JPH07172805A - 高純度過酸化水素水の製造方法 - Google Patents
高純度過酸化水素水の製造方法Info
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- JPH07172805A JPH07172805A JP31478993A JP31478993A JPH07172805A JP H07172805 A JPH07172805 A JP H07172805A JP 31478993 A JP31478993 A JP 31478993A JP 31478993 A JP31478993 A JP 31478993A JP H07172805 A JPH07172805 A JP H07172805A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 粗過酸化水素水を精製して高純度過酸化水素
水を製造するにあたり、粗過酸化水素水を、炭酸アンモ
ニウムを用いて炭酸型としたアニオン交換樹脂又は重炭
酸アンモニウムを用いて重炭酸型としたアニオン交換樹
脂と接触させることを特徴とする高純度過酸化水素水の
製造方法。 【効果】 半導体製造プロセスで用いられる金属類や塩
素イオン及び硫酸根の低減された高純度過酸化水素水を
製造する方法を提供することができる。
水を製造するにあたり、粗過酸化水素水を、炭酸アンモ
ニウムを用いて炭酸型としたアニオン交換樹脂又は重炭
酸アンモニウムを用いて重炭酸型としたアニオン交換樹
脂と接触させることを特徴とする高純度過酸化水素水の
製造方法。 【効果】 半導体製造プロセスで用いられる金属類や塩
素イオン及び硫酸根の低減された高純度過酸化水素水を
製造する方法を提供することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩなどの半導体製
造プロセスに用いられる高純度過酸化水素水の製造方法
に関するものである。
造プロセスに用いられる高純度過酸化水素水の製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体製
造プロセスに用いられる材料のクリーン化の要求が一段
と厳しくなりつつある。ウェハーに付着するゴミや金属
類は、半導体の信頼性に影響を及ぼし、また歩留まり低
下の原因となるため、これらの付着を極力少なくするこ
とが工業的に半導体を製造する上で重要となっている。
造プロセスに用いられる材料のクリーン化の要求が一段
と厳しくなりつつある。ウェハーに付着するゴミや金属
類は、半導体の信頼性に影響を及ぼし、また歩留まり低
下の原因となるため、これらの付着を極力少なくするこ
とが工業的に半導体を製造する上で重要となっている。
【０００３】過酸化水素水は、ＬＳＩ等半導体製造プロ
セスにおけるウェハーの洗浄工程において、アンモニア
水、塩酸、硫酸又はフッ酸と混合して用いられる。過酸
化水素水が塩酸、硫酸又はフッ酸と混合して用いられる
場合には、洗浄液からの金属のウェハーへの付着はない
といわれているが、粒子除去を目的としてアンモニア水
と混合して用いるときには洗浄液から鉄やアルミニウム
等の金属類がウェハー表面に付着する事が報告されてい
る。また、塩素イオンや硫酸イオンの存在が金属付着に
悪影響を及ぼすことも明らかにされつつあり、これら陰
イオンも低減された過酸化水素水が要求されている。
セスにおけるウェハーの洗浄工程において、アンモニア
水、塩酸、硫酸又はフッ酸と混合して用いられる。過酸
化水素水が塩酸、硫酸又はフッ酸と混合して用いられる
場合には、洗浄液からの金属のウェハーへの付着はない
といわれているが、粒子除去を目的としてアンモニア水
と混合して用いるときには洗浄液から鉄やアルミニウム
等の金属類がウェハー表面に付着する事が報告されてい
る。また、塩素イオンや硫酸イオンの存在が金属付着に
悪影響を及ぼすことも明らかにされつつあり、これら陰
イオンも低減された過酸化水素水が要求されている。
【０００４】従来半導体製造プロセスに用いられる高純
度過酸化水素水は主としてイオン交換樹脂と接触させる
方法で製造することが知られている。それらの例とし
