JPH0719680U - 逆止弁内蔵形マニホールド電磁弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 逆止弁における流通抵抗を少なくし得る小型
の逆止弁内蔵形マニホールド電磁弁を提供する。 【構成】 弁孔４３ａに開口する環状溝７１に逆止弁７
２が装着されており、この逆止弁７２は環状の弁基部７
３、７４と、これらの弁基部の径方向内方から外方に向
けて屈曲して先端で相互に接続する弾性変形自在に弁体
部７５、７６とにより形成されている。弁体部７５、７
６の先端部には、円周方向に所定の長さにわたってスリ
ットが形成されており、このスリットは弁孔４３ａ内か
ら排気通路４２に向けて流体が流れる際に開放され、逆
方向に流体が流れる際に閉塞する。逆止弁７２を通過し
た流体は、弁体部７５、７６の外側に形成された連通空
間７７を介して分岐通路６５に流入するので、流通抵抗
を小さくすることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は共通の給気通路と共通の排気通路とが形成されたマニホールドに、流 体圧機器に接続される給排通路に対して給気通路と排気通路とを切り換えて連通 させる複数の電磁弁が搭載され、前記排気通路における流体の流れを制御する逆 止弁を有する逆止弁内蔵形マニホールド電磁弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】

複数の電磁弁を順次作動させる場合に、複数の電磁弁を共通の給気通路と排気 通路とが形成されたマニホールドに組み付けるようにしたマニホールド電磁弁が 用いられることがある。このようなマニホールド電磁弁にあっては、集中排気の ための共通の排気通路に対しては、各々の電磁弁の排気用開口部からの排気を分 岐通路を介して排出するようにしており、それぞれの電磁弁の分岐通路には排気 干渉を避けるために逆止弁が設けられている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

通常のマニホールド電磁弁にあっては、各々の電磁弁の排気用開口部と共通の 排気通路との間に充分のスペースが確保されるので、この部分に形成された分岐 通路の部分に逆止弁を配置することが可能である。しかし、ロボットに搭載され るハンド交換装置に使用されるマニホールド電磁弁にあっては、マニホールド自 体のサイズを小型化する必要があることから、環状に形成された排気通路に対し て各々の電磁弁の排気用開口部を連通させるために分岐通路が相互に近接されて 放射状に形成されており、流通抵抗を上昇させることなく、マニホールド内に逆 止弁を配置することが困難であった。

【０００４】 本考案の目的は、流通抵抗を上昇させることなく、小型のマニホールド内に逆 止弁を配置するようにした逆止弁内蔵形マニホールド電磁弁を提供することにあ る。

【０００５】 本考案の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添 付図面から明らかになるであろう。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本願において開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば 、以下のとおりである。

【０００７】 すなわち、本考案の逆止弁はマニホールド電磁弁の共通の排気通路に分岐通路 を介して連通される弁孔に形成された環状溝内に装着される。この逆止弁は２つ の環状の弁基部と、これらの弁基部の径方向内方から外方に向けて屈曲して先端 で相互に接続する弾性自在の弁体部とにより形成されている。弁体部の先端外周 には、所定の長さにわたってスリットが形成されており、このスリットは弁孔内 から排気通路に向けて流体が流れる際に開放され、これと逆方向に流体が流れる 際に閉塞される。

【０００８】

【作用】

弁孔の排気用開口部に開口してマニホールドに形成された環状溝は、分岐通路 を介して共通の排気通路に連通しており、電磁弁により作動が制御される流体圧 機器から流体を排出する際には、逆止弁の弁体部が弾性変形してスリットが開放 される。このときには、排気流体は弁体部の外側に環状に形成された連通空隙に 流出するので、流通抵抗を小さくさせることができる。さらに、排気流体は、環 状溝に連通された分岐流路に至り、ここから共通の排気通路に流れて外部に流出 される。流体が共通の排気通路から分岐通路に流入した場合には、逆止弁の弁体 部のスリットが閉塞されて、逆流が防止される。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１０】 図１は工業用ロボット１に設けられたアーム２の先端に本考案の自動ハンド交 換装置を構成するマニホールド電磁弁３を取付けて、ワーク台４上のワーク５に 対して作業を行なっている状態を示す。

