JPH07192665A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPH07192665A JPH07192665A JP5332170A JP33217093A JPH07192665A JP H07192665 A JPH07192665 A JP H07192665A JP 5332170 A JP5332170 A JP 5332170A JP 33217093 A JP33217093 A JP 33217093A JP H07192665 A JPH07192665 A JP H07192665A
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- JP
- Japan
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- anticathode
- case
- air
- rotating
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コイル部からの発ガス及び発塵を防止して正
常なＸ線の発生を確実に行うことができるＸ線発生装置
を提供する。 【構成】 熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部１ａとこの対陰極部１ａと同軸に設けられた軸部１ｂ
とを有する回転対陰極１と、対陰極部１ａの周囲を真空
雰囲気に保つ気密ケース部２ａと軸部１ｂを回転自在に
支持する軸支用ケース２ｂを備えた対陰極収容ケース２
と、回転対陰極１を回転駆動する電動機３とを具備し、
対陰極部１ａの対陰極面１ｃは回転対陰極１の回転軸と
ほぼ平行に配置され、電動機３の出力部となるロータ３
ａは対陰極部１ａの対陰極面１ｃよりもわずかに半径方
向内周側に設けられ、気密ケース部２ａの内面には、軸
部１ｂと同軸の支持部２ｃが突設され、ロータ３ａを回
転させるためのコイル部３ｂは、ロータ３ａの内周側に
位置するように支持部２ｃに設けられ、しかも、支持部
２ｃから気密ケース２ａの内面までにわたって設けられ
た隔壁２０により気密ケース２ａの内部と気密に遮蔽さ
れている。
常なＸ線の発生を確実に行うことができるＸ線発生装置
を提供する。 【構成】 熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部１ａとこの対陰極部１ａと同軸に設けられた軸部１ｂ
とを有する回転対陰極１と、対陰極部１ａの周囲を真空
雰囲気に保つ気密ケース部２ａと軸部１ｂを回転自在に
支持する軸支用ケース２ｂを備えた対陰極収容ケース２
と、回転対陰極１を回転駆動する電動機３とを具備し、
対陰極部１ａの対陰極面１ｃは回転対陰極１の回転軸と
ほぼ平行に配置され、電動機３の出力部となるロータ３
ａは対陰極部１ａの対陰極面１ｃよりもわずかに半径方
向内周側に設けられ、気密ケース部２ａの内面には、軸
部１ｂと同軸の支持部２ｃが突設され、ロータ３ａを回
転させるためのコイル部３ｂは、ロータ３ａの内周側に
位置するように支持部２ｃに設けられ、しかも、支持部
２ｃから気密ケース２ａの内面までにわたって設けられ
た隔壁２０により気密ケース２ａの内部と気密に遮蔽さ
れている。
Description
【０００１】
【産業業上の利用分野】本発明は、回転対陰極型のＸ線
発生装置に係わり、特に、電動機のコイルからの発ガ
ス、発塵を防止する技術に関するものである。
発生装置に係わり、特に、電動機のコイルからの発ガ
ス、発塵を防止する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、本発明者等が特開平５ー８２０
６０号公報において提案した回転対陰極型のＸ線発生装
置を示すものである。図において、符号１は回転対陰
極、２は対陰極収容ケース、３は電動機である。回転対
陰極１は、電子銃４から発射された熱電子ｅの衝突によ
って回転軸と平行な対陰極面１ｃからＸ線５を発生する
中空の対陰極部１ａと、該対陰極部１ａに連なる中空円
筒状の軸部１ｂとを有している。そして、この回転対陰
極１の中空部には、この回転対陰極１と同心の円筒状を
