JPH07170094A - 電子素子チップの収納トレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はＩＣ等のチップの収納トレイに関
し、そのダイボンディング工程を低コストでしかも効率
良く達成し得る収納トレイの提供を目的とする。 【構成】 電子素子チップ（Ｃ、ＬＣ、ＳＣ）の収納ポ
ケット（３２）が２種類以上のサイズの電子素子チップ
を収納し得るように複数段とされる。ポケット（３２）
へのチップの収納を容易にすべくその対向壁面を上方に
傾斜するかあるいは溝（３４）を形成する。また、視覚
的な認識を確実にするためにポケット（３６）の底部を
塗料でもって塗布する。更に、ポケット（３２）内での
チップの姿勢を安定化するためにその内部に弾性材（４
４、４６、５０、５２）等が設けれる。更に、チップの
姿勢の安定化のために収納トレイ（３０）底部に弾性脚
部（５４）を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品の製造工程でＩ
Ｃ、ＬＳＩ等の電子素子チップを一時的に収納するため
の収納トレイに関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、ＩＣ、ＬＳＩ等の電子素
子チップはシリコンウエハ上に多数形成された後に、そ
れら電子素子チップは個々に切り分けられ、個々の電子
素子チップは収納トレイ内に一時的に収納される。図１
３および図１４を参照すると、個々の電子素子チップを
収納トレイに収納させる模様の一例が図示され、同図に
おいて、参照符号Ｗはシリコンウエハを示し、参照符号
１０はシリコンウエハＷを保持するウエハリングを示
し、参照符号Ｃは個々に切り分けられた電子素子チップ
を示し、参照符号１２は電子素子チップＣを摘み上げる
エアピンセットを示し、参照符号１４は電子素子チップ
Ｃを収納する収納トレイを示す。ウエハリング１０から
収納トレイ１４への電子素子チップＣの移動は手動操作
されるエアピンセット１２で行われ、このとき不良の電
子素子チップは排除される。

【０００３】図１４に示すように、収納トレイ１４には
電子素子チップＣの収納凹部すなわちポケット１６が多
数形成され、これらポケット１６の全てに電子素子チッ
プＣが収納された後に、収納トレイ１４は図１５に示す
ようにＸＹテーブル１８上のトレイ台２０上に配置され
る。図１６に示すように、トレイ台２０上には台形状隆
起部２２が形成され、一方各収納トレイ１４の底部には
該台形状隆起部２２を受け入れるようになった窪み部２
４が形成され、これにより収納トレイ１４はトレイ台２
０上で所定位置に位置決めされた状態で設置される。な
お、図１５から明らかなように、トレイ台２０上には多
数の収納トレイ１４が適宜配列される。ＸＹテーブル１
８は電子素子チップＣをリードフレームのステージ上に
固定させる工程、すなわちダイボンティング工程で用い
られ、このようなダイボンディング工程は自動化されて
いる。詳述すると、個々の収納トレイ１４のポケット１
６がＸＹテーブル１８の作動により所定位置に位置決め
された後にポケット１６内の電子素子チップの姿勢がＴ
Ｖカメラ２６によって認識され、次いで該電子素子チッ
プはピックアップ手段２８によって取り上げられて所定
のダイボンディング位置まで搬送される。ピックアップ
手段２８はトランスファーアーム２８ａと、その先端に
設けられたピックアップコレット２８ｂとからなり、該
ピックアップコレット２８ｂはポケット１６からの電子
素子チップＣの取上げ時、ＴＶカメラ２６によって認識
された電子素子チップＣの姿勢に応じた向きに方向付け
られる。例えば、電子素子チップＣがその一辺をポケッ
ト１６内の側面に引っ掛けて傾斜しているような場合に
は、ピックアップコレット２８ｂはその傾斜電子素子チ
ップを首尾良く取り上げるべく該傾斜電子素子チップの
姿勢に応じた向きに方向付けられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上で述べたような従
来の収納トレイにあっては、下記するような種々の要因
のためにダイボンディング工程を低コストでしかも効率
良く達成することが阻害されるという問題がある。

【０００５】先ず、電子素子チップには種々のサイズの
ものがあり、収納トレイのポケットの寸法形状は各サイ
ズに応じたものとされる。したがって、電子素子チップ
の各サイズ毎に収納トレイが用意されなければならず、
このため収納トレイの総数は厖大なものとなって、その
製造コストが高く付くという不利点だけでなく、或る特
定のサイズの電子素子チップを取り扱う場合には、他の
サイズの収納トレイを保管するためのスペースも確保し
なければならいという不利点もある。