【００１１】 ロボット１に隣接してハンド支持台６が設置され、このハンド支持台６にはそ れぞれ流体圧により作動する多数のハンド７が載置されている。ロボット１を作 動させることにより、その先端のアーム２には何れかのハンド７を選択的に装着 させて、そのハンド７によりワーク５に対して所定の作業を行なうことができる 。それぞれのハンド７は、マニホールド電磁弁３に着脱自在に装着されるハンド ホルダー８と、そのハンドホルダー８に取付けられてハンド部９ａを駆動するハ ンド駆動部９ｂとを有している。

【００１２】 ハンドによるワークへの作業としては、ワークを把持して搬送する作業、ワー クを真空吸着して搬送する作業、ワークに対する穴明け作業等種々の作業があり 、これらの作業を行なうための全ての治具、工具、フィンガー、アクチュエータ 等を含めて、ワークに対して何らかの作業を行なうものをここではハンドと指称 するものとする。

【００１３】 図１に示されたマニホールド電磁弁３の構造を示すと図３〜図６の通りであり 、このマニホールド電磁弁３の空気圧回路を示すと図２の通りである。

【００１４】 マニホールド電磁弁３は、図４および図５に示すように、環状のマニホールド ブロック１０を有し、このブロック１０には所定の間隔毎に合計９個の電磁弁１ １〜１９が設けられている。それぞれの電磁弁１１〜１９は環状のマニホールド ブロック１０の中心から同一の半径の位置に環状に設けられている。

【００１５】 図６に示すように、マニホールドブロック１０の内周面に嵌合する外周面を有 する連結ブロック２０がマニホールドブロック１０に嵌合され、このマニホール ドブロック１０と連結ブロック２０とによりマニホールド３ａが形成されている 。マニホールドブロック１０の端部のフランジ部１０ａに取付けられるボルト２ １により連結ブロック２０はマニホールドブロック１０に締結されている。さら に、このマニホールド３ａには、図１に示されたロボット１のアーム２が取付け られるようになっている。

【００１６】 連結ブロック２０の中心部に形成された空気圧室内には、図６に示すように、 これを前進側の空気圧室２２ａと後退側の空気圧室２２ｂとに区画するピストン ２３が軸方向に摺動自在に設けられており、このピストン２３にはピストンロッ ド２４が一体に形成されている。この連結ブロック２０には、さらにピストンロ ッド２４に嵌合する円筒形状のリテーナ２５が取付けられており、このリテーナ ２５は、連結ブロック２０にボルト２６により締結されるエンドプレート２７に よって、連結ブロック２０に固定されている。

【００１７】 リテーナ２５の先端部に９０°の位相で形成された４つの鋼球収容孔２８には それぞれ鋼球３０が収容されている。ピストン２３が前進移動すると、ピストン ロッド２４の本体部により押されて４つの鋼球３０はそれぞれリテーナ２５の径 方向外方に向けて突出する一方、ピストン２３が後退移動すると、ピストンロッ ド２４の先端に設けられたテーパー部３１に案内されて径方向内方に後退するよ うになっている。ピストン２３に対して常に前進方向のばね力を付勢して、万一 前進側の空気圧室２２ａ内への空気の供給が停止されても、確実にハンドホルダ ー８を締結し得るようにするために、前進側の空気圧室２２ａ内には圧縮コイル ばね２９が組み込まれている。なお、鋼球３０のリテーナ２５からの脱落は、エ ンドプレート２７に設けられた受け部３２により防止される。

【００１８】 マニホールドブロック１０には図１に示された複数のハンドホルダー８の何れ かがそれぞれ着脱自在に装着されるようになっており、鋼球３０によってハンド ホルダー８は、図１０に示すようにその端面に形成された接合面８ａがマニホー ルドブロック１０にその接合面１０ｂに密着した状態で締結される。ハンドホル ダー８のマニホールド３ａに対する回転方向の位置決めを行なうために、マニホ ールドブロック１０には２本の位置決めピン３３が突設されている。

【００１９】 図８〜図１０はハンドホルダー８を示す図であり、このハンドホルダー８は環 状の部材からなり、この内部には環状の締結部材３４がボルト３５により締結さ れている。この締結部材３４には鋼球３０に係合するテーパー部３６が形成され 、さらに、位置決めピン３３が嵌合する位置決め孔３７が形成されている。

【００２０】 図６に示すように、連結ブロック２０の外周面に環状の溝を形成することによ り共通の給気通路４０が環状に形成されており、この給気通路４０は、図４に示 すようにマニホールドブロック１０の端面に形成された給気ポートＰに対して、 マニホールドブロック１０内に形成された連通通路を介して連通されている。こ の給気ポートＰは、図示しない空気圧源に対してホースにより接続されるように なっている。

