JPH0714391U - 多数個試料用特性試験装置 - Google Patents

多数個試料用特性試験装置

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JPH0714391U
JPH0714391U JP4890393U JP4890393U JPH0714391U JP H0714391 U JPH0714391 U JP H0714391U JP 4890393 U JP4890393 U JP 4890393U JP 4890393 U JP4890393 U JP 4890393U JP H0714391 U JPH0714391 U JP H0714391U
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JP
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JP4890393U
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Inventor
恵 下山
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Advantest Corp
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Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 多数個の試料の特性試験をする装置におい
て、1個の試料分のコンタクトピン試料切り換えの際
に、リレーによる測定への影響を無くし、コストパフォ
ーマンスの良い、多数個試料用特性試験装置を提供す
る。 【構成】 1個の試料分のコンタクトピンを備えたアタ
ッチメント12を設ける。そして、当該アタッチメント
を各試料の位置に移動する駆動部13を設ける。そし
て、当該駆動部の位置を制御する駆動制御部11を設け
る。以上のように、多数個試料用特性試験装置を構成す
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、多数個の試料の特性を測定する装置に於いて、切り換え部が高寿命 で特性のよい、多数個試料用特性試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図2は従来の構成例を示すブロック図である。一般に、多数の試料101,1 02,・・103を測定部2で測定する場合、試料毎の切り換えを必要とする。 図2に於いては、リレー部201,202,・・,203を試料に対応して設け ており、リレー制御部4の信号により、目的の試料を選択接続する。このリレー 制御部4や測定部2のコントロールは、コントロール部3により行われる。
【0003】 試料101,102,103は、ボード5に実装してあり、ボード5とリレー 201,202,203の間は、ケーブルにより配線されている。測定部2とリ レー201,202,203間もケーブルにより配線されている。なお、リレー 制御部4とリレー201,202,203はスキャナ1の中に格納されている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
従来の、スキャナ部は、次のような欠点をもっていた。
【0005】 試料の接点の数に応じた多数のリレーが必要となり、リレーは一定の故障率を 有しているため、多数のリレーを使用することにより故障率が増大する。また、 多数のリレーを使用するので高価となる。また、多数のリレーを使用するので、 スペースファクターが悪くなる。次に、測定特性は、リレーの特性により制限さ れる場合がある。特に、電圧耐圧や電流容量や絶縁抵抗やリレーからのノイズ誘 導について影響を受け易い。また、ケーブルが、試料の倍数に応じて配線される ので、故障率の増大につながる。
【0006】 本考案は、上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされるもので あって、試料切り換えの際に、リレーによる測定への影響を無くし、コストパフ ォーマンスの良い、多数個試料用特性試験装置を提供することを目的とするもの である。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この考案によれば、多数個試料用特性試験装置を下記のように構成する。
【0008】 多数個の試料の特性試験をする装置において、1個の試料分のコンタクトピン を備えたアタッチメント12を設ける。そして、当該アタッチメントを各試料の 位置に移動する駆動部13を設ける。そして、当該駆動部の位置を制御する駆動 制御部11を設ける。以上のように、多数個試料用特性試験装置を構成する。
【0009】
【作用】
本考案では、多数個の試料の特性試験をする装置において、アタッチメント1 2を設けた。当該アタッチメントは試料一個分のコンタクトピンを備えている。 そして、試料101,102,103を登載したパフォーマンスボード14の電 気パッドと接続する。次に、当該アタッチメントを各試料の位置に移動させる駆 動部13を設けた。そして、当該駆動部の位置を制御する駆動制御部11を設け た。この駆動部は、コントロール部3により目的の試料位置に選択移動される。 そして、目的の試料の特性試験を、測定部2により行う。
【0010】
【実施例】
本考案の実施例について図面を参照して説明する。
