JPH07153368A - フイラメント支持具 - Google Patents
フイラメント支持具Info
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- JPH07153368A JPH07153368A JP5329899A JP32989993A JPH07153368A JP H07153368 A JPH07153368 A JP H07153368A JP 5329899 A JP5329899 A JP 5329899A JP 32989993 A JP32989993 A JP 32989993A JP H07153368 A JPH07153368 A JP H07153368A
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Links
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Landscapes
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、フイラメント支持具において、フイ
ラメントを取り付ける時間を減少させると共に、取り付
けの際の変形を抑えて使用期間を長くし得るようにす
る。 【構成】棒状部材１２の一端が棒状部材１２の長手方向
に形成された所定長さの間隙１４によつて分割されてな
る分割部１２Ａを配し、通電して加熱される線状のフイ
ラメント５をこの間隙１４に挟んで支持する。
ラメントを取り付ける時間を減少させると共に、取り付
けの際の変形を抑えて使用期間を長くし得るようにす
る。 【構成】棒状部材１２の一端が棒状部材１２の長手方向
に形成された所定長さの間隙１４によつて分割されてな
る分割部１２Ａを配し、通電して加熱される線状のフイ
ラメント５をこの間隙１４に挟んで支持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフイラメント支持具に関
し、例えば半導体製造用の不純物イオンを発生させるイ
オン発生源に適用し得る。
し、例えば半導体製造用の不純物イオンを発生させるイ
オン発生源に適用し得る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のイオン発生源には、高真
空に排気した真空容器（以下チヤンバという）内にフイ
ラメントを配し、このフイラメントより放出された熱電
子を例えば３フツ化硼素（ＢＦ3 ）等のソースガスと衝
突させてイオンを発生させるものがある。
空に排気した真空容器（以下チヤンバという）内にフイ
ラメントを配し、このフイラメントより放出された熱電
子を例えば３フツ化硼素（ＢＦ3 ）等のソースガスと衝
突させてイオンを発生させるものがある。
【０００３】図２に示すように、チヤンバ（図示せず）
内に配されたフイラメント支持部１には、下部が碍子
（図示せず）に取り付けられてチヤンバより絶縁された
円形断面を有する棒状の電極２が２つ配されている。こ
の２つの電極２は上部にフイラメント取付け部２Ａをそ
れぞれ配されている。
内に配されたフイラメント支持部１には、下部が碍子
（図示せず）に取り付けられてチヤンバより絶縁された
円形断面を有する棒状の電極２が２つ配されている。こ
の２つの電極２は上部にフイラメント取付け部２Ａをそ
れぞれ配されている。
【０００４】フイラメント取付け部２Ａには、長方形の
押え板３と、電極２の上端より長手方向に３〔cm〕程度
の深さだけ半円形断面に形成された押えアゴ４とが配さ
れている。フイラメント５は電極２の長手方向と直角に
押え板３と押えアゴ４との間に挟まれ、押え板３及び押
えアゴ４の上半部と下半部とにそれぞれ挿通された２対
の小ネジ及びナツト６で固定される。
押え板３と、電極２の上端より長手方向に３〔cm〕程度
の深さだけ半円形断面に形成された押えアゴ４とが配さ
れている。フイラメント５は電極２の長手方向と直角に
押え板３と押えアゴ４との間に挟まれ、押え板３及び押
えアゴ４の上半部と下半部とにそれぞれ挿通された２対
の小ネジ及びナツト６で固定される。
【０００５】フイラメント５は、電流約 200〔Ａ〕を流
して加熱され、周囲を覆つている箱形状の対向電極７と
の間に例えば60〔Ｖ〕〜 100〔Ｖ〕の電圧が印加される
と熱電子を放出する。熱電子は対向電極７の側面に穿設
された穴７Ａより供給されたソースガス８に衝突してイ
