JPH07148926A - インクジェット記録ヘッド、その製造方法およびインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録ヘッド、その製造方法およびインクジェット記録装置

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JPH07148926A
JPH07148926A JP5296222A JP29622293A JPH07148926A JP H07148926 A JPH07148926 A JP H07148926A JP 5296222 A JP5296222 A JP 5296222A JP 29622293 A JP29622293 A JP 29622293A JP H07148926 A JPH07148926 A JP H07148926A
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吐出口、インク流路および液室を一体的に形
成した溝付天板130と、電気熱変換体が形成されたヒ
ータボード100とを圧接することによって形成される
インクジェット記録ヘッドにおいて、ヒータボード10
0と溝付天板130との間の隙間に起因する液室間のイ
ンクの浸透・拡散を防止する。 【構成】 溝付天板130側において液室間を隔てる壁
111a〜111cに、分離溝113a〜113cを設
ける。ヒータボード100と溝付天板130との圧接
後、この分離溝113a〜113c内に封止剤120を
導入する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、微細な吐出口から液滴
を吐出して記録を行なうためのインクジェット記録ヘッ
ドと、このインクジェット記録ヘッドを使用したインク
ジェット記録装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】微細な吐出口から記録媒体に液滴(イン
ク)を吐出させることによって記録を行なうインクジェ
ット記録方法が注目を浴びている。インクジェット記録
方法は、ノンインパクト型の記録方法であるので騒音の
おそれがなく、特別の処理を行なうことなく普通紙への
記録が行なえ、高速、高精細記録が可能であり、さらに
複数色のインクを用いることによってカラー記録が可能
となるなどの長所を有する。インクジェット記録方法に
よる記録装置(インクジェット記録装置)では、一般
に、インクに吐出エネルギーを与えるための吐出エネル
ギー発生素子と吐出口とを一体化させたインクジェット
記録ヘッドが使用される。図8は、従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す概略斜視図である。
【0003】このインクジェット記録ヘッド900は、
複数の吐出口909と、各吐出口909ごとに設けられ
吐出口909に連通するインク流路と、各インク流路に
インクを供給するためインク流路に共通に設けられた液
室と、各インク流路に配置された吐出エネルギ発生素子
とを有している。ここで吐出エネルギ発生素子は、シリ
コンなどからなる基板(ヒータボード)901の表面
に、半導体製造技術を用いて配置されている。一方、イ
ンク流路および液室は溝付天板902に刻まれた溝部お
よび凹部として一体的に構成され、吐出口909は、溝
部が溝付天板902の側面に露出する部分として形成さ
れている。この場合、隣接するインク流路を分離する流
路壁は、溝付天板902の溝部間の線状突起として形成
されている。そして、このインクジェット記録ヘッド9
00は、各部品を構築してインクジェット記録ヘッドを
構成するための支持部材903上に、基板901を配置
し、基板901と溝付天板902とをバネ製板状部材9
04によって圧着接合することによって、完成させられ
る。バネ製板状部材904は、略M字状の部材であっ
て、中央部904cによって溝付天板902に押圧力を
与え、側面部904dによって溝付天板902がずれる
ことを防ぐようになっており、脚部904eが支持部材
903に設けられた貫通孔903bに挿入されている。
【0004】このようなインクジェット記録ヘッドで
は、基板(ヒータボード)と溝付天板とがバネ製板状部
材の押圧力によって圧着接合されているだけなので、基
板と溝付天板の少なくとも一方の平面度が悪いと、溝付
天板と基板との間に隙間が生じることがある。そこでこ
の隙間からインクがもれることを防止するために、基板
と溝付天板の接合部外周は封止剤により封止される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述のインクジェット
記録ヘッドでカラー記録を行なおうとする場合は、各イ
ンクの色ごとに液室を分離するように予め溝付天板を成
型することで対応することが可能である。しかしながら
このような形態のインクジェット記録ヘッドの場合、各
液室を分離する分離壁が溝付天板に一体に形成されるた
め、上述したようにこの分離壁の部分において溝付天板
と基板との間に隙間が生じるおそれがあり、このような
隙間があるとこの隙間を介して各液室内のインクが浸透
・拡散することとなり、インクの混色が生じ、記録画像
の品位の劣化などをもたらす。
【0006】この分離壁部の隙間に、基板と溝付天板の
接合部外周と同様に封止剤を設けることも考えられる
が、封止剤の量が多すぎると隣接する流路に封止剤がは
みだしてしまい、また少なすぎると分離壁部の封止が完
全にはなされないため、封止剤の量の制御が困難で、隣
接する液室間の分離を確実に行なうことができなかっ
た。
【0007】本発明の目的は、各液室間の分離が確実に
行なわれ、インクの混色が生じないインクジェット記録
ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを利用したイ
ンクジェット記録装置とを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、インクを供給するための複数の液室にそ