呈した仕切り部材６によって、水冷ジャケット７が形成
されている。この水冷ジャケット７は、仕切り部材６と
回転対陰極１との間の間隙を冷媒供給路７ａとし、仕切
り部材６の内側を冷媒排出路７ｂとしたもので、矢印で
示すように冷媒を流す。
６０号公報において提案した回転対陰極型のＸ線発生装
置を示すものである。図において、符号１は回転対陰
極、２は対陰極収容ケース、３は電動機である。回転対
陰極１は、電子銃４から発射された熱電子ｅの衝突によ
って回転軸と平行な対陰極面１ｃからＸ線５を発生する
中空の対陰極部１ａと、該対陰極部１ａに連なる中空円
筒状の軸部１ｂとを有している。そして、この回転対陰
極１の中空部には、この回転対陰極１と同心の円筒状を
呈した仕切り部材６によって、水冷ジャケット７が形成
されている。この水冷ジャケット７は、仕切り部材６と
回転対陰極１との間の間隙を冷媒供給路７ａとし、仕切
り部材６の内側を冷媒排出路７ｂとしたもので、矢印で
示すように冷媒を流す。
【０００３】対陰極収容ケース２は、対陰極部１ａおよ
び電子銃４の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケース部２ａ
と、軸部１ｂに外嵌する軸受け８を介して回転対陰極１
を回転自在に支持する軸支用ケース部２ｂとを備えてい
る。気密ケース部２ａの所定位置には、図示のように、
対陰極部１ａから発射された線状のＸ線５を透過させる
Ｘ線透過窓２ｃが装備されている。また、軸支用ケース
部２ｂの後端部（図の右端部）は仕切り部材７の端部に
液密に連結され、さらに、軸支用ケース部２ｂの後端部
寄りの位置には、図示のように冷媒供給路７ａに連通す
る冷媒供給口２ｄが設けられている。
び電子銃４の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケース部２ａ
と、軸部１ｂに外嵌する軸受け８を介して回転対陰極１
を回転自在に支持する軸支用ケース部２ｂとを備えてい
る。気密ケース部２ａの所定位置には、図示のように、
対陰極部１ａから発射された線状のＸ線５を透過させる
Ｘ線透過窓２ｃが装備されている。また、軸支用ケース
部２ｂの後端部（図の右端部）は仕切り部材７の端部に
液密に連結され、さらに、軸支用ケース部２ｂの後端部
寄りの位置には、図示のように冷媒供給路７ａに連通す
る冷媒供給口２ｄが設けられている。
【０００４】電動機３は、回転対陰極１を回転駆動する
ためのもので、回転力の出力部となるロータ３ａが対陰
極部１ａの外周部近傍に固定され、このロータ３ａを回
転させるためのコイル部３ｂが軸支用ケース部２ｂに突
設された環状部（支持部）２ｅに固定され、ロータ３ａ
がコイル部３ｂの外周を囲うように配置された構造をな
している。なお、図３において、符号９ａは気密ケース
部２ａ内の真空状態を維持するための気密シールであ
り、また９ｂは冷媒が軸受け８や電動機３側に流入しな
いようにする液密シールである。
ためのもので、回転力の出力部となるロータ３ａが対陰
極部１ａの外周部近傍に固定され、このロータ３ａを回
転させるためのコイル部３ｂが軸支用ケース部２ｂに突
設された環状部（支持部）２ｅに固定され、ロータ３ａ
がコイル部３ｂの外周を囲うように配置された構造をな
している。なお、図３において、符号９ａは気密ケース
部２ａ内の真空状態を維持するための気密シールであ
り、また９ｂは冷媒が軸受け８や電動機３側に流入しな
いようにする液密シールである。
【０００５】上記のようなＸ線発生装置においては、対
陰極部１ａに回転力を伝達するロータ３ａがコイル部３
ｂの外周側に配置されているため電動機３のトルクが高
く、よって、回転対陰極１を大型化、重量化したり回転
数を高めて冷却性能を向上させることができ、高出力を
必要とするＸ線回折用として好適である。
陰極部１ａに回転力を伝達するロータ３ａがコイル部３
ｂの外周側に配置されているため電動機３のトルクが高
く、よって、回転対陰極１を大型化、重量化したり回転
数を高めて冷却性能を向上させることができ、高出力を
必要とするＸ線回折用として好適である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特に上述の
