JPH07177722A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JPH07177722A
JPH07177722A JP32366293A JP32366293A JPH07177722A JP H07177722 A JPH07177722 A JP H07177722A JP 32366293 A JP32366293 A JP 32366293A JP 32366293 A JP32366293 A JP 32366293A JP H07177722 A JPH07177722 A JP H07177722A
Authority
JP
Japan
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mover
linear motor
coil
roller pairs
guide rail
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Pending
Application number
JP32366293A
Other languages
English (en)
Inventor
Teruo Umehara
輝雄 梅原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KUMAGAI DENSHI KK
Proterial Ltd
Original Assignee
KUMAGAI DENSHI KK
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
Application filed by KUMAGAI DENSHI KK, Hitachi Metals Ltd filed Critical KUMAGAI DENSHI KK
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Publication of JPH07177722A publication Critical patent/JPH07177722A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 構成部材の組立作業が容易であり、小型化、
薄型化が可能であるリニアモータを提供する。 【構成】 対向するヨークを有しこのヨークの少なくと
も一方に固着されかつ表面に交互に異極が現れるような
磁気空隙を形成する永久磁石を設けてなる磁気回路を保
持する保持部材と、偏平状に形成した多相コイルを備え
この多相コイルが前記磁気空隙内に存在するようにかつ
前記永久磁石の配設方向に移動可能に設けた可動子とか
らなるリニアモータにおいて、保持部材の端縁部に可動
子の移動方向に沿って案内レールを設け、可動子の端縁
部に設けた複数のローラ対を前記案内レールと係合さ
せ、可動子を多相コイルおよびローラ対と共に熱可塑性
樹脂材料によって一体成形する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、永久磁石の表面に形成
された磁気空隙内を多相コイルが直線運動する形式のリ
ニアモータに関するものであり、特に多相コイルを備え
た可動子の組立作業が容易であると共に、全体の厚さ寸
法の小なる超薄型のリニアモータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来磁気ディスク等のヘッド駆動装置を
はじめとして、X−Yプロッタ、直線方向の駆動装置と
しては、比較的軽量でありかつ安価に製作し得るため、
リニアモータが多用されている。
【0003】図11は従来のリニアモータの例を示す要
部断面正面図である。図11において、1はヨークであ
り、鉄鋼材料のような強磁性材料により例えば平板状に
形成し、連結ヨーク2を介して対向して設ける。3は永
久磁石であり、厚さ方向に着磁し、表面にN,S磁極が
交互に現れるように、例えば下側のヨーク1の内面に複
数個固着する。
【0004】次に4は可動子であり、永久磁石3によっ
て形成される磁気空隙内に存在するようにコイル5を固
着し、永久磁石3の配設方向に移動可能に形成する。上
記の構成により、コイル5に正逆方向の通電を行なえ
ば、フレミングの左手の法則に従ってコイル5に左右方
向の推力が作用するから、可動子4を左右方向に直線運
動させることができる。従って可動子4に設けた機能部
材(図示せず)を直線運動させ、所定の作業を遂行する
ことができるのである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなリニアモ
ータは、前記のような磁気ヘッド等のヘッド駆動装置の
他に、CD−ROM用、マイクロロボット用(組立用、
搬送用)として使用されるが、この種のものには当然に