【０００６】また、従来の収納トレイの問題点として、
電子素子チップをエアピンセットでもって収納トレイの
ポケット内に収納させるとき、該エアピンセットの先端
が邪魔になってポケット内に電子素子チップを確実に落
とし込め得ないという点も問題とされる。

【０００７】別の問題点として、従来の収納トレイで
は、そのポケット内の電子素子チップの位置および姿勢
をＴＶカメラで認識する際に該電子素子チップとその背
景領域との間の区別ができないことが屡々あり、このと
き電子素子チップ位置および姿勢を検出し得ずに装置全
体の作動が中断し、その作業効率の低下を招来するとい
う点も問題とされる。

【０００８】更に別の問題点として、従来では、収納ト
レイのポケット内で電子素子チップは何等も拘束されて
いないために、収納トレイの移動中、ポケット内での電
子素子チップの姿勢が安定せず、このためポケットから
の電子素子チップの取出し時にピックアップコレットを
様々な向きに方向付けしなければならず、このためポケ
ットからの電子素子チップの取出しに時間が掛かるとい
う点も問題とされる。

【０００９】したがって、本発明の目的は上述したよう
な問題点の少なくとも１つを排除することを目的とす
る。すなわち、

【００１０】本発明の目的の１つは電子素子チップを収
納するためのポケットを有する収納トレイであって、該
電子素子チップの少なくとも２種類のサイズに共用し得
るように構成された収納トレイを提供することである。

【００１１】また、本発明の別の目的は電子素子チップ
を収納するためのポケットを有する収納トレイであっ
て、該ポケットに電子素子チップを容易に収納し得るよ
うに構成された収納トレイを提供することである。

【００１２】本発明の更に別の目的は電子素子チップを
収納するためのポケットを有する収納トレイであって、
該ポケット内に収納された電子素子チップを視覚的に容
易に視認し得るように構成された収納トレイを提供する
ことである。

【００１３】本発明の更に別の目的は電子素子チップを
収納するためのポケットを有する収納トレイであって、
その移動中に該ポケット内に収納された電子素子チップ
の姿勢を安定化させるように構成された収納トレイを提
供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の局面によ
れば、電子素子チップを収納するためのポケットを有す
る収納トレイにおいて、該ポケットが２種類以上のサイ
ズの電子素子チップを収納し得るように複数段に形成さ
れることが特徴とされる。

【００１５】本発明の第２の局面によれば、電子素子チ
ップを収納するためのポケットを有する収納トレイにお
いて、該ポケットへの電子素子チップの収納を容易にす
べく該ポケットの少なくとも一方の対向側面が上方に向
かって拡がるような傾斜面とされることが特徴とされ
る。また、本発明の第２の局面によれば、電子素子チッ
プを収納するためのポケットを有する収納トレイにおい
て、前記ポケットへの電子素子チップの収納を容易にす
べく該ポケットにはそこから収納トレイの側辺に向かっ
て延びる溝が形成されることが特徴とされる。

【００１６】本発明の第３の局面によれば、電子素子チ
ップを収納するためのポケットを有する収納トレイにお
いて、該ポケット内に収納された電子素子チップの視覚
的視認を容易にすべく該ポケットの底部に所定の塗料が
塗布されることが特徴とされる。

【００１７】本発明の第４の局面によれば、電子素子チ
ップを収納するためのポケットを有する収納トレイにお
いて、該ポケットにはその中に収納した電子素子チップ
の姿勢を安定させるための姿勢安定化手段が設けれるこ
とが特徴とされる。また、本発明の第４の局面によれ
ば、電子素子を収納する収納トレイにおいて、その底面
に弾性手段が設けられ、これら弾性手段を介して該収納
トレイがトレイ台上に設置されることが特徴とされる。

【００１８】

【作用】以上の記載から明らかなように、本発明の第１
の局面による収納トレイにあっては、ポケットが２種類
以上のサイズの電子素子チップを収納し得るように複数
段に形成されるので、該収納トレイは２種類以上のサイ
ズの電子素子チップに共用され得る。

【００１９】本発明の第２の局面による収納トレイにあ
っては、ポケットの少なくとも一方の対向側面が上方に
向かって拡がるような傾斜面とされるので、あるいはポ
ケットにはそこから収納トレイの側辺に向かって延びる
溝が形成されるので、該ポケットに電子素子チップをエ
アピンセットでもって収納させる際の操作が容易とな
る。