れぞれ対応する分離された複数の凹部と前記凹部に接続
し流路に対応する溝部と前記溝部の先端であって吐出口
面に露出した吐出口形成部位とが一体的に形成された第
1の部材と、インクに吐出エネルギを与える吐出エネル
ギ発生素子が前記流路に対応して設けられている第2の
部材とを有し、前記第1および第2の部材を圧接するこ
とで形成されるインクジェット記録ヘッドにおいて、前
記複数の凹部を分離するために前記第1の部材に形成さ
れている壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けられ
ている。
【0009】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、インクを供給するための分離した複数の液室と
前記液室に連通する流路と前記流路の先端部に形成され
吐出口面に露出した吐出口と前記流路に対応して設けら
れインクに吐出エネルギを与える吐出エネルギ発生素子
とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であっ
て、前記液室にそれぞれ対応する複数の凹部と前記流路
に対応する溝部と前記吐出口に対応する吐出口形成部位
と前記複数の凹部を分離するための壁状部と外周部に連
通するように前記壁状部に設けられた分離溝とが一体的
に形成された第1の部材と、前記吐出エネルギ発生素子
が設けられた第2の部材を使用し、前記第1および第2
の部材を圧接し、そののち、前記分離溝に封止剤を注入
する。
【0010】本発明のインクジェット記録装置は、本発
明のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記
録ヘッドを載置する載置手段とを有する。
【0011】
【作用】第1の部材(溝付天板)において、液室に対応
する凹部間を分離する壁状部に、外周部に連通する分離
溝が設けられているので、第1の部材と第2の部材との
圧接後にこの分離溝内に封止剤を注入したり、あるいは
第2の部材側にこの分離溝に嵌合するリブ部を設けてお
いたりすることにより、液室相互間でのインクの浸透・
拡散を防止することが可能となり、インクの混色を防ぐ
ことができる。
【0012】分離溝は、隣接する凹部間に1本ないし複
数本配置されるようにする。また、第2の部材にリブ部
を設ける場合には、感光性樹脂を用いてこのリブ部を構
成するとよい。
【0013】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。
【0014】《実施例1》図1は本発明の実施例1のイ
ンクジェット記録ヘッドの構成を示す分解斜視図であ
る。
【0015】ヒータボード100は、インク流路ごとに
設けられる電気熱変換体(不図示)が表面に配置された
ものであって、典型的には、シリコン基板に半導体製造
技術を適用することによって形成されている。各電気熱
変換体に通電するための配線部分(不図示)も、ヒータ
ボード100上に形成されている。配線基板200の一
端はヒータボード100の配線部分とボンディングワイ
ヤ(不図示)によって接続されており、さらに配線基板
200の他端部には、インクジェット記録装置の本体装
置からの電気信号を受けるための複数個のパッド(不図
示)が設けられている。各パッドは、それぞれ各電気熱
変換体に対応している。このような構成により、本体装
置からの電気信号は、それぞれの電気熱変換体に供給さ
れるようになる。
【0016】このインクジェット記録ヘッドには、イン
クを吐出するための微細な吐出口と、吐出口に連通する
インク流路と、インク流路にインクを供給するための4
個の液室とが設けられている。各液室は、相互に独立
し、かつそれぞれ複数の吐出口に対応している。具体的
には、図2に示すように、各インク流路に対応する多数
の溝部101と、各液室に対応する凹部110a〜11
0dと、吐出口面を構成するオリフィスプレート部14
0とを溝付天板130として一体的に形成し、この溝付
天板130をヒータボード100に対して圧接すること
により、各インク流路及び各液室が完成するようになっ
ている。オリフィスプレート部140には、吐出口10
9が設けられており、各吐出口109はそれぞれ溝部1
01に連通している。各凹部110a〜110dの間
は、それぞれ、壁111a〜111cによって仕切られ
ている。壁111a〜111cの図示上面、すなわちヒ
ータボード100との圧接面には、それぞれ分離溝11
3a〜113cが刻まれている。分離溝113a〜11
3cは、いずれも溝付天板130の外周部にまで延びて
設けられている。さらに、凹部110a〜110dの図
示底部には、対応する液室にインクを供給するための供
給口115a〜115dが形成されている。溝付天板1
30の材質は、例えば、ポリサルフォンである。
【0017】ヒータボード100および配線基板200
の裏面を平面で支持する金属製の支持体300は、この
インクジェット記録ヘッドの底板となるべきものであ
る。溝付天板130をヒータボード100に圧接するた
めの押えバネ500が設けられている。押えバネ500
は、溝付天板130の吐出口109近傍の領域に対して
線状かつ弾性的に押し圧を作用させるために断面略U字
形状に折り曲げ形成した部分と、支持体300に設けた
逃げ穴305を利用して引っかける爪部500aと、バ
ネに作用する力を支持体300で受けるための一対の後
脚部500bとを有している。また、支持体300の吐
出口面側の先端部には、溝310が形成されている。支
持体300に対する配線基板200の取り付けは、接着
剤等による貼着によって行なわれる。
【0018】溝付天板130の凹部110a〜110d
(共通液室)にインクを供給するためのインク供給部材
600が設けられている。インク供給部材600の内部
には、それぞれ供給口115a〜115dに連通する4
本のインク供給管620が設けられており、インク供給
管620の端部にはそれぞれフィルタ700が設けられ
ている。インク供給部材600の固定は、溝付天板13
0の供給口115a〜115d側の突起部150にイン