ような高出力を必要とするＸ線発生装置では、気密ケー
ス部２ａ内にコイル部３ｂが配置されているため、真空
状態でコイル部３ｂからガスや塵が発生し、このような
ガスや塵に電子銃４から発射された熱電子ｅが衝突して
Ｘ線の正常な発生を妨げることが懸念された。
ような高出力を必要とするＸ線発生装置では、気密ケー
ス部２ａ内にコイル部３ｂが配置されているため、真空
状態でコイル部３ｂからガスや塵が発生し、このような
ガスや塵に電子銃４から発射された熱電子ｅが衝突して
Ｘ線の正常な発生を妨げることが懸念された。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、コイル部３ｂからの発ガス及び発塵を防止して正常
なＸ線の発生を確実に行うことができるＸ線発生装置を
提供することを目的としている。
で、コイル部３ｂからの発ガス及び発塵を防止して正常
なＸ線の発生を確実に行うことができるＸ線発生装置を
提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のＸ線発
生装置は、熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部とこの対陰極部と同軸に設けられた軸部とを有する回
転対陰極と、対陰極部の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケ
ース部と軸部を軸受手段を介して回転自在に支持する軸
支用ケースとを備えた対陰極収容ケースと、回転対陰極
を回転駆動する電動機とを具備し、対陰極部の対陰極面
は回転対陰極の回転軸とほぼ平行に配置され、電動機の
出力部となるロータは対陰極部の対陰極面よりもわずか
に半径方向内周側に設けられ、気密ケース部の内面に
は、軸部と同軸の支持部が突設され、ロータを回転させ
るためのコイル部は、ロータの内周側に位置するように
支持部に設けられ、しかも、支持部から気密ケースの内
面までにわたって設けられた隔壁により気密ケースの内
部と気密に遮蔽されていることを特徴とする。
生装置は、熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部とこの対陰極部と同軸に設けられた軸部とを有する回
転対陰極と、対陰極部の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケ
ース部と軸部を軸受手段を介して回転自在に支持する軸
支用ケースとを備えた対陰極収容ケースと、回転対陰極
を回転駆動する電動機とを具備し、対陰極部の対陰極面
は回転対陰極の回転軸とほぼ平行に配置され、電動機の
出力部となるロータは対陰極部の対陰極面よりもわずか
に半径方向内周側に設けられ、気密ケース部の内面に
は、軸部と同軸の支持部が突設され、ロータを回転させ
るためのコイル部は、ロータの内周側に位置するように
支持部に設けられ、しかも、支持部から気密ケースの内
面までにわたって設けられた隔壁により気密ケースの内
部と気密に遮蔽されていることを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成のＸ線発生装置にあっては、コイル部
が隔壁によって気密ケース部から遮蔽されているので、
気密ケース部が真空とされてもコイル部周囲はほぼ大気
圧のままとなる。したがって、コイル部からの発ガスお
よび発塵を防止することができる。また、隔壁を導電性
材料で構成すると、コイル部を励磁した際に隔壁に渦電
流が発生し、ロータの回転力を弱めてしまうため、隔壁
は絶縁性材料で構成することが望ましい。さらに、隔壁
は、コイル部の発熱により加熱されるので、例えば１０
０゜Ｃ前後の加熱下で真空引きされても内部からのガス
放出が少なく、しかも、１ｍｍ以下の板厚でも１気圧で
変形しない強度を有する材料で構成することが望まし
い。隔壁の材料としては、具体的にはアルミナ、ジルコ
ニアなどのセラミックスが用いられる。
が隔壁によって気密ケース部から遮蔽されているので、
気密ケース部が真空とされてもコイル部周囲はほぼ大気
圧のままとなる。したがって、コイル部からの発ガスお
よび発塵を防止することができる。また、隔壁を導電性
