JPH07151703A - Inspection device for color filter for viewfinder - Google Patents
Inspection device for color filter for viewfinderInfo
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- JPH07151703A JPH07151703A JP31925293A JP31925293A JPH07151703A JP H07151703 A JPH07151703 A JP H07151703A JP 31925293 A JP31925293 A JP 31925293A JP 31925293 A JP31925293 A JP 31925293A JP H07151703 A JPH07151703 A JP H07151703A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの外観欠陥を自動検査する装置に関
し、特に、ビューファインダー用カラーフイルターの欠
陥の全種類を検出可能で、コンパクトな自動検査装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for automatically inspecting appearance defects in a viewfinder color filter, and more particularly to a compact automatic inspection device capable of detecting all kinds of defects in a viewfinder color filter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダ用ーカラーフイルターについて
は、益々、微細化、量産が求められるようになってき
た。高精細化に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠
陥を検出することが要求されるようになってきており、
従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼での検査について
は、人による差や、再現性に問題がある為、人手でな
い、自動化された検査方法が求められるようになってき
た。また、量産対応としても自動化された検査方法が求
められるようになってきた。又、ビューファインダー用
カラーフイルターにおいては、製品の表裏全面が検査対
象領域である為、全種類の欠陥を対象にして検査するこ
とは難しく、表裏の欠陥全てを一つの検査装置にて、で
きるだけコンパクトにした状態で欠陥検出することが望
まれており、その対応が求められていた。2. Description of the Related Art Conventionally, as a visual inspection method for a color filter for a viewfinder, a human visual inspection method using a light projector and a microscopic inspection method for fine defects that are difficult to visually inspect have been adopted. . However, in recent years, miniaturization and mass production have been increasingly required for the viewfinder-color filter. With the progress of high definition, it is required to detect even finer defects,
As for conventional visual inspection using a floodlight or a microscope, there is a problem in differences and reproducibility depending on humans, so that an automated inspection method that is not manual is required. In addition, automated inspection methods have been required for mass production. In addition, in the color filter for viewfinder, it is difficult to inspect for all kinds of defects because the entire front and back surface of the product is the inspection target area, and all the front and back defects can be compacted by one inspection device. It has been desired to detect defects in the above state, and it has been demanded to deal with the defect.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの量産に対
応して、ビューファインダー用カラーフイルターの表裏
の全ての種類の欠陥検出を、コンパクトな自動外観検査
装置にて一度に行うことが求められていた。本発明は、
ビューファインダー用カラーフイルターの自動外観検査
装置に関するもので、詳しくは、ビューファインダー用
カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出ができる、コ
ンパクトな自動外観検査装置に関する。Under such circumstances, in response to the mass production of color filters for viewfinders, a compact automatic visual inspection is performed to detect all kinds of defects on the front and back sides of the color filters for viewfinders. The device was required to do all at once. The present invention is
The present invention relates to an automatic appearance inspection device for a viewfinder color filter, and more particularly to a compact automatic appearance inspection device capable of detecting all types of defects in a viewfinder color filter.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検査装置は、透過または
反射照明手段を用いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステー
ジ上のビューファインダー用カラーフイルターを撮像
し、撮像により得られた信号を画像処理することによ
り、欠陥を検出する自動検査装置であり、ビューファイ
ンダー用カラーフイルターの着色面側には、ビューファ
インダー用カラーフイルターに対向して、ＣＣＤ等の画
素分割素子からなる第一撮像手段と、該第一撮像手段の
受像面上にあおり撮影になるようにビューファインダー
用カラーフイルターの像を結像させる第一結像手段と、
ビューファインダー用カラーフイルター面に斜め入射照
明して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像
手段の受像面上に結像させる第一照明手段とを有し、ビ
ューファインダー用カラーフイルターの非着色面側に
は、ビューファインダー用カラーフイルターに対向し
て、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第二撮像手段と、
該第二撮像手段の受像面上にあおり撮影になるようにビ
ューファインダー用カラーフイルターの像を結像させる
第二結像手段と、ビューファインダ用カラーフイルター
面に、斜め入射照明して、その透過光像を第一結像手段
により第一撮像手段の受像面上に結像させる第二照明手
段と、ビューファインダー用カラーフイルターの非着色
面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手段の受像
面上に結像させ、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーを透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一
撮像手段に結像させる第三照明手段とを有し、且つ、各
撮像手段により、撮像された画像信号を画像処理する画
像処理手段とを備えたものである。そして、本発明のビ
ューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査装置
は、上記第三照明手段が、リング型光源により、ビュー
ファインダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗
視野照明し、ビューファインダー用カラーフイルターを
透過暗視野照明したものである。A defect inspection apparatus for a color filter for a viewfinder according to the present invention uses a transmissive or reflective illumination means to image the color filter for a viewfinder on an XY drive-controlled XY stage. This is an automatic inspection device that detects defects by image-processing the signals obtained by imaging. The colored surface side of the viewfinder color filter faces the viewfinder color filter and is divided into pixels such as CCDs. A first image pickup means composed of an element, and a first image formation means for forming an image of a color filter for a viewfinder on the image receiving surface of the first image pickup means so as to capture an image.
A viewfinder color filter surface, and a first illuminating means for illuminating the specularly reflected light image on the image receiving surface of the first image pickup means by the first image forming means. On the non-colored side of the filter, facing the color filter for the viewfinder, a second image pickup means composed of a pixel dividing element such as CCD,
Second image forming means for forming an image of a viewfinder color filter on the image receiving surface of the second image pickup means and obliquely illuminating the viewfinder color filter surface and transmitting the light. Second illumination means for forming an optical image on the image receiving surface of the first imaging means by the first imaging means, and non-colored surface side of the viewfinder color filter are reflected and dark-field illuminated to secondly image scattered light. A third illuminating means for forming an image on the image receiving surface of the means, illuminating the color filter for the viewfinder through the transmission dark field, and forming an image of the diffracted light or scattered light on the first imaging means, and each imaging means Image processing means for performing image processing on the imaged image signal by the means. In the defect inspection apparatus for a viewfinder color filter according to the present invention, the third illuminating means illuminates the non-colored surface side of the viewfinder color filter with a dark dark field by means of a ring type light source to provide a viewfinder color filter. Is transmitted through dark field illumination.