【0011】 図1は本考案の構成を示すブロック図である。図1に於いて示すように、試料 101,102,103は、パフォーマンスボード14を設けて登載する。パフ ォーマンスボード14は複数の試料を登載することができる。そして、当該パフ ォーマンスボードには、測定部2に与える必要のある数の電気的パッドを設ける 。当該パッドと試料とはプリントパタン等で電気接続する。なお、通常、試料は ソケットを介してパフォーマンスボードに実装される。
【0012】 次に、測定に必要なだけのコンタクトピンを備えたアタッチメント12を設け る。アタッチメント12は試料1個分に接触する。アタッチメント12の移動は 、駆動部13を設けて、測定対象試料の位置に移動させて行う。測定対象位置に 移動後、アタッチメント12はコンタクトピンを当該パフォーマンスボード14 のパッドに接触させる。このパッドへの接触のための位置制御も駆動部13によ り行う。当該駆動部13は、当該アタッチメント12を測定対象試料まで移動さ せると共に接触位置へ移動させる機構部であり、駆動制御部11により制御する 。また、コントロール部3は、当該駆動制御部11や、当該測定部2をコントロ ールする。そしてデータの演算、集計等装置全体を管理する。このコントロール 部3は、コンピュータで構成して良い。なお、駆動部は、XYテーブルや円型テ ーブル等で構成できる。
【0013】 また、エージング装置等、恒温漕による温度環境が必要な場合は、図3のよう に構成する。図3(a)の例では、ボード5からケーブルにより信号を取り出し 、パフォーマンスボード14と接続する。そして、試料101,102,103 はボードに登載して恒温漕15の中に収容する。パフォーマンスボード14と測 定部2の間は、上記実施例の通り構成する。
【0014】 また、図3(b)の例では、試料101,102,103は直接パフォーマン スボード14に取付け、当該パフォーマンスボードを含めて恒温漕15を形成す る。パフォーマンスボード14と測定部2の間は、上記実施例の通り構成する。
【0015】
【考案の効果】
以上説明したように本考案は構成されているので、次に記載する効果を奏する 。
【0016】 本考案によれば、多数個の試料の特性試験をする装置において、1個の試料分 のコンタクトピンを備えたアタッチメントを設け、当該アタッチメントを各試料 の位置に移動する駆動部を設け、当該駆動部の位置を制御する駆動制御部を設け て、構成したので、リレーを使用しておらず、試料切り換えの際に、リレーによ る測定への影響を無くすことができた。また、リレーのコストが削減でき、故障 率の低減に伴うメンテナンス性に優れるため、コストパフォーマンスの良い、多 数個試料用特性試験装置を提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例による構成を示すブロック図で
ある。
【図2】従来の構成例を示すブロック図である。
【図3】本考案の恒温漕を含めた構成例である。
【符号の説明】
1 スキャナ 2 測定部 3 コントロール部 4 リレー制御部 5 ボード 11 駆動制御部 12 アタッチメント部 13 駆動部 14 パフォーマンスボード 15 恒温漕 101,102,103 試料 201,202,203 リレー部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項】 多数個の試料の特性試験をする装置におい
    て、 1個の試料分のコンタクトピンを備えたアタッチメント
    (12)を設け、 当該アタッチメントを各試料の位置に移動する駆動部
    (13)を設け、 当該駆動部の位置を制御する駆動制御部(11)を設
    け、 以上の構成により各々の試料を測定することを特徴とす
    る、多数個試料用特性試験装置。
JP4890393U 1993-08-17 1993-08-17 多数個試料用特性試験装置 Withdrawn JPH0714391U (ja)

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JP4890393U JPH0714391U (ja) 1993-08-17 1993-08-17 多数個試料用特性試験装置

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JP4890393U JPH0714391U (ja) 1993-08-17 1993-08-17 多数個試料用特性試験装置

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JPH0714391U true JPH0714391U (ja) 1995-03-10

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ID=12816233

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4890393U Withdrawn JPH0714391U (ja) 1993-08-17 1993-08-17 多数個試料用特性試験装置

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JP (1) JPH0714391U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018109590A (ja) * 2017-01-06 2018-07-12 新電元工業株式会社 半導体装置の検査装置、及び、半導体装置の検査方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Effective date: 19971106