小型化、薄型化が要求される。しかしながら、従来のも
のは図11に示すように、可動子4は、可動部材6の下
面にコイル5を固着する構成のものであるため、厚さ寸
法を大幅に低減させることが困難であり、リニアモータ
全体の薄型化が実現できないという問題点がある。
【0006】またコイル5を可動部材6に固着する手段
として例えば接着剤を使用する場合には、作業が煩雑で
あるため、組立に多大の時間と工数を要するため、製作
コストが増大するという問題点がある。
【0007】一方可動子4を永久磁石3の配設方向に沿
って移動させる手段として、摩擦抵抗を最小限とするた
めに、ローラ対を使用することが多用されている(例え
ば特開昭61−46163号、特公平4−44506号
公報参照)。この場合、ローラ対は複数対が必要である
ことと、これらのローラ対が微小なものであるため、取
付作業が煩雑化し、前記と同様に製作コストの増大を招
来するという問題点がある。
【0008】本発明は上記従来技術に存在する問題点を
解決し、構成部材の組立作業が容易であると共に、小型
化および薄型化が可能であるリニアモータを提供するこ
とを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、対向するヨークを有しこのヨー
クの少なくとも一方に固着されかつ表面に交互に異極が
現れるような磁気空隙を形成する永久磁石を設けてなる
磁気回路を保持する保持部材と、偏平状に形成した多相
コイルを備えこの多相コイルが前記磁気空隙内に存在す
るようにかつ前記永久磁石の配設方向に移動可能に設け
た可動子とからなるリニアモータにおいて、保持部材の
端縁部に可動子の移動方向に沿って案内レールを設け、
可動子の端縁部に設けた複数のローラ対を前記案内レー
ルと係合させ、可動子を多相コイルおよびローラ対と共
に熱可塑性樹脂材料によって一体成形する、という技術
的手段を採用した。
【0010】本発明において、構成部材としての永久磁
石はその厚さ寸法が制限されるため動作点が高くとれな
いので、保磁力の大なる希土類系のものを使用すること
が好ましい。更に近年のものにおいては一層の薄型化お
よび高性能化が要求されるため、磁気空隙内に高い磁束
密度を確保する点で、R−Fe−B系(R:Y,Nd等
の希土類元素の1種以上)の永久磁石を使用することが
より好ましい。
【0011】次に本発明における熱可塑性樹脂材料とし
ては、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリブ
チレンテレフタレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミ
ド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂等の
公知の樹脂(好ましくは耐熱性を有する樹脂)を使用す
ることができる。
【0012】上記の樹脂の内では、縦弾性率(測定法:
ASTM D−638)が10×104 kg/cm2 以上
(好ましくは13×104 kg/cm2 以上)のものが好ま
しい。特に熱可塑性樹脂として液晶ポリマー(溶融状態
で液晶性を示す)の一種である液晶性ポリエステル樹脂
(主鎖中に剛直鎖を有するポリエステル)を使用すると
好ましい。
【0013】液晶性ポリエステル樹脂には、(a)パラ
ヒドロキシ安息酸とポリエチレンテレフタレートとの共
重合体、(b)ポリ−p−ヒドロキシベンゾエートと芳
香族ジカルボン酸、芳香族ジオールの共重合体、(c)
ポリ−p−ヒドロキシベンゾエートとナフトエ酸との共
重合体、等の種々の基本組成を有するものがあるが、強
度および弾性率の点で全芳香族のもの(b)、(c)が
好ましく、(c)のものがより好ましい。特に(c)の
全芳香族系ポリエステル樹脂は、成形時に剛直な分子鎖
が流動方向に配向するため、その方向の縦弾性率が大と
なる他に、振動吸収特性が良く、線膨脹率が小さい(金
属材料に近い)という利点がある。
【0014】液晶ポリマーでは完全溶融温度より低い液
晶状態温度で成形を行なうと、流動性が高く成形が容易
となる。特に縦弾性率(引張弾性率)が16×104 kg
/cm 2 以上の液晶ポリマーを使用するとよい。このよう
な液晶ポリマーの具体例としては、全芳香族のサーモト
ロピック液晶性ポリエステルであるベクトラA130
(18×104 )(単位はkg/cm2 、以下同じ)、C1
30(16×104 )、A230(30×104 )、B
230(38×104 )、A410(21×10 4 )、
A422(18×104 )、C400(17×1
4 )、A540(16×104 )(以上セラニーズ
社)、XYDAR RC−210(16.2×104)、
G−43C(16.1×104 )(以上ダートコ社)など
が挙げられる。
【0015】因みに縦弾性率は、鋼:220×104
アルミニウム:68×104 、メタアクリル樹脂:4.2
