JPH07167890A - 容量形加速度センサ - Google Patents
容量形加速度センサInfo
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- JPH07167890A JPH07167890A JP4050358A JP5035892A JPH07167890A JP H07167890 A JPH07167890 A JP H07167890A JP 4050358 A JP4050358 A JP 4050358A JP 5035892 A JP5035892 A JP 5035892A JP H07167890 A JPH07167890 A JP H07167890A
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
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- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
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- G—PHYSICS
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- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/082—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for two degrees of freedom of movement of a single mass
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ただ１つの震動体を用いて加速度のすべての
空間的方向成分を同時に検出するセンサを提供する。 【構成】 フレーム内に振動可能に保持された震動体１
０の表面に設けた電極と、外被体に設けた対向電極とで
コンデンサ装置を形成し、これを介して加速度を検出す
るセンサで、フレーム面に対して平行な震動体１０のふ
れの際に第１のコンデンサ装置の電極３１１と対向電極
３２１との重なり度は変化せず、別のコンデンサ装置の
電極４１１と対向電極４２１との重なり度は変化するよ
うに電極の大きさを選定して配置する。
空間的方向成分を同時に検出するセンサを提供する。 【構成】 フレーム内に振動可能に保持された震動体１
０の表面に設けた電極と、外被体に設けた対向電極とで
コンデンサ装置を形成し、これを介して加速度を検出す
るセンサで、フレーム面に対して平行な震動体１０のふ
れの際に第１のコンデンサ装置の電極３１１と対向電極
３２１との重なり度は変化せず、別のコンデンサ装置の
電極４１１と対向電極４２１との重なり度は変化するよ
うに電極の大きさを選定して配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は請求項１の上位概念に記
載の、震動体の表面に電極が設けられ、かつフレームに
連結された少なくとも１つの外被体を有し、前記外被体
に前記電極に対する対向電極が設けられており、前記対
向電極は前記電極とともにコンデンサ装置を形成し、前
記コンデンサ装置を介し震動体のふれにより加速度を容
量的に検出可能である、フレームに振動可能に保持され
た震動体を有する加速度検出センサに関する。
載の、震動体の表面に電極が設けられ、かつフレームに
連結された少なくとも１つの外被体を有し、前記外被体
に前記電極に対する対向電極が設けられており、前記対
向電極は前記電極とともにコンデンサ装置を形成し、前
記コンデンサ装置を介し震動体のふれにより加速度を容
量的に検出可能である、フレームに振動可能に保持され
た震動体を有する加速度検出センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドイツ特許第３６２５４１１号明細書に
は、マイクロ機械的な製作技術及びエッチング技術で製
造する容量形加速度センサが記載されている。フレーム
内には、加速度プレートの上側及び下側に対して左右対
称に配置された曲げバンドで、加速度プレートが懸吊さ
れている。そこでは複数の２重に重ねた曲げバンドを使
用することが提案されている。加速度プレートの主表面
の両方にコンデンサ電極を設け、このコンデンサ電極の
対向電極を加速度プレートに対向して配置された外被プ
レートに設ける。この対向電極を実現するため被着され
た金属膜あるいは付着された金属シートが提案されてい