【００２１】 給気通路４０を形成する溝の両側には、図６に示すように、さらに２つの環状 の溝が形成され、これらの溝によりそれぞれ共通の排気通路４１，４２が環状に 形成されている。排気通路４１は、図３に示されるように、マニホールドブロッ ク１０の外周面に形成された排気ポートＲａにマニホールドブロック１０内に形 成された分岐通路を介して連通され、同様にして排気通路４２は排気ポートＲｂ に連通されている。

【００２２】 図４および図５に示すように、マニホールドブロック１０には合計９個の電磁 弁１１〜１９が環状に設けられている。電磁弁１１は、マニホールドブロック１ ０に対してハンドホルダー８を着脱する際に、ピストン２３の移動を制御するた めに設けられた締結用の５ポート電磁弁であり、その詳細が図６および図７に示 されている。

【００２３】 図示するように、電磁弁１１は弁部３９ａとこれの両側のパイロット部３９ｂ およびエンドカバー３９ｃとソレノイド部３９ｄとを有しており、マニホールド ブロック１０により形成される弁部３９ａには弁孔４３ａを有する弁スリーブ４ ３が嵌合され、この弁スリーブ４３内には軸方向に摺動自在にスプール軸４４が 装着されている。このスプール軸４４の一端部には、パイロット部３９ｂ内に形 成された流体室４５内に位置させて、大径のピストン４６が設けられ、他端部に はエンドカバー３９ｃ内に形成された流体室４７内に位置させて、ピストン４６ よりも小径のピストン４８が設けられている。

【００２４】 流体室４７は、連通流路５０を介して給気通路４０に連通されており、この流 体室４７には常に給気ポートＰからの流体が供給されるようになっている。一方 、パイロット部３９ｂ内に形成された流体室５１は、連通流路５０を介して給気 通路４０に連通し得るように形成されており、この流体室５１の開口５２は図７ に示すようにソレノイド部３９ｄ内に設けられたプランジャ５３により開閉され るようになっている。ソレノイド部３９ｄが通電されると、ばね５４の弾発力に 抗して開口５２が開かれ、給気ポートＰからの流体が流体室５１に連通流路５０ を介して供給される。

【００２５】 流体室５１と流体室４５は、図７に示すように、複数の連通孔５５により連通 されており、連通孔５５内には、これよりも小径の連動ピン５６が緩く挿入され 軸方向に移動自在となっている。この連動ピン５６の一端には、前記プランジャ ５３の先端が当接し、他端には流体室４５内に位置する弁部材５７が当接してい る。

【００２６】 そして、この弁部材５７は外部に開口してパイロット部３９ｂに形成された連 通流路５８を開閉するようになっており、連通流路５８は環状の排気通路４１に 連通している。図６および図７においては、電磁弁１１のソレノイド部３９ｄへ の通電が解かれた状態が示されており、ばね５４の付勢力により開口５２が閉塞 されるので、弁部材５７は連通流路５８を開放することになる。これにより、流 体室４７内の圧力によってスプール軸４４は図６における左側の位置に移動する 。

【００２７】 これに対して、ソレノイド部３９ｄが通電されると、プランジャ５３が後退し て開口５２が開放される一方、弁部材５７により連通流路５８が閉塞される。こ れにより、給気ポートＰからの流体は、給気通路４０、連通流路５０を介して流 体室５１内に流入し、さらに連通孔５５を通って流体室４５内に流入する。

【００２８】 したがって、流体室４５内に配置されたピスント４６にも流体圧が作用するこ とになる。ピストン４８には常に流体圧が作用しているが、このピストン４８よ りもピストン４６の面積が大きいので、ソレノイド部３９ｄに通電がなされると 、スプール軸４４は図６において右方向に移動する。

【００２９】 スプール軸４４には所定の間隔毎に４つのシール材６０が設けられている。弁 スリーブ４３に形成された出力用開口部Ａは、給排通路６１を介して前進側の空 気圧室２２ａに連通しており、弁スリーブ４３に形成された他の出力用開口部Ｂ は他の給排通路６２を介して後退側の空気圧室２２ｂに連通している。図６に示 すように、スプール軸４４が左側に移動している状態では、シール材６０の移動 により給気通路４０が出力用開口部Ａおよび給排通路６１を介して前進側の空気 圧室２２ａと連通状態となり、この空気圧室２２ａ内に給気ポートＰからの流体 が供給される。このときには、他の空気圧室２２ｂ内の流体は、給排通路６２を 介して排気通路４２に流れ、外部に排出される。 一方、スプール軸４４が右側に移動すると、前述とは逆に、空気圧室２２ｂ内 に給気ポートＰからの流体が導入され、空気圧室２２ａ内の流体は外部に排出さ れる。このように電磁弁１１の作動によりマニホールドブロック１０に対するハ ンドホルダー８の締結動作と締結解除動作とが制御される。