【０００５】したがって、本発明の自動検査装置におい
ては、第一照明手段、第二照明手段、及び第三照明手段
にて第一撮像手段に結像することにより着色面側の白欠
陥、黒欠陥の検出ができ、第三照明手段にて第二撮像手
段に結像することによりガラス面側の汚れ、キズ等の欠
陥検出ができ、結局、第一撮像手段、第二撮像手段から
得られる画像信号により、ビューファインダー用カラー
フイルターの全種類の外観欠陥の検出ができる。尚、暗
視野照明とは照明光の光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しなく、且つ、欠陥部がない場合には撮像手段には
光が入射しない照明であり、明視野照明とは照明光の光
軸が撮像手段の受光部の光軸と一致し、且つ、欠陥部が
ない場合には撮像手段に光が入射し、欠陥部がある場合
にはその量が減少ないし無くなる照明である。第一照明
手段、第二照明手段はそれぞれ、反射明視野照明、透過
明視野照明となる。又、第一照明手段と第二撮像手段に
より非着色面側から透過光像の撮像も行うことができ
る。着色面側の反射光像の撮像と同時に行うことによ
り、検査タクトを短縮することができる。そして、あお
り撮影とは、図７に示すように、結像手段の画角の周辺
部を利用して撮像手段の受像面上に試料ビューファイン
ダー用カラーフイルターの像を結像させるものである。Therefore, in the automatic inspection apparatus of the present invention, the first illuminating means, the second illuminating means, and the third illuminating means form an image on the first image pickup means, so that the white defect and the black defect on the colored surface side. Can be detected, and defects such as stains and scratches on the glass surface can be detected by forming an image on the second image pickup means by the third illumination means, and finally, an image obtained from the first image pickup means and the second image pickup means. The signal enables detection of all types of visual defects of the viewfinder color filter. The dark-field illumination is an illumination in which the optical axis of the illumination light does not coincide with the optical axis of the light-receiving portion of the image capturing means and no light is incident on the image capturing means when there is no defect portion. Means that the optical axis of the illumination light coincides with the optical axis of the light receiving portion of the image pickup means, and if there is no defective portion, the light enters the image pickup means, and if there is a defective portion, the amount thereof decreases or disappears. Lighting. The first illuminating means and the second illuminating means are reflective bright field illumination and transmissive bright field illumination, respectively. Further, the transmitted light image can be picked up from the non-colored surface side by the first illumination means and the second image pickup means. The inspection tact can be shortened by simultaneously performing the imaging of the reflected light image on the colored surface side. Then, as shown in FIG. 7, the tilted photographing is to form an image of the color filter for the sample viewfinder on the image receiving surface of the image pickup means by utilizing the peripheral portion of the angle of view of the image formation means.
【０００６】本発明の自動検査装置においては、あおり
撮影になるようにビューファインダー用カラーフイルタ
ーの像を第一撮像手段の受像面上に結像させる第一結像
手段とを配置し、且つ、着色面側からビューファインダ
ー用カラーフイルター面に斜め入射照明して、その正反
射光像を第一結像手段により第一撮像手段受像面上に結
像させる第一照明手段とを有しており、又、非着色面側
からビューファインダ用カラーフイルター面に斜め入射
照明して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像
手段の受像面上に結像させる第二照明手段とを有してい
る。これにより、垂直落射照明による構成でのハーフミ
ラーを排することができ、ハーフミラー使用することに
より光源の光量が１／４になってしまうという弊害、ハ
ーフミラーにゴミが付着すると擬似欠陥が検出されるて
しまうという弊害をなくすことができる。In the automatic inspection apparatus of the present invention, the first image forming means for forming the image of the color filter for the viewfinder on the image receiving surface of the first image pickup means is arranged so as to perform the tilted photographing, and It has a first illuminating means for illuminating the color filter surface for the viewfinder obliquely from the colored surface side and for forming an image of the specularly reflected light image on the image receiving surface of the first image pickup means by the first image forming means. A second illuminating means for illuminating the color filter surface for the viewfinder from the non-colored surface side by obliquely illuminating the transmitted light image on the image receiving surface of the first image pickup means by the first image forming means. Have As a result, it is possible to eliminate the half mirror configured by vertical epi-illumination, and the half mirror reduces the amount of light from the light source to 1/4. When dust adheres to the half mirror, a pseudo defect is detected. It is possible to eliminate the harmful effect of being killed.
【０００７】又、透過明視野照明、反射明視野照明によ
って、ビューファインダー用カラーフイルターの白欠
陥、黒欠陥のいずれもが検出可能となるが、本発明にお
いては、更に、暗視野照明を併用している。透過暗視野
照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮像により得られ
た画像信号を処理することにより、明視野照明単独使用
による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感度を上げてい
る。透過暗視野光は、光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しない為、受光部への暗視野照明による光は、周期
性パターンまたは略周期性パターン部の開口部透過光は
受光部へ入射されない為、ほぼ回折光ないし散乱光のみ
が検出され、明視野の場合に比べＳ／Ｎが大なのであ
る。反射暗視野光についても、同様に、ほぼ散乱光のみ
が検出され、明視野の場合に比べＳ／Ｎが大なのであ
る。暗視野光を併用することにより、Ｓ／Ｎが向上する
のは、撮像手段により得られる透過照明光からの信号の
Ｓ／Ｎを、暗視野光照明の場合Ｓ1 ／Ｎ1 、明視野の場
合Ｓ2 ／Ｎ2 とすると Ｓ1 ／Ｎ1 ＞Ｓ2 ／Ｎ2 である
ことより、（Ｓ1 ＋Ｓ2 ）／（Ｎ1 ＋ Ｎ2 ）＞Ｓ2 ／
Ｎ2 となる為であり、暗視野光を単独使用した場合にお
いても、明視野の場合に比べ、Ｓ／Ｎが向上するのは言
うまでもない。尚、本発明において、ビューファインダ
ー用カラーフイルタ−の非着色面側を反射暗視野照明す
る理由は、試料ビューファインダー用カラーフイルタ−
を透明な保持板に載せた場合には裏面の正反射照明像は
得ることができないからであり、試料ビューファインダ
ー用カラーフイルターの側面を押さえて保持し、非着色
面側を正反射照明した場合には着色面の影響により反射
率が試料ビューファインダー用カラーフイルタ−の部位
によって異なるため撮像を複数回に分ける必要があるの
に対し、反射暗視野照明にすれば撮影が１回で済み、検
査タクトを短縮することができるからである。又、着色
面側を反射暗視野照明で検査しようとした場合、図１０
（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピンホール欠陥で
は欠陥を検出できる照明照射角度が異なり、自動検査に
適さないため、着色面側は正反射照明で行うべきであ
る。但し、必要に応じて、反射暗視野照明を併用しても
良い。Further, both the white defect and the black defect of the color filter for the viewfinder can be detected by the transmitted bright field illumination and the reflected bright field illumination. In the present invention, the dark field illumination is also used. ing. Imaging is performed using transmitted dark field illumination and reflected dark field illumination, and the image signal obtained by the image processing is processed to improve the sensitivity of defect detection as compared with the case of imaging using only bright field illumination. Since the optical axis of the transmitted dark field light does not coincide with the optical axis of the light receiving portion of the image pickup means, the light transmitted by the dark field illumination to the light receiving portion is the light transmitted through the opening portion of the periodic pattern or the substantially periodic pattern portion. Since it is not incident on, only diffracted light or scattered light is detected, and the S / N is larger than that in the case of bright field. Similarly, with respect to the reflected dark-field light, almost only scattered light is detected, and the S / N is larger than that in the bright-field case. By using the dark field light together, the S / N is improved because the S / N of the signal from the transmitted illumination light obtained by the image pickup means is S 1 / N 1 in the case of the dark field light illumination, In the case of S 2 / N 2 , S 1 / N 1 > S 2 / N 2 , and therefore (S 1 + S 2 ) / (N 1 + N 2 )> S 2 /
It is needless to say that the S / N is improved even when the dark-field light is used alone, as compared with the case of the bright-field, because it becomes N 2 . In the present invention, the reason why the non-colored surface side of the color filter for the viewfinder is reflected and dark-field illuminated is the color filter for the sample viewfinder.