材料で構成すると、コイル部を励磁した際に隔壁に渦電
流が発生し、ロータの回転力を弱めてしまうため、隔壁
は絶縁性材料で構成することが望ましい。さらに、隔壁
は、コイル部の発熱により加熱されるので、例えば１０
０゜Ｃ前後の加熱下で真空引きされても内部からのガス
放出が少なく、しかも、１ｍｍ以下の板厚でも１気圧で
変形しない強度を有する材料で構成することが望まし
い。隔壁の材料としては、具体的にはアルミナ、ジルコ
ニアなどのセラミックスが用いられる。
【００１０】
【実施例】以下、図１を参照しながら本発明の実施例の
Ｘ線発生装置を説明する。図１に示すＸ線発生装置は、
コイル部３ｂを囲う隔壁２０を設けた点のみが前記従来
例と異なっている。よって、以下の説明においては、前
記従来例と同等の構成要素には同符号を付してその説明
を省略する。
Ｘ線発生装置を説明する。図１に示すＸ線発生装置は、
コイル部３ｂを囲う隔壁２０を設けた点のみが前記従来
例と異なっている。よって、以下の説明においては、前
記従来例と同等の構成要素には同符号を付してその説明
を省略する。
【００１１】隔壁２０は、環状部（支持部）２ｃの先端
縁に取り付けられたリング状の端面部２１と、この端面
部２１の外周部に一縁部が固定され、他の縁部が気密ケ
ース部２ａの内面に取り付けられた円筒状の側面部２２
とから構成されている。この隔壁２０の材質としては、
絶縁性材料、特にアルミナ、ジルコニアなどの強度の高
いセラミックスが用いられているが、１００゜Ｃ程度の
加熱下で真空引きされてガス放出の少ないものであれば
その他の材料でもよい。なお、図示していないが、隔壁
２０と環状部２ｃおよび気密ケース部２ａの内面との間
には、それらを気密にシールする適当なシーリングがな
されている。また、隔壁２０を環状部２ｃ等に取り付け
る手段も、ボルト等の簡単に着脱できる手段が用いられ
ている。
縁に取り付けられたリング状の端面部２１と、この端面
部２１の外周部に一縁部が固定され、他の縁部が気密ケ
ース部２ａの内面に取り付けられた円筒状の側面部２２
とから構成されている。この隔壁２０の材質としては、
絶縁性材料、特にアルミナ、ジルコニアなどの強度の高
いセラミックスが用いられているが、１００゜Ｃ程度の
加熱下で真空引きされてガス放出の少ないものであれば
その他の材料でもよい。なお、図示していないが、隔壁
２０と環状部２ｃおよび気密ケース部２ａの内面との間
には、それらを気密にシールする適当なシーリングがな
されている。また、隔壁２０を環状部２ｃ等に取り付け
る手段も、ボルト等の簡単に着脱できる手段が用いられ
ている。
【００１２】このような構成により、コイル部３ｂは、
環状部２ｃおよび気密ケース部２ａの内面と隔壁２０と
によって画成されたリング状の空間に収容され、気密ケ
ース部２ａの残余の空間から気密に遮蔽されている。し
たがって、気密ケース部２ａ内が真空とされてもコイル
部３ｂの周囲は大気圧かあるいはそれに近い気圧とな
り、コイル部３ｂからの発ガスおよび発塵を防止するこ
とができる。したがって、電子銃４から発射される熱電
子ｅがガスや塵に衝突するようなことがなく、Ｘ線の正
常な発生を確実に行うことができる。また、上記Ｘ線発
生装置では、隔壁２０を絶縁性材料で構成しているの
で、コイル部３ｂを励磁した際に隔壁２０に渦電流が発
生するようなことがなく、ロータの回転力を維持するこ
とができる。特に、上記実施例では、隔壁２０をアルミ
ナやジルコニア等のセラミックスで構成しているので、
コイル部３ｂの発熱により加熱され、しかも、片面が真
空に曝されているような環境においても内部からのガス
放出が少なく、しかも板厚（この実施例では１ｍｍ以
下）が薄くても変形することがない。
環状部２ｃおよび気密ケース部２ａの内面と隔壁２０と
によって画成されたリング状の空間に収容され、気密ケ
ース部２ａの残余の空間から気密に遮蔽されている。し
たがって、気密ケース部２ａ内が真空とされてもコイル
部３ｂの周囲は大気圧かあるいはそれに近い気圧とな
り、コイル部３ｂからの発ガスおよび発塵を防止するこ
とができる。したがって、電子銃４から発射される熱電
子ｅがガスや塵に衝突するようなことがなく、Ｘ線の正
常な発生を確実に行うことができる。また、上記Ｘ線発