て、ＵＳＰ２，６７６，９２３号公報には核スルホン化
されたカチオン交換樹脂と過酸化水素水を接触させて金
属類を除去する方法が記載されている。特開昭６２−１
８７１０３号公報にはピリジン系アニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂の併用が記載されており、この時カチオ
ン交換樹脂と接触させた後アニオン交換樹脂と接触させ
ることにより硫酸根の増加を招かず過酸化水素水の高純
度化が図れるとされている。また特公昭３５−１６６７
７号公報には重炭酸型のアニオン交換樹脂と過酸化水素
水を接触させる方法の記載がある。
度過酸化水素水は主としてイオン交換樹脂と接触させる
方法で製造することが知られている。それらの例とし
て、ＵＳＰ２，６７６，９２３号公報には核スルホン化
されたカチオン交換樹脂と過酸化水素水を接触させて金
属類を除去する方法が記載されている。特開昭６２−１
８７１０３号公報にはピリジン系アニオン交換樹脂とカ
チオン交換樹脂の併用が記載されており、この時カチオ
ン交換樹脂と接触させた後アニオン交換樹脂と接触させ
ることにより硫酸根の増加を招かず過酸化水素水の高純
度化が図れるとされている。また特公昭３５−１６６７
７号公報には重炭酸型のアニオン交換樹脂と過酸化水素
水を接触させる方法の記載がある。
【０００５】しかしこれら公知の方法では通液方法によ
りカルボン酸類や塩素イオンをかなり低減することは可
能であるのもの、金属類と硫酸根を同時に低減すること
はできなかった。
りカルボン酸類や塩素イオンをかなり低減することは可
能であるのもの、金属類と硫酸根を同時に低減すること
はできなかった。
【０００６】即ち、過酸化水素水とアニオン交換樹脂と
の接触のみではアニオン類及び酸素と結合してアニオン
となっている金属類は低減できるものの、カチオンとし
て存在する金属類は除去できない。次に過酸化水素水と
カチオン交換樹脂との接触のみではカチオンとして存在
する金属類は低減できるが、アニオン類やアニオン性金
属が除去できない。更に、アニオン交換樹脂とカチオン
交換樹脂を併用して過酸化水素水と接触させる場合、最
後にカチオン交換樹脂と接触させると金属類は良く低減
できるものの、金属類の低減能の良いスルホン酸型強酸
性カチオン交換樹脂では硫酸根が増大する。一方最後に
アニオン交換樹脂と接触させると硫酸根は良く低減でき
るものの金族類又は塩素イオンの低減が不十分となる。
これは塩素型アニオン交換樹脂を用いるとアニオン性金
属や硫酸根とイオン交換された塩素イオンが過酸化水素
水中に混入し、また特公昭３５−１６６７７号公報にあ
る重炭酸ナトリウムで再生されたアニオン交換樹脂で
は、再生後十分水洗を行っても過酸化水素水と接触させ
ることによりナトリウムが樹脂から溶出することによ
る。
の接触のみではアニオン類及び酸素と結合してアニオン
となっている金属類は低減できるものの、カチオンとし
て存在する金属類は除去できない。次に過酸化水素水と
カチオン交換樹脂との接触のみではカチオンとして存在
する金属類は低減できるが、アニオン類やアニオン性金
属が除去できない。更に、アニオン交換樹脂とカチオン
交換樹脂を併用して過酸化水素水と接触させる場合、最
後にカチオン交換樹脂と接触させると金属類は良く低減
できるものの、金属類の低減能の良いスルホン酸型強酸
性カチオン交換樹脂では硫酸根が増大する。一方最後に
アニオン交換樹脂と接触させると硫酸根は良く低減でき
るものの金族類又は塩素イオンの低減が不十分となる。
これは塩素型アニオン交換樹脂を用いるとアニオン性金
属や硫酸根とイオン交換された塩素イオンが過酸化水素
水中に混入し、また特公昭３５−１６６７７号公報にあ
る重炭酸ナトリウムで再生されたアニオン交換樹脂で
は、再生後十分水洗を行っても過酸化水素水と接触させ
ることによりナトリウムが樹脂から溶出することによ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状に鑑み、本
発明の目的は、半導体製造プロセスで用いられる金属類
や塩素イオン及び硫酸根の低減された高純度過酸化水素
水を製造する方法を提供することに存する。
発明の目的は、半導体製造プロセスで用いられる金属類