This is because when the is placed on a transparent holding plate, the specular illumination image on the back side cannot be obtained.When the side of the sample viewfinder color filter is held and held, and the non-colored side is specularly illuminated. Since it is necessary to divide the image into multiple times because the reflectance varies depending on the part of the color filter for the sample viewfinder due to the influence of the colored surface, it is only necessary to take the image once if the reflection dark field illumination is used. This is because the tact can be shortened. In addition, when an attempt is made to inspect the colored surface side by reflection dark-field illumination,
Since the projection irradiation defect and the ITO pinhole defect as shown in (b) have different illumination irradiation angles that can detect the defect and are not suitable for automatic inspection, specular reflection illumination should be performed on the colored surface side. However, reflection dark-field illumination may be used together if necessary.
【０００８】本発明の自動検査装置においては、ビュー
ファインダー用カラーフイルターを着色面側を上にし
て、透明な保持板等の上に載せた状態で、カラーフイル
ターの表裏を照明し、撮像するもので、ビューファイン
ダー用カラーフイルターは、通常、保持板とともにＸＹ
駆動制御可能なステージ上にて位置制御される。本発明
の自動検査装置は、具体的には図１に示すように、光源
３ａからの光をビューファインダー用カラーフイルター
面に斜め入射照明し、光の正反射光像をレンズ２ａによ
りによりカメラ１ａに結像させる、照明手段を有するも
のであり、光源３ｂからの光をビューファインダー用カ
ラーフイルター面に斜め入射照明し、光の透過明視野照
明による光をレンズ２ａによりカメラ１ａに結像させる
透過照明手段を有する。そして、光源３ｃよりの透過暗
視野照明による回折光ないし散乱光をカメラ１ａにて結
像させ、且つ、光源３ｃより反射暗視野照明による散乱
光をカメラ１ａにて結像させる、照明手段を有するもの
である。撮像手段としては、ＣＣＤ素子等の画素分割素
子を用いた撮像カメラで、特に、電子シャッターを有
し、露光時間の調整ができるものが好ましい。照明手段
の光源としては、キセノン光源等が挙げられるが、特に
これに限定はされない。ビューファインダー用カラーフ
イルターの非着色面側を反射暗視野照明し、同時にビュ
ーファインダー用カラーフイルターを透過暗視野照明す
る光源としては、試料より大サイズの孔部を有する環状
（リング型）の光源が、反射暗視野照明、透過暗視野照
明いずれの照明にも適しており、この形状の場合、ビュ
ーファインダー用カラーフイルター面に斜め入射照明し
て、その透過光像を第一結像手段（レンズ系）により第
一撮像手段に結像させる第二透過照明手段、第二撮像手
段の配置、組合せを容易にできる。通常、リング型のフ
アイバー光源を使用する。In the automatic inspection apparatus of the present invention, the color filter for the viewfinder is placed with the colored surface side facing up on a transparent holding plate or the like, and the front and back of the color filter are illuminated to take an image. The color filter for the viewfinder is usually XY with the holding plate.
The position is controlled on a drive-controllable stage. Specifically, as shown in FIG. 1, the automatic inspection apparatus of the present invention obliquely illuminates the light from the light source 3a onto the color filter surface for the viewfinder, and the specularly reflected light image of the light is reflected by the lens 2a to the camera 1a. The light from the light source 3b is obliquely incident on the color filter surface for the viewfinder and the light from the bright field illumination is imaged on the camera 1a by the lens 2a. It has a lighting means. The camera 1a forms an image of the diffracted light or scattered light of the transmitted dark field illumination from the light source 3c, and an image of the scattered light of the reflected dark field illumination of the camera 1a from the light source 3c. It is a thing. As the image pickup means, an image pickup camera using a pixel dividing element such as a CCD element, particularly one having an electronic shutter and capable of adjusting the exposure time is preferable. Examples of the light source of the illumination means include a xenon light source and the like, but the light source is not particularly limited thereto. An annular (ring-shaped) light source with a hole larger than the sample is used as a light source for reflecting dark-field illumination on the non-colored surface side of the viewfinder color filter and at the same time for transmitting viewfinder color filter. It is suitable for both reflective dark field illumination and transmissive dark field illumination. In the case of this shape, the color filter surface for the viewfinder is obliquely illuminated and the transmitted light image is formed by the first image forming means (lens system). ) Makes it possible to easily arrange and combine the second transillumination means and the second imaging means for forming an image on the first imaging means. Usually, a ring type fiber light source is used.