生装置では、隔壁２０を絶縁性材料で構成しているの
で、コイル部３ｂを励磁した際に隔壁２０に渦電流が発
生するようなことがなく、ロータの回転力を維持するこ
とができる。特に、上記実施例では、隔壁２０をアルミ
ナやジルコニア等のセラミックスで構成しているので、
コイル部３ｂの発熱により加熱され、しかも、片面が真
空に曝されているような環境においても内部からのガス
放出が少なく、しかも板厚（この実施例では１ｍｍ以
下）が薄くても変形することがない。
【００１３】次に、図２を参照しながら本発明の第２実
施例について説明する。図中符号１１は回転対陰極、１
２は対陰極収容ケース、１３は電動機、１４は電動機１
３に給電するリード線である。回転対陰極１１は、電子
銃（図示略）から発射された熱電子の衝突によってＸ線
を発生する中空の対陰極部１１ａを有している。そし
て、対陰極部１１ａには、中空円筒状の軸部１１ｂが連
結されており、図示はしないが、回転対陰極１１の内部
には、従来の場合と同様に、軸部１１ｂおよび対陰極部
１１ａ内に挿通させた仕切り部材によって、対陰極部１
１ａを冷却する冷媒の循環流路が確保されている。
施例について説明する。図中符号１１は回転対陰極、１
２は対陰極収容ケース、１３は電動機、１４は電動機１
３に給電するリード線である。回転対陰極１１は、電子
銃（図示略）から発射された熱電子の衝突によってＸ線
を発生する中空の対陰極部１１ａを有している。そし
て、対陰極部１１ａには、中空円筒状の軸部１１ｂが連
結されており、図示はしないが、回転対陰極１１の内部
には、従来の場合と同様に、軸部１１ｂおよび対陰極部
１１ａ内に挿通させた仕切り部材によって、対陰極部１
１ａを冷却する冷媒の循環流路が確保されている。
【００１４】対陰極収容ケース１２は、対陰極部１１ａ
および電子銃の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケース部１
２ａと、該気密ケース部１２ａに連結されて設けられて
回転対陰極１１を回転自在に支持する軸支用ケース部１
２ｂとを備えている。軸支用ケース部１２ｂは、軸受１
８を介して回転対陰極１１を回転自在に支持しており、
また、気密ケース部１２ａとの境界には、気密ケース部
１２ａ内の真空度を低下させないように、気密シール１
９が設けられている。さらに、軸支用ケース部１２ｂに
おいては、回転対陰極１１内の冷媒の循環流路に連絡す
る冷媒供給口１７ａや冷媒排出口（図示せず）が装備さ
れている。
および電子銃の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケース部１
２ａと、該気密ケース部１２ａに連結されて設けられて
回転対陰極１１を回転自在に支持する軸支用ケース部１
２ｂとを備えている。軸支用ケース部１２ｂは、軸受１
８を介して回転対陰極１１を回転自在に支持しており、
また、気密ケース部１２ａとの境界には、気密ケース部
１２ａ内の真空度を低下させないように、気密シール１
９が設けられている。さらに、軸支用ケース部１２ｂに
おいては、回転対陰極１１内の冷媒の循環流路に連絡す
る冷媒供給口１７ａや冷媒排出口（図示せず）が装備さ
れている。
【００１５】電動機１３は、回転対陰極１１を回転駆動
するためのブラシレスのＤＣモータであり、そのコイル
部１３ｂは、気密ケース部１２ａの内面に取り付けられ
た軸体１２ｃに取り付けられている。一方、回転力の出
力部となるロータ１３ａは、対陰極部１１ａの一端面の
外周に近い位置に取り付けられている。これによって、
ロータ１３ａは、コイル部１３ｂの外周側に位置してい
る。そして、コイル部１３ｂは、前記実施例と同様に、
隔壁３０によって気密ケース部１２ａの残余の部分と気
密に遮蔽されている。
するためのブラシレスのＤＣモータであり、そのコイル
部１３ｂは、気密ケース部１２ａの内面に取り付けられ
た軸体１２ｃに取り付けられている。一方、回転力の出
力部となるロータ１３ａは、対陰極部１１ａの一端面の
外周に近い位置に取り付けられている。これによって、
ロータ１３ａは、コイル部１３ｂの外周側に位置してい
る。そして、コイル部１３ｂは、前記実施例と同様に、
隔壁３０によって気密ケース部１２ａの残余の部分と気
