JPH07146124A - ワーク表面検査方法 - Google Patents
ワーク表面検査方法Info
- Publication number
- JPH07146124A JPH07146124A JP29210993A JP29210993A JPH07146124A JP H07146124 A JPH07146124 A JP H07146124A JP 29210993 A JP29210993 A JP 29210993A JP 29210993 A JP29210993 A JP 29210993A JP H07146124 A JPH07146124 A JP H07146124A
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- Japan
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- work surface
- reflected light
- image
- light
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク表面Ａに向けて検出光を照射する投光
手段１と、ワーク表面Ａからの反射光を受光する撮像手
段２とを備える光学式検査装置を用いて、ワーク表面Ａ
の凹凸の有無を精度良く検査できるようにする。 【構成】 撮像手段２のピント面２２を、撮像手段２に
より反射光を受光可能なワーク表面Ａの有効検査範囲の
全領域に対して、ワーク表面Ａより手前側に位置させ
る。ワーク表面Ａの凹凸部Ｂが小さく、そこからの反射
光Ｒが撮像手段２で受光されても、反射光Ｒが入射され
ないピント面２２上の部分ｂ′が撮像手段２の画像面２
０上の凹凸部Ｂに対応する部分ｂになるため、該部分ｂ
は反射光Ｒが結像されずに暗部になり、凹凸の有無を精
度良く検査できる。
手段１と、ワーク表面Ａからの反射光を受光する撮像手
段２とを備える光学式検査装置を用いて、ワーク表面Ａ
の凹凸の有無を精度良く検査できるようにする。 【構成】 撮像手段２のピント面２２を、撮像手段２に
より反射光を受光可能なワーク表面Ａの有効検査範囲の
全領域に対して、ワーク表面Ａより手前側に位置させ
る。ワーク表面Ａの凹凸部Ｂが小さく、そこからの反射
光Ｒが撮像手段２で受光されても、反射光Ｒが入射され
ないピント面２２上の部分ｂ′が撮像手段２の画像面２
０上の凹凸部Ｂに対応する部分ｂになるため、該部分ｂ
は反射光Ｒが結像されずに暗部になり、凹凸の有無を精
度良く検査できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークの塗装面等の表
面欠陥やその平滑さを検出するためのワーク表面検査方
法に関する。
面欠陥やその平滑さを検出するためのワーク表面検査方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の検査方法として、実開平
５−１４９０２号公報により、図２(a)に示す如く、ワ
ーク表面Ａに向けて検出光を照射する投光手段１と、ワ
ーク表面Ａからの反射光を受光する撮像手段２とを備え
る光学式検査装置を用い、撮像手段２に結像される反射
光の画像データに基づいて、ワーク表面Ａの塗装状態を
調べ、ごみの付着、傷の有無等を検査するものは知られ
ている。
５−１４９０２号公報により、図２(a)に示す如く、ワ
ーク表面Ａに向けて検出光を照射する投光手段１と、ワ
ーク表面Ａからの反射光を受光する撮像手段２とを備え
る光学式検査装置を用い、撮像手段２に結像される反射
光の画像データに基づいて、ワーク表面Ａの塗装状態を
調べ、ごみの付着、傷の有無等を検査するものは知られ
ている。
【０００３】このもので投光手段１は、光源１０と光源
１０からの光をワーク表面Ａに向けて照射するフリネル
レンズ等の集光光学系１１とで構成され、集光光学系１
１による検出光の集光作用で反射光を撮像手段２に向け
て収束させ、撮像手段２により反射光を受光可能なワー
ク表面Ａの有効検査範囲を拡大できるようにしている。
１０からの光をワーク表面Ａに向けて照射するフリネル
レンズ等の集光光学系１１とで構成され、集光光学系１
１による検出光の集光作用で反射光を撮像手段２に向け
て収束させ、撮像手段２により反射光を受光可能なワー
ク表面Ａの有効検査範囲を拡大できるようにしている。
【０００４】また、撮像手段２は、ＣＣＤ素子から成る
画素を配列した画像面２０と複数のレンズを組合わせた
結像光学系２１とを有するＣＣＤカメラで構成され、ピ
ント面２２が有効検査範囲の中央部でワーク表面Ａに合
致するように撮像手段２の位置や焦点距離を調整し、こ
の状態で撮像手段２の画像面２０に結像される反射光の
画像データに基づいて検査を行うようにしている。
画素を配列した画像面２０と複数のレンズを組合わせた
結像光学系２１とを有するＣＣＤカメラで構成され、ピ
ント面２２が有効検査範囲の中央部でワーク表面Ａに合
致するように撮像手段２の位置や焦点距離を調整し、こ