【００３０】 図６に示される電磁弁１７は３ポート電磁弁であり、単動形シリンダ３８の作 動を制御するための電磁弁である。図２に示すように、ハンドホルダー８に単動 形シリンダ３８が設けられたハンド駆動部９ｂを制御して、単動形シリンダ３８ の作動により、たとえばハンド７によりワーク５を把持するためのハンド部９ａ が駆動される。

【００３１】 電磁弁１７を構成するソレノイド部３９ｄ、パイロット部３９ｂ、エンドカバ ー３９ｃおよび弁スリーブ４３の構造は、電磁弁１１における対応する部分と同 様となっているが、シール材６０の位置が相違するとともに１つの給排通路６２ ａのみが出力用開口部Ｂに連通して形成されていることが、電磁弁１１とは相違 する。この給排通路６２ａの開口孔１７ａは、マニホールドブロック１０の接合 面１０ａに形成されている。したがって、電磁弁１７のソレノイド部３９ｄが通 電されると、図６に示すように、スプール軸４４は右側に移動して給気通路４０ と給排通路６２ａとが連通状態となり、図２に示すシリンダ３８のピストン３８ ａが前進する。逆に、通電が解かれると、給排通路６２ａと排気通路４２とが連 通状態となり、シリンダ３８内のばね３８ｂによりピストン３８ａは後退移動す る。このようにして、シリンダ３８の作動によりハンド部９ａが開閉することに なる。

【００３２】 この電磁弁１７の作動により制御される単動形シリンダ３８が装着されたハン ドホルダー８は、図２および図１０に示すように、開口孔１７ａに対応する位置 に開口孔１７ｂが形成された流体通路６３を有しており、この流体通路６３の出 力ポート１７ｃがハンドホルダー８の外周面に形成され、この出力ポート１７ｃ はエアホース６４により単動形シリンダ３８に接続されている。

【００３３】 図示する場合は、電磁弁１２〜１６についても、前記電磁弁１７と同様に３ポ ート電磁弁となっている。これに対して電磁弁１８はバキュームカップを有する ハンド７に対して真空を供給するための２ポート電磁弁であり、マニホールドブ ロック１０内に形成された図示しないエジェクタ部に対する加圧流体の供給制御 を行なう。また、電磁弁１９はエジェクタにより形成された真空を破壊するため の２ポート電磁弁である。このようにして形成されたマニホールド電磁弁３の空 気圧回路の一部を示すと図２の通りであり、この図においては、電磁弁１２から 電磁弁１５の部分が省略してある。

【００３４】 図５に示すように、電磁弁１９により導通が制御される真空供給流路の開口孔 １９ａ、他の６つの電磁弁により導通が制御されるそれぞれの給排通路６２ａの 開口孔１２ａ〜１７ａが、マニホールドブロック１０の接合面１０ａに位置して その中心から同一の半径位置に環状に配置されている。

【００３５】 全てのハンド７のハンドホルダー８は同一の構造となっており、共用化されて いる。したがって、図８に破線で示すように、ハンドホルダー８の接合面８ａに は、マニホールドブロック１０の接合面１０ａに形成された前記開口孔１２ａ〜 １７ａ、１９ａに対応させて連通孔１２ｂ〜１７ｂ、１９ｂが形成されている。 また、図９に示すように、ハンドホルダー８の外周面には連通孔１２ｂ〜１７ｂ 、１９ｂに流体通路により連通された出力ポート１２ｃ〜１７ｃ、１９ｃが形成 されている。

【００３６】 たとえば、ハンドホルダー８に設けられたハンド駆動部９ｂが電磁弁１７によ り作動制御されるのであれば、図１０に示すように、電磁弁１７に対応した出力 ポート１７ｃのみがハンド駆動部９ｂにホース６４により接続されている。

【００３７】 このように形成されたマニホールド電磁弁３にあっては、電磁弁１２〜１７の 弁孔と共通の排気通路４２とを連通させる分岐通路６５は、マニホールドブロッ ク１０に放射状に形成されることになり、この分岐通路６５に位置させて逆止弁 を配置することは、スペースが狭くて困難である。