や塩素イオン及び硫酸根の低減された高純度過酸化水素
水を製造する方法を提供することに存する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
を解決すべくイオン交換樹脂の再生方法や通液方法を鋭
意検討の結果、粗過酸化水素水を、炭酸アンモニウムを
用いて炭酸型としたアニオン交換樹脂又は重炭酸アンモ
ニウムを用いて重炭酸型としたアニオン交換樹脂と接触
させることにより、低金属、低塩素イオンかつ低硫酸根
濃度の過酸化水素水を製造できることを見いだし、本発
明に至った。
を解決すべくイオン交換樹脂の再生方法や通液方法を鋭
意検討の結果、粗過酸化水素水を、炭酸アンモニウムを
用いて炭酸型としたアニオン交換樹脂又は重炭酸アンモ
ニウムを用いて重炭酸型としたアニオン交換樹脂と接触
させることにより、低金属、低塩素イオンかつ低硫酸根
濃度の過酸化水素水を製造できることを見いだし、本発
明に至った。
【０００９】即ち本発明は、粗過酸化水素水を精製して
高純度過酸化水を製造するにあたり、粗過酸化水素水
を、炭酸アンモニウムを用いて炭酸型としたアニオン交
換樹脂又は重炭酸アンモニウムを用いて重炭酸型とした
アニオン交換樹脂と接触させることを特徴とする高純度
過酸化水素の製造方法に係るものである。
高純度過酸化水を製造するにあたり、粗過酸化水素水
を、炭酸アンモニウムを用いて炭酸型としたアニオン交
換樹脂又は重炭酸アンモニウムを用いて重炭酸型とした
アニオン交換樹脂と接触させることを特徴とする高純度
過酸化水素の製造方法に係るものである。
【００１０】粗過酸化水素水としては、工業的に製造さ
れているアントラキノン法などにより製造される過酸化
水素水を用いることができる。また、電子工業用等と称
する工業用より純度の高い過酸化水素水を用いてもよ
い。その濃度は半導体製造プロセス用には２０〜３０％
のものが用いられていることから２０％以上であればよ
いが、あまり高濃度の過酸化水素水とイオン交換樹脂を
接触させるとイオン交換樹脂の劣化が速まったり、イオ
ン交換樹脂からの不純物の溶出が起こったりすることも
あるので、２０％から４０％で用いるのが好ましい。よ
り低濃度で使用する場合にはそれに応じた濃度の過酸化
水素水を原料とすることもできる。
れているアントラキノン法などにより製造される過酸化
水素水を用いることができる。また、電子工業用等と称
する工業用より純度の高い過酸化水素水を用いてもよ
い。その濃度は半導体製造プロセス用には２０〜３０％
のものが用いられていることから２０％以上であればよ
いが、あまり高濃度の過酸化水素水とイオン交換樹脂を
接触させるとイオン交換樹脂の劣化が速まったり、イオ
ン交換樹脂からの不純物の溶出が起こったりすることも
あるので、２０％から４０％で用いるのが好ましい。よ
り低濃度で使用する場合にはそれに応じた濃度の過酸化
水素水を原料とすることもできる。
【００１１】アニオン類及び金属類を十分低減させるた
め、粗過酸化水素水はアニオン交換樹脂及びカチオン交
換樹脂の両方と接触させる。各樹脂とは１段で接触させ
てもよいし、多段で接触させてもよい。ただ処理の最終
は先に述べた問題点を解決するためアニオン交換樹脂に
し、更に炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムで炭
酸型又は重炭酸型にされたものを用いることが好まし
い。
め、粗過酸化水素水はアニオン交換樹脂及びカチオン交
換樹脂の両方と接触させる。各樹脂とは１段で接触させ
てもよいし、多段で接触させてもよい。ただ処理の最終
は先に述べた問題点を解決するためアニオン交換樹脂に
し、更に炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムで炭
酸型又は重炭酸型にされたものを用いることが好まし
い。
【００１２】アニオン交換樹脂としては強塩基型及び弱
塩基型の何れを用いても良い。通常アニオン交換樹脂は
塩素型叉は水酸型として供給されるので、コンディショ
ニングとして新規のアニオン交換樹脂を用いる場合には
使用前に炭酸型又は重炭酸型に変換する。変換方法とし
てはタンクや反応器を用い、炭酸アンモニウム又は重炭
