JPH0716779A - Focusing device for laser beam machine - Google Patents

Focusing device for laser beam machine

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JPH0716779A
JPH0716779A JP5160800A JP16080093A JPH0716779A JP H0716779 A JPH0716779 A JP H0716779A JP 5160800 A JP5160800 A JP 5160800A JP 16080093 A JP16080093 A JP 16080093A JP H0716779 A JPH0716779 A JP H0716779A
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JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser beam
sensor
energy density
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP5160800A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuichi Ukita
克一 浮田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPH0716779A publication Critical patent/JPH0716779A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide the focusing device for a laser beam machine in order to automatically focus a laser beam at the time of laser beam processing. CONSTITUTION:This focusing device consists of a laser oscillator 1, an axis controller 5 for moving a lens 4 for condensing a laser beam 2, an optical sensor 8 for indirectly reading the energy density of the laser beam when the laser is impulsively outputted to a work 9, a storage section 7 for simultaneously reading and storing the data from the optical sensor 8 and the coordinates of this time and an arithmetic section 10 for computing the distribution of the data from the sensor indicating the energy density of the laser beam. The lens 4 is moved and the energy density data of the laser beam for the coordinates of this time are successively stored into the storage section 7 and the relation between the max. point of the density of the laser beam and the laser position is determined from this distribution, by which the laser beam is automatically focused.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工を行なう際
にレーザ光の焦点調整の自動化を行うためのレーザ加工
機用焦点調整装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a focus adjusting device for a laser processing machine for automatically adjusting the focus of laser light when performing laser processing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ加工を行う際、焦点長の異
なるレンズに交換した場合はもとより、焦点長の同じレ
ンズに交換する場合においても、レーザ光の焦点ずれが
発生する。また、レンズをはずしてレンズのクリーニン
グを行なうと、全く同じレンズを取り付けなおしたにも
かかわらず、マウントの仕方によりレーザ光の焦点ずれ
が発生する。そのため上に挙げた作業を行なう度に、レ
ーザ光の焦点出しを行わなければならず、またその調整
は、熟練者の勘と経験により手動作業により行われてい
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, when performing laser processing, not only when a lens having a different focal length is replaced, but also when a lens having the same focal length is replaced, a laser beam defocus occurs. Further, when the lens is removed and the lens is cleaned, defocusing of the laser light occurs depending on the mounting method, even though the same lens is reattached. Therefore, it is necessary to focus the laser beam every time the above-mentioned work is performed, and the adjustment is performed manually by the intuition and experience of a skilled person.

【0003】従来、熟練者が手作業で行っているブルー
フレームによる焦点調整の方法を以下に説明する。 先ずレーザ光が鉛直に照射するように、厚さ2〜3
mmのステンレス鋼を設置する。
A conventional method of manually adjusting the focus with a blue frame will be described below. First, the thickness is 2-3 so that the laser light is vertically irradiated.
Install mm mm stainless steel.

【0004】 レーザ発振器をパルス発振モードに
し、1パルスのオン時間が短く、かつエネルギー密度が
高くなるようにレーザ発振条件を設定する。 焦点調整のためのレーザ照射時にステンレス鋼が酸
化反応を起さないように、アシストガスとして窒素ガス
を選択する。
The laser oscillator is set to the pulse oscillation mode, and the laser oscillation conditions are set so that the ON time of one pulse is short and the energy density is high. Nitrogen gas is selected as an assist gas so that the stainless steel does not cause an oxidation reaction during laser irradiation for focus adjustment.

【0005】 レーザ発振器を発振させシャッタを開
ける。 レンズを移動する軸を、ハンドル移動などによりレ
ンズがステンレス鋼に接近する方向に移動させる。
The laser oscillator is oscillated to open the shutter. The axis for moving the lens is moved in the direction in which the lens approaches the stainless steel by moving the handle or the like.