オン８Ａを発生させる。このイオン８Ａはチヤンバの外
の電圧や供給されるソースガス８の圧力によつて対向電
極７の上部に配されたスリツト７Ｂよりチヤンバの外に
引き出される。因みに対向電極７は４隅がそれぞれ支柱
９で支えられており、電気的にチヤンバと同電位であ
る。
して加熱され、周囲を覆つている箱形状の対向電極７と
の間に例えば60〔Ｖ〕〜 100〔Ｖ〕の電圧が印加される
と熱電子を放出する。熱電子は対向電極７の側面に穿設
された穴７Ａより供給されたソースガス８に衝突してイ
オン８Ａを発生させる。このイオン８Ａはチヤンバの外
の電圧や供給されるソースガス８の圧力によつて対向電
極７の上部に配されたスリツト７Ｂよりチヤンバの外に
引き出される。因みに対向電極７は４隅がそれぞれ支柱
９で支えられており、電気的にチヤンバと同電位であ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところでフイラメント
５は、加熱されたときの温度が1000〔℃〕以上に達し、
通電時間に比例して蒸発する。このため次第に細くなつ
て使用に耐えなくなる前に、（実際上約24時間毎に）フ
イラメント５を新しいものに交換する必要がある。また
電極２や対向電極７に付着したフイラメント５の蒸発物
をビーズブラスタ等でクリーニングする必要があり、こ
のためフイラメント支持部１はフイラメント５を交換す
る際に分解される。
５は、加熱されたときの温度が1000〔℃〕以上に達し、
通電時間に比例して蒸発する。このため次第に細くなつ
て使用に耐えなくなる前に、（実際上約24時間毎に）フ
イラメント５を新しいものに交換する必要がある。また
電極２や対向電極７に付着したフイラメント５の蒸発物
をビーズブラスタ等でクリーニングする必要があり、こ
のためフイラメント支持部１はフイラメント５を交換す
る際に分解される。
【０００７】ところが、フイラメント５を電極に取り付
けるときには、フイラメント５に当てた押え板３の傾き
や、上下２対の小ネジ及びナツト６の締めつけ力が均等
になるように注意しながら指で締めつけている。このバ
ランスの取り方や締めつけ力は作業者の個人差に影響さ
れ易く、これにより新しいフイラメント５をバランス良
く正しく取り付けるには時間がかかるという問題があつ
た。また上下２対の小ネジ及びナツト６はフイラメント
５の熱で焼きつくことがしばしば有り、焼きつきが発生
した場合には分解に多くの時間が必要となる。このため
小ネジ及びナツト６が少ないことが望ましい。
けるときには、フイラメント５に当てた押え板３の傾き
や、上下２対の小ネジ及びナツト６の締めつけ力が均等
になるように注意しながら指で締めつけている。このバ
ランスの取り方や締めつけ力は作業者の個人差に影響さ
れ易く、これにより新しいフイラメント５をバランス良
く正しく取り付けるには時間がかかるという問題があつ
た。また上下２対の小ネジ及びナツト６はフイラメント
５の熱で焼きつくことがしばしば有り、焼きつきが発生
した場合には分解に多くの時間が必要となる。このため
小ネジ及びナツト６が少ないことが望ましい。
【０００８】さらに押え板３は厚さ２〔mm〕でなり中央
にフイラメント５を安定に挟むためＶ字形の溝を形成さ
れている。これによりフイラメント５を２対の小ネジ及
びナツト６で締めつけると応力が溝を形成した部分の断
面に集中して押え板３は変形し易く、繰り返しの使用が
困難になるという問題もあつた。
にフイラメント５を安定に挟むためＶ字形の溝を形成さ
れている。これによりフイラメント５を２対の小ネジ及
びナツト６で締めつけると応力が溝を形成した部分の断
面に集中して押え板３は変形し易く、繰り返しの使用が
困難になるという問題もあつた。
【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、フイラメントを取り付ける時間を減少させると共
に、取り付けの際の変形を抑えて使用期間を長くし得る
フイラメント支持具を提案しようとするものである。
で、フイラメントを取り付ける時間を減少させると共
に、取り付けの際の変形を抑えて使用期間を長くし得る
フイラメント支持具を提案しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、棒状部材１２でなり、通電して加
熱される線状のフイラメント５を支持するフイラメント
支持具１２において、棒状部材１２の一端が棒状部材１
２の長手方向に形成された所定長さの間隙１４によつて