酸アンモニウムの水溶液中にアニオン交換樹脂を懸濁さ
せる方法もあるが、カラムにアニオン交換樹脂を充填し
て炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液を
通液するのが工業的には一般的である。
塩基型の何れを用いても良い。通常アニオン交換樹脂は
塩素型叉は水酸型として供給されるので、コンディショ
ニングとして新規のアニオン交換樹脂を用いる場合には
使用前に炭酸型又は重炭酸型に変換する。変換方法とし
てはタンクや反応器を用い、炭酸アンモニウム又は重炭
酸アンモニウムの水溶液中にアニオン交換樹脂を懸濁さ
せる方法もあるが、カラムにアニオン交換樹脂を充填し
て炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液を
通液するのが工業的には一般的である。
【００１３】用いる炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモ
ニウムの水溶液の濃度は０．１から１．２Ｎであるが、
０．３から１．２Ｎが好ましい。
ニウムの水溶液の濃度は０．１から１．２Ｎであるが、
０．３から１．２Ｎが好ましい。
【００１４】カラムへの通液には、通液速度は空塔速度
（以下ＳＶと略す）で０．５から２０ｈｒ-1である。通
液量としては、変換する官能基に対し炭酸根又は重炭酸
根が当量比で２倍以上になるように、使用する炭酸アン
モニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液の濃度により
決定すればよいが、官能基に対する炭酸根又は重炭酸根
の当量比は２倍から１０倍が好ましい。
（以下ＳＶと略す）で０．５から２０ｈｒ-1である。通
液量としては、変換する官能基に対し炭酸根又は重炭酸
根が当量比で２倍以上になるように、使用する炭酸アン
モニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液の濃度により
決定すればよいが、官能基に対する炭酸根又は重炭酸根
の当量比は２倍から１０倍が好ましい。
【００１５】なお、塩素型として供給されるものは一度
水酸型に変換した後炭酸型又は重炭酸型に変換すること
も可能で、このほうがより完全に変換できるため好まし
い。水酸型にするには、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウムやアンモニア水のようなアルカリ水溶液を用いて変
換する。
水酸型に変換した後炭酸型又は重炭酸型に変換すること
も可能で、このほうがより完全に変換できるため好まし
い。水酸型にするには、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウムやアンモニア水のようなアルカリ水溶液を用いて変
換する。
【００１６】使用済みのアニオン交換樹脂を再生するに
は新規樹脂を炭酸型又は重炭酸型に変換するのと同様し
てに炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液
を通液すれば良い。
は新規樹脂を炭酸型又は重炭酸型に変換するのと同様し
てに炭酸アンモニウム又は重炭酸アンモニウムの水溶液
を通液すれば良い。
【００１７】以上に述べた方法で炭酸型又は重炭酸型に
変換したのち、過剰の炭酸アンモニウム又は重炭酸アン
モニウムを水洗により除去する。
変換したのち、過剰の炭酸アンモニウム又は重炭酸アン
モニウムを水洗により除去する。
【００１８】本発明に用いるカチオン交換樹脂は官能基
としてスルホン酸基を有する強酸型カチオン交換樹脂を
用いる。該カチオン交換樹脂は水素型として用いる。ナ
トリウム型として供給されるものは塩酸や硫酸のような
鉱酸により水素型に変換される。変換方法はアニオン交
換樹脂と同様にカラム通液で行うのが工業的には好まし
い。即ち、０．１から２Ｎの鉱酸を官能基に対する酸の
当量比を２倍以上になるようにして、ＳＶ＝０．５〜１
０ｈｒ-1で、カチオン樹脂を充填したカラムに通液すれ
ばよい。勿論、通液方式以外の方法でも塩素型が水素型
に変換できる方法であれは構わない。水素型に変換した
後、カチオン交換樹脂を水洗し過剰の鉱酸を除去する。