【００３８】 図１１は図６に示された電磁弁１７の弁部３９ａを拡大して示す図であり、弁 スリーブ４３には、これの内周面により形成された弁孔４３ａの排気用開口部Ｒ に開口して環状溝７１が形成され、この環状溝７１にはゴム等の弾性材料により 成形された逆止弁７２が装着されている。

【００３９】 この逆止弁７２は、図１２および図１３に示すように、スプール軸４４の軸方 向に所定の間隔を隔てて位置する２つの環状の弁基部７３，７４と、これらの弁 基部７３，７４の径方向内方から外方に向けて屈曲して先端で相互に弁基部を接 続させる弾性変形自在の弁体部７５，７６とにより形成されている。そして、弁 体部７５，７６も環状となっており、これらの弁体部７５，７６の先端が、弁基 部７３，７４の外径よりも内方に位置するように、弁体部７５，７６の外径は弁 基部７３，７４の外径よりも小さく形成されている。したがって、弁体部７５、 ７６の外側には環状に連なった連通空隙７７が形成されている。

【００４０】 図１３（ａ）に示すように、弁体部７５，７６の先端には４個所の部分が切り 欠かれてスリット７８が形成されている。それぞれのスリット７８の円周方向の 長さは中心点から３０°の角度分形成されており、６０°毎にスリット７８が形 成されている。

【００４１】 図２に示すように、シリンダ３８がハンド駆動部９ｂに設けられたハンド７を マニホールド３ａに装着してロボット１によりワークに対して所定の作業を行な う場合には、そのハンド７のハンドホルダー８をマニホールド３ａに装着する。 ハンドホルダー８のマニホールド３ａに対する締結は、ピストン２３の作動によ り鋼球３０を介してなされる。

【００４２】 この状態で電磁弁１７のソレノイド部３９ｄを通電すると、図６および図１１ に示すように、共通の給気通路４０と給排通路６２ａとが連通状態となり、電磁 弁１７の開口孔１７ａと、これに対して連通状態のハンドホルダー８側の開口孔 １７ｂとを介して出力ポート１７ｃに流体が供給され、シリンダ３８のピストン ロッド３８ａが前進移動する。

【００４３】 一方、ソレノイド部３９ｄに対する通電を解くと、給排通路６２ａが共通の排 気通路４２と分岐通路６５を介して連通状態となり、シリンダ３８内のばね３８ ｂの弾発力によりピストン３８ａが後退移動して、シリンダ３８内の空気が給排 通路６２ａを通って排気通路４２に戻される。このとき、逆止弁７２のスリット ７８が開放されて、排気通路４２に至る空気は逆止弁７２を介して流れることに なるが、スリット７８は図示する場合には円周方向に３０°の範囲にわたって、 合計４個所に設けられているので、これらのスリット７８の部分を合計すると、 充分な流通面積を確保することができ、流通抵抗を小さくすることができる。

【００４４】 このように、給排通路６２ａと排気通路４２とが分岐通路６５を介して連通状 態となっているときに、排気通路４２内に流体圧が作用すると、その流体圧が給 排通路６２ａを通ってシリンダ３８内に逆流することになるが、逆止弁７２が設 けられているので、スリット７８が閉塞して逆流は阻止される。

【００４５】 この逆止弁７２を環状溝７１内に装着する際には、弁体部７５，７６の外側に は連通空隙７７が形成されているので、分岐通路６５の位置に対してスリット７ ８を位置させることを考慮することなく、逆止弁７２の円周方向の位置を任意の 位置として装着することが可能である。

【００４６】 なお、図示する場合には、弁体部７５，７６の先端の４個所に円周方向に延び るスリット７８を形成しているが、スリット７８の数と円周方向の角度について は、図示する場合に限定されず、１個所でも良くあるいは４個所以上でも良く、 さらには、各々を４５°程度の範囲にまで形成するようにしても良い。

【００４７】 以上、本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、 本考案は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種 々変更可能であることはいうまでもない。

【００４８】 たとえば、ハンド７を着脱させるようにしないタイプのマニホールド電磁弁に 対しても本考案のマニホールド電磁弁を適用することも可能である。

【００４９】 また、逆止弁７２にスリット７８を全周にわたって形成することにより、それ ぞれ弁体部７５，７６を有する２つの別々の弁基部７３，７４からなる逆止弁７ ２を用いるようにしても良く、さらには一方の弁基部のみに弁体部を設けるよう にしても良い。