分割されてなる分割部１２Ａを備え、フイラメント５を
間隙１４に挟んで支持する。
め本発明においては、棒状部材１２でなり、通電して加
熱される線状のフイラメント５を支持するフイラメント
支持具１２において、棒状部材１２の一端が棒状部材１
２の長手方向に形成された所定長さの間隙１４によつて
分割されてなる分割部１２Ａを備え、フイラメント５を
間隙１４に挟んで支持する。
【００１１】
【作用】棒状部材１２の一端が棒状部材１２の長手方向
に形成された所定長さの間隙１４によつて分割されてな
る分割部１２Ａを配し、通電して加熱される線状のフイ
ラメント５をこの間隙１４に挟んで支持することによつ
て、フイラメント５の取付け時間が一段と短くなると共
に、分割部１２Ａの強度が向上して取付けの際の変形が
抑えられ使用期間を従来に比して一段と長くし得る。
に形成された所定長さの間隙１４によつて分割されてな
る分割部１２Ａを配し、通電して加熱される線状のフイ
ラメント５をこの間隙１４に挟んで支持することによつ
て、フイラメント５の取付け時間が一段と短くなると共
に、分割部１２Ａの強度が向上して取付けの際の変形が
抑えられ使用期間を従来に比して一段と長くし得る。
【００１２】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１３】図２との対応部分に同一符号を付して示す
図１において、１１は全体として半導体製造用の不純物
イオンを発生させるイオン発生源のフイラメント支持部
を示し、従来の電極２に代えて円形断面を有する棒状の
電極１２が直径約 1.5〔mm〕のフイラメント５を支持す
るようになされている。
図１において、１１は全体として半導体製造用の不純物
イオンを発生させるイオン発生源のフイラメント支持部
を示し、従来の電極２に代えて円形断面を有する棒状の
電極１２が直径約 1.5〔mm〕のフイラメント５を支持す
るようになされている。
【００１４】電極１２は、材質がステンレスでなり、直
径及び高さがそれぞれ12〔mm〕及び約16〔cm〕であり、
下部には下端より長手方向に高さ約４〔cm〕程度まで半
円形断面に形成されてなる碍子取付け部１２Ｂが配され
ている。碍子取付け部１２Ｂの上半部及び下半部には取
付け穴１３がそれぞれ穿設されている。
径及び高さがそれぞれ12〔mm〕及び約16〔cm〕であり、
下部には下端より長手方向に高さ約４〔cm〕程度まで半
円形断面に形成されてなる碍子取付け部１２Ｂが配され
ている。碍子取付け部１２Ｂの上半部及び下半部には取
付け穴１３がそれぞれ穿設されている。
【００１５】電極１２の上部にはフイラメント取付け部
１２Ａが配されている。フイラメント取付け部１２Ａに
は、電極１２の上端より長手方向に幅及び深さがそれぞ
れ１〔mm〕及び８〔cm〕のスリツト１４が形成され、こ
れにより電極１２の断面が２分割されてほぼ半円形の断
面を有する押えアゴ１５が対向して２つ配されている。
１２Ａが配されている。フイラメント取付け部１２Ａに
は、電極１２の上端より長手方向に幅及び深さがそれぞ
れ１〔mm〕及び８〔cm〕のスリツト１４が形成され、こ
れにより電極１２の断面が２分割されてほぼ半円形の断
面を有する押えアゴ１５が対向して２つ配されている。
【００１６】押えアゴ１５のスリツト１４側には、電極
１２の上端より深さ約３〔cm〕の位置に長手方向と直角
にＶ字形の溝１６が形成されている。また押えアゴ１５
には、電極１２の上端より深さ約 1.5〔cm〕の位置にス
リツト１４の幅の方向に貫通穴（図示せず）が穿設され
ている。またこの貫通穴には１対の小ネジ及びナツト６
が配されている。
１２の上端より深さ約３〔cm〕の位置に長手方向と直角
にＶ字形の溝１６が形成されている。また押えアゴ１５
には、電極１２の上端より深さ約 1.5〔cm〕の位置にス
リツト１４の幅の方向に貫通穴（図示せず）が穿設され
ている。またこの貫通穴には１対の小ネジ及びナツト６
が配されている。
【００１７】以上の構成において、フイラメント５を交
換する際には、１対の小ネジ及びナツト６を緩め、スリ
ツト１４にドライバ等のくさび状の先端部を軽く押し込
んでスリツト１４を少し広げると、フイラメント５は溝
１６に容易に挿通される。このようにして２つの電極１
２間にフイラメント５が差し渡されたときドライバ等の
先端を取り除くと、フイラメント５は押えアゴ１５自体
の弾発力によつて溝１６に安定的に保持され、これによ