密に遮蔽されている。
【００１６】隔壁３０は、一側が気密ケース部１２ａの
内面に取り付けられた円筒状をなす側面部３１と、この
側面部３１の開口部分を閉塞する端面部３２とから構成
されている。なお、隔壁３０の材料は前記実施例と同等
のものが使用されている。
内面に取り付けられた円筒状をなす側面部３１と、この
側面部３１の開口部分を閉塞する端面部３２とから構成
されている。なお、隔壁３０の材料は前記実施例と同等
のものが使用されている。
【００１７】このようなＸ線発生装置においても前記実
施例と同様に、コイル部１３ｂの周囲が大気圧と同等の
気圧に維持されるので、コイル部１３ｂからの発ガス、
発塵を防止することができる。
施例と同様に、コイル部１３ｂの周囲が大気圧と同等の
気圧に維持されるので、コイル部１３ｂからの発ガス、
発塵を防止することができる。
【００１８】なお、上記各実施例では隔壁の材料として
セラミックスを使用しているが、それ以外の例えばガラ
スなどを使用することもできる。また、隔壁を金属で構
成してもコイル部からの発ガス、発塵を防止するという
本発明の目的を達成することは可能である。
セラミックスを使用しているが、それ以外の例えばガラ
スなどを使用することもできる。また、隔壁を金属で構
成してもコイル部からの発ガス、発塵を防止するという
本発明の目的を達成することは可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部とこの対陰極部と同軸に設けられた軸部とを有する回
転対陰極と、対陰極部の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケ
ース部と軸部を軸受手段を介して回転自在に支持する軸
支用ケースを備えた対陰極収容ケースと、回転対陰極を
回転駆動する電動機とを具備し、対陰極部の対陰極面は
回転対陰極の回転軸とほぼ平行に配置され、電動機の出
力部となるロータは対陰極部の対陰極面よりもわずかに
半径方向内周側に設けられ、気密ケース部の内面には、
軸部と同軸の支持部が突設され、ロータを回転させるた
めのコイル部は、ロータの内周側に位置するように支持
部に設けられ、しかも、支持部から気密ケースの内面ま
でにわたって設けられた隔壁により気密ケースの内部と
気密に遮蔽されているから、コイル部からの発ガス及び
発塵を防止して正常なＸ線の発生を確実に行うことがで
きる。
によれば、熱電子の衝突によってＸ線を発生する対陰極
部とこの対陰極部と同軸に設けられた軸部とを有する回
転対陰極と、対陰極部の周囲を真空雰囲気に保つ気密ケ
ース部と軸部を軸受手段を介して回転自在に支持する軸
支用ケースを備えた対陰極収容ケースと、回転対陰極を
回転駆動する電動機とを具備し、対陰極部の対陰極面は
回転対陰極の回転軸とほぼ平行に配置され、電動機の出
力部となるロータは対陰極部の対陰極面よりもわずかに
半径方向内周側に設けられ、気密ケース部の内面には、
軸部と同軸の支持部が突設され、ロータを回転させるた
めのコイル部は、ロータの内周側に位置するように支持
部に設けられ、しかも、支持部から気密ケースの内面ま
でにわたって設けられた隔壁により気密ケースの内部と
気密に遮蔽されているから、コイル部からの発ガス及び
発塵を防止して正常なＸ線の発生を確実に行うことがで
きる。
【図１】本発明に係るＸ線発生装置の一実施例の要部の
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明に係るＸ線発生装置の他の実施例の要部
の説明図である。
の説明図である。
【図３】従来のＸ線発生装置の要部の説明図である。
１ 回転対陰極 １ａ 対陰極部 １ｂ 軸部 １ｃ 対陰極面 ２ｅ 環状部（支持部） ２ 対陰極収容ケース ２ａ 気密ケース部 ２ｂ 軸支用ケース部 ３ 電動機 ３ａ ロータ ３ｂ コイル部 ２０ 隔壁
Claims (2)
- 【請求項１】 熱電子の衝突によってＸ線を発生する対
陰極部とこの対陰極部と同軸に設けられた軸部とを有す
る回転対陰極と、前記対陰極部の周囲を真空雰囲気に保
つ気密ケース部と前記軸部を回転自在に支持する軸支用
ケースとを備えた陰極収容ケースと、前記回転対陰極を