【００２０】本発明の第３の局面による収納トレイにあ
っては、ポケットの底部には所定の塗料が塗布され、該
ポケットへの電子素子チップの収納時に塗料の一部が該
電子素子チップの周囲から露出され、これによりその視
覚的視認が容易となる。

【００２１】本発明の第４の局面による収納トレイにあ
っては、ポケットにはその中に収納した電子素子チップ
の姿勢を安定させるための姿勢安定化手段が設けれる
か、あるいは収納トレイの底面に弾性手段を設けて、こ
れら弾性手段を介して該収納トレイがトレイ台上に設置
されるので、収納トレイの移動時に電子素子チップの動
きが阻止されて、その姿勢が安定化される。

【００２２】

【実施例】次に、添付図面の図１ないし図１２を参照し
て、本発明による収納トレイの実施例について説明す
る。先ず、図１および図２を参照すると、本発明の第１
の局面に従って構成された収納トレイ３０が示され、本
実施例では、収納トレイ３０には９個の二段構造のポケ
ット３２が形成される。詳述すると、各ポケット３２は
収納トレイ３０の表面側に位置した一段目ポケット３２
ａと、この一段目ポケット３２ａの底部に形成された二
段目ポケット３２ｂとからなり、図２に示すように、一
段目ポケット３２ａには大きなサイズの電子素子チップ
ＬＣが収納され、また二段目ポケット３２ｂには小さな
サイズの電子素子チップＳＣが収納される。このような
構成によれば、収納トレイ３０は２つのサイズの電子素
子チップに共用し得るので、収納トレイ３０の総数を低
減することが可能である。また、必要に応じて、双方の
サイズの電子素子チップＬＣおよびＳＣを同時にポケッ
ト３２内に収納してダイボンディング工程を効率的に行
うことも可能である。本実施例では、ポケット３０を二
段構造としたが、それ以上の多段構造とすることも可能
であり、この場合には３種類以上のサイズを持つ電子素
子チップに共用されるので、収納トレイの総数を更に削
減することが可能である。

【００２３】図３には本発明の第２の局面に従って構成
された収納トレイの一実施例が示され、この収納トレイ
自体は図１および図２に示した収納トレイ３０とほぼ同
様な構成を持つが、しかし図３の収納トレイ３０では、
一段目ポケット３２ａおよび二段目ポケット３２ｂの各
々の少なくとも一方の対向側面が上方に向かって拡がる
ような傾斜面とされる点が特徴とされる。このような構
成によれば、図１３および図１４に示したようなエアピ
ンセット１２でもって電子素子チップを収納トレイ３０
の各ポケット３２ａ、３２ｂに収納させる際に該エアピ
ンセット１２の先端を上述の傾斜面に沿って逃がすこと
ができるので、かかる収納操作は比較的容易に行い得
る。なお、ポケットの少なくとも一方の対向側面を上方
に向かって拡がるような傾斜面とすることは複数段のポ
ケット３２だけに適用され得るものではなく、かかる傾
斜面の適用については例えば図１４に示すような単一段
のポケット１６にも可能である。

【００２４】図４には本発明の第２の局面に従って構成
された収納トレイの別の実施例が示され、この収納トレ
イ自体も図１および図２に示した収納トレイ３０とほぼ
同様な構成を持つが、しかし図４の収納トレイ３０で
は、そこに各ポケット３２から該収納トレイ３０の側辺
に向かって延びる溝３４が形成される。溝３４は一段目
ポケット３２ａおよび二段目ポケット３２ｂに対して共
通なものとされ、図１３および図１４に示したようなエ
アピンセット１２でもって電子素子チップを収納トレイ
３０の各ポケット３２ａ、３２ｂに収納させる際に該エ
アピンセット１２の先端を溝３４に沿って逃がすことが
できるので、かかる収納操作は比較的容易に行い得る。
なお、溝３４は複数段のポケット３２だけに適用され得
るものではなく、かかる溝の適用は例えば図１４に示す
ような単一段のポケット１６にも可能である。