の状態で撮像手段２の画像面２０に結像される反射光の
画像データに基づいて検査を行うようにしている。
【０００５】この場合、ワーク表面Ａにごみ等による凹
凸部Ｂが有ると、凹凸部Ｂからの反射光Ｒは撮像手段２
で受光されなくなり、撮像手段２の画像凹凸部Ｂに対応
する部分ｂは暗部になり、画像データから凹凸部Ｂの存
在を検出できる。
凸部Ｂが有ると、凹凸部Ｂからの反射光Ｒは撮像手段２
で受光されなくなり、撮像手段２の画像凹凸部Ｂに対応
する部分ｂは暗部になり、画像データから凹凸部Ｂの存
在を検出できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然し、上記従来の方法
では、ワーク表面Ａに凹凸部Ｂが有っても凹凸部が小さ
いと、図２(b)に示す如く凹凸部Ｂからの反射光Ｒが撮
像手段２で受光されて、その画像面２０の凹凸部に対応
する部分に反射光Ｒが結像されてしまい、凹凸部を検出
できなくなることがある。本発明は、以上の点に鑑み、
小さな凹凸部も検出できるようにした精度の良い検査方
法を提供することをその目的としている。
では、ワーク表面Ａに凹凸部Ｂが有っても凹凸部が小さ
いと、図２(b)に示す如く凹凸部Ｂからの反射光Ｒが撮
像手段２で受光されて、その画像面２０の凹凸部に対応
する部分に反射光Ｒが結像されてしまい、凹凸部を検出
できなくなることがある。本発明は、以上の点に鑑み、
小さな凹凸部も検出できるようにした精度の良い検査方
法を提供することをその目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、ワーク表面に向けて検出光を照射する投光手
段と、ワーク表面からの反射光を受光する撮像手段とを
備える光学式検査装置を用いてワーク表面を検査する方
法において、撮像手段のピント面を、撮像手段により反
射光を受光可能なワーク表面の有効検査範囲の全領域に
対して、ワーク表面より手前側に位置させ、この状態で
撮像手段に結像される反射光の画像データに基づいて検
査を行うことを特徴とする。
本発明は、ワーク表面に向けて検出光を照射する投光手
段と、ワーク表面からの反射光を受光する撮像手段とを
備える光学式検査装置を用いてワーク表面を検査する方
法において、撮像手段のピント面を、撮像手段により反
射光を受光可能なワーク表面の有効検査範囲の全領域に
対して、ワーク表面より手前側に位置させ、この状態で
撮像手段に結像される反射光の画像データに基づいて検
査を行うことを特徴とする。
【０００８】
【作用】ピント面がワーク表面の手前側に位置するた
め、小さな凹凸部からの反射光が撮像手段で受光されて
も、撮像手段の画像面の凹凸部に対応する部分には反射
光が結像されず、当該部分が暗部となって凹凸部の存在
を検出できる。
め、小さな凹凸部からの反射光が撮像手段で受光されて
も、撮像手段の画像面の凹凸部に対応する部分には反射
光が結像されず、当該部分が暗部となって凹凸部の存在
を検出できる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の実施に用いる光学式検査装置
を示している。この検査装置の基本構成は図２に示した
従来の検査装置と異ならず、従来の検査装置と同一の部
材に図２で用いた符号と同一の符号を付してその説明を
省略する。
を示している。この検査装置の基本構成は図２に示した
従来の検査装置と異ならず、従来の検査装置と同一の部
材に図２で用いた符号と同一の符号を付してその説明を
省略する。
【００１０】図２に示したものとの相違は、現像手段２
のピント面２２が、ワーク表面Ａの有効検査範囲の全領
域に対し、ワーク表面Ａより手前側に位置していること
である。
のピント面２２が、ワーク表面Ａの有効検査範囲の全領
域に対し、ワーク表面Ａより手前側に位置していること
である。
【００１１】撮像手段２の画像面２０にはピント面２２
における反射光の像が忠実に結像されることになる。こ
こで、ワーク表面Ａの凹凸部Ｂからの反射光Ｒが撮像手
段２で受光されても、凹凸部Ｂにおいて検出光が多少と
も拡散して反射される限り、ワーク表面Ａの手前側に位
置するピント面２２の凹凸部Ｂに対応する部分ｂ′には
凹凸部Ｂからの反射光Ｒが入射されなくなる。そして、
ピント面２２上のこの部分ｂ′が撮像手段２の画像面２
０上の凹凸部Ｂに対応する部分ｂになり、該部分ｂは凹
凸部Ｂからの反射光Ｒが結像されずに暗部となる。
における反射光の像が忠実に結像されることになる。こ
こで、ワーク表面Ａの凹凸部Ｂからの反射光Ｒが撮像手
段２で受光されても、凹凸部Ｂにおいて検出光が多少と
も拡散して反射される限り、ワーク表面Ａの手前側に位
置するピント面２２の凹凸部Ｂに対応する部分ｂ′には
凹凸部Ｂからの反射光Ｒが入射されなくなる。そして、
ピント面２２上のこの部分ｂ′が撮像手段２の画像面２
０上の凹凸部Ｂに対応する部分ｂになり、該部分ｂは凹
凸部Ｂからの反射光Ｒが結像されずに暗部となる。
【００１２】かくて、有効検査範囲内に存在する凹凸部
Ｂは小さなものであっても画像面２０に暗部となって撮
像され、撮像手段２からの画像データを図外の画像処理
装置に入力して、画像内の孤立した暗部を検出すること
により、ワーク表面Ａの凹凸部Ｂの有無を精度良く検査
できる。
Ｂは小さなものであっても画像面２０に暗部となって撮
像され、撮像手段２からの画像データを図外の画像処理
装置に入力して、画像内の孤立した暗部を検出すること
により、ワーク表面Ａの凹凸部Ｂの有無を精度良く検査
できる。
【００１３】尚、上記実施例では投光手段１に集光光学
系１１を組んで収束光をワーク表面Ａに照射するように
したが、投光手段１から平行光を照射する場合でも同様
に本発明を適用できる。
系１１を組んで収束光をワーク表面Ａに照射するように
したが、投光手段１から平行光を照射する場合でも同様
に本発明を適用できる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、そこからの反射光が撮像手段で受光されるよ
うな小さな凹凸部であっても、撮像手段の画像面に暗部
として撮像され、ワーク表面の検査精度が向上する。
によれば、そこからの反射光が撮像手段で受光されるよ
うな小さな凹凸部であっても、撮像手段の画像面に暗部
として撮像され、ワーク表面の検査精度が向上する。
【図１】 本発明の実施の一例を示す図
【図２】 (a)(b)従来の検査方法を示す図
Ａ ワーク表面 Ｂ 凹凸部 １ 投光手段 ２ 撮像手段 ２２ ピント面
Claims (1)
- 【請求項１】 ワーク表面に向けて検出光を照射する投
光手段と、ワーク表面からの反射光を受光する撮像手段
とを備える光学式検査装置を用いてワーク表面を検査す
る方法において、撮像手段のピント面を、撮像手段によ
り反射光を受光可能なワーク表面の有効検査範囲の全領
域に対して、ワーク表面より手前側に位置させ、この状
態で撮像手段に結像される反射光の画像データに基づい
て検査を行うことを特徴とするワーク表面検査方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29210993A JPH07146124A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ワーク表面検査方法 |
| US08/341,083 US5566244A (en) | 1993-11-22 | 1994-11-17 | Method of inspecting a workpiece surface including a picturing system with a shortened focal plane |
| GB9423476A GB2284048B (en) | 1993-11-22 | 1994-11-21 | Method of inspecting a workpiece surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29210993A JPH07146124A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ワーク表面検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146124A true JPH07146124A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17777668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29210993A Pending JPH07146124A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ワーク表面検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146124A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174931A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Nippon Gijutsu Center:Kk | 塗装検査用照射方法、塗装検査用照射装置、塗装検査装置 |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP29210993A patent/JPH07146124A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174931A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Nippon Gijutsu Center:Kk | 塗装検査用照射方法、塗装検査用照射装置、塗装検査装置 |
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