【０００９】本発明のビューファインダー用カラーフイ
ルターの欠陥検査装置における画像処理部は、撮像によ
り得られた画像信号を、画素のＸ方向またはＹ方向に一
次微分ないし二次微分することにより、信号の変化を得
て欠陥を特定する等の強調処理を施し欠陥検出するもの
である。しかしながら、ビューファインダー用カラーフ
イルターは図１０に示すように、着色画素部、外周遮光
部、最外周透明部の各領域に分けられ、着色画素部は図
１０（ロ）に示すように、一般にはＲ（レッド）、Ｇ
（グリーン）、Ｂ（ブルー）の着色層の繰り返し配列に
て構成されており、照明光に対して、着色部は低い反射
率、低透過率で、外周遮光部は高い反射率、低透過率
で、最外周透明部は高透過率であり、各領域によって、
その透過率、反射率が異なる。この為、一度の撮像から
得られた信号により、全域の欠陥検出を行うことはでき
ず、画像処理部は、欠陥検出の信号処理の他に、特別な
画像処理を行う。画像処理部の行う処理を説明する為、
一例として図２に示す処理を挙げる。図２における処理
は、ビューファインダー用カラーフイルターの全領域を
含む撮像領域にて撮像した場合のもので、所望の領域の
反射率、透過率に合った露光量でビューファインダー用
カラーフイルターの全領域を撮像し、得られた画像信号
から微分処理により、反射率、透過率の異なる領域の境
界部やその領域の欠陥部を抽出した２値化画像と、その
領域よりわずかに狭い領域に限定した領域の２値化画像
（マスキング画像）とから、ＡＮＤ処理により所望の領
域の欠陥部のみを抽出するものである。そして、全領域
の欠陥検出は、この操作を各領域毎に行い、各領域毎の
欠陥を得て、全領域の欠陥を合わせるものである。The image processing unit in the defect inspection apparatus for a color filter for a viewfinder according to the present invention differentiates an image signal obtained by image pickup in the X direction or the Y direction of a pixel to obtain a signal of the signal. The defect is detected by performing a highlighting process such as obtaining a change to identify the defect. However, as shown in FIG. 10, the color filter for a viewfinder is divided into a colored pixel portion, an outer peripheral light-shielding portion, and an outermost peripheral transparent portion, and the colored pixel portion generally has a color pixel portion as shown in FIG. R (red), G
It is composed of a repeating array of (green) and B (blue) colored layers, and has a low reflectance and a low transmittance in the colored portion and a high reflectance and a low transmittance in the outer peripheral light shielding portion with respect to the illumination light. Therefore, the outermost transparent part has high transmittance, and depending on each area,
The transmittance and reflectance are different. For this reason, it is not possible to detect defects in the entire area by the signal obtained from one image pickup, and the image processing unit performs special image processing in addition to the signal processing for defect detection. To explain the processing performed by the image processing unit,
As an example, the process shown in FIG. 2 will be given. The processing in FIG. 2 is performed when an image is captured in an imaging area including the entire area of the viewfinder color filter, and the entire area of the viewfinder color filter is exposed with an exposure amount that matches the reflectance and transmittance of the desired area. Was imaged and the differential processing was performed from the obtained image signal, and the boundary part of the region with different reflectance and transmittance and the defective part of that region were extracted, and the binarized image was limited to the region slightly narrower than that region. Only the defective portion of a desired area is extracted by AND processing from the binarized image (masking image) of the area. Then, in the defect detection of all areas, this operation is performed for each area to obtain a defect for each area, and the defects of all areas are combined.
【００１０】図２における欠陥検出処理（Ａ）を説明す
る。欠陥検出処理としては、透過照明および／または反
射照明により照明して、第一、第二撮像手段（カメラ）
にて撮像した映像信号が画像処理装置に入り、強調処理
等を施して欠陥が検出される。所望の領域にあった露光
量にて、ビューファインダー用カラーフイルターの全領
域を含む撮像領域にて撮像する為、所望領域の欠陥とと
もに領域境界等が検出される。これを２値化画像とす
る。以下、欠陥検出のための強調処理について一例を挙
げ、図３にそって説明する。説明を簡単にする為、試料
を透過明視野照明して自動検査する場合、即ち、図１に
おいて、光源３ｂを点灯し、ビューファインダー用カラ
ーフイルターの非着色面側から斜め入射し、撮像カメラ
１ａで撮像する場合についての画像処理について説明す
る。先ず、試料の同一箇所において複数回、撮像手段に
よって撮像し、画像信号を得て、得られた複数回分の画
像信号を積算、平均処理する。これは、欠陥部を含む箇
所については、図３の（ａ）のような光透過率分布をえ
るが、撮像装置からのビデオ信号は（ｂ）のように、パ
ターンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやか
な信号変化（シエーデイング）とビデオ信号回路で発生
するランダムノイズ、および光学系に付着したゴミなど
による信号の局部的変化とが含まれた信号となってしま
うことに対応するもので、同一箇所において、複数回、
撮像手段によって撮像し、画像信号を得て、得られた複
数回分の画像信号を積算、平均処理するもので、これに
より（ｃ）のように、加算回数をＮとした場合には、ラ
ンダムノイズの比率は１／Ｎ1/2 となる。ここで、Ａ
１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもので、Ｃは光学
系に付着したゴミ等による信号の局部的変化を示すもの
である。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、同
様に積算、平均処理することにより、信号（ｃ）をわず
かに変位させた信号（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と
（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のようになり、ゆるや
かな信号変化（シエーデイング）や撮像する位置の移動
により変化しない信号分が除去される。ここでは、光の
透過率変化による信号分と低減されたランダムノイズ成
分だけが残るが、更に、この信号（ｅ）について、近傍
平均値の減算あるいは微分処理を施すと、（ｆ）のよう
な、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）成分も除去
され、結果として、得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相
当のみが局部的に変化しており、強調されていることが
分かる。又、スライス処理による２値化については、信
号（ｆ）を所定のスライスレベルＳＬで処理するもの
で、欠陥部のみを判定し２値化するものである。尚、図
３の（ｅ）での欠陥部における信号の反転の順序によっ
て、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）が識別できる。尚、
ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピンホールや
絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン部の所定の
絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を言ってお
り、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出される。The defect detection process (A) in FIG. 2 will be described. As the defect detection process, the first and second image pickup means (camera) are illuminated by transmission illumination and / or reflection illumination.