【００２５】図５には本発明の第３の局面に従って構成
された収納トレイの実施例が示され、この収納トレイ３
０には図１４に示した収納トレイと同様に単一段のポケ
ット３６が形成されるが、各ポケット３６の底部には適
当な塗料が塗布され、この塗料塗布領域３８は図５では
ハッチング領域として示される。かかる塗料の色として
は、電子素子チップと視覚的に識別し易いものが選ば
れ、このため電子素子チップがポケット３６内に収納さ
れたとき、該塗布領域３８の一部が該電子素子チップの
周囲に露出されるので、図１５で示すようなＴＶカメラ
２６での認識が確実に行われ得る。図６には図５に示し
た実施例の変形実施例が示され、この変形実施例では、
塗料塗布領域３８の一部が適当なマーク例えば数字を表
すように抜き取られる。このようなマークは図１３およ
び図１４で示したようなエアピンセット１２でもって電
子素子チップをポケット内に収納させる際に目印となる
ので、電子素子チップを同一ポケット内に誤って重複し
て収納するというようなことが阻止され得る。なお、図
６で示す変形実施例では、９つのポケット３６に１から
９までの数字が適当な順序で付すことが好ましい。

【００２６】図７には本発明の第３の局面に従って構成
された収納トレイの別の実施例が示され、この収納トレ
イ３０には図１および図２で示したような二段構造のポ
ケット３２が形成され、一段目ポケット３２ａの底部に
は適当な色の塗料４０が塗布され、また二段目ポケット
３２ｂの底部には塗料４０とは異なった色の塗料４２が
塗布される。このような構成によれば、大きなサイズの
電子素子チップおよび小さなサイズの電子素子チップの
いずれについても図１５で示すようなＴＶカメラ２６に
よる認識が確実に達成され得る。また、一段目ポケット
３２ａの底部と二段目ポケット３２ｂの底部とを塗料４
０および４２でもって色分けすることにより、図１３お
よび図１４で示したようなエアピンセット１２による電
子素子チップの収納作業での誤りも少なくすることがで
きる。

【００２７】図８および図９には本発明の第４の局面に
従って構成された収納トレイの実施例が示され、この収
納トレイ３０には図１および図２二段構造のポケット３
２が形成され、この一段目ポケット３２ａおよび二段目
ポケット３２ｂの側面のぞれぞれには例えばスポンジ材
料から形成された弾性体４４および４６が取り付けられ
る。一段目ポケット３２ａの側面に取り付けられた弾性
体４４で郭成されるスペースの寸法形状は大きなサイズ
の電子素子チップＬＣよりも幾分小さく、このため該電
子素子チップＬＣが一段目ポケット３２ａ内に収納され
ると、弾性体４４は図９に示すように弾性変形し、この
とき電子素子チップＬＣは弾性体４４の弾性変形による
弾性力でもって所定位置に保持されので、収納トレイ３
０の移動中であっても、電子素子チップＬＣは所定の安
定した姿勢を常に維持することになる。したがって、図
１５に示すようなピックアップコレット２８ｂでもって
電子素子チップを取り上げる際、該ピックアップコレッ
ト２８ｂの向きは全ての電子素子チップに対してほぼ一
定の向きとされるので、かかる取上げ作業は速やかに行
われ得る。図８および図９には示されないが、小さなサ
イズの電子素子チップについても同様なことが言えるこ
とは言うまでもない。また、弾性体４４、４６を所定の
色に着色することにより、図１５で示すようなＴＶカメ
ラ２６による認識を改善することも可能である。

【００２８】図１０および図１１には本発明の第４の局
面に従って構成された収納トレイの別の実施例が示さ
れ、この収納トレイ３０には図１４に示した収納トレイ
と同様に単一段のポケット４８が形成されるが、各ポケ
ット４８の開口縁には適当な樹脂フィルム５０が取り付
けられ、この樹脂フィルム５０の面積は該ポケット４８
の開口面積よりも大きくされ、このため樹脂フィルム５
０は弛緩した状態でポケット４８の開口部を覆う。樹脂
フィルム５０で覆われた内部には適当な粘度を持つ液体
５２が充填される。電子素子チップＣがポケット４８内
に収納されると、樹脂フィルム５０は図１１に示すよう
に電子素子チップＣの形状に応じて変形して該電子素子
チップＣを所定位置に保持し、また収納トレイ３０の移
動中であっても液体５２の適当な粘度のために電子素子
チップＣがみだり動くことはない。かくして、図１０お
よび図１１に示す実施例においても、図１５に示すよう
なピックアップコレット２８ｂでもって電子素子チップ
を取り上げる際、該ピックアップコレット２８ｂの向き
は全ての電子素子チップに対してほぼ一定の向きとされ
るので、かかる取上げ作業は速やかに行われ得る。ま
た、本実施例でも、弾性フィルム５０を所定の色に着色
することにより、図１５で示すようなＴＶカメラ２６に
よる認識を改善することもできる。