としてスルホン酸基を有する強酸型カチオン交換樹脂を
用いる。該カチオン交換樹脂は水素型として用いる。ナ
トリウム型として供給されるものは塩酸や硫酸のような
鉱酸により水素型に変換される。変換方法はアニオン交
換樹脂と同様にカラム通液で行うのが工業的には好まし
い。即ち、０．１から２Ｎの鉱酸を官能基に対する酸の
当量比を２倍以上になるようにして、ＳＶ＝０．５〜１
０ｈｒ-1で、カチオン樹脂を充填したカラムに通液すれ
ばよい。勿論、通液方式以外の方法でも塩素型が水素型
に変換できる方法であれは構わない。水素型に変換した
後、カチオン交換樹脂を水洗し過剰の鉱酸を除去する。
【００１９】なおコンディショニングの際に、通常行わ
れる酸及びアルカリの通液を繰り返すことは本発明を実
施する上でなんら支障は無い。
れる酸及びアルカリの通液を繰り返すことは本発明を実
施する上でなんら支障は無い。
【００２０】上述した方法により炭酸型又は重炭酸型と
されたアニオン交換樹脂および水素型とされたカチオン
交換樹脂と原料の粗過酸化水素水を接触させる。接触方
法としては、過酸化水素水中に所望の型に変換されたア
ニオン交換樹脂及び／又はカチオン交換樹脂を入れて攪
拌するなどというバッチ方法でも可能であるが、アニオ
ン交換樹脂又はカチオン交換樹脂が充填されたカラム
に、過酸化水素水を通液する方法が工業的方法として好
ましい。
されたアニオン交換樹脂および水素型とされたカチオン
交換樹脂と原料の粗過酸化水素水を接触させる。接触方
法としては、過酸化水素水中に所望の型に変換されたア
ニオン交換樹脂及び／又はカチオン交換樹脂を入れて攪
拌するなどというバッチ方法でも可能であるが、アニオ
ン交換樹脂又はカチオン交換樹脂が充填されたカラム
に、過酸化水素水を通液する方法が工業的方法として好
ましい。
【００２１】カラムへのアニオン交換樹脂及び／又はカ
チオン交換樹脂の充填高さは金属類やアニオン類のリー
クを防ぐためには２０ｃｍ以上とすればよいが、３０ｃ
ｍ以上であればより好ましい。
チオン交換樹脂の充填高さは金属類やアニオン類のリー
クを防ぐためには２０ｃｍ以上とすればよいが、３０ｃ
ｍ以上であればより好ましい。
【００２２】通液速度はＳＶで０．１〜２０ｈｒ-1であ
るが、０．５〜１０がより好ましい。
るが、０．５〜１０がより好ましい。
【００２３】通液時に過酸化水素水がアニオン交換樹脂
との接触により僅かではあるが分解を起こすため、より
分解の起こりにくい低温で行うことが原料の粗過酸化水
素水を効率的に利用でき、また処理の安定の見地からも
好ましい。具体的には−１０〜３０℃で行うのが好まし
く、−１０〜１０℃が更に好ましい。
との接触により僅かではあるが分解を起こすため、より
分解の起こりにくい低温で行うことが原料の粗過酸化水
素水を効率的に利用でき、また処理の安定の見地からも
好ましい。具体的には−１０〜３０℃で行うのが好まし
く、−１０〜１０℃が更に好ましい。
【００２４】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例により更に
詳細に説明する。 実施例−１ 強塩基性アニオン交換樹脂であるダイヤイオンＳＡ２０
Ａ（４級アンモニウム２型、三菱化成社商標名）をカラ
ムに３０ｃｍの層高で充填し、コンディショニングとし
てまず１Ｎ水酸化ナトリウムを官能基の５倍当量になる
量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量の５倍量の
超純水で水洗した。次に１Ｎ塩酸を官能基の５倍当量に
なる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量の５倍
量の超純水で水洗した。更に１Ｎ水酸化ナトリウム−超
純水−１Ｎ塩酸−超純水での通液を上述の通り２回繰り
返したのち、再度１Ｎ水酸化ナトリウムを官能基の５倍
当量になる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量
の５倍量の超純水で水洗し該アニオン交換樹脂を水酸型
に変換した。次に１Ｎ重炭酸アンモニウムを官能基の５
倍当量になる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、最後に樹脂
量の１０倍量の超純水を通液することにより水洗し、該
アニオン交換樹脂を重炭酸型に変換した。
詳細に説明する。 実施例−１ 強塩基性アニオン交換樹脂であるダイヤイオンＳＡ２０
Ａ（４級アンモニウム２型、三菱化成社商標名）をカラ
ムに３０ｃｍの層高で充填し、コンディショニングとし
てまず１Ｎ水酸化ナトリウムを官能基の５倍当量になる
量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量の５倍量の
超純水で水洗した。次に１Ｎ塩酸を官能基の５倍当量に
なる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量の５倍
量の超純水で水洗した。更に１Ｎ水酸化ナトリウム−超
純水−１Ｎ塩酸−超純水での通液を上述の通り２回繰り
返したのち、再度１Ｎ水酸化ナトリウムを官能基の５倍
当量になる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、次いで樹脂量
の５倍量の超純水で水洗し該アニオン交換樹脂を水酸型
に変換した。次に１Ｎ重炭酸アンモニウムを官能基の５
倍当量になる量をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、最後に樹脂
量の１０倍量の超純水を通液することにより水洗し、該
アニオン交換樹脂を重炭酸型に変換した。
【００２５】別のカラムに強酸性カチオン交換樹脂であ
るダイヤイオンＳＫ１Ｂ（三菱化成社商標名）を３０ｃ
ｍの層高で充填し、官能基の５倍当量に相当する１Ｎ塩
酸−樹脂量の５倍量の超純水−官能基の５倍当量に相当
する１Ｎ水酸化ナトリウム−樹脂量の５倍量の超純水に
よる通液を３回繰り返した後、官能基の５倍当量に相当
する１Ｎ塩酸をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、最後に樹脂量
の１０倍量の超純水を通液することにより水洗し、該カ
チオン交換樹脂を水素型に変換した。
るダイヤイオンＳＫ１Ｂ（三菱化成社商標名）を３０ｃ
ｍの層高で充填し、官能基の５倍当量に相当する１Ｎ塩
酸−樹脂量の５倍量の超純水−官能基の５倍当量に相当
する１Ｎ水酸化ナトリウム−樹脂量の５倍量の超純水に
よる通液を３回繰り返した後、官能基の５倍当量に相当
する１Ｎ塩酸をＳＶ＝５ｈｒ-1で通液し、最後に樹脂量
の１０倍量の超純水を通液することにより水洗し、該カ
チオン交換樹脂を水素型に変換した。
【００２６】原料として金属類が０．数〜数１０ｐｐ
ｂ、硫酸根及び塩素イオンを数１０ｐｐｂ含む３１％過
酸化水素水を用い、該過酸化水素水をカチオン交換樹脂
カラム、アニオン交換樹脂カラムの順に２５℃、ＳＶ＝
５ｈｒ-1で通液した。
ｂ、硫酸根及び塩素イオンを数１０ｐｐｂ含む３１％過
酸化水素水を用い、該過酸化水素水をカチオン交換樹脂
カラム、アニオン交換樹脂カラムの順に２５℃、ＳＶ＝
５ｈｒ-1で通液した。
【００２７】カラムから流出する過酸化水素水をを捕集
し、この中に含まれる金属類及び塩素イオン、硫酸根を
分析した。金属類はＮａ，Ｃａ，Ａｌ，Ｆｅなど何れも
０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオン、硫酸根は５ｐｐ
ｂ以下であった。なお、金属類の分析はＩＣＰ−ＭＳ法
ならびにフレームレス原子吸光法、塩素イオン、硫酸根
の分析はイオンクロマトグラフィー法で行った。
し、この中に含まれる金属類及び塩素イオン、硫酸根を
分析した。金属類はＮａ，Ｃａ，Ａｌ，Ｆｅなど何れも
０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオン、硫酸根は５ｐｐ
ｂ以下であった。なお、金属類の分析はＩＣＰ−ＭＳ法
ならびにフレームレス原子吸光法、塩素イオン、硫酸根
の分析はイオンクロマトグラフィー法で行った。
【００２８】実施例−２ アニオン交換樹脂の最終型を炭酸型とするためアニオン
交換樹脂のコンディショニング時の最終薬剤として１Ｎ
炭酸アンモニウムを官能基の１０倍当量となるように通
液し、アニオン交換樹脂の１５倍量の超純水で水洗した
