設定された関係にある場合、例えば外形が略同一でコ
イル間隔が異常に狭い場合にはノイズ混入と判断し、複
数の物体間の間隔および物体の幅を修正演算するように
している。
の高さ変化、複数の物体間 間隔および物体の幅が予め
設定された関係にあるか否かを判断し、これらが前記予
め設定された関係にある場合、例えば外形が略同一でコ
イル間隔が異常に狭い場合にはノイズ混入と判断し、複
数の物体間の間隔および物体の幅を修正演算するように
している。
【００３３】従って、データ採取時に異物等によってノ
イズが混入した場合でも、物体位置演算中にそのノイズ
を削除し、正常な物体位置演算ができるので、確実にコ
イルの位置を測定し、信頼性の高いコイル搬送が可能と
なる。
イズが混入した場合でも、物体位置演算中にそのノイズ
を削除し、正常な物体位置演算ができるので、確実にコ
イルの位置を測定し、信頼性の高いコイル搬送が可能と
なる。
【図１】本発明に係る図面であって、本発明方法の正常
動作時を説明する正面図である。
動作時を説明する正面図である。
【図２】図１におけるコイルの検出値例示図である。
【図３】図１において異物体の存在時を説明する正面図
である。
である。
【図４】図３におけるコイル検出値例示図である。
【図５】本発明方法の動作を説明するフローチャートで
ある。
ある。
１０、１１ コイル １２ 台車 ２０ 天井クレーン ２１ ガーダ ２２ クラブ ２３ コイル吊り具 ３０ 距離計 ３１ 投光部 ３３ 受光部 ４０ 演算装置 ５０ 異物
Claims (2)
- 【請求項１】 光又は超音波を物体に向けて発射する発
信部と、前記物体から反射する反射光又は反射超音波を
受信する受信部とを備えた距離計を前記物体を横切るよ
うに相対移動させ、この間の距離計の出力変化から演算
装置を介して前記物体を検出する物体検出方法であっ
て、前記演算装置は物体の高さ変化、複数の物体間の間
隔および物体の幅が予め設定された関係にあるか否かを
演算するようにしたことを特徴とする物体検出方法。 - 【請求項２】 前記演算装置によって、物体の高さ変
化、複数の物体間の間隔および物体の幅が前記予め設定
された関係にあると判断した場合に、複数の物体間の間
隔および物体の幅を修正演算するようにしたことを特徴
とする請求項１記載の物体検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1477494A JP2913253B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 物体検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1477494A JP2913253B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 物体検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07208971A true JPH07208971A (ja) | 1995-08-11 |
| JP2913253B2 JP2913253B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=11870406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1477494A Expired - Fee Related JP2913253B2 (ja) | 1994-01-12 | 1994-01-12 | 物体検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913253B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003424A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高さ測定装置および高さ調整装置 |
| JP2012173254A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 検測方法及び装置 |
-
1994
- 1994-01-12 JP JP1477494A patent/JP2913253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003424A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高さ測定装置および高さ調整装置 |
| JP2012173254A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 検測方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2913253B2 (ja) | 1999-06-28 |
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