る。加速度プレートに適した材料の場合には、加速度プ
レートの表面を直接電極として用いることができる。そ
の他電極として同様な金属膜ないし金属シートを用いる
ことも可能である。
は、マイクロ機械的な製作技術及びエッチング技術で製
造する容量形加速度センサが記載されている。フレーム
内には、加速度プレートの上側及び下側に対して左右対
称に配置された曲げバンドで、加速度プレートが懸吊さ
れている。そこでは複数の２重に重ねた曲げバンドを使
用することが提案されている。加速度プレートの主表面
の両方にコンデンサ電極を設け、このコンデンサ電極の
対向電極を加速度プレートに対向して配置された外被プ
レートに設ける。この対向電極を実現するため被着され
た金属膜あるいは付着された金属シートが提案されてい
る。加速度プレートに適した材料の場合には、加速度プ
レートの表面を直接電極として用いることができる。そ
の他電極として同様な金属膜ないし金属シートを用いる
ことも可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ただ
１つの震動体を用いて加速度のすべての空間的方向の動
きを同時に、しかし互いに無関係に検出することのでき
るセンサを提供することにある。
１つの震動体を用いて加速度のすべての空間的方向の動
きを同時に、しかし互いに無関係に検出することのでき
るセンサを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によ
り、少なくとも１つの第１のコンデンサ装置は第１の電
極と第１の対向電極とを備え、前記第１のコンデンサ装
置の電極の重なり度が、震動体のいずれの位置において
も、例えば震動体のフレーム面に対して平行なふれの際
にも変化しないように前記電極の大きさを選定して配置
し、少なくとも１つの別のコンデンサ装置は、別の電極
と別の対向電極とを備え、震動体のフレーム面に平行な
ふれが、前記別のコンデンサ装置の電極の重なり度を変
化させるよう前記電極の大きさを選定して配置すること
により解決される。
り、少なくとも１つの第１のコンデンサ装置は第１の電
極と第１の対向電極とを備え、前記第１のコンデンサ装
置の電極の重なり度が、震動体のいずれの位置において
も、例えば震動体のフレーム面に対して平行なふれの際
にも変化しないように前記電極の大きさを選定して配置
し、少なくとも１つの別のコンデンサ装置は、別の電極
と別の対向電極とを備え、震動体のフレーム面に平行な
ふれが、前記別のコンデンサ装置の電極の重なり度を変
化させるよう前記電極の大きさを選定して配置すること
により解決される。
【０００５】
【発明の効果】請求項１の特徴部分に記載の本発明のセ
ンサでは、電極と対向電極とを互いに特定の大きさに選
定して配置することにより、加速度のすべての空間的方
向成分をただ１つの震動体を用いて同時に検出すること
ができる。このセンサはわずかなスペースで足りる。た
だ１つの震動体を、加速度の異なった空間方向成分を検
出する複数のコンデンサ装置と関連して用いることは、
震動体が同じ運動フェーズの場合でも常に正確に加速度
を検出するので有利である。
ンサでは、電極と対向電極とを互いに特定の大きさに選
定して配置することにより、加速度のすべての空間的方
向成分をただ１つの震動体を用いて同時に検出すること
ができる。このセンサはわずかなスペースで足りる。た
だ１つの震動体を、加速度の異なった空間方向成分を検
出する複数のコンデンサ装置と関連して用いることは、
震動体が同じ運動フェーズの場合でも常に正確に加速度
を検出するので有利である。
【０００６】その他の請求項に記載の構成により、請求
項１に記載のセンサの有利な実施形態が可能である。各
空間方向における震動体のふれの際その容量が変化する
他方のコンデンサ装置の電極と対向電極との幾何学的大
きさを選定するには、くし形構造が特に有利であり、こ
のくし形構造の重なり度は震動体のふれの際、非常に大
きく変化する。震動体の上側と下側の電極の配置、上側
外被体と下側外被体とに設けられている対応する対向電
極と一緒に特に震動体の上側と下側とに設けられている
加速度の空間的成分を検出するコンデンサ装置の配置
を、互いにずらすことにより置き換え震動体の傾倒運動
を検出できるので有利である。さらにそれにより震動体
のふれを差信号として評価することができる。
項１に記載のセンサの有利な実施形態が可能である。各
空間方向における震動体のふれの際その容量が変化する
他方のコンデンサ装置の電極と対向電極との幾何学的大
きさを選定するには、くし形構造が特に有利であり、こ
のくし形構造の重なり度は震動体のふれの際、非常に大