×104 、ポリスチレン樹脂:3.2〜3.6×104 、ポ
リフェニレンサルファイド樹脂:10×104 (何れも
単位はkg/cm2 )であるから、一般の熱可塑性樹脂を使
用するよりも大なる剛性を得ることができる。またこの
液晶ポリマーとしては、機械的強度や耐熱性などを向上
させるために、ガラス繊維や炭素繊維などのフィラーを
添加したものを使用することができる。添加量は10〜
50重量%が望ましく、より好ましくは20〜40重量
%である。
【0016】また本発明においては、上記の熱可塑性樹
脂として曲げ弾性率(測定法:ASTM D−792)
が13×104 kg/cm2 以上のものも有効に使用でき
る。このような樹脂としては、例えば前述のベクトラA
130(15×104 )(単位はkg/cm2 、以下同
じ)、C130(14×104 )、A230(29×1
4)、B230(36×104 )、A410(18×
104 )、A422(17×104 )、A540(14
×104 )、XYDAR RC−210(13.6×10
4 )、G−43C(14.9×104 )の他、ライトンR
−4(14×104 )(フィリプス石油)、DIC・P
PS FZ・1140(14×104 )、ASAHI・
PPS RG−40JA(14.4×104 )(旭硝
子)、フォートロン1140A1(13×104 )(ポ
リプラスチックス)、GS−40(15×104 )、G
−10(20×104 )、G−6(18×104 )、G
−4F(14×104 )、FC−5(16×104
(以上東ソー・サススティール)等のポリフェニレンサ
ルファイドなどが挙げられる。
【0017】
【作用】上記の構成により、構成部材の点数を減少する
ことができると共に、可動子が一体成形されることによ
り、小型化および薄型化が可能となると共に、組立作業
が容易になり、製作コストの低減が可能となる。
【0018】
【実施例】図1は本発明の実施例を示す要部平面図、図
2および図3は各々図1におけるA−A線断面図および
B−B線断面図、図4は図3における要部C−C線断面
図である。図1ないし図4において、11は保持部材で
あり、非磁性の金属材料若しくは樹脂材料により箱型に
形成し、例えば鉄鋼材料のような強磁性材料により帯板
状に形成した上ヨーク12および下ヨーク13を対向し
て平行に2対を設ける。なお上ヨーク12と下ヨーク1
3とは、両端部において接続ヨーク14を介して磁気的
に接続する。
【0019】次に15は永久磁石であり、例えばNd−
Fe−B系磁石材料によって矩形板若しくは正方形板状
に形成し、厚さ方向に着磁し、表面にN,S磁極が交互
に現れるように下ヨーク13の内面に固着する。これら
の永久磁石15、上ヨーク12、下ヨーク13および接
続ヨーク14により、閉磁気回路を構成し、永久磁石1
5の表面に磁気空隙を形成する。
【0020】16は可動子であり、後述するように形成
した多相コイル17を内蔵し、かつこの多相コイル17
が前記磁気空隙内に存在するように、また前記永久磁石
15の配設方向に移動可能に設ける。18は案内レール
であり、横断面を円形状に形成し、保持部材11の端縁
部に可動子16の移動方向に沿って平行に2条設ける。
19は止め金、20は止めねじであり、前記案内レール
18を保持部材11に固定するためのものである。次に
21はローラ対であり、可動子16の端縁部に複数対設
けて案内レール18と係合させる。
【0021】上記の構成により、多相コイル17に正逆
方向の通電をすることにより、フレミングの左手の法則
に従って磁気空隙に存在する多相コイル17に、図3に
おいて紙面と直交する方向の推力が作用するから、可動
子16を図1において上下方向、図3において紙面と直
交する方向に直線運動させることができる。従って可動
子16に設けた機能部材(図示せず)を直線運動させ、
所定の作業を遂行させ得る。
【0022】図5は図1における可動子16を示す要部
平面図、図6ないし図8は夫々図5におけるD−D線断
面図、E−E線断面図およびF−F線断面図、図9およ
び図10は各々図3における多相コイル17を示す要部
平面図および正面図であり、同一部分は前記図1および
図3と同一の参照符号にて示す。
【0023】まず図5ないし図8において、図5におけ
る左上のローラ対21は可動子16の端縁に板ばね22
を介して固着される。次に図5における左下のローラ対
21は、一方が可動子16の端縁に直接に、他方が板ば
ね23を介して可動子16の端縁下部に案内レール18
の斜め下方に当接するように固着される。更に図5にお
ける右方のローラ対21は、可動子16の端縁に直接
に、かつ一方が案内レール18の上方に、他方が案内レ
ール18の斜め下方に当接するように固着される。
【0024】次に図9および図10において、多相コイ
ル17は、偏平の略楕円形状に形成されたコイル17
a,17b,17cを夫々コイル幅だけずらせて重ね合
