JPH0718252U - 水分測定装置 - Google Patents

水分測定装置

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JPH0718252U
JPH0718252U JP5335793U JP5335793U JPH0718252U JP H0718252 U JPH0718252 U JP H0718252U JP 5335793 U JP5335793 U JP 5335793U JP 5335793 U JP5335793 U JP 5335793U JP H0718252 U JPH0718252 U JP H0718252U
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JP
Japan
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light
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ingaas
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Application number
JP5335793U
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English (en)
Inventor
敏彦 井手
英俊 流川
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Chino Corp
Original Assignee
Chino Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】安価、高性能の水分測定装置を提供する。 【構成】光源1からの放射エネルギーは、測定対象2を
反射または透過し、分光手段3で透過、反射する。水分
を吸収する透過波長光はInGaAsよりなる検出素子
41に入射し、参照波長光はInGaAs素子よりなる
検出素子42に入射し、各信号e1、e2は測定手段6
により比がとられ、水分測定が行われる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は、測定対象からの放射エネルギーを検出して水分を測定する水分測 定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
測定対象の水分を測定するために、Pbs素子やGe素子を用い、特定の波長 を透過するフィルタを複数用いて測定している。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、Pbs素子では、測定波長により出力が飽和したり、感度不足 となることがあり、また、Ge素子ではノイズが大きく性能的に十分でない面が あった。また、複数フィルタを用いているので、装置構成が複雑で、高価なもの となる問題点があった。
【0004】 この考案の目的は、以上の点に鑑み、安価、高性能の水分測定装置を提供する ことである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この考案は、光源から光が投光される測定対象からの透過光または反射光のう ち水分を吸収する測定波長の光を透過する分光手段と、この分光手段を透過した 光を検出するInGaAsよりなる第1の検出素子と、前記分光手段を反射した 光を検出するInGaAsよりなる第2の検出素子と、この第1、第2の検出素 子の出力から測定対象の水分を測定する測定手段とを備るようにした水分測定装 置である。
【0006】
【実施例】
図1は、この考案の一実施例を示す構成説明図で、透過式のものを示した。図 において、光源1から放射された放射エネルギーは、レンズL等の光学系で集光 されたとえば、液体が透過する光学セルのような測定対象2に投光される。測定 対象2を透過した光は、光軸に対し45度傾けて設けられた水分を吸収する測定 波長を透過するフィルタのような分光手段3で、透過、反射される。分光手段3 を透過した光は、InGaAsよりなる第1の検出素子41で検出され、増幅器 51で増幅されμCPUその他の測定手段6に入力される。他方、分光手段3を 反射した放射エネルギーは、InGaAsよりなる第2の検出素子42に入射し 、増幅器52で増幅され、測定手段6に入力する。測定手段6で第1、第2の検 出素子41、42の出力の比をとり測定対象2の水分の測定が行われる。このI nGaAsよりなる素子41、42は、直流駆動され、チョッパ等の可動部は必 要としない。
【0007】 つまり、図3で示すように、InGaAs検出素子41、42の分光感度は、 概略1.0μm〜1.6μmにあり、また、この波長領域では、水分吸収波長は 約1.0μm、1.2μm、1.4μmにある。このため、分光手段3として、 たとえば、1.4μm付近の波長を透過するバンドパスフィルタの干渉膜フィル タを1枚用いれば、この測定波長の光は、第1の検出素子41で検出され測定信 号e1とされる。この波長以外で1.0〜1.6μmに含まれる波長の光は反射 されて第2の検出素子42に入射して検出され、これが参照信号e2とされる。 この第1、第2の検出信号e1、e2の比を測定手段6でとることにより、水分 測定信号が得られる。
【0008】 光源1の放射エネルギーをIo、分光手段3を透過した水分に関連する係数を k1、分光手段3を反射した参照分の係数をk2とすれば、次式が得られる。
【0009】 e1=k1・Io (1) e2=k2・Io (2) この両信号の比e1/e2=k1/k2から水分が求まる。
【0010】 図2は、他の一実施例を示し、図1と同一符号は同等の構成要素を示す。図に おいて、第2の検出素子41の出力は増幅器52で増幅された後、比較器7の比 較電圧ecと比較され、e1=ecとなるように、光源1の駆動装置8を制御す る。つまり、第2の検出素子42の出力が一定となるよう測定対象2に投光する 光源1の放射エネルギーを制御して、第1の検出素子41の出力に基き、水分を 測定するようにしている。
【0011】 光源1の放射エネルギーをIoとすれば、第1、第2の検出素子41、42の 出力e1、e2では前述の(1)、(2)と同様であり、また、比較器7の作用 で次式が成り立つ。
【0012】 e2=ec (3) (2)、(3)式より、 e2=K2・Io=ec であるから Io=ec/k2 (4) となり、これを(1)式に代入すると、次式となる。
【0013】 e1=k1・(ec/k2) =(k1/k2)・ec (5) この(5)式から分るように、第1の検出素子41の出力e1は、k1/k2 の比に相当し、水分測定が可能となる。
【0014】 なお、以上の例では、透過型の水分計について説明したが、投光軸と、反射軸 を共通とするいわゆる反射型の水分計を用い、反射光から、同様にして、2個の InGaAs素子の検出素子の出力から分光手段3で分光し、透過ないし、反射 した各放射エネルギー比をとるようにしてもよい。
【0015】
【考案の効果】 以上述べたように、この考案は、1個の分光手段で透過、反射した放射エネル ギーを2個のInGaAsよりなる検出素子を用いて水分を測定するようにして いるので、構成が簡単で、安価で、しかも高精度に水分測定ができる。分光手段 の透過と反射により、明確に測定波長の透過光と、これを除く参照波長の反射光 に分離され、InGaAsの分光感度帯に属するものが得られるので、参照波長 光に測定波長光が混在することなく、いっそう高精度の測定ができる。また、I nGaAsの素子を直流駆動しているのでチョッパ等の可動部をもたず、いっそ う高信頼性のものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案の一実施例を示す構成説明図である。
【図2】この考案の一実施例を示す構成説明図である。
【図3】この考案の一実施例を示す特性説明図である。
【符号の説明】
1 光源 2 測定対象 3 分光手段 41、42 検出素子 51、52 増幅器 6 測定手段 7 比較器 8 駆動装置

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源から光が投光される測定対象からの透
    過光または反射光のうち水分を吸収する測定波長の光を
    透過する分光手段と、この分光手段を透過した光を検出
    するInGaAsよりなる第1の検出素子と、前記分光
    手段を反射した光を検出するInGaAsよりなる第2
    の検出素子と、この第1、第2の検出素子の出力から測
    定対象の水分を測定する測定手段とを備えたことを特徴
    とする水分測定装置。
  2. 【請求項2】前記第2の検出素子の出力が一定となるよ
    うに測定対象に投光する光源を制御して第1の検出素子
    の出力に基き、水分を測定するようにした請求項1記載
    の水分測定装置。
JP5335793U 1993-09-07 1993-09-07 水分測定装置 Pending JPH0718252U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4836523Y1 (ja) * 1970-02-10 1973-11-01
JPS503497Y1 (ja) * 1971-11-27 1975-01-29

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4836523Y1 (ja) * 1970-02-10 1973-11-01
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