り作業者は指先で押えアゴ１５同士を押さえる必要がな
い。
換する際には、１対の小ネジ及びナツト６を緩め、スリ
ツト１４にドライバ等のくさび状の先端部を軽く押し込
んでスリツト１４を少し広げると、フイラメント５は溝
１６に容易に挿通される。このようにして２つの電極１
２間にフイラメント５が差し渡されたときドライバ等の
先端を取り除くと、フイラメント５は押えアゴ１５自体
の弾発力によつて溝１６に安定的に保持され、これによ
り作業者は指先で押えアゴ１５同士を押さえる必要がな
い。
【００１８】この後、フイラメント取付け部１２Ａの１
対の小ネジ及びナツト６を締めるだけで、フイラメント
５は１対の押えアゴ１５の間に均等な力で確実に固定さ
れる。このようにして２つの電極１２の間にフイラメン
ト５を取り付ける時間は、従来は５分以上を要していた
のに対して、実施例の場合には１分以内で済むようにな
つた。
対の小ネジ及びナツト６を締めるだけで、フイラメント
５は１対の押えアゴ１５の間に均等な力で確実に固定さ
れる。このようにして２つの電極１２の間にフイラメン
ト５を取り付ける時間は、従来は５分以上を要していた
のに対して、実施例の場合には１分以内で済むようにな
つた。
【００１９】また押えアゴ１５は最大厚さが約５〔mm〕
である。これにより押えアゴ１５の溝１６を形成された
断面には、１対の小ネジ及びナツト６を指先で締めると
きの応力が集中しても容易には変形しないだけの強度が
与えられている。従つて押えアゴ１５は従来に比して一
段と長期間の使用に耐えることができる。
である。これにより押えアゴ１５の溝１６を形成された
断面には、１対の小ネジ及びナツト６を指先で締めると
きの応力が集中しても容易には変形しないだけの強度が
与えられている。従つて押えアゴ１５は従来に比して一
段と長期間の使用に耐えることができる。
【００２０】さらに小ネジ及びナツト６が１つの電極１
２に１対だけ配されていることにより、焼きついたとき
のフイラメント支持部１１の分解時間は従来に比して半
分になる。
２に１対だけ配されていることにより、焼きついたとき
のフイラメント支持部１１の分解時間は従来に比して半
分になる。
【００２１】さらに従来のフイラメント取付け部２Ａで
は、フイラメント５の熱は１つの押えアゴ４を通じて下
部へ伝わる。これに対して実施例のフイラメント取付け
部１２Ａでは、フイラメント５の熱は２つの押えアゴ１
５に分かれて下部へ伝わることになる。これにより押え
アゴ１５の温度を従来に比して低くし、小ネジ及びナツ
ト６の焼付きの発生を低減できる。
は、フイラメント５の熱は１つの押えアゴ４を通じて下
部へ伝わる。これに対して実施例のフイラメント取付け
部１２Ａでは、フイラメント５の熱は２つの押えアゴ１
５に分かれて下部へ伝わることになる。これにより押え
アゴ１５の温度を従来に比して低くし、小ネジ及びナツ
ト６の焼付きの発生を低減できる。
【００２２】以上の構成によれば、棒状の電極１２の一
端が長手方向に形成された所定長さのスリツト１４によ
つて分割されてなるフイラメント取付け部１２Ａを配
し、フイラメント５をスリツト１４に挟んで支持するこ
とにより、フイラメント５の取付け時間が一段と短くな
ると共に、フイラメント取付け部１２Ａの強度が向上し
て取付けの際の変形が抑えられ使用期間を従来に比して
一段と長くできる。
端が長手方向に形成された所定長さのスリツト１４によ
つて分割されてなるフイラメント取付け部１２Ａを配
し、フイラメント５をスリツト１４に挟んで支持するこ
とにより、フイラメント５の取付け時間が一段と短くな
ると共に、フイラメント取付け部１２Ａの強度が向上し
て取付けの際の変形が抑えられ使用期間を従来に比して
一段と長くできる。
【００２３】なお上述の実施例においては、電極１２の
断面形状が円形である場合について述べたが、本発明は
これに限らず、電極の断面形状は例えば４角形のように
円形以外でも良い。この場合にも上述と同様の効果を得
ることができる。
断面形状が円形である場合について述べたが、本発明は
これに限らず、電極の断面形状は例えば４角形のように
円形以外でも良い。この場合にも上述と同様の効果を得
ることができる。
【００２４】また上述の実施例においては、スリツト１
４の幅及び深さがそれぞれ１〔mm〕及び８〔cm〕に形成
された場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
電極の直径、この電極に支持されるフイラメントの直