【００２９】図１２を参照すると、本発明の第４の局面
に従って構成された収納トレイの更に別の実施例が示さ
れ、この収納トレイ３０の周囲には、好ましくは該収納
トレイ３０の４つの角部の底部には適当な弾性材料例え
ばゴム材料からなる脚部５４が取り付けられる。収納ト
レイ３０にも図１６に示した場合と同様な態様でトレイ
台５６上に形成された台形状隆起部５８を受け入れるよ
うになった窪み部６０が形成され、これにより収納トレ
イ３０はトレイ台５６上で所定位置に位置決めされた状
態で設置される。本実施例では、図１２から明らかなよ
うに、脚部５４の長さについては、台形状隆起部５８の
頂面と窪み部６０の底面との間には僅かなスペースが残
されるようにされ、このため収納トレイ３０はトレイ台
５６上で脚部５４でもって支えられることになる。した
がって、トレイ台５６が図１５に示すようなＸＹテーブ
ル１８の駆動時あるいはその停止時に発生し得る振動あ
るいはその他の外部振動は弾性材料製の脚部５４によっ
て吸収されるので、収納トレイ３０のポケット内に収納
された電子素子チップがかかる振動によってみだりに動
くことが防止される。かくして、図１２に示す実施例に
おいても、図１５に示すようなピックアップコレット２
８ｂでもって電子素子チップを取り上げる際、該ピック
アップコレット２８ｂの向きは全ての電子素子チップに
対してほぼ一定の向きとされるので、かかる取上げ作業
は速やかに行われ得る。なお、本実施例では、脚部５４
は弾性材料で形成されたが、該脚部をコイルばねあるい
は板ばね等から形成することも可能であり、また収納ト
レイ３０の底面の周囲全体にあるいはその一部に沿って
弾性体を設けることも可能である。

【００３０】

【発明の効果】以上の記載から明らかなように、本発明
による収納トレイにあっては、ダイボンィング工程を低
コストでしかも効率良く行うことが可能である。すなわ
ち、本発明の第１の局面によれば、少なくとも２種類以
上のサイズの電子素子チップに共用し得る収納トレイが
得れるので、かかる収納トレイの総数を大巾に減少し得
る。また、本発明の第２の局面によれば、手動操作でも
って電子素子チップを収納トレイのポケットに収納させ
る作業が容易化されて、その作業効率が大巾に向上され
る。更に、本発明の第３の局面によれば、収納トレイの
ポケット内に収納された電子素子チップをＴＶカメラで
もって認識する際の信頼性が改善されるので、ダイボン
ィング作業の効率化に寄与し得る。更にまた、本発明の
第３の局面によれば、収納トレイからの電子素子チップ
の取出しが迅速化され、これもダイボンィング作業の効
率化に寄与し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の局面に従って構成された収納ト
レイの一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１の収納トレイに形成された任意のポケット
の部分横断面図である。

【図３】本発明の第２の局面に従って構成された収納ト
レイの一実施例を示す部分横断面図である。

【図４】本発明の第２の局面に従って構成された収納ト
レイの別の実施例を示す部分斜視図である。

【図５】本発明の第３の局面に従って構成された収納ト
レイの一実施例を示す平面図である。

【図６】図５の実施例の変形実施例を示す部分平面図で
ある。

【図７】本発明の第３の局面に従って構成された収納ト
レイの別の実施例を示す部分横断面図である。

【図８】本発明の第４の局面に従って構成された収納ト
レイの一実施例を示す部分横断面図である。

【図９】図８と同様な部分横断面図であって、電子素子
チップを収納状態で示す図である。

【図１０】本発明の第４の局面に従って構成された収納
トレイの別の実施例を示す部分横断面図である。

【図１１】図１０と同様な部分横断面図であって、電子
素子チップを収納状態で示す図である。

【図１２】本発明の第４の局面に従って構成された収納
トレイの更に別の実施例を示す立面図である。

【図１３】シリコンウエハに形成された電子素子チップ
を個々に分割した後にエアピンセットでもって摘み上げ
る模様を概略的に示す斜視図である。

【図１４】エアピンセットでもって摘み上げられた電子
素子チップを従来の収納トレイのポケットに収納させる
模様を概略的に示す斜視図である。

【図１５】多数の従来の収納トレイをトレイ台上に配置
して該トレイ台をＸＹテーブルで駆動して該収納トレイ
の各ポケットを位置決めしてそこから電子素子チップを
取り出す模様を示す概略斜視図である。