The video signal picked up in (1) enters the image processing device, and is subjected to an emphasis process or the like to detect a defect. Since an image is picked up in an image pickup area including the entire area of the color filter for the viewfinder with an exposure amount suitable for the desired area, a defect in the desired area and an area boundary or the like are detected. This is a binarized image. An example of the emphasis process for defect detection will be described below with reference to FIG. In order to simplify the explanation, when a sample is automatically inspected by transmission bright field illumination, that is, in FIG. 1, the light source 3b is turned on, the light is obliquely incident from the non-colored side of the viewfinder color filter, and the imaging camera 1a is used. Image processing in the case of capturing an image will be described. First, the same portion of the sample is imaged a plurality of times by the imaging means to obtain an image signal, and the obtained image signals for a plurality of times are integrated and averaged. This is because the light transmittance distribution as shown in FIG. 3A is obtained for the portion including the defective portion, but the video signal from the image pickup device is as shown in FIG. It corresponds to a signal that includes gradual signal changes (shading) due to uneven sensitivity, random noise generated in the video signal circuit, and local changes in the signal due to dust adhering to the optical system. So, at the same place, multiple times,
The image signal is picked up by the image pickup means to obtain an image signal, and the obtained image signals for a plurality of times are integrated and averaged. Thus, when the number of additions is N as shown in (c), random noise is generated. Is 1 / N 1/2 . Where A
Reference numerals 1, B1, A2, and B2 indicate defective portions, and C indicates a local change in the signal due to dust or the like attached to the optical system. Then, by slightly shifting the image pickup position and similarly performing integration and averaging, a signal (d) obtained by slightly displacing the signal (c) can be obtained. When the difference signal is obtained, it becomes as shown in (e), and the signal component that does not change due to the gradual signal change (shading) or the movement of the imaging position is removed. Here, only the signal component due to the change in light transmittance and the reduced random noise component remain, but when the signal (e) is further subjected to subtraction or differentiation of the neighborhood average value, It can be seen that the gradual signal change (shading) component is also removed, and as a result, the obtained signal (f) is locally changed only in the defect portion and is emphasized. Regarding binarization by slice processing, the signal (f) is processed at a predetermined slice level SL, and only the defective portion is judged and binarized. The type of defect (white defect or black defect) can be identified by the order of signal inversion in the defect portion in FIG. still,
Here, the white defect refers to a pinhole or a pattern defect in the colored pattern portion, and the black defect refers to an extra colored portion or a light-shielding portion other than the predetermined pattern in the colored pattern portion, which is a stain or a glass portion. The flaw is also detected as a black defect.
【００１１】次いで、図２におけるマスキング画像の作
成方法について以下簡単に説明する。ここでは簡単の
為、着色画素部領域を透過照明で検査する場合に限定し
て所定領域部以外の領域を除外し、所定領域の欠陥のみ
を抽出する方法を説明する。透過照明で着色画素部領域
の欠陥検出に適した露光条件にて、試料全面を撮像し、
撮像した画像信号に対しての強調処理を施す。ここでは
画像信号に対してｘ方向に微分処理する。この強調処理
は信号のｘ方向に対する変化を強調するものである。着
色画素部領域を透過照明で検査する場合、試料全面を撮
像し、得られた画像信号に対して強調処理を施した場
合、図２の２値化画像のように着色画素部領域内の欠陥
とともに、着色画素部、外周遮光部、最外周透明部のそ
れぞれの境界等の着色画素部領域以外のものも欠陥とし
て抽出されるが、関心領域（着色画素部領域）のみを抽
出するため、図２に示すように２値化画像と検出したい
領域のマスキング画像とのＡＮＤをとる。このマスキン
グ画像は、例えばメモリの検出したい領域を全ビット１
他領域を０にしたもので、強調処理を施した２化値画像
とのＡＮＤをとることにより、関心領域（着色画素部領
域）のみ２値化した値を残し、他領域を除外することが
できる。次いで、着色部領域のマスキング画像を作成す
る場合について述べる。図５（１）に示すように、まず
欠陥のない試料の全面を撮像し、試料の各領域の輝度レ
ベルに対応した、撮像により得られた画像信号を、所定
のスライスレベル２値化し、図５（２）のように着色画
素部領域画像αを抽出する。図５（２）の画像αを縮小
するため、画像αを左右（強調処理がｙ方向の微分処理
の場合は上下）にシフトし、それぞれ図６のようにし
て、それぞれＡＮＤをとり、マスキング画像を作成す
る。マスキング画像は実際の着色画素部領域よりも小さ
く作成されるため図３のような着色部と外周遮光部の信
号変化による境界線を抽出しても、図４のように、マス
キング画像とのＡＮＤにより、着色画素領域の欠陥のみ
が抽出されるのである。ここで図６の処理におけるシフ
ト量について述べる。撮像により得られた画像信号は、
ｘ方向では図９（イ）に示すようになる。図９（イ）の
画像信号に図８に示す要素配列フイルター（空間フイル
タ）を用い、フイルタリング（二次微分処理）を施した
場合、図９（ロ）のようになる。したがってこの場合、
検査領域中、左側２画素分、右側３画素分が境界線とし
て出てしまい除外しなければならないので、画像αのシ
フト量は右側へ２画素、左側に３画素となる。尚、ここ
では、撮像手段より得られた、画素データＰ（ｘ、ｙ）
に空間フイルターテーブルＷ（ｉ、ｊ）を用い、Ｐ
（ｘ、ｙ）とＷ（ｉ、ｊ）との積和演算を行うものをフ
イルタと言い、エリアセンサにて特定画素列のＸ方向に
限定した場合には、（−１、＋１）、空間フイルタテー
ブル（重みテーブル）を設定することで一次微分処理が
行え、（−１、−１、＋２、＋２、−１、−１）に空間
フイルタテーブル（重みテーブル）を設定することによ
り二次微分処理が行なえる。着目画素Ｎの画素データを
Ｘn とすると、Ｘ方向に２画素分の平滑処理をした二次
微分処理の場合、画素データと空間フイルターテープル
との積和演算Ｓn は、（−１）×Ｘn-2 ＋（−１）×Ｘ
n-1 ＋（＋２）×Ｘn ＋（＋２）×Ｘn+1 ＋（−１）×
Ｘn+2 ＋（−１）×Ｘn+3 となる。このようにして画像
αをシフトしてＡＮＤをとった画像が着色画素部領域に
対応するマスキング画像であるが、試料の他の領域に対
しても、露光条件やスライスレベルを調整して撮像し、
２値化し、シフトすることにより、各領域に対応したマ
スキング画像を作成することができる。Next, a method for creating the masking image in FIG. 2 will be briefly described below. Here, for the sake of simplicity, a method will be described in which only the defect in the predetermined region is extracted by excluding the region other than the predetermined region portion only when the colored pixel portion region is inspected by transmitted illumination. Image the entire surface of the sample under the exposure conditions suitable for detecting defects in the colored pixel area with transmitted illumination,
The enhancement processing is performed on the captured image signal. Here, the image signal is differentiated in the x direction. This emphasis processing emphasizes the change of the signal in the x direction. When the colored pixel area is inspected with transmitted illumination, the entire surface of the sample is imaged, and the obtained image signal is subjected to an emphasis process. As a result, a defect in the colored pixel area as shown in the binarized image of FIG. At the same time, the colored pixel portion, the outer light-shielding portion, the outermost peripheral transparent portion, and other boundaries other than the colored pixel portion region are also extracted as defects, but only the region of interest (colored pixel portion region) is extracted. As shown in FIG. 2, the binary image and the masking image of the area to be detected are ANDed. In this masking image, for example, all bits of the area to be detected in the memory are 1
It is possible to exclude other regions by leaving only the region of interest (colored pixel portion region) with the binarized value by ANDing the other region with 0 and the binarized image subjected to the emphasis process. it can. Next, a case of creating a masking image of the colored portion area will be described. As shown in FIG. 5 (1), first, the entire surface of the sample having no defect is imaged, and the image signal obtained by imaging corresponding to the brightness level of each region of the sample is binarized to a predetermined slice level, 5 (2), the colored pixel portion area image α is extracted. In order to reduce the image α in FIG. 5 (2), the image α is shifted to the left or right (up and down when the emphasis processing is the differential processing in the y direction), and ANDed as shown in FIG. To create. Since the masking image is created smaller than the actual colored pixel portion area, even if the boundary line due to the signal change of the colored portion and the outer peripheral light shielding portion as shown in FIG. 3 is extracted, as shown in FIG. Thus, only the defect in the colored pixel area is extracted. Here, the shift amount in the processing of FIG. 6 will be described. The image signal obtained by imaging is
In the x direction, it becomes as shown in FIG. When the element array filter (spatial filter) shown in FIG. 8 is used for the image signal of FIG. 9A and the filtering (second differential processing) is performed, the result is as shown in FIG. 9B. So in this case,
Since 2 pixels on the left side and 3 pixels on the right side appear as boundary lines in the inspection area and must be excluded, the shift amount of the image α is 2 pixels on the right side and 3 pixels on the left side. In this case, the pixel data P (x, y) obtained by the image pickup means is used.