径、このフイラメントを固定するに必要な締めつけ力等
に応じて、フイラメントの幅及び深さは任意の値で形成
して良い。
４の幅及び深さがそれぞれ１〔mm〕及び８〔cm〕に形成
された場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
電極の直径、この電極に支持されるフイラメントの直
径、このフイラメントを固定するに必要な締めつけ力等
に応じて、フイラメントの幅及び深さは任意の値で形成
して良い。
【００２５】さらに上述の実施例においては、フイラメ
ント取付け部１２Ａに１対の小ネジ及びナツト６を配し
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ネジ
類を省き、押えアゴの形状、寸法を適切に設定すること
により、押えアゴの弾発力だけでフイラメントを挟んで
固定するようにしても良い。こうすることによりネジ類
が焼きついた場合の分解の煩雑さを防止できる。またこ
のようにネジ類を省くような場合には棒の断面を例えば
十字形に４分割してスリツトにフイラメントを挿通させ
るときの手間を小さくするようにしても良い。
ント取付け部１２Ａに１対の小ネジ及びナツト６を配し
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ネジ
類を省き、押えアゴの形状、寸法を適切に設定すること
により、押えアゴの弾発力だけでフイラメントを挟んで
固定するようにしても良い。こうすることによりネジ類
が焼きついた場合の分解の煩雑さを防止できる。またこ
のようにネジ類を省くような場合には棒の断面を例えば
十字形に４分割してスリツトにフイラメントを挿通させ
るときの手間を小さくするようにしても良い。
【００２６】さらに上述の実施例においては、本発明を
イオン発生源のフイラメント５を支持する電極１２に適
用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
フイラメント支持具に電気を流すか否かに係わらず、例
えば乾燥装置や加熱装置等、フイラメントの熱や光を利
用する装置のフイラメント支持具に広く適用できる。
イオン発生源のフイラメント５を支持する電極１２に適
用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
フイラメント支持具に電気を流すか否かに係わらず、例
えば乾燥装置や加熱装置等、フイラメントの熱や光を利
用する装置のフイラメント支持具に広く適用できる。
【００２７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、棒状部材
の一端が棒状部材の長手方向に形成された所定長さの間
隙によつて分割されてなる分割部を配し、通電して加熱
される線状のフイラメントをこの間隙に挟んで支持する
ことによつて、フイラメントの取付け時間が一段と短く
なると共に、分割部の強度が向上して取付けの際の変形
が抑えられ使用期間を従来に比して一段と長くし得るフ
イラメント支持具を実現できる。
の一端が棒状部材の長手方向に形成された所定長さの間
隙によつて分割されてなる分割部を配し、通電して加熱
される線状のフイラメントをこの間隙に挟んで支持する
ことによつて、フイラメントの取付け時間が一段と短く
なると共に、分割部の強度が向上して取付けの際の変形
が抑えられ使用期間を従来に比して一段と長くし得るフ
イラメント支持具を実現できる。
【図１】本発明によるフイラメント支持具の一実施例に
よる電極を使用したフイラメント支持部の説明に供する
斜視図である。
よる電極を使用したフイラメント支持部の説明に供する
斜視図である。
【図２】従来のフイラメント支持部の説明に供する斜視
図である。
図である。
【符号の説明】 １、１１……フイラメント支持部、２、１２……電極、
２Ａ、１２Ａ……フイラメント取付け部、３……押え
板、４、１５……押えアゴ、５……フイラメント、６…
…小ネジ及びナツト、７……対向電極、８……ソースガ
ス、８Ａ……イオン、９……支柱、１２Ｂ……碍子取付
け部、１３……取付け穴、１４……スリツト、１６……
溝。
２Ａ、１２Ａ……フイラメント取付け部、３……押え
板、４、１５……押えアゴ、５……フイラメント、６…
…小ネジ及びナツト、７……対向電極、８……ソースガ
ス、８Ａ……イオン、９……支柱、１２Ｂ……碍子取付
け部、１３……取付け穴、１４……スリツト、１６……
溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０５Ｂ 3/06 Ｚ 7715−3Ｋ
Claims (2)
- 【請求項１】棒状部材でなり、通電して加熱される線状
のフイラメントを支持するフイラメント支持具におい
て、 上記棒状部材の一端が上記棒状部材の長手方向に形成さ
れた所定長さの間隙によつて分割されてなる分割部を具
え、上記フイラメントを上記間隙に挟んで支持すること
を特徴とするフイラメント支持具。 - 【請求項２】上記間隙に挟んで支持された上記フイラメ
ントを上記棒状部材にねじを用いて固定する固定手段を
有することを特徴とする請求項１に記載のフイラメント
支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5329899A JPH07153368A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | フイラメント支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5329899A JPH07153368A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | フイラメント支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153368A true JPH07153368A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=18226507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5329899A Pending JPH07153368A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | フイラメント支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07153368A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207447A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Sukegawa Electric Co Ltd | 熱電子放出用フィラメント支持構造 |
| JP2011253693A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Sukegawa Electric Co Ltd | 熱電子放出用フィラメントサポート |
| GB2585158A (en) * | 2018-06-01 | 2020-12-30 | Micromass Ltd | Filament assembly |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP5329899A patent/JPH07153368A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207447A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Sukegawa Electric Co Ltd | 熱電子放出用フィラメント支持構造 |
| JP2011253693A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Sukegawa Electric Co Ltd | 熱電子放出用フィラメントサポート |
| GB2585158A (en) * | 2018-06-01 | 2020-12-30 | Micromass Ltd | Filament assembly |
| GB2585158B (en) * | 2018-06-01 | 2021-07-28 | Micromass Ltd | Filament assembly |
| US11972937B2 (en) | 2018-06-01 | 2024-04-30 | Micromass Uk Limited | Filament assembly |
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