きく変化する。震動体の上側と下側の電極の配置、上側
外被体と下側外被体とに設けられている対応する対向電
極と一緒に特に震動体の上側と下側とに設けられている
加速度の空間的成分を検出するコンデンサ装置の配置
を、互いにずらすことにより置き換え震動体の傾倒運動
を検出できるので有利である。さらにそれにより震動体
のふれを差信号として評価することができる。
【０００７】本発明による電極の幾何学的形及び電極装
置の特に有利な利用分野は、平面における震動体の励起
と励起面に対して垂直方向での震動体のふれのかたちで
システムの応答とを同時に検出することである。その際
この励起がどのような形式であるかは重要ではなく、こ
の励起は例えば熱により、静電あるいはまたエレクトロ
ダイナミックに行われる。第１のコンデンサ装置の容量
は、電極及び対向電極を適切な大きさに選定した場合、
フレーム面内での震動体の励起により影響を受けない、
なぜならばこの容量はコンデンサプレートの間隔が変化
した場合にだけ、変化するからである。これに対して、
他方のコンデンサ装置の容量は３つの空間的方向すべて
の震動体の動きの際に変化する、なぜならば、他方の電
極及び他方の対向電極はフレーム面内での震動体のふれ
の場合にその重なり度が変化するように大きさを選定し
て配置されており、震動体のフレーム面に対して垂直な
ふれは他方のコンデンサ装置の場合には他方の電極と他
方の対向電極との間隔の変化を来たし、容量が変化する
ためである。震動体の励起振動は、他方の電極装置によ
り監視することができ、その際フレーム面に対して垂直
なふれによる影響は第１の電極装置により測定され除去
される。それにより、励起振動の制御が可能である。本
発明による電極装置は、震動体の励起が第１の方向に行
われかつその際生じるコリオリ力とその結果生じる励起
方向に対して垂直な方向のふれを介して角速度を測定
し、その際震動体のその時点の励起状態に関して絶え間
ない情報が必要である角速度センサに使用すると特に有
利である。本発明の電極装置はもちろんすべての空間方
向での動きを個別にしかし同時に検出することが必要で
ある全く別のセンサにも利用することが可能である。
置の特に有利な利用分野は、平面における震動体の励起
と励起面に対して垂直方向での震動体のふれのかたちで
システムの応答とを同時に検出することである。その際
この励起がどのような形式であるかは重要ではなく、こ
の励起は例えば熱により、静電あるいはまたエレクトロ
ダイナミックに行われる。第１のコンデンサ装置の容量
は、電極及び対向電極を適切な大きさに選定した場合、
フレーム面内での震動体の励起により影響を受けない、
なぜならばこの容量はコンデンサプレートの間隔が変化
した場合にだけ、変化するからである。これに対して、
他方のコンデンサ装置の容量は３つの空間的方向すべて
の震動体の動きの際に変化する、なぜならば、他方の電
極及び他方の対向電極はフレーム面内での震動体のふれ
の場合にその重なり度が変化するように大きさを選定し
て配置されており、震動体のフレーム面に対して垂直な
ふれは他方のコンデンサ装置の場合には他方の電極と他
方の対向電極との間隔の変化を来たし、容量が変化する
ためである。震動体の励起振動は、他方の電極装置によ
り監視することができ、その際フレーム面に対して垂直
なふれによる影響は第１の電極装置により測定され除去
される。それにより、励起振動の制御が可能である。本
発明による電極装置は、震動体の励起が第１の方向に行
われかつその際生じるコリオリ力とその結果生じる励起
方向に対して垂直な方向のふれを介して角速度を測定
し、その際震動体のその時点の励起状態に関して絶え間
ない情報が必要である角速度センサに使用すると特に有
利である。本発明の電極装置はもちろんすべての空間方
向での動きを個別にしかし同時に検出することが必要で
ある全く別のセンサにも利用することが可能である。
【０００８】
【実施例】次に本発明の実施例を図を用いて詳細に説明
する。
する。
【０００９】図１ではウェブ１１から１４を介して、図
示されていないフレームに振動可能に連結されている震
動体が１０で示されている。フレームの平面は図１のｘ
−ｙ面に相当する。
示されていないフレームに振動可能に連結されている震
動体が１０で示されている。フレームの平面は図１のｘ
−ｙ面に相当する。
【００１０】震動体１０の表面には２つの電極３１１及
び４１１が設けられている。図１ではさらにそれに対応
する対向電極３２１及び４２１が示されており、この対
向電極３２１，４２１は図１に図示されていない外被体
に電極３１１，４１１に対向して設けられ、その結果電
極３１１及び４１１は対向電極３２１及び４２１ととも
にそれぞれ１つのコンデンサ装置を形成する。電極３１
１とそれに対応する対向電極３２１の協働する面は、こ
こでは長方形をなし、電極３１１はそれに対応する対向
電極３２１より大きくその大きさを選定されているの
で、つまりこれら電極３１１，３２１の重なり度はｘ−
ｙフレーム面内で震動体１０が最大にふれた場合でも変
わらない。この第１のコンデンサ装置は震動体１０のｚ
方向、すなわちフレーム面に対して垂直なふれの場合に
のみその容量が変化する、なぜならその際電極３１１と
対向電極３２１との間隔が変化するためである。他方の
コンデンサ装置の電極４１１及び４２１はくし形構造を
有し、電極４１１と対向電極４２１との歯は互いに逆向
きになるよう配置されている。
び４１１が設けられている。図１ではさらにそれに対応
する対向電極３２１及び４２１が示されており、この対
向電極３２１，４２１は図１に図示されていない外被体
に電極３１１，４１１に対向して設けられ、その結果電
極３１１及び４１１は対向電極３２１及び４２１ととも
にそれぞれ１つのコンデンサ装置を形成する。電極３１
１とそれに対応する対向電極３２１の協働する面は、こ
こでは長方形をなし、電極３１１はそれに対応する対向
電極３２１より大きくその大きさを選定されているの
で、つまりこれら電極３１１，３２１の重なり度はｘ−
ｙフレーム面内で震動体１０が最大にふれた場合でも変
わらない。この第１のコンデンサ装置は震動体１０のｚ
方向、すなわちフレーム面に対して垂直なふれの場合に
のみその容量が変化する、なぜならその際電極３１１と
対向電極３２１との間隔が変化するためである。他方の
コンデンサ装置の電極４１１及び４２１はくし形構造を
有し、電極４１１と対向電極４２１との歯は互いに逆向
きになるよう配置されている。
【００１１】この電極装置の容量は、震動体１０の３つ
の空間的方向すべてのふれの際に変化する、なぜならｘ
−ｙフレーム面におけるふれの場合に電極４１１と対向
電極４２１との重なり度が変化し、それにより容量が変
化し、かつフレーム面に対して垂直なｚ方向での震動体
の動きの場合には、電極４１１と対向電極４２１との間
隔の変化により容量が変化するためである。第１のコン
デンサ装置３１１，３２１と第２のコンデンサ装置４１
１，４２１との容量変化を組み合わせて評価することに
より、ｚ方向の加速度に無関係に、ｘ−ｙ面での加速度
を検出することができる。図１では他方のコンデンサ装
置の電極４１１，４２１の可能な実施例の１つだけを示
している。本発明の範囲には別の実施例もあり、その実
施例では他方の電極４１１とそれに対応する他方の対向
電極４２１との重なり度は震動体１０のｘ−ｙフレーム
面内でのふれの際に変化し、その際重なり度の変化が大
きければ大きいほど、センサの精度が可及的に高められ
る。
の空間的方向すべてのふれの際に変化する、なぜならｘ
−ｙフレーム面におけるふれの場合に電極４１１と対向
電極４２１との重なり度が変化し、それにより容量が変
化し、かつフレーム面に対して垂直なｚ方向での震動体
の動きの場合には、電極４１１と対向電極４２１との間
隔の変化により容量が変化するためである。第１のコン
デンサ装置３１１，３２１と第２のコンデンサ装置４１
１，４２１との容量変化を組み合わせて評価することに
より、ｚ方向の加速度に無関係に、ｘ−ｙ面での加速度
を検出することができる。図１では他方のコンデンサ装
置の電極４１１，４２１の可能な実施例の１つだけを示
している。本発明の範囲には別の実施例もあり、その実
施例では他方の電極４１１とそれに対応する他方の対向
電極４２１との重なり度は震動体１０のｘ−ｙフレーム
面内でのふれの際に変化し、その際重なり度の変化が大
きければ大きいほど、センサの精度が可及的に高められ
る。
【００１２】図２は図１に示した震動体１０の斜視図で
あり、ここでは図示されていないフレームにウェブ１１
ないし１８を介して震動体１０が左右対称に懸架されて
いる。それぞれのウェブは震動体１０の上側及び下側の
隅に設けられている。ウェブ１１から１８の配向によ
り、ｘ−ｙフレーム面内での有利にはｙ方向での振動が
生じる。
あり、ここでは図示されていないフレームにウェブ１１
ないし１８を介して震動体１０が左右対称に懸架されて
いる。それぞれのウェブは震動体１０の上側及び下側の
隅に設けられている。ウェブ１１から１８の配向によ
り、ｘ−ｙフレーム面内での有利にはｙ方向での振動が
生じる。
【００１３】図３は上部外被体２１と下部外被体２２と
を備えた図１及び図２に対応する震動体を有するセンサ
構造の断面図を示す。外被体２１及び２２はフレーム１
９と固定して連結されている。外被体２１及び２２はそ
れぞれ凹入部を有しておりこの凹入部は懸架ウェブ１１
から１８と震動体１０との領域にわたって広がって、震
動体１０と外被体２１及び２２との間に間隔を形成す
る。震動体１０の上側と下側とにそれぞれ電極が配置さ
れており、ここではその電極のうち３１１と３１２のみ
が示され、それに対応する対向電極、ここでは３２１と
３２２とが外被体２１，２２に設けられている。
を備えた図１及び図２に対応する震動体を有するセンサ
構造の断面図を示す。外被体２１及び２２はフレーム１
９と固定して連結されている。外被体２１及び２２はそ
れぞれ凹入部を有しておりこの凹入部は懸架ウェブ１１
から１８と震動体１０との領域にわたって広がって、震
動体１０と外被体２１及び２２との間に間隔を形成す
る。震動体１０の上側と下側とにそれぞれ電極が配置さ
れており、ここではその電極のうち３１１と３１２のみ
が示され、それに対応する対向電極、ここでは３２１と
３２２とが外被体２１，２２に設けられている。
【００１４】ウェブを介してフレームと連結される震動
体の材料としては、単結晶質構造の珪素支持体や例えば
ストラクチュア化されたセラミックサブストレートが適
している。外被体の材料はセンサの組立技術及び利用分
野に応じて選択すべきである。
体の材料としては、単結晶質構造の珪素支持体や例えば
ストラクチュア化されたセラミックサブストレートが適
している。外被体の材料はセンサの組立技術及び利用分
野に応じて選択すべきである。
【００１５】本発明の電極の形態及び電極装置はすべて
の空間的方向の動きを同時にしかし互いに無関係に検出
すべきセンサに利用するのに適している。角速度センサ
は特殊な用途である。ここでは震動体は第１の運動方向
例えばフレーム面のｙ方向において振動するように付勢
される。この付勢は熱により、静電あるいはエレクトロ
ダイナミックに行われる。本発明の電極装置によればそ
の時の励起状態をいつでも測定、検出可能であり、それ
は振動の励振を制御することを可能にする。角速度は生
じるコリオリ力とそれから結果として生ずる震動体の励
振方向に対して垂直、すなわちｚ方向のふれにもとづい
て測定される。その際、わずかな信号変位のため非常に
高度な解析が必要である。ｚ方向の震動体のふれはｘ−
ｙ面のふれに無関係に検出されなければならない。
の空間的方向の動きを同時にしかし互いに無関係に検出
すべきセンサに利用するのに適している。角速度センサ
は特殊な用途である。ここでは震動体は第１の運動方向
例えばフレーム面のｙ方向において振動するように付勢
される。この付勢は熱により、静電あるいはエレクトロ
ダイナミックに行われる。本発明の電極装置によればそ
の時の励起状態をいつでも測定、検出可能であり、それ
は振動の励振を制御することを可能にする。角速度は生
じるコリオリ力とそれから結果として生ずる震動体の励
振方向に対して垂直、すなわちｚ方向のふれにもとづい
て測定される。その際、わずかな信号変位のため非常に
高度な解析が必要である。ｚ方向の震動体のふれはｘ−
ｙ面のふれに無関係に検出されなければならない。
【図１】電極装置を有する震動体の平面図である。
【図２】震動体の斜視図である。
【図３】センサの断面図である。
１０ 震動体 １１〜１８ ウェブ １９ フレーム ３１１，３１２ 電極 ３２１，３２２ 対向電極 ４１１ 電極 ４２１ 対向電極
Claims (5)
- 【請求項１】 震動体の表面に電極が設けられ、かつフ
レームに連結された少なくとも１つの外被体を有し、前
記外被体に前記電極に対する対向電極が設けられてお
り、前記対向電極は前記電極とともにコンデンサ装置を
形成し、前記コンデンサ装置を介し震動体のふれにより
加速度を容量的に検出する、フレームに振動可能に保持
された震動体を有する加速度センサにおいて、 少なくとも１つの第１のコンデンサ装置は第１の電極
（３１１，３１２）と第１の対向電極（３２１，３２
２）とを備え、前記第１のコンデンサ装置の電極（３１
１，３２１；３１２，３２２）の重なり度が、震動体
（１０）のいずれの位置においても、例えば震動体（１
０）のフレーム面に平行なふれの際にも変化しないよう
に前記電極の大きさを選定して配置し、 少なくとも１つの別のコンデンサ装置は、別の電極（４
１１，４１２）と別の対向電極（４２１，４２２）とを
備え、震動体（１０）のフレーム面に平行なふれが、前
記別のコンデンサ装置の電極（４１１，４２１；４１
２，４２２）の重なり度を変化させるよう前記電極の大
きさを選定して配置することを特徴とするフレーム内に
振動可能に保持された震動体を有する加速度センサ。 - 【請求項２】 少なくとも１つの別の電極（４１１，４
１２）と少なくとも１つの別の対向電極（４２１，４２
２）とがくし形構造として形成され、前記別の電極（４
１１，４１２）と前記別の対向電極（４２１，４２２）
との歯の向きが互いに反対であることを特徴とする請求
項１に記載のセンサ。 - 【請求項３】 震動体（１０）の上側に設けられた電極
（３１１，４１１）と上部外被体（２１）に設けられた
対向電極（３２１，４２１）とから成るコンデンサ装置
が、震動体（１０）の下側に設けられた電極（３１２，
４１２）と下部外被体（２２）に設けられた対向電極
（３２２，４２２）とから成るコンデンサ装置ととも
に、差動コンデンサ装置を形成することを特徴とする請
求項１または２に記載のセンサ。 - 【請求項４】 震動体（１０）の上側のコンデンサ装置
（３１１，３２１；４１１，４２１）を、震動体（１
０）の下側のコンデンサ装置（３１２，３２２；４１
２，４２２）に対してずらして配置することを特徴とす
る請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。 - 【請求項５】 震動体（１０）のフレーム面での振動を
励起するための手段を備え、 第１のコンデンサ装置と他方のコンデンサ装置（３１
１，３２１；３１２，３２２；４１１，４２１；４１
２，４２２）との容量変化にもとづいて、励起を制御す
るための手段を備え、 震動体（１０）のフレーム面に対して垂直なふれを、フ
レーム面におけるふれに無関係に検出可能であることを
特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のセン
サ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4107661.3 | 1991-03-09 | ||
| DE4107661A DE4107661A1 (de) | 1991-03-09 | 1991-03-09 | Kapazitiver beschleunigungssensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167890A true JPH07167890A (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=6426919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4050358A Pending JPH07167890A (ja) | 1991-03-09 | 1992-03-09 | 容量形加速度センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07167890A (ja) |
| DE (1) | DE4107661A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4225979C2 (de) * | 1992-08-06 | 1996-03-07 | Abb Patent Gmbh | Erfassung von Seilbewegungen einer Hochspannungsfreileitung |
| DE4424635B4 (de) * | 1994-07-13 | 2004-11-04 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
| DE4431327C2 (de) * | 1994-09-02 | 1999-06-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanischer Beschleunigungssensor |
| JPH1151967A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-02-26 | Mitsubishi Electric Corp | 多軸加速度センサ及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-09 DE DE4107661A patent/DE4107661A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-03-09 JP JP4050358A patent/JPH07167890A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4107661A1 (de) | 1992-09-10 |
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