The space filter table W (i, j) is used as
When a product-sum operation of (x, y) and W (i, j) is performed, it is called a filter. When the area sensor is limited to the X direction of a specific pixel row, (-1, +1), space Primary differential processing can be performed by setting a filter table (weight table), and secondary differential processing can be performed by setting a spatial filter table (weight table) to (-1, -1, +2, +2, -1, -1). It can be processed. When the pixel data of the pixel of interest N is X n , in the case of the second-order differential processing in which the smoothing processing for two pixels is performed in the X direction, the product sum operation S n of the pixel data and the spatial filter table is (−1) × X n-2 + (-1) x X
n-1 + (+2) x X n + (+2) x X n + 1 + (-1) x
Xn + 2 + (-1) * Xn + 3 . The image obtained by shifting the image α and taking the AND is the masking image corresponding to the colored pixel portion area, but the exposure condition and the slice level are adjusted and imaged for other areas of the sample. ,
By binarizing and shifting, a masking image corresponding to each area can be created.
【００１２】[0012]
【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検査装置は、このような構成にすることによ
り、コンパクトで、全ての種類の外観欠陥を検査を一度
ででき、且つ、量産にも対応できる装置の提供を可能と
している。具体的には、暗視野照明を併用ないし単独使
用することにより、高い感度で検出することを可能と
し、表裏にそれぞれ、照明手段、撮像手段を前述のよう
に配設することにより、表裏全体の欠陥を一度に検出で
きるようにしている。又、リング型光源を用いることに
より、着色面側撮像手段への透過暗視野照明、非着色面
側撮像手段への反射暗視野照明を一つの光源にて達成
し、且つ、着色面側撮像手段へ透過明視野照明、撮像装
置の配置をし易いものとし、全体をコンパクトとしてい
る。また、垂直落射構成でのハーフミラーを排すること
ができ、ハーフミラー使用時の光量の減少や、ハーフミ
ラーにゴミが付着した場合に発生する擬似欠陥検出を回
避することができる。The defect inspection apparatus for a color filter for a viewfinder according to the present invention has such a structure that the apparatus is compact, capable of inspecting all kinds of appearance defects at one time, and capable of mass production. It is possible to provide. Specifically, it is possible to detect with high sensitivity by using the dark-field illumination together or alone, and by arranging the illumination means and the imaging means on the front and back respectively as described above, Defects can be detected at once. Further, by using the ring type light source, the transmission dark field illumination to the colored surface side image pickup means and the reflected dark field illumination to the non-colored surface side image pickup means are achieved by one light source, and the colored surface side image pickup means is achieved. The transparent bright-field illumination and the image pickup device can be easily arranged, and the entire device is made compact. Further, it is possible to eliminate the half mirror having the vertical incident structure, and it is possible to avoid the reduction of the light amount when the half mirror is used and the detection of a pseudo defect that occurs when dust adheres to the half mirror.
【００１３】[0013]
【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査装置の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１における装置概略図である。図１
中、１ａ、１ｂは撮像カメラ、２ａ、２ｂはレンズ、３
ａ、３ｂ、３ｃは光源、４はビューファインダー用カラ
ーフイルター、５は保持板、６は画像処理装置、７はＸ
Ｙステージ、８はＸＹステージ制御装置である。ビュー
ファインダー用カラーフイルター４は着色面を上にして
保持板５の上に載っており、保持板５はＸＹステージ７
の上に載っている。撮像カメラ１ａ、１ｂは露光時間可
変のＣＣＤエリアセンサを使用した。レンズ２ａは試料
ビューファインダー用カラーフイルター４の着色面の像
が、あおり撮影により、撮像カメラ１ａの受像面上に結
像するように調整されており、レンズ２ｂは試料ビュー
ファインダー用カラーフイルター４の非着色面の像が、
あおり撮影により、撮像カメラ１ｂの受像面に結像する
ように調整されている。レンズ２ａ、２ｂ各々の光軸と
撮像カメラ１ａ、１ｂの受像面が交わった点は、それぞ
れ撮像カメラ１ａ、１ｂの受像面の中心からズレた位置
になっている。光源３ａは、試料４の着色面側を撮像カ
メラ１ａに対して正反射照明する。又、光源３ｂは、試
料４を非着色面側から撮像カメラ１ａに対して透過照明
する。光源３ｃは図１では一例としてリング型ファイバ
ー光源を使用しており、試料４を撮像カメラ１ａに対し
て透過暗視野照明、および非着色面側を撮像カメラ１ｂ
に対して反射暗視野照明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of a color filter defect inspection apparatus for a viewfinder according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus according to the first embodiment. Figure 1
Inside, 1a and 1b are imaging cameras, 2a and 2b are lenses, 3
a, 3b, 3c are light sources, 4 is a viewfinder color filter, 5 is a holding plate, 6 is an image processing device, and 7 is X.
The Y stage 8 is an XY stage controller. The viewfinder color filter 4 is placed on the holding plate 5 with the colored surface facing up, and the holding plate 5 is mounted on the XY stage 7.