【００５０】

【考案の効果】

本願において開示された考案のうち、代表的なものによって得られる効果を簡 単に説明すれば、下記のとおりである。

【００５１】 (1).弁孔と排気通路とを連通させる分岐通路に逆止弁を配置することなく、弁孔 の周りに弁孔に開口させて形成した環状溝の部分に逆止弁を配置するようにした ので、電磁弁を相互に隣接させてマニホールドに設けることが可能となり、逆止 弁を有するマニホールド電磁弁の小型化が可能となる。

【００５２】 (2).弁体部自体も環状となり、これにスリットが形成されているので、弁孔から 流出する流体の流通抵抗を小さくすることが可能となり、確実に排気させること ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例である逆止弁内蔵形マニホー
ルド電磁弁を有する自動ハンド交換装置を示す概略正面
図である。

【図２】図１に示されたマニホールドに形成された空気
圧回路を示す回路図である。

【図３】図１に示されたマニホールド電磁弁を示す正面
図である。

【図４】図３における４−４線方向から見たマニホール
ド電磁弁の側面図である。

【図５】図３における５−５線方向から見たマニホール
ド電磁弁の側面図である。

【図６】図４における６−６線に沿うマニホールド電磁
弁の断面図である。

【図７】図６に示された電磁弁のパイロット部を示す拡
大断面図てある。

【図８】図３における８−８線方向から見たハンドホル
ダーの側面図である。

【図９】図８における９−９線方向から見たハンドホル
ダーの背面図である。

【図１０】図８における１０−１０に沿うハンドホルダ
ーの断面図である。

【図１１】図６の要部拡大断面図である。

【図１２】図１１に示された逆止弁を示す斜視図であ
る。

【図１３】（ａ）は図１２に示された逆止弁の平面図で
あり、（ｂ）は同図（ａ）における１３ｂ−１３ｂ線に
沿う一部省略断面図である。

【符号の説明】

１ ロボット ２ アーム ３ マニホールド電磁弁 ４ ワーク台 ５ ワーク ６ ハンド支持台 ７ ハンド ８ ハンドホルダー ９ａ ハンド部 ９ｂ ハンド駆動部 １０ マニホールドブロック １１〜１９ 電磁弁 ２０ 連結ブロック ２３ ピストン ２４ ピストンロッド ３０ 鋼球 ３２ 受け部 ３３ 位置決めピン ３７ 位置決め孔 ４０ 給気通路 ４１ 排気通路 ４２ 排気通路 ４３ 弁スリーブ ４４ スプール軸 ４６ ピストン ４７ 流体室 ４８ ピストン ５０ 連通流路 ５３ プランジャ ６０ シール材 ６５ 分岐通路 ７１ 環状溝 ７２ 逆止弁 ７３，７４ 弁基部 ７５，７６ 弁体部 ７７ 連通空隙 ７８ スリット Ａ 出力用開口部 Ｂ 出力用開口部 Ｐ 給気ポート Ｒ 排気用開口部 Ｒａ 排気ポート Ｒｂ 排気ポート

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧源に接続される給気ポートに連通
   する給気通路と、流体を外部に排出させる排気ポートに
   連通する排気通路とが形成されたマニホールドと、当該
   マニホールドに形成された弁孔内に摺動自在のスプール
   軸が装着された複数の電磁弁とを有し、前記弁孔に開口
   した排気用開口部と前記排気通路とを連通させる分岐通
   路における排気ポートに向かう流れを許容する逆止弁が
   設けられた逆止弁内蔵形マニホールド電磁弁であって、 前記弁孔の排気用開口部に開口させて前記マニホールド
   に形成された環状溝と、当該環状溝に装着される逆止弁
   とを有し、 相互に所定の間隔を隔てて位置する２つの環状の弁基部
   と、これらの弁基部の径方向内方から外方に向けて屈曲
   し先端で相互に接続する弾性変形自在の弁体部とにより
   前記逆止弁を形成し、 前記弁孔内から前記排気通路に向けて流体が流れる際に
   開放され、これと逆方向に流体が流れる際に閉塞するス
   リットを前記弁体部の先端に円周方向に所定の長さにわ
   たって形成したことを特徴とする逆止弁内蔵形マニホー
   ルド電磁弁。
2. 【請求項２】 前記弁体部の先端部の外径を前記弁基部
   の外径よりも小さく形成し、前記弁体部の外側に環状の
   連通空隙を形成したことを特徴とする請求項１記載の逆
   止弁内蔵形マニホールド電磁弁。