回転駆動する電動機とを具備し、 前記対陰極部の対陰極面は前記回転対陰極の回転軸とほ
ぼ平行に配置され、前記電動機の出力部となるロータは
前記陰極部の陰極面よりもわずかに半径方向内周側に設
けられ、前記気密ケース部の内面には、前記軸部と同軸
の支持部が突設され、前記ロータを回転させるためのコ
イル部は、前記ロータの内周側に位置するように前記支
持部に設けられ、しかも、前記支持部から前記気密ケー
スの内面までにわたって設けられた隔壁により前記気密
ケースの内部と気密に遮蔽されていることを特徴とする
Ｘ線発生装置。 - 【請求項２】 前記隔壁は電気絶縁材料により構成され
ていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5332170A JPH07192665A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5332170A JPH07192665A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Ｘ線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07192665A true JPH07192665A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18251944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5332170A Pending JPH07192665A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | Ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07192665A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530736A (ja) * | 2005-02-08 | 2008-08-07 | パーキンエルマー・エルエーエス・インコーポレーテッド | ジルコニアで靭性を向上させたアルミニウム組成物及びイオン光学系及び電子光学系における使用 |
| US8243885B2 (en) | 2007-12-27 | 2012-08-14 | Bruker Axs K.K. | X-ray generator |
| WO2018194020A1 (ja) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | ブルカージャパン株式会社 | Ｘ線発生装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5332170A patent/JPH07192665A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530736A (ja) * | 2005-02-08 | 2008-08-07 | パーキンエルマー・エルエーエス・インコーポレーテッド | ジルコニアで靭性を向上させたアルミニウム組成物及びイオン光学系及び電子光学系における使用 |
| US8243885B2 (en) | 2007-12-27 | 2012-08-14 | Bruker Axs K.K. | X-ray generator |
| EP2492948A1 (en) | 2007-12-27 | 2012-08-29 | Bruker AXS Kabushiki Kaisha | X-ray generator |
| WO2018194020A1 (ja) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | ブルカージャパン株式会社 | Ｘ線発生装置 |
| KR20190137777A (ko) * | 2017-04-17 | 2019-12-11 | 브루커 제팬 가부시키가이샤 | X 선 발생 장치 |
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