【0006】 このときにピアシングの色を観察す
る。火花の色が黄色から青色に変わった所でハンドルの
移動を停止し、そのときの座標を読み取る。 前記,の作業を何度かくり返し座標の平均値を
求める。
At this time, the color of piercing is observed. Stop the movement of the handle when the color of the spark changes from yellow to blue and read the coordinates at that time. Repeat the above procedure several times to obtain the average value of the coordinates.

【0007】 次にレンズをステンレス鋼に近づけ、
レンズがステンレス鋼から離れる方向にハンドル移動す
る。ここでもピアシングの火花の色が黄色から青に変わ
った時点でハンドル移動を停止しその座標を記憶する。
Next, bring the lens close to stainless steel,
Handle moves the lens away from stainless steel. Again, when the color of the piercing spark changes from yellow to blue, the handle movement is stopped and the coordinates are stored.

【0008】 の作業を何度かくり返しその座標の
平均値を求め、で求まった結果と平均座標値との中間
点を求めその座標をレーザ焦点位置(座標)とする。
The work of (1) is repeated several times to obtain the average value of the coordinates, and the intermediate point between the result obtained in and the average coordinate value is obtained and the coordinates are set as the laser focus position (coordinates).

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】このように従来の焦点
調整においては、レーザ光の焦点出しはレーザによる加
工を行なう場合は、熟練作業者が手動作業によりレーザ
の焦点出しを行っていた。そしてハンドルを移動させる
速度、光の色の変化の判断基準は作業者によって異なる
ために焦点出しの微調整が難しく、また初心者がすぐに
焦点出しを行えるというものではなかった。
As described above, in the conventional focus adjustment, when the laser beam is focused by a laser, a skilled worker manually focuses the laser beam. Since the speed at which the handle is moved and the criteria for determining the change in the color of light differ depending on the worker, it is difficult to finely adjust the focus, and even a beginner cannot focus immediately.

【0010】本発明は上記従来の課題を解決し、レーザ
光の焦点出しの自動化を図り、誰にでも容易にレーザ加
工を行うことができるようにするためのレーザ加工機用
焦点調整装置を提供することを目的としている。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems and provides a focus adjustment device for a laser processing machine for automating focusing of laser light so that anyone can easily perform laser processing. The purpose is to do.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明のレーザ加工機用焦点調整装置は、レーザ光を
パルス出力する機能を持つレーザ発振器と、レーザ光を
集光するためのレンズを移動する軸コントローラと、レ
ーザをワークに対してパルス出力したときのレーザ光の
エネルギー密度を間接的に読み取るセンサと、上記セン
サからのデータとその時の座標を同時に読込みを記憶す
る記憶部と、レーザ光のエネルギー密度を表すセンサか
らのデータの分布を演算する演算部とからなり、レンズ
を移動し、そのときの座標に対してレーザ光のエネルギ
ー密度データを順次記憶部に記憶してゆき、その分布か
ら、レーザ光の密度の最大点とレンズ位置の関係を求め
てレーザ光の焦点を自動調整する手段を有する構成とす
る。
In order to achieve the above object, a focus adjusting device for a laser beam machine according to the present invention comprises a laser oscillator having a function of outputting a pulse of laser light and a lens for condensing the laser light. An axis controller that moves, a sensor that indirectly reads the energy density of the laser light when the laser outputs a pulse to the workpiece, a storage unit that stores the data from the sensor and the coordinates at that time, and stores the data simultaneously. The calculation unit calculates the distribution of data from the sensor that represents the energy density of the laser light, moves the lens, and sequentially stores the energy density data of the laser light in the storage unit with respect to the coordinates at that time. A structure is provided which has means for automatically adjusting the focus of the laser light by obtaining the relationship between the maximum point of the density of the laser light and the lens position from the distribution.

【0012】[0012]

【作用】本発明の上記構成において、レンズの位置と光
スペクトルの分布、ピアシング音の分布、あるいは振動
の分布の関係データを収集し、そのデータを基にレーザ
光の焦点位置を求めることとなる。
In the above structure of the present invention, the relationship data of the lens position and the light spectrum distribution, the piercing sound distribution, or the vibration distribution is collected, and the focus position of the laser light is obtained based on the data. .

【0013】[0013]

【実施例】以下に、本発明の実施例を図1から図6に基
づいて説明する。図1は、本発明にかかる一実施例のレ
ーザ加工機用焦点調整装置の構成図である。図示のよう
にレーザ発振器1から出力されたレーザ光2はレーザト
ーチ3へと導かれ、集光レンズ4によってワーク9上に
おいて焦点を結ぶ。レーザ発振器1より出力されたレー
ザ光2はほぼ平行な光であり、レーザトーチ3を上下す
ることでレーザ光2の焦点を調整することができる。レ
ーザトーチ3の移動はレンズ移動軸コントローラ5によ
り制御される。具体的にはレンズ移動軸コントローラ5
はレーザトーチ2を上下に移動させるためのモータ6を
回転させるもので、モータ6の回転によって一義的に決
まる座標位置データを記憶部7へ出力する。光センサ8
はレーザ光2がワーク9に対して照射されたときのピア
シングの光り具合を検知する。ここでは光のエネルギー
の強さを波長で読み取っている。波長の短いものほどエ
ネルギー密度が高い。この光センサ8からの出力はその
ときの座標位置とともに記憶部7へ入力され記憶され
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a configuration diagram of a focus adjusting device for a laser processing machine according to an embodiment of the present invention. As shown, the laser beam 2 output from the laser oscillator 1 is guided to the laser torch 3 and focused on the work 9 by the condenser lens 4. The laser light 2 output from the laser oscillator 1 is almost parallel light, and the focus of the laser light 2 can be adjusted by moving the laser torch 3 up and down. The movement of the laser torch 3 is controlled by the lens movement axis controller 5. Specifically, the lens movement axis controller 5
Is for rotating a motor 6 for moving the laser torch 2 up and down, and outputs coordinate position data uniquely determined by the rotation of the motor 6 to the storage unit 7. Optical sensor 8
Detects the light condition of piercing when the laser beam 2 is applied to the work 9. Here, the intensity of light energy is read in terms of wavelength. The shorter the wavelength, the higher the energy density. The output from the optical sensor 8 is input to and stored in the storage unit 7 together with the coordinate position at that time.

【0014】データの読み取り手順を以下に示す。先
ず、レーザトーチ3がワーク9に次第に近付くように、
レンズ移動軸コントローラ5を用いてレーザトーチ3を
移動する。前記レンズ移動軸コントローラ5よりの座標
位置と光センサ8からのデータを記憶部7に格納する。
記憶されたデータは表1に示すようになる。
The procedure for reading data is shown below. First, make sure that the laser torch 3 gradually approaches the work 9.
The laser torch 3 is moved using the lens movement axis controller 5. The coordinate position from the lens movement axis controller 5 and the data from the optical sensor 8 are stored in the storage unit 7.
The stored data are as shown in Table 1.

【0015】[0015]

【表1】 これをグラフに表すと図2のような曲線になり、この値
から山の頂点を求める。その座標位置を第1の焦点位置
とする。
[Table 1] When this is expressed in a graph, the curve becomes as shown in FIG. 2, and the peak of the mountain is obtained from this value. The coordinate position is defined as the first focus position.

【0016】つぎにレーザトーチ3がワーク9に近い位
置から次第に離れるようにレーザトーチ3を移動し、レ
ンズコントローラ5からの座標と光センサ8からの出力
をグラフにし、その山の頂点から第2の焦点位置を求め
る。前記第1と第2の焦点位置の平均を求めて焦点位置
とする。演算部10は、座標位置に対応した光センサ8
からの出力を用いて焦点位置を計算する処理を行なう。
Next, the laser torch 3 is moved so that the laser torch 3 gradually moves away from the position close to the work 9, and the coordinates from the lens controller 5 and the output from the optical sensor 8 are graphed, and the second focal point from the top of the peak. Find the position. The average of the first and second focus positions is calculated and used as the focus position. The calculation unit 10 uses the optical sensor 8 corresponding to the coordinate position.
The calculation of the focal position is performed using the output from the.

【0017】以上の処理は従来加工熟練者が行なってき
た焦点出しの方法を全く同じ手順で自動化したものであ
る。よってアシストガスの設定などは従来手動で行なっ
ていたものと同様となる。
The above processing is an automation of the focusing method which has been performed by a person skilled in the art of processing in the completely same procedure. Therefore, the setting of the assist gas and the like are the same as those manually performed.

【0018】上記ではレーザのエネルギー密度を表すも
のとして光の波長を使用してきたが、同じ装置におい
て、反射光の強度によって焦点位置を求めることもでき
る。図3は本発明の第2の実施例を示し、このものは光
センサ8の代わりに音センサ11を用いている。この構
成において、光がワーク9にあたりワーク9表面を瞬間
的に蒸発させているときの音を音センサ11により拾
い、その音の大きさの座標位置による分布より焦点位置
を求めるものである。なお表2は記憶部7に記憶された
データを示し、そのグラフは図4のようになる。
Although the wavelength of light has been used as the energy density of the laser in the above description, the focal position can be obtained by the intensity of the reflected light in the same device. FIG. 3 shows a second embodiment of the invention, which uses a sound sensor 11 instead of the optical sensor 8. In this configuration, the sound sensor 11 picks up the sound when the light hits the work 9 and instantaneously evaporates the surface of the work 9, and the focus position is obtained from the distribution of the loudness of the sound according to the coordinate position. Table 2 shows the data stored in the storage unit 7, and its graph is as shown in FIG.

【0019】[0019]

【表2】 図5は本発明の第3の実施例を示し、このものは光セン
サの代わりに振動センサ12を用いている。この構成に
おいて光がワーク9にあたりワーク9表面を瞬間的に蒸
発させているときの振動を振動センサ12により拾い、
その振動の大きさの座標位置による分布より焦点位置を
求めるものである。なお表3は記憶部7に記憶されたデ
ータを示し、そのグラフは図6のようになる。
[Table 2] FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention, which uses a vibration sensor 12 instead of an optical sensor. In this configuration, the vibration sensor 12 picks up the vibration when the light hits the work 9 and instantaneously evaporates the surface of the work 9.
The focus position is obtained from the distribution of the magnitude of the vibration depending on the coordinate position. Table 3 shows the data stored in the storage unit 7, and the graph is as shown in FIG.

【0020】[0020]

【表3】 [Table 3]

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなよう
に、本発明はレンズを移動する軸を備え、パルス発振可
能なレーザ加工機において、レーザ光のエネルギー密度
を読みとる、光センサ、音センサ、あるいは振動センサ
を設置し、座標データとそのときの前記センサからのデ
ータを記憶するエリアと分布の演算機能を設けたために
レーザ光焦点調整の自動化ができ、レーザ加工に熟練し
た作業者でなくとも容易に焦点合わせが行うことができ
る。
As is apparent from the above description of the embodiments, the present invention is an optical sensor and a sound sensor for reading the energy density of laser light in a laser processing machine equipped with a shaft for moving a lens and capable of pulse oscillation. Or, a vibration sensor is installed and the calculation function of the area and distribution for storing the coordinate data and the data from the sensor at that time is provided, so that the laser light focus adjustment can be automated, and it is not necessary for an operator skilled in laser processing. Both can be easily focused.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例のレーザ加工機用焦点調
整装置の構成図
FIG. 1 is a configuration diagram of a focus adjusting device for a laser processing machine according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同レーザ加工機用焦点調整装置における距離−
光センサからの出力データのグラフ
[Fig. 2] Distance in the focus adjusting device for the laser processing machine-
Graph of output data from optical sensor

【図3】本発明の第2の実施例のレーザ加工機用焦点調
整装置の構成図
FIG. 3 is a configuration diagram of a focus adjusting device for a laser processing machine according to a second embodiment of the present invention.