Listed above. The image pickup cameras 1a and 1b used CCD area sensors with variable exposure times. The lens 2a is adjusted so that the image of the colored surface of the sample viewfinder color filter 4 is imaged on the image receiving surface of the image pickup camera 1a by tilted photographing, and the lens 2b is adjusted to the sample viewfinder color filter 4. The image of the non-colored surface
It is adjusted so as to form an image on the image receiving surface of the image pickup camera 1b by tilting photographing. The intersections of the optical axes of the lenses 2a and 2b with the image receiving surfaces of the image capturing cameras 1a and 1b are located at positions displaced from the centers of the image receiving surfaces of the image capturing cameras 1a and 1b, respectively. The light source 3a specularly illuminates the colored surface side of the sample 4 with respect to the imaging camera 1a. In addition, the light source 3b illuminates the sample 4 from the non-colored surface side to the imaging camera 1a by transmission illumination. As the light source 3c, a ring type fiber light source is used as an example in FIG.
Reflective darkfield illumination against.
【００１４】本装置における撮像方法を以下簡単にのべ
る。ビューファインダー用カラーフイルター４を透過明
視野照明して撮像する場合には、光源３ｂを点灯し、試
料ビューファインダー用カラーフイルター４を透過照明
し、透過光をレンズ２ａで集光して撮像カメラ１ａの受
光面上に結像させて撮像する。試料ビューファインダー
用カラーフイルター４を透過暗視野照明して撮像する場
合には、光源３ｃを点灯して試料４を透過暗視野照明
し、試料４に微小白欠陥がある場合に回折光をレンズ２
ａで集光して撮像カメラ１ａの受光面上に結像させ撮影
する。そして、試料ビューファインダー用カラーフイル
ター４の着色面の正反射照明による撮像については、光
源３ａを点灯して、試料着色面を正反射照明し、反射光
をレンズ２ａにより撮像カメラ１ａの受光面上に結像さ
せ、撮影する。又、試料ビューファインダー用カラーフ
イルター４の非着色面側の反射暗視野照明による撮像
は、光源３ｃを点灯して試料非着色面を反射暗視野照明
し、試料の表面の凹凸による散乱光をレンズ２ｂにより
撮像カメラ１ｂの受光面上に結像させ撮影する。An image pickup method in this apparatus will be briefly described below. In the case of transmitting bright field illumination of the viewfinder color filter 4 to capture an image, the light source 3b is turned on, the sample viewfinder color filter 4 is transmitted and illuminated, the transmitted light is condensed by the lens 2a, and the imaging camera 1a. An image is formed by imaging on the light receiving surface of. When the color filter 4 for the sample viewfinder is illuminated with the transmitted dark field to capture an image, the light source 3c is turned on to illuminate the sample 4 with the transmitted dark field.
The light is condensed by a, and an image is formed on the light receiving surface of the image pickup camera 1a to be photographed. Then, regarding the imaging by the specular illumination of the colored surface of the sample viewfinder color filter 4, the light source 3a is turned on to specularly illuminate the sample colored surface, and the reflected light is reflected by the lens 2a on the light receiving surface of the imaging camera 1a. Form an image on and shoot. Further, in the imaging by the reflection dark-field illumination on the non-colored surface side of the sample viewfinder color filter 4, the light source 3c is turned on to illuminate the non-colored surface of the sample with reflection dark-field illumination, and the scattered light due to the unevenness of the surface of the sample is lensed. An image is formed on the light receiving surface of the image pickup camera 1b by the image pickup device 2b.
【００１５】本装置における欠陥検出方法を以下簡単に
説明する。試料ビューファインダー用カラーフイルター
４の全面を光源３ｂにて透過照明、光源３ｃにて透過暗
視野照明し、撮像カメラにて撮影する。試料ビューファ
インダー用カラーフイルター４の各領域の透過率に合わ
せ、カメラの電子シヤッターにて露光時間を調整し、所
望の領域毎に撮影して所望の領域毎に欠陥を検出し、全
域における欠陥検出を行った。これにより着色面側の白
欠陥、黒欠陥を検出した。尚、欠陥の検出のための画像
処理については前述の通りである。次いで、光源３ａに
て、試料ビューファインダー用カラーフイルター４を斜
め入射照明し、反射光像をレンズ２ａにて撮像カメラ１
ａに結像し、欠陥検出をおこなった。これにより着色面
側の汚れ、キズ、突起等の欠陥を検出した。この場合の
画像処理についても前述の通りである。次いで、試料ビ
ューファインダー用カラーフイルター４の全面を光源３
ｃにて透過照明反射暗視野照明し、撮像カメラ１ｂにて
その散乱光を撮像することにより欠陥検出をおこなっ
た。これにより非着色面側、主にガラス面の汚れ、キズ
等の欠陥を検出した。尚、光源３ａを点灯し、カメラ１
ａで反射光像、カメラ１ｂで透過光像を撮像する場合は
並行して行う。以上より、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルター４の全種類の外観欠陥検査を本装置のみ
で、ほぼ一度に自動でできた。The defect detection method in this apparatus will be briefly described below. The entire surface of the sample viewfinder color filter 4 is illuminated with a light source 3b for transmission illumination and a light source 3c for transmission dark field illumination, and an image is taken by an imaging camera. The exposure time is adjusted by the electronic shutter of the camera according to the transmittance of each area of the sample viewfinder color filter 4, the desired area is photographed, and the defect is detected in each desired area, and the defect is detected in the entire area. I went. As a result, white defects and black defects on the colored surface side were detected. The image processing for detecting defects is as described above. Then, the color filter 4 for the sample viewfinder is obliquely incident and illuminated by the light source 3a, and the reflected light image is captured by the lens 2a.
An image was formed on a and defects were detected. As a result, defects such as stains, scratches and protrusions on the colored surface side were detected. The image processing in this case is also as described above. Next, cover the entire surface of the color filter 4 for the sample viewfinder with the light source 3
Defect detection was performed by illuminating the transmission illumination and the reflection dark field at c and imaging the scattered light at the imaging camera 1b. As a result, defects such as stains and scratches on the non-colored surface side, mainly on the glass surface, were detected. The light source 3a is turned on and the camera 1
When a reflected light image is captured by a and a transmitted light image is captured by the camera 1b, the operations are performed in parallel. From the above, all kinds of appearance defect inspections of the color filter 4 for the sample viewfinder could be automatically performed almost at one time only with this apparatus.
【００１６】[0016]
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
出方法は、ビューファインダー用カラーフイルター表裏
の汚れ、傷等の外観欠陥の自動検査を可能としている。With the above structure, the defect detecting method of the viewfinder color filter of the present invention enables automatic inspection of appearance defects such as stains and scratches on the front and back of the viewfinder color filter. .
【図１】本発明の実施例における装置概略図FIG. 1 is a schematic view of an apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】画像処理部における画像処理の工程概略図FIG. 2 is a schematic diagram of image processing steps in an image processing unit.