【図１６】従来の収納トレイをトレイ台上に設置した状
態をいめす立面図である。

【符号の説明】

１０…ウエハリング １２…エアピンセット １４…収納トレイ １６…ポケット １８…ＸＹテーブル ２０…トレイ台 ２２…台形状隆起部 ２４…窪み部 ２６…ＴＶカメラ ２８…ピックアップ手段 ２８ａ…トランスファーアーム ２８ｂ…ピックアップコレット ３０…収納トレイ ３２…二段構造のポケット ３２ａ…一段目ポケット ３２ｂ…二段目ポケット ３４…溝 ３６…単一段のポケット ３８…塗料塗布領域 ４０，４２…塗料 ４４，４６…弾性体 ４８…ポケット ５０…樹脂フィルム ５２…液体 ５４…脚部 ５６…トレイ台 ５８…台形状隆起部 ６０…窪み部 Ｗ…シリコンウエハ Ｃ…電子素子チップ ＬＣ…大きなサイズの電子素子チップ ＳＣ…小さなサイズの電子素子チップ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 哲也 宮城県柴田郡村田町大字村田字西ケ丘１番 地の１ 株式会社富士通宮城エレクトロニ クス内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子素子チップを収納するためのポケッ
   トを有する収納トレイ（３０）において、該ポケット
   （３２）が２種類以上のサイズの電子素子チップ（Ｌ
   Ｃ、ＳＣ）を収納し得るように複数段に形成されること
   を特徴とする収納トレイ。
2. 【請求項２】 電子素子チップを収納するためのポケッ
   トを有する収納トレイ（３０）において、該ポケット
   （３２）への電子素子チップの収納を容易にすべく該ポ
   ケットの少なくとも一方の対向側面が上方に向かって拡
   がるような傾斜面とされることを特徴とする収納トレ
   イ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の収納トレイ（３０）に
   おいて、前記ポケット（３２）が２種類以上のサイズの
   電子素子チップ（ＬＣ、ＳＣ）を収納し得るように複数
   段に形成され、各段のポケットの少なくとも一方の対向
   側面が上方に向かって拡がるような傾斜面とされること
   を特徴とする収納トレイ。
4. 【請求項４】 電子素子チップを収納するためのポケッ
   トを有する収納トレイ（３０）において、該ポケット
   （３２）への電子素子チップの収納を容易にすべく該ポ
   ケットにはそこから収納トレイ（３０）の側辺に向かっ
   て延びる溝（３４）が形成されることを特徴とする収納
   トレイ。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の収納トレイ（３０）に
   おいて、前記ポケット（３２）が２種類以上のサイズの
   電子素子チップ（ＬＣ、ＳＣ）を収納し得るように複数
   段に形成され、前記溝（３４）がそれら複数段のポケッ
   トの共通なものとして形成されることを特徴とする収納
   トレイ。
6. 【請求項６】 電子素子チップを収納するためのポケッ
   トを有する収納トレイ（３０）において、該ポケット
   （３６）に収納された電子素子チップの視覚的視認を容
   易にすべく該ポケットの底部に所定の塗料（３８）が塗
   布されることを特徴とする収納トレイ。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の収納トレイ（３０）に
   おいて、前記ポケット（３２）が２種類以上のサイズの
   電子素子チップを収納し得るように複数段に形成され、
   各段のポケットの底部に塗布される塗料（４０、４２）
   の色が変えられることを特徴とする収納トレイ。
8. 【請求項８】 電子素子チップを収納するためのポケッ
   トを有する収納トレイ（３０）において、該ポケット
   （３２、４８）にはその中に収納した電子素子チップ
   （Ｃ、ＬＣ、ＳＣ）の姿勢を安定させるための姿勢安定
   化手段（４４、４６、５０、５２）が設けれることを特
   徴とする収納トレイ。
9. 【請求項９】 請求項６に記載の収納トレイ（３０）に
   おいて、前記ポケット（３２）が２種類以上のサイズの
   電子素子チップ（ＬＣ、ＳＣ）を収納し得るように複数
   段に形成され、前記姿勢安定化手段が各段のポケット
   （３２ａ、３２ｂ）に設けられることを特徴とする収納
   トレイ。
10. 【請求項１０】 電子素子を収納する収納トレイ（３
    ０）において、その底面に弾性脚部（５４）が設けら
    れ、これら弾性脚部（５４）を介して該収納トレイがト
    レイ台（５６）上に設置されることを特徴とする収納ト
    レイ。