【図4】同レーザ加工機用焦点調整装置における距離−
音センサからの出力データのグラフ
FIG. 4 is a distance in the focus adjusting device for the laser processing machine-
Graph of output data from sound sensor

【図5】本発明の第3の実施例のレーザ加工機用焦点調
整装置の構成図
FIG. 5 is a configuration diagram of a focus adjusting device for a laser processing machine according to a third embodiment of the present invention.

【図6】同レーザ加工機用焦点調整装置における距離−
振動センサからの出力データのグラフ
FIG. 6 is a distance in the focus adjusting device for the laser beam machine-
Graph of output data from vibration sensor

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザ発振器 2 レーザ光 3 レーザトーチ 4 集光レンズ 5 レンズ移動軸コントローラ 6 モータ 7 記憶部 8 光センサ 9 ワーク 10 演算部 11 音センサ 12 振動センサ 1 Laser Oscillator 2 Laser Light 3 Laser Torch 4 Condensing Lens 5 Lens Moving Axis Controller 6 Motor 7 Memory 8 Optical Sensor 9 Work 10 Computing Unit 11 Sound Sensor 12 Vibration Sensor

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光をパルス出力する機能を持つレ
ーザ発振器と、レーザ光を集光するためのレンズを移動
する軸コントローラと、レーザをワークに対してパルス
出力したときのレーザ光のエネルギー密度を間接的に読
み取るセンサと、上記センサからのデータとその時の座
標を同時に読込みを記憶する記憶部と、レーザ光のエネ
ルギー密度を表すセンサからのデータの分布を演算する
演算部とからなり、レンズを移動し、そのときの座標に
対してレーザ光のエネルギー密度データを順次記憶部に
記憶してゆき、その分布から、レーザ光の密度の最大点
とレンズ位置の関係を求めてレーザ光の焦点を自動調整
する手段を有するレーザ加工機用焦点調整装置。
1. A laser oscillator having a function of outputting a laser beam as a pulse, an axis controller for moving a lens for focusing the laser beam, and an energy density of the laser beam when the laser is pulsed to a work. A sensor that reads indirectly, a storage unit that stores and simultaneously reads the data from the sensor and the coordinates at that time, and a calculation unit that calculates the distribution of the data from the sensor that represents the energy density of the laser light. Move the laser beam, and store the energy density data of the laser light in the storage unit in sequence with respect to the coordinates at that time.From the distribution, find the relationship between the maximum point of the laser light density and the lens position, and focus the laser light Focus adjusting device for a laser processing machine having means for automatically adjusting.
【請求項2】 レーザビームのエネルギー密度センサに
光センサを用いたことを特徴とする請求項1記載のレー
ザ加工機用焦点調整装置。
2. The focus adjusting device for a laser processing machine according to claim 1, wherein an optical sensor is used as a laser beam energy density sensor.
【請求項3】 レーザビームのエネルギー密度センサに
音センサを用いたことを特徴とする請求項1記載のレー
ザ加工機用焦点調整装置。
3. The focus adjusting device for a laser processing machine according to claim 1, wherein a sound sensor is used as the energy density sensor of the laser beam.
【請求項4】 レーザビームのエネルギー密度センサに
振動センサを用いたことを特徴とする請求項1記載のレ
ーザ加工機用焦点調整装置。
4. The focus adjusting device for a laser processing machine according to claim 1, wherein a vibration sensor is used as an energy density sensor for the laser beam.
JP5160800A 1993-06-30 1993-06-30 Focusing device for laser beam machine Pending JPH0716779A (en)

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