ク供給部材600を嵌合させるとともに、インク供給部
材600の裏面側の2本のピン(不図示)を支持体の穴
191,192にそれぞれ貫通突出させ、これを熱融着
させることにより、簡単に行なわれる。
【0019】インク供給部材600の取付けは、押えバ
ネ500によって溝付天板130をヒータボード100
に圧接した後に行なわれるが、この際、溝付天板130
のオリフィスプレート部140とインク供給部材600
との間に均一な隙間が形成されるようにする。そして、
インク供給部材600の上部に設けられている封止剤注
入口(不図示)から封止剤を注入し、ボンディングワイ
ヤを封止するとともにオリフィスプレート部140とイ
ンク供給部材600との間の隙間を封止し、さらに、支
持板300に設けられた溝310を介してオリフィスプ
レート部140と支持板300の前端面との間の隙間を
完全に封止する。このとき封止剤120は、分離溝11
3a〜113cに沿って浸透し、溝付天板130とヒー
タボード100との間の隙間を埋めて行く。これによ
り、封止剤の量の制御が容易に行なえるだけでなく、基
板と溝付天板の密着力を向上させることもできるため、
液室間の分離が確実に行なわれるようになり、各液室に
異なったインクを供給することができ、複数色のインク
を用いてカラー記録を行なう場合におけるインクの混色
を防止することができる。図3はオリフィスプレート部
140側から見たインクジェット記録ヘッドの正面図で
あり、図4は液室部分でインク流路に対して垂直方向に
切った場合の断面図である。
【0020】本実施例では、ポリサルフォンに対する接
着力がありワイヤボンディング封止が可能な封止剤とし
て、東芝シリコーン社製のTSE399(商品名)を使
用した。また、各分離溝113a〜113cの構造は、
概略寸法として、長さ2mm、幅および高さ各0.2m
mとした。この分離溝の構造は、使用する封止剤や天板
部材の物性や目的に応じて適宜変更されるものである。
【0021】《実施例2》例えば、溝付天板130にお
いて、隣接する凹部間を隔てる壁に設ける分離溝の数に
おいても各1本には限られるものではなく、図5に示し
たものでは、溝付天板130の各壁111a〜111c
ごとに、それぞれ2本の分離溝116が設けられてお
り、これら分離溝116の内部には、封止剤120が浸
透している。この場合、実施例1のものに比べ、分離壁
部における封止剤の密着性が向上し、長期にわたる信頼
性を向上することができる。
【0022】《実施例3》さらに図6に示したもので
は、溝付天板130の各壁111a〜111cに設けら
れている分離溝113a〜113cに対応して、ヒータ
ボード100の表面にリブ部125a〜125cが形成
されている。リブ部125a〜125cは、好ましくは
感光性樹脂で形成することができる。このリブ部を設け
た上で分離溝内に封止剤を導入することも可能である
が、リブ部125a〜125cと分離溝113a〜11
3cが嵌合するような構成とすることにより、封止剤を
導入しなくても各液室からのインクの浸透・拡散を防止
することが可能となり、各液室間の分離が完全なものと
なって、複数色のインクを用いてカラー記録を行なう場
合の混色の問題を解決することができる。さらにはこの
リブ部により、基板と溝付天板との位置決めも確実に行
なえるものである。
【0023】《インクジェット記録装置の実施例》次
に、上述したようなインクジェット記録ヘッドを用いた
インクジェット記録装置について、説明する。図7は本
発明により得られたインクジェット記録ヘッドをインク
ジェットヘッドカートリッジ(IJC)として装着した
インクジェット記録装置(IJRA)の一例を示す外観
斜視図である。
【0024】図7において、20はプラテン24上に送
紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
(IJC)である。16はIJC20を保持するキャリ
ッジHCであり、駆動モータ17の駆動力を伝達する駆
動ベルト18の一部と連結し、互いに平行に配設された
2本のガイドシャフト19Aおよび19Bと摺動可能と
することにより、IJC20の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。
【0025】26はヘッド回復装置であり、IJC20
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構23を介したモータ22の
駆動力によって、ヘッド回復装置26を動作せしめ、I
JC20のキャッピングを行う。このヘッド回復装置2
6のキャップ部26AによるIJC20へのキャッピン
グに関連させて、ヘッド回復装置26内に設けた適宜の
吸引手段によるインク吸引もしくはIJC20へのイン
ク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送を
行い、インクを吐出口より強制的に排出させることによ
りノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理を
行う。また、記録終了時等にキャッピングを施すことに
よりIJCが保護される。
【0026】30はヘッド回復装置26の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード30はブレード保持部材30
Aにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置26
と同様、モータ22および伝動機構23によって動作
し、IJC20の吐出面との係合が可能となる。これに
より、IJC20の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置26を用いた吐出回復処理
後に、ブレード30をIJC20の移動経路中に突出さ
せ、IJC20の移動動作に伴ってIJC20の吐出面
における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるものであ
る。
【0027】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式のインクジェット記録
ヘッド、インクジェット記録装置において、優れた効果
をもたらすものである。
【0028】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4,723,129号明細書、同第4,740,796号明
細書に開示されており、本発明はこれらの基本的な原理
を用いて行うものが好ましい。この記録方式はいわゆる
オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用
可能である。
【0029】この記録方式を簡単に説明すると、液体
(インク)が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
(インク)に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じるよ
うな急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆
動信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。こ
のように液体(インク)から電気熱変換体に付与する駆
動信号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオ
ンデマンド型の記録法には有効である。この気泡の成
長、収縮により吐出孔を介して液体(インク)を吐出さ
せて、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号を
パルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行わ
れるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が
達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号と
しては、米国特許第4,463,359号明細書、同第4,345,262
号明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4,313,124号明細書に記載されている条件を採用する
と、さらに優れた記録を行うことができる。
【0030】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成(直線状液流路または直角液流
路)の他に、米国特許第4,558,333号明細書、米国特許
第4,459,600号明細書に開示されているように、熱作用
部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発明
に含まれる。
【0031】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭59-123670号公報や熱エネルギーの圧力波
を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特
開昭59-138461号公報に基づいた構成においても本発明
は有効である。
【0032】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。
【0033】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
【0034】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子、あるいはこれらの組み合わせによ
る予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モー
ドを行う手段を付加することも安定した記録を行うため
に有効である。
【0035】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。
【0036】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するかまたは、インクの蒸発防止を目的として放置
状態で固化するインクを用いることもできる。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化してインク液状として吐出するものや記録媒
体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。
【0037】このようなインクは、特開昭54-56847号公
報あるいは特開昭60-71260号公報に記載されるような、
多孔質シートの凹部または貫通孔に液状または固形物と
して保持された状態で、電気熱変換体に対して対向する
ような形態としても良い。
【0038】本発明において、上述した各インクに対し
て最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するも
のである。
【0039】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、第1の部
材(溝付天板)において液室に対応する凹部間を分離す
る壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けることによ
り、第1の部材と第2の部材との圧接後にこの分離溝内
に封止剤を注入したり、あるいは第2の部材側にこの分
離溝に嵌合するリブ部を設けておいたりすることによ
り、液室間でのインクの浸透・拡散を防止することが可
能となり、液室間の分離が完全に行なわれるようになる
という効果がある。これにより、複数色のインクを使用
してカラー記録を行なう場合において、インクの混色を
防ぐことができ、各インクの鮮明な色を再現できるよう
になって高品位の記録を行なえるようになるという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1のインクジェット記録ヘッドの構成を