【図３】画像処理における強調処理を説明するための図FIG. 3 is a diagram for explaining emphasis processing in image processing.
【図４】マスキング画像作成における強調処理を説明す
るための図FIG. 4 is a diagram for explaining emphasis processing in creating a masking image.
【図５】マスキング画像作成におけるＡＮＤ処理を説明
する為の図FIG. 5 is a diagram for explaining an AND process in creating a masking image.
【図６】マスキング画像作成におけるシフト処理を説明
する為の図FIG. 6 is a diagram for explaining a shift process in creating a masking image.
【図７】あおり撮影による撮像を説明するための図FIG. 7 is a diagram for explaining imaging by tilting photography.
【図８】マスキング画像作成において使用する空間フイ
ルター図FIG. 8: Spatial filter diagram used in masking image creation
【図９】マスキング画像作成を説明するための図FIG. 9 is a diagram for explaining masking image creation.
【図１０】ビューファインダア用カラーフイルター概略
図FIG. 10 is a schematic view of a color filter for a viewfinder.
１ａ 、 １ｂ 撮像カメラ ２ａ 、 ２ｂ レンズ ３ａ 、 ３ｂ 、３ｃ 光源 ４ ビューファインダア用カラ
ーフイルター ５ 保持板 ６ 画像処理装置 ７ ＸＹステージ ８ ＸＹステージ制御部1a, 1b Imaging camera 2a, 2b Lenses 3a, 3b, 3c Light source 4 Viewfinder color filter 5 Holding plate 6 Image processing device 7 XY stage 8 XY stage control unit
Claims (3)
駆動制御されたＸＹステージ上のビューファインダー用
カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた信号を
画像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置
であって、ビューファインダー用カラーフイルターの着
色面側には、ビューファインダー用カラーフイルターに
対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第一撮像手
段と、該第一撮像手段の受像面上にあおり撮影になるよ
うにビューファインダー用カラーフイルターの像を結像
させる第一結像手段と、ビューファインダー用カラーフ
イルター面に斜め入射照明して、その正反射光像を第一
結像手段により第一撮像手段の受像面上に結像させる第
一照明手段とを有し、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの非着色面側には、ビューファインダー用カラー
フイルターに対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からな
る第二撮像手段と、該第二撮像手段の受像面上にあおり
撮影になるようにビューファインダー用カラーフイルタ
ーの像を結像させる第二結像手段と、ビューファインダ
用カラーフイルター面に、斜め入射照明して、その透過
光像を第一結像手段により第一撮像手段の受像面上に結
像させる第二照明手段と、ビューファインダー用カラー
フイルターの非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を
第二撮像手段の受像面上に結像させ、ビューファインダ
ー用カラーフイルターを透過暗視野照明し、その回折光
ないし散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明手段
とを有し、且つ、各撮像手段により、撮像された画像信
号を画像処理する画像処理手段とを備えたことを特徴と
するビューファインダー用カラーフイルターの検査装
置。1. XY using transmissive or reflective illumination means
An automatic inspection device for detecting a defect by capturing an image of a viewfinder color filter on a drive-controlled XY stage and performing image processing on a signal obtained by the image capturing, which is a colored surface side of the viewfinder color filter. Includes a first image pickup means composed of a pixel dividing element such as a CCD, facing the color filter for the viewfinder, and an image of the color filter for the viewfinder so that the image is captured on the image receiving surface of the first image pickup means. A first image forming means for forming an image on the image plane and a first view forming means for forming a specularly reflected light image on the image receiving surface of the first image forming means by obliquely illuminating the surface of the color filter for the viewfinder. The viewfinder color filter has a lighting means, and the non-colored side of the viewfinder color filter faces the viewfinder color filter. A second image pickup means composed of a pixel dividing element such as a CCD, and a second image formation means for forming an image of a color filter for a viewfinder on the image receiving surface of the second image pickup means so as to capture an image. Second illuminating means for obliquely illuminating the viewfinder color filter surface to form an image of the transmitted light on the image receiving surface of the first image pickup means by the first image forming means, and a non-viewer color filter. The colored surface side is reflected in dark field illumination, the scattered light is imaged on the image receiving surface of the second image pickup means, the viewfinder color filter is transmitted in dark field illumination, and the diffracted light or scattered light is used as the first image pickup means. A color finder for a viewfinder, comprising: a third illuminating means for forming an image, and an image processing means for image-processing the image signal picked up by each image pickup means. Luther of the inspection device.
ング型光源により、ビューファインダー用カラーフイル
ターの非着色面側を反射暗視野照明し、ビューファイン
ダー用カラーフイルターを透過暗視野照明したものであ
ることを特徴とするビューファインダー用カラーフイル
ターの検査装置。2. The third illuminating means according to claim 1, wherein the ring type light source illuminates the non-colored surface side of the viewfinder color filter with reflection darkfield illumination and the viewfinder color filter with transmission darkfield illumination. An inspection device for color filters for viewfinders.
画像信号を画像処理する画像処理手段が、少なくとも、
撮像された画像信号を画素のＸまたは／およびＹ方向に
微分して得た欠陥を含む２値化画像と、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの所望の領域部に対応するわず
かに小さい領域の２値化画像とのＡＮＤ処理を行うもの
であることを特徴とするビューファインダー用カラーフ
イルターの検査装置。3. The image processing means according to claim 1, wherein the image processing means for image-processing the picked-up image signal comprises at least:
A binarized image containing a defect obtained by differentiating a picked-up image signal in the X or / and Y direction of a pixel, and a binarized small region corresponding to a desired region portion of a color filter for a viewfinder. An inspection device for a color filter for a viewfinder, which is characterized by performing an AND process with an image.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925293A JPH07151703A (en) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | Inspection device for color filter for viewfinder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31925293A JPH07151703A (en) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | Inspection device for color filter for viewfinder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07151703A true JPH07151703A (en) | 1995-06-16 |
Family
ID=18108123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31925293A Withdrawn JPH07151703A (en) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | Inspection device for color filter for viewfinder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07151703A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07151704A (en) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection device for color filter for viewfinder |
| JP2006275609A (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Toppan Printing Co Ltd | Irregularity inspection device and irregularity inspection method for cyclic pattern |
| JP2007327896A (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | Inspection device |
| JP2008241252A (en) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Nitto Seiko Co Ltd | Device for inspecting part defect |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP31925293A patent/JPH07151703A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07151704A (en) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection device for color filter for viewfinder |
| JP2006275609A (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Toppan Printing Co Ltd | Irregularity inspection device and irregularity inspection method for cyclic pattern |
| JP2007327896A (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | Inspection device |
| JP2008241252A (en) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Nitto Seiko Co Ltd | Device for inspecting part defect |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |