JPH07146261A - Ｅｐｍａ等におけるデータ検索システム - Google Patents
Ｅｐｍａ等におけるデータ検索システムInfo
- Publication number
- JPH07146261A JPH07146261A JP5293360A JP29336093A JPH07146261A JP H07146261 A JPH07146261 A JP H07146261A JP 5293360 A JP5293360 A JP 5293360A JP 29336093 A JP29336093 A JP 29336093A JP H07146261 A JPH07146261 A JP H07146261A
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- Japan
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- map
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の二次
元分布データの解析を、短時間のうちに簡便に行えるシ
ステムを提供する。 【構成】 ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の二次
元分布データのうちから、指定されたデータが存在する
二次元分布データを自動抽出する検索手段、あるいは指
定されたデータが二次元分布の面積に関して指定の範囲
で存在する二次元分布データを自動抽出する検索手段を
備えている。測定者は、検索しようとするデータ、ある
いはそのデータに加えて、検索対象とする面積％の範囲
を設定することにより、設定された条件に適合する二次
元分布データが自動的に抽出され、必要に応じて表示さ
れる。
元分布データの解析を、短時間のうちに簡便に行えるシ
ステムを提供する。 【構成】 ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の二次
元分布データのうちから、指定されたデータが存在する
二次元分布データを自動抽出する検索手段、あるいは指
定されたデータが二次元分布の面積に関して指定の範囲
で存在する二次元分布データを自動抽出する検索手段を
備えている。測定者は、検索しようとするデータ、ある
いはそのデータに加えて、検索対象とする面積％の範囲
を設定することにより、設定された条件に適合する二次
元分布データが自動的に抽出され、必要に応じて表示さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子プローブマイクロ
アナライザ（ＥＰＭＡ）等の分析装置におけるデータ検
索システムに関する。
アナライザ（ＥＰＭＡ）等の分析装置におけるデータ検
索システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＰＭＡ等では、試料に電子ビームを照
射した際に当該試料の表面から発生する特性Ｘ線や、反
射電子、二次電子などの情報を二次元分布データとして
取り込むことにより、面分析が行える。この面分析によ
って得られた一元素濃度マップ、Ｘ線像、反射電子像、
二次電子像等を利用すると、例えば、前記試料表面にお
けるある元素の粒子の有無、当該粒子の大きさ、その分
布などを解析することができる。
射した際に当該試料の表面から発生する特性Ｘ線や、反
射電子、二次電子などの情報を二次元分布データとして
取り込むことにより、面分析が行える。この面分析によ
って得られた一元素濃度マップ、Ｘ線像、反射電子像、
二次電子像等を利用すると、例えば、前記試料表面にお
けるある元素の粒子の有無、当該粒子の大きさ、その分
布などを解析することができる。
【０００３】図４に、このような二次元分布データの一
例として、一元素濃度マップの例を示す。図４におい
て、４１は５色に色分けされたマップ（二次元分布デー
タ）であり、４２はそのレファレンスとしてのカラーバ
ーである。このような一元素濃度マップは、特定元素の
発生する特性Ｘ線の発生濃度の分布をある視野について
とらえたものであり、図４の例では、「赤」の部分は前
記特定元素の濃度が非常に高い部分、以下、「橙」、
「黄」、「緑」、「青」の順に、前記特定元素の濃度が
低下していく。これを逆にみれば、例えば、「青」で表
示された部分は、前記特定元素以外の元素が粒子状に存
在するエリアと考えることができる。したがって、この
ような一元素濃度マップ等の二次元分布データを利用し
て、粒子の有無、その大きさ、分布状況などを解析する
ことができる。
例として、一元素濃度マップの例を示す。図４におい
て、４１は５色に色分けされたマップ（二次元分布デー
タ）であり、４２はそのレファレンスとしてのカラーバ
ーである。このような一元素濃度マップは、特定元素の
発生する特性Ｘ線の発生濃度の分布をある視野について
とらえたものであり、図４の例では、「赤」の部分は前
記特定元素の濃度が非常に高い部分、以下、「橙」、
「黄」、「緑」、「青」の順に、前記特定元素の濃度が
低下していく。これを逆にみれば、例えば、「青」で表
示された部分は、前記特定元素以外の元素が粒子状に存
在するエリアと考えることができる。したがって、この
ような一元素濃度マップ等の二次元分布データを利用し
て、粒子の有無、その大きさ、分布状況などを解析する
ことができる。
【０００４】従来、このような解析を行う場合には、測
定者が上記面分析によって得られた二次元の画像を見
て、自身の目で行うようにしている。例えば、図２の例
でいえば、測定者がその画像の中から特定の色で表示さ
れたエリアを見出すことによって、ある元素の粒子の有
無などを検知するようにしている。
定者が上記面分析によって得られた二次元の画像を見
て、自身の目で行うようにしている。例えば、図２の例
でいえば、測定者がその画像の中から特定の色で表示さ
れたエリアを見出すことによって、ある元素の粒子の有
無などを検知するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の解析手法では、解析対象となる視野数が例え
ば２０視野のように数多くなった場合、それらすべての
視野に対応する画像を測定者が全部、自身の目で見て、
解析を行う必要がある。また、図４では説明の簡便さの
ためにカラーバーとして５色のものを示したが、実際の
面分析では１６色から多い場合には１００色以上に色分
割して表示される場合もあり、このような画像から特定
の色のエリアがあるかないかを人間の目で確認するに
は、たいへんな労力が必要である。このため、解析に多
大の時間と手間を要していた。
うな従来の解析手法では、解析対象となる視野数が例え
ば２０視野のように数多くなった場合、それらすべての
視野に対応する画像を測定者が全部、自身の目で見て、
解析を行う必要がある。また、図４では説明の簡便さの
ためにカラーバーとして５色のものを示したが、実際の
面分析では１６色から多い場合には１００色以上に色分
割して表示される場合もあり、このような画像から特定
の色のエリアがあるかないかを人間の目で確認するに
は、たいへんな労力が必要である。このため、解析に多
大の時間と手間を要していた。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の二次元分
布データの解析を、短時間のうちに簡便に行えるシステ
ムを提供することを目的とするものである。
って、ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の二次元分
布データの解析を、短時間のうちに簡便に行えるシステ
ムを提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ＥＰＭＡ等に
よって得られた複数視野の二次元分布データのうちか
ら、指定されたデータが存在する二次元分布データを自
動抽出する検索手段、あるいは指定されたデータが二次
元分布の面積に関して指定の範囲で存在する二次元分布
データを自動抽出する検索手段を備えたことを特徴とす
る。
よって得られた複数視野の二次元分布データのうちか
ら、指定されたデータが存在する二次元分布データを自
動抽出する検索手段、あるいは指定されたデータが二次
元分布の面積に関して指定の範囲で存在する二次元分布
データを自動抽出する検索手段を備えたことを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】本発明のデータ検索手段によれば、例えば、一
元素濃度マップの画像において特定の色で着色されたエ
リアのあるマップ、あるいは当該着色されたエリアが全
画像面積に対して特定％以上存在するマップなどを自動
的に検索し抽出することができるので、特定の粒子の存
在する二次元分布データを容易に抽出することができ、
解析に要する時間を短くすることができる。
元素濃度マップの画像において特定の色で着色されたエ
リアのあるマップ、あるいは当該着色されたエリアが全
画像面積に対して特定％以上存在するマップなどを自動
的に検索し抽出することができるので、特定の粒子の存
在する二次元分布データを容易に抽出することができ、
解析に要する時間を短くすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１に、本発明の一実施例の構成を示す。図１
において、１はＥＰＭＡ等の測定部、２は検索手段、３
は表示手段、４はデータを記憶する記憶手段、５は前記
記憶手段４に記憶された一元素濃度マップ等の二次元分
布データ郡、６は入力手段である。
明する。図１に、本発明の一実施例の構成を示す。図１
において、１はＥＰＭＡ等の測定部、２は検索手段、３
は表示手段、４はデータを記憶する記憶手段、５は前記
記憶手段４に記憶された一元素濃度マップ等の二次元分
布データ郡、６は入力手段である。
【００１０】図１において、ＥＰＭＡ等の測定部１によ
って測定された二次元分布データは、検索手段２に入力
される。当該検索手段２では、リアルタイムで検索動作
を行うこともできるが、記憶手段４に前記二次元分布デ
ータを一旦入力し、二次元分布データ郡５として格納し
ておくことができる。後者の場合には、一定の測定が終
了した後に記憶手段４から一群の二次元分布データ郡５
を読み出し、検索動作を行うことになる。
って測定された二次元分布データは、検索手段２に入力
される。当該検索手段２では、リアルタイムで検索動作
を行うこともできるが、記憶手段４に前記二次元分布デ
ータを一旦入力し、二次元分布データ郡５として格納し
ておくことができる。後者の場合には、一定の測定が終
了した後に記憶手段４から一群の二次元分布データ郡５
を読み出し、検索動作を行うことになる。
【００１１】ここで、上記検索手段４による検索手順の
一例について、図２のフローチャートを用いて説明す
る。なお、この図２のフローチャートでは、図４に示し
た、カラー表示された特性Ｘ線による一元素濃度マップ
について検索を行う場合を想定している。
一例について、図２のフローチャートを用いて説明す
る。なお、この図２のフローチャートでは、図４に示し
た、カラー表示された特性Ｘ線による一元素濃度マップ
について検索を行う場合を想定している。
【００１２】［ステップ２１］ 複数視野についての面
分析が行われ、その結果が前記記憶手段４に二次元分布
データ郡５として格納される。 ［ステップ２２］ 測定者が、検索しようとするカラー
バーの色を、図１の入力手段６から設定入力する。例え
ば、赤色に着色されたエリアを有するマップを抽出しよ
うとする場合には、このステップで「赤」と設定する。 ［ステップ２３］ 検索手段２が、前記記憶手段４の記
憶する二次元分布データ（マップ）郡５を取り込み、前
記ステップ２２で設定されたカラーバーの色のエリア
（画素）を有するマップを検索し抽出する。 ［ステップ２４］ すべてのマップについて検索が終了
すると、設定されたカラーバーの色のエリアを有するマ
ップが存在するか否かの判定が行われる。
分析が行われ、その結果が前記記憶手段４に二次元分布
データ郡５として格納される。 ［ステップ２２］ 測定者が、検索しようとするカラー
バーの色を、図１の入力手段６から設定入力する。例え
ば、赤色に着色されたエリアを有するマップを抽出しよ
うとする場合には、このステップで「赤」と設定する。 ［ステップ２３］ 検索手段２が、前記記憶手段４の記
憶する二次元分布データ（マップ）郡５を取り込み、前
記ステップ２２で設定されたカラーバーの色のエリア
（画素）を有するマップを検索し抽出する。 ［ステップ２４］ すべてのマップについて検索が終了
すると、設定されたカラーバーの色のエリアを有するマ
ップが存在するか否かの判定が行われる。
【００１３】［ステップ２５］ 前記ステップ２４の判
定の結果、該当するマップが存在した場合には、当該マ
ップに関する座標（すなわち、当該マップの試料面上の
位置を示す指標であり、中心座標でも左上座標でも良
い）を図１の表示手段３に表示する。この場合、単に当
該マップに付されたマップ番号などを表示するようにし
てもよい。また、該当するマップが存在しなかった場合
には、何もしないか、あるいは「該当するマップが存在
しなかった」旨のメッセージを表示する。 ［ステップ２６］ 別のカラーバーの色について検索が
行いたい場合には、ステップ２２に戻って、以上の動作
を繰り返す。
定の結果、該当するマップが存在した場合には、当該マ
ップに関する座標（すなわち、当該マップの試料面上の
位置を示す指標であり、中心座標でも左上座標でも良
い）を図１の表示手段３に表示する。この場合、単に当
該マップに付されたマップ番号などを表示するようにし
てもよい。また、該当するマップが存在しなかった場合
には、何もしないか、あるいは「該当するマップが存在
しなかった」旨のメッセージを表示する。 ［ステップ２６］ 別のカラーバーの色について検索が
行いたい場合には、ステップ２２に戻って、以上の動作
を繰り返す。
【００１４】このようにして、あるカラーバーの色のエ
リア（画素）を有するマップだけが自動的に抽出され、
表示されるので、測定者は直ちに次の解析作業に取りか
かることが可能となる。
リア（画素）を有するマップだけが自動的に抽出され、
表示されるので、測定者は直ちに次の解析作業に取りか
かることが可能となる。
【００１５】図３には、他の検索の例のフローチャート
を示す。図２に示した例は、あるカラーバーの色に対応
するエリア（画素）があるかないかだけを検索するもの
であるが、図３に示した例では、そのようなエリアが視
野全体の面積の中で特定％以上、あるいは特定％の範囲
内で存在するようなマップを検索する場合を示してい
る。
を示す。図２に示した例は、あるカラーバーの色に対応
するエリア（画素）があるかないかだけを検索するもの
であるが、図３に示した例では、そのようなエリアが視
野全体の面積の中で特定％以上、あるいは特定％の範囲
内で存在するようなマップを検索する場合を示してい
る。
【００１６】図３において、ステップ３１、及びステッ
プ３４からステップ３６は、それぞれ図２におけるステ
ップ２１、及びステップ２４からステップ２６に対応
し、基本的な動作として変わるところがないので、以
下、ステップ３２及びステップ３３の動作について説明
する。
プ３４からステップ３６は、それぞれ図２におけるステ
ップ２１、及びステップ２４からステップ２６に対応
し、基本的な動作として変わるところがないので、以
下、ステップ３２及びステップ３３の動作について説明
する。
【００１７】［ステップ３２］ 測定者は、検索しよう
とするカラーバーの色と、当該カラーバーの色が付され
たエリアの面積％の範囲を、前記入力手段６から設定入
力する。例えば、「赤」色のエリアの面積が全視野面積
の８０％以上であるようなマップを抽出したいのであれ
ば、カラーバーの色として「赤」、面積％として「８０
％以上」を設定入力する。また、当該色のエリアの面積
が４０〜６０％の範囲のものを抽出したいのであれば、
面積％として「４０〜６０％」と設定する。 ［ステップ３３］ 検索手段２が、前記記憶手段４の記
憶する二次元分布データ（マップ）郡５を取り込み、前
記ステップ３２で設定されたカラーバーの色のエリア
（画素）を設定された面積％の範囲で有するマップを検
索し抽出する。
とするカラーバーの色と、当該カラーバーの色が付され
たエリアの面積％の範囲を、前記入力手段６から設定入
力する。例えば、「赤」色のエリアの面積が全視野面積
の８０％以上であるようなマップを抽出したいのであれ
ば、カラーバーの色として「赤」、面積％として「８０
％以上」を設定入力する。また、当該色のエリアの面積
が４０〜６０％の範囲のものを抽出したいのであれば、
面積％として「４０〜６０％」と設定する。 ［ステップ３３］ 検索手段２が、前記記憶手段４の記
憶する二次元分布データ（マップ）郡５を取り込み、前
記ステップ３２で設定されたカラーバーの色のエリア
（画素）を設定された面積％の範囲で有するマップを検
索し抽出する。
【００１８】このようにして、特定の色のエリアを、特
定の面積％で有するマップのみが自動的に抽出される。
定の面積％で有するマップのみが自動的に抽出される。
【００１９】なお、図２及び図３のフローチャートで
は、検索結果を表示装置３に表示するものとして説明し
たが、表示するか否かは測定者が決めることができ、例
えば、表示せずに検索結果を再び記憶手段４に格納する
ようにしてもよい。要するに、所望の検索動作を自動的
に行うことが本発明の要件である。
は、検索結果を表示装置３に表示するものとして説明し
たが、表示するか否かは測定者が決めることができ、例
えば、表示せずに検索結果を再び記憶手段４に格納する
ようにしてもよい。要するに、所望の検索動作を自動的
に行うことが本発明の要件である。
【００２０】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種
々の変形が可能である。例えば、図２及び図３の例で
は、カラーバーの色で検索対象を指定する場合について
説明したが、カラーバーの「色」はもともと一元素濃度
マップの場合では特性Ｘ線の「強度」に対応しているの
であるから、検索対象を特性Ｘ線の「強度」の値で指定
しても良いことは、当業者ならば容易に理解できよう。
要するに、二次元分布データにおいて、そこに示されて
いる分布の対象を表すデータであるならば、どのような
データであっても利用して指定を行うことができる。ま
た、検索対象として指定するものは、複数あっても良
い。例えば、カラーバーの色で検索対象を指定する場合
に、「赤及び橙」のように２色以上を指定することもで
きる。さらに、本発明は、特性Ｘ線による一元素濃度マ
ップだけでなく、Ｘ線像、二次電子像、反射電子像等の
他の二次元分布データの検索にも利用できるものであ
る。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種
々の変形が可能である。例えば、図２及び図３の例で
は、カラーバーの色で検索対象を指定する場合について
説明したが、カラーバーの「色」はもともと一元素濃度
マップの場合では特性Ｘ線の「強度」に対応しているの
であるから、検索対象を特性Ｘ線の「強度」の値で指定
しても良いことは、当業者ならば容易に理解できよう。
要するに、二次元分布データにおいて、そこに示されて
いる分布の対象を表すデータであるならば、どのような
データであっても利用して指定を行うことができる。ま
た、検索対象として指定するものは、複数あっても良
い。例えば、カラーバーの色で検索対象を指定する場合
に、「赤及び橙」のように２色以上を指定することもで
きる。さらに、本発明は、特性Ｘ線による一元素濃度マ
ップだけでなく、Ｘ線像、二次電子像、反射電子像等の
他の二次元分布データの検索にも利用できるものであ
る。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、例えば、一元素濃度マップの画像において特
定の色で着色されたエリアのあるマップ、あるいは当該
着色されたエリアが全画像面積に対して特定％以上存在
するマップなどを自動的に検索し抽出することができる
ので、特定の粒子の存在する二次元分布データを容易に
抽出することができ、解析に要する時間を短くすること
ができる。
によれば、例えば、一元素濃度マップの画像において特
定の色で着色されたエリアのあるマップ、あるいは当該
着色されたエリアが全画像面積に対して特定％以上存在
するマップなどを自動的に検索し抽出することができる
ので、特定の粒子の存在する二次元分布データを容易に
抽出することができ、解析に要する時間を短くすること
ができる。
【図１】 本発明の一実施例を示す図である。
【図２】 本発明の一実施例における検索動作を説明す
るためのフロー図である。
るためのフロー図である。
【図３】 本発明の一実施例における別の検索動作を説
明するためのフロー図である。
明するためのフロー図である。
【図４】 二次元分布データの一例を示す図である。
【符号の説明】 １…ＥＰＭＡ等の測定部、２…検索手段、３…表示手
段、４…記憶手段、５…二次元分布データ郡、６…入力
手段。
段、４…記憶手段、５…二次元分布データ郡、６…入力
手段。
Claims (3)
- 【請求項１】 ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の
二次元分布データのうちから、指定されたデータが存在
する二次元分布データを自動抽出する検索手段を備えた
ことを特徴とするＥＰＭＡ等におけるデータ検索システ
ム。 - 【請求項２】 ＥＰＭＡ等によって得られた複数視野の
二次元分布データのうちから、指定されたデータが二次
元分布の面積に関して指定の範囲で存在する二次元分布
データを自動抽出する検索手段を備えたことを特徴とす
るＥＰＭＡ等におけるデータ検索システム。 - 【請求項３】 抽出された二次元分布データの視野に関
する座標、または当該二次元分布データのデータ番号を
表示する表示手段を備えたことを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載のＥＰＭＡ等におけるデータ検索シス
テム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05293360A JP3143294B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 分析装置のデータ検索システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05293360A JP3143294B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 分析装置のデータ検索システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146261A true JPH07146261A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3143294B2 JP3143294B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=17793787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05293360A Expired - Fee Related JP3143294B2 (ja) | 1993-11-24 | 1993-11-24 | 分析装置のデータ検索システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3143294B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020112435A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 株式会社島津製作所 | 分析装置および画像処理方法 |
-
1993
- 1993-11-24 JP JP05293360A patent/JP3143294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020112435A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 株式会社島津製作所 | 分析装置および画像処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3143294B2 (ja) | 2001-03-07 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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