わせて形成される。従って多相コイル17の中央部の厚
さはコイル17a,17b,17cのみの厚さである。
なおコイル17a,17cの端部は各々上下に折り曲げ
て形成する。
【0025】次に可動子16を製作する手段の例につい
て説明する。まず図9および図10に示すようにコイル
17a,17b,17cを、素線を相互に絶縁状態で所
定巻数巻回して成形した後、コイル17a,17cの左
右端部を折り曲げ、相互間を接着して多相コイル17を
形成する。この多相コイル17および図5ないし図8に
示すローラ対21を、所定の成形用キャビティを有する
成形用金型内の所定位置にインサートした後、成形用金
型を閉鎖し、例えばガラス繊維入りのポリフェニレンサ
ルファイド樹脂の加熱溶融物を前記成形用キャビティ内
に射出充填すれば、図5に示すような可動子16を成形
することができる。
【0026】上記のようにして成形した可動子16を、
前記図1および図3に示すようにローラ対21および案
内レール18の係合により保持部材11内に組付け、上
ヨーク12を固着すればリニアモータが構成される。な
お図3において24は磁気スケールであり、保持部材1
1内における下ヨーク13,13間に平行に設けられ、
可動子16の下面に設けられたセンサ25とによってエ
ンコーダを構成し、可動子16の位置決め手段を形成す
る。また可動子16には、永久磁石15の表面の磁極を
検出するためのホール素子(図示せず)を設ける。
【0027】本実施例においては、上ヨーク12と下ヨ
ーク13とを対向させて設け、下ヨーク13の上面に永
久磁石15を固着した例について記述したが、上ヨーク
12の下面に永久磁石15を設けてもよく、また上ヨー
ク12、下ヨーク13の両者に永久磁石15を設けた構
成としてもよい。また可動子16に設けるべきローラ対
21は、例えば図1における右方のものを1対としても
よい。
【0028】
【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから、可動子を構成する部材を一体成形するこ
とにより、構成部材の組立作業が極めて容易になると共
に、生産性を大幅に向上させ得る結果、製作コストの大
幅な低減が可能となる。更に可動子の一体化により、可
動子は勿論のこと、リニアモータ全体の小型化、薄型化
が実現でき、例えば厚さ寸法が10mm以下のような超薄
型のリニアモータが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す要部平面図である。
【図2】図1におけるA−A線断面図である。
【図3】図1におけるB−B線断面図である。
【図4】図3における要部C−C線断面図である。
【図5】図1における可動子16を示す要部平面図であ
る。
【図6】図5におけるD−D線断面図である。
【図7】図5におけるE−E線断面図である。
【図8】図5におけるF−F線断面図である。
【図9】図3における多相コイル17を示す要部平面図
である。
【図10】図3における多相コイル17を示す要部平面
図である。
【図11】従来のリニアモータの例を示す要部断面正面
図である。
【符号の説明】
11 保持部材 12 上ヨーク 13 下ヨーク 15 永久磁石 16 可動子 17 多相コイル 21 ローラ対

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対向するヨークを有しこのヨークの少な
    くとも一方に固着されかつ表面に交互に異極が現れるよ
    うな磁気空隙を形成する永久磁石を設けてなる磁気回路
    を保持する保持部材と、偏平状に形成した多相コイルを
    備えこの多相コイルが前記磁気空隙内に存在するように
    かつ前記永久磁石の配設方向に移動可能に設けた可動子
    とからなるリニアモータにおいて、 保持部材の端縁部に可動子の移動方向に沿って案内レー
    ルを設け、可動子の端縁部に設けた複数のローラ対を前
    記案内レールと係合させ、可動子を多相コイルおよびロ
    ーラ対と共に熱可塑性樹脂材料によって一体成形したこ
    とを特徴とするリニアモータ。
JP32366293A 1993-12-22 1993-12-22 リニアモータ Pending JPH07177722A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1063756A1 (en) * 1998-03-13 2000-12-27 Nikon Corporation Method of manufacturing linear motor, linear motor, stage provided with the linear motor, and exposure system
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