示す分解斜視図である。
【図2】ヒータボード側から見た溝付天板の斜視図であ
る。
【図3】図1のインクジェット記録ヘッドをオリフィス
プレート部側から見た場合の概略正面図である。
【図4】図1のインクジェット記録ヘッドの要部断面図
である。
【図5】実施例2のインクジェット記録ヘッドの要部断
面図である。
【図6】実施例3のインクジェット記録ヘッドの要部断
面図である。
【図7】本発明のインクジェット記録ヘッドを使用した
インクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。
【図8】従来のインクジェット記録ヘッドの構成を示す
概略斜視図である。
【符号の説明】
16 キャリッジ 17 駆動モータ 18 駆動ベルト 19A,19B ガイドシャフト 20 インクジェットヘッドカートリッジ 22 クリーニング用モータ 23 伝動機構 24 プラテン 26 ヘッド回復装置 26A キャップ部 30 ブレード 30A ブレード保持部材 100 ヒ−タボード 101 溝部 109 吐出口 110a〜110d 凹部 111a〜111c 壁 113a〜113c,116 分離溝 115a〜115d 供給口 120 封止剤 125a〜125c リブ部 130 溝付天板 140 オリフィスプレート 200 配線基板 300 支持板 500 押えバネ 600 インク供給部材 700 フィルタ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクを供給するための複数の液室にそ
    れぞれ対応する分離された複数の凹部と前記凹部に接続
    し流路に対応する溝部と前記溝部の先端であって吐出口
    面に露出した吐出口形成部位とが一体的に形成された第
    1の部材と、インクに吐出エネルギを与える吐出エネル
    ギ発生素子が前記流路に対応して設けられている第2の
    部材とを有し、前記第1および第2の部材を圧接するこ
    とで形成されるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記複数の凹部を分離するために前記第1の部材に形成
    されている壁状部に、外周部に連通する分離溝が設けら
    れていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 隣接する前記凹部間に複数本の前記分離
    溝が設けられている請求項1に記載のインクジェット記
    録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記分離溝に封止剤が注入されている請
    求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記分離溝に嵌合するリブ部が前記第2
    の部材の表面に設けられている請求項1または2に記載
    のインクジェット記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記分離溝に対応するリブ部が前記第2
    の部材の表面に設けられている請求項1ないし3いずれ
    か1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記リブ部が感光性樹脂を用いて形成さ
    れている請求項4または5に記載のインクジェット記録
    ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記吐出エネルギ発生素子がインク吐出
    用の熱エネルギを発生する電気熱変換体である請求項1
    ないし6いずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッ
    ド。
  8. 【請求項8】 前記電気熱変換体によって印加される熱
    エネルギによりインクに生じる膜沸騰を利用して前記吐
    出口からインクを吐出させる請求項1ないし7いずれか
    1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
  9. 【請求項9】 インクを供給するための分離した複数の
    液室と前記液室に連通する流路と前記流路の先端部に形
    成され吐出口面に露出した吐出口と前記流路に対応して
    設けられインクに吐出エネルギを与える吐出エネルギ発
    生素子とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法
    であって、 前記液室にそれぞれ対応する複数の凹部と前記流路に対
    応する溝部と前記吐出口に対応する吐出口形成部位と前
    記複数の凹部を分離するための壁状部と外周部に連通す
    るように前記壁状部に設けられた分離溝とが一体的に形
    成された第1の部材と、前記吐出エネルギ発生素子が設
    けられた第2の部材を使用し、前記第1および第2の部
    材を圧接し、そののち、前記分離溝に封止剤を注入する
    インクジェット記録ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項10】 隣接する前記凹部間に複数本の前記分
    離溝が設けられた前記第1の部材を使用する請求項9に
    記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項11】 請求項1ないし8いずれか1項に記載
    のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録
    ヘッドを載置する載置手段とを有するインクジェット記
    録装置。
  12. 【請求項12】 記録媒体と前記載置手段とを相対的に
    移動させる移動手段をさらに有する請求項11に記載の
    インクジェット記録装置。
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