他は実施例−１と同様にして原料過酸化水素水の通液を
行った。得られた過酸化水素水の金属類は何れも０．１
ｐｐｂ以下であり、塩素イオン、硫酸根は５ｐｐｂ以下
であった。
交換樹脂のコンディショニング時の最終薬剤として１Ｎ
炭酸アンモニウムを官能基の１０倍当量となるように通
液し、アニオン交換樹脂の１５倍量の超純水で水洗した
他は実施例−１と同様にして原料過酸化水素水の通液を
行った。得られた過酸化水素水の金属類は何れも０．１
ｐｐｂ以下であり、塩素イオン、硫酸根は５ｐｐｂ以下
であった。
【００２９】実施例−３ 通液時の温度を７℃とした他は実施例−１と同様にして
原料過酸化水素水の通液を行った。得られた過酸化水素
水の金属類は何れも０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオ
ン、硫酸根は５ｐｐｂ以下であった。
原料過酸化水素水の通液を行った。得られた過酸化水素
水の金属類は何れも０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオ
ン、硫酸根は５ｐｐｂ以下であった。
【００３０】実施例−４ アニオン交換樹脂として強塩基性のダイヤイオンＳＡ１
０Ａ（４級アンモニウム１型、三菱化成社商標名）を、
カチオン交換樹脂として強酸性カチオン交換樹脂である
ダイヤイオンＳＫ１Ｂを用いた他は、実施例−１と同様
にして原料過酸化水素水の通液を行った。得られた過酸
化水素水の金属類は何れも０．１ｐｐｂ以下であり、塩
素イオン、硫酸根は５ｐｐｂ以下であった。
０Ａ（４級アンモニウム１型、三菱化成社商標名）を、
カチオン交換樹脂として強酸性カチオン交換樹脂である
ダイヤイオンＳＫ１Ｂを用いた他は、実施例−１と同様
にして原料過酸化水素水の通液を行った。得られた過酸
化水素水の金属類は何れも０．１ｐｐｂ以下であり、塩
素イオン、硫酸根は５ｐｐｂ以下であった。
【００３１】実施例−５ アニオン交換樹脂として強塩基性のダイヤイオンＳＡ１
０Ａを、カチオン交換樹脂として強酸性カチオン交換樹
脂であるダイヤイオンＳＫ１Ｂを用い、実施例−１と同
様にしてアニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂のコン
ディショニングを行った。なお、今回は各樹脂のカラム
を２本ずつ用意し、カチオン−アニオン−カチオン−ア
ニオンの順に連結した。このカラムに工業グレードの過
酸化水素水を２５℃、ＳＶ＝５ｈｒ-1で通液した。なお
この原料過酸化水素水中の不純物として、Ｎａが数１０
００ｐｐｂ、Ａｌ，Ｃａ、Ｆｅが数１０〜数１００ｐｐ
ｂ含まれており、塩素イオン及び硫酸根も数１００ｐｐ
ｂ含まれていた。４本のカラムを通って流出した過酸化
水素水中の金属イオンはＮａ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃａ等全て
０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオン及び硫酸根も５ｐ
ｐｂ以下であった。
０Ａを、カチオン交換樹脂として強酸性カチオン交換樹
脂であるダイヤイオンＳＫ１Ｂを用い、実施例−１と同
様にしてアニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂のコン
ディショニングを行った。なお、今回は各樹脂のカラム
を２本ずつ用意し、カチオン−アニオン−カチオン−ア
ニオンの順に連結した。このカラムに工業グレードの過
酸化水素水を２５℃、ＳＶ＝５ｈｒ-1で通液した。なお
この原料過酸化水素水中の不純物として、Ｎａが数１０
００ｐｐｂ、Ａｌ，Ｃａ、Ｆｅが数１０〜数１００ｐｐ
ｂ含まれており、塩素イオン及び硫酸根も数１００ｐｐ
ｂ含まれていた。４本のカラムを通って流出した過酸化
水素水中の金属イオンはＮａ、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃａ等全て
０．１ｐｐｂ以下であり、塩素イオン及び硫酸根も５ｐ
ｐｂ以下であった。
【００３２】比較例−１ アニオン交換樹脂の最終コンディショニング薬剤を重炭
酸ナトリウムを用いた他は、実施例−１と同様にして原
料過酸化水素水の通液を行った。流出液中の塩素イオン
及び硫酸根の濃度は５ｐｐｂ以下であり、殆どの金属類
も０．１ｐｐｂ以下であったが、Ｎａは１．４ｐｐｂと
高かった。
酸ナトリウムを用いた他は、実施例−１と同様にして原
料過酸化水素水の通液を行った。流出液中の塩素イオン
及び硫酸根の濃度は５ｐｐｂ以下であり、殆どの金属類
も０．１ｐｐｂ以下であったが、Ｎａは１．４ｐｐｂと
高かった。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、半
導体製造プロセスで用いられる金属類や塩素イオン及び
硫酸根の低減された高純度過酸化水素水を製造する方法
を提供することができた。
導体製造プロセスで用いられる金属類や塩素イオン及び
硫酸根の低減された高純度過酸化水素水を製造する方法
を提供することができた。
Claims (1)
- 【請求項１】 粗過酸化水素水を精製して高純度過酸化
水素水を製造するにあたり、粗過酸化水素水を、炭酸ア
ンモニウムを用いて炭酸型としたアニオン交換樹脂又は
重炭酸アンモニウムを用いて重炭酸型としたアニオン交
換樹脂と接触させることを特徴とする高純度過酸化水素
水の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31478993A JP3608211B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31478993A JP3608211B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07172805A true JPH07172805A (ja) | 1995-07-11 |
| JP3608211B2 JP3608211B2 (ja) | 2005-01-05 |
Family
ID=18057617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31478993A Expired - Fee Related JP3608211B2 (ja) | 1993-12-15 | 1993-12-15 | 高純度過酸化水素水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3608211B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896867B2 (en) | 2000-06-21 | 2005-05-24 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Process for producing a purified aqueous hydrogen peroxide solution |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102346921B1 (ko) | 2019-10-30 | 2022-01-05 | 주식회사 삼양사 | 음이온 교환수지와 양이온 교환수지를 포함하는 혼상형 이온 교환수지, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 과산화수소수의 정제 방법 |
-
1993
- 1993-12-15 JP JP31478993A patent/JP3608211B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896867B2 (en) | 2000-06-21 | 2005-05-24 | Santoku Chemical Industries Co., Ltd. | Process for producing a purified aqueous hydrogen peroxide solution |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3608211B2 (ja) | 2005-01-05 |
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