JPH05142274A - 触針式接触抵抗測定装置 - Google Patents
触針式接触抵抗測定装置Info
- Publication number
- JPH05142274A JPH05142274A JP30140391A JP30140391A JPH05142274A JP H05142274 A JPH05142274 A JP H05142274A JP 30140391 A JP30140391 A JP 30140391A JP 30140391 A JP30140391 A JP 30140391A JP H05142274 A JPH05142274 A JP H05142274A
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- JP
- Japan
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- sample
- contact resistance
- stylus
- contact
- measured
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】高真空装置１９内において、移動可能な触針２
と、移動可能なサンプル３との接触抵抗値を、サンプル
気体ボンベ９とゲートバルブ７と真空ポンプ６により雰
囲気気体濃度を制御しながら、接触抵抗測定装置１によ
り測定する。力セサ５により接触力を同時測定すること
ができ、またヒータ１０と温度センサ４により温度を制
御しながら同時測定することができる。 【効果】電気接点の接触抵抗を測定する場合に、雰囲気
気体濃度と温度と接触荷重を制御しながら同時測定する
ことにより、サンプルの表面状態を制御することがで
き、気体吸着及び接点現象解明に有効である。
と、移動可能なサンプル３との接触抵抗値を、サンプル
気体ボンベ９とゲートバルブ７と真空ポンプ６により雰
囲気気体濃度を制御しながら、接触抵抗測定装置１によ
り測定する。力セサ５により接触力を同時測定すること
ができ、またヒータ１０と温度センサ４により温度を制
御しながら同時測定することができる。 【効果】電気接点の接触抵抗を測定する場合に、雰囲気
気体濃度と温度と接触荷重を制御しながら同時測定する
ことにより、サンプルの表面状態を制御することがで
き、気体吸着及び接点現象解明に有効である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は接触抵抗測定装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の接触抵抗測定装置は、電気接点接
触部の雰囲気気体、温度、接触荷重等を制御しながら接
触抵抗を同時測定する機能を有しておらず、測定するサ
ンプルの表面状態を制御することができなかった。
触部の雰囲気気体、温度、接触荷重等を制御しながら接
触抵抗を同時測定する機能を有しておらず、測定するサ
ンプルの表面状態を制御することができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の接触
抵抗測定装置では、単に接触抵抗のみを測定する構成と
なっているため、雰囲気気体、温度、接触荷重等を任意
に選べず、また連続的に条件を変えることが困難であ
り、同時測定も困難であった。その為、サンプルの表面
状態を制御できず、接触抵抗値のデータの再現性・信頼
性に劣り、気体吸着・接点現象の解明が困難であるとい
う問題点があった。
抵抗測定装置では、単に接触抵抗のみを測定する構成と
なっているため、雰囲気気体、温度、接触荷重等を任意
に選べず、また連続的に条件を変えることが困難であ
り、同時測定も困難であった。その為、サンプルの表面
状態を制御できず、接触抵抗値のデータの再現性・信頼
性に劣り、気体吸着・接点現象の解明が困難であるとい
う問題点があった。
【０００４】また電子・情報あるいは電力に関する技術
分野では、電磁継電器，スイッチ，コネクタ，ソケット
のように電気接点を介して信号を伝えている。これらの
分野における信頼性を高める為には、電気接点の導通不
良をなくしてゆかねばならない。導通不良の主原因は電
気接点表面の汚染である。表面汚染は製造工程、保存期
間あるいは接点開閉時に起こる事が知られており、汚染
源は空気中の塵埃や部品材料から発生する気体と考えら
れている。しかしながら、汚染についての詳細な機構は
解明されておらず、信頼性の高い電気接点を開発するに
は表面現象についての基礎的情報が求められている。
分野では、電磁継電器，スイッチ，コネクタ，ソケット
のように電気接点を介して信号を伝えている。これらの
分野における信頼性を高める為には、電気接点の導通不
良をなくしてゆかねばならない。導通不良の主原因は電
気接点表面の汚染である。表面汚染は製造工程、保存期
間あるいは接点開閉時に起こる事が知られており、汚染
源は空気中の塵埃や部品材料から発生する気体と考えら
れている。しかしながら、汚染についての詳細な機構は
解明されておらず、信頼性の高い電気接点を開発するに
は表面現象についての基礎的情報が求められている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の触針式接触抵抗
測定装置は、高真空装置と、この高真空装置内に設けら
れた各種気体導入・制御装置と、測定対象のサンプル
と、このサンプルに接触するべく移動可能な触針と、前
記サンプルを搭載して移動可能なサンプルステージと、
前記触針と前記サンプル間の接触抵抗を測定する接触抵
抗測定装置とを備えている。
測定装置は、高真空装置と、この高真空装置内に設けら
れた各種気体導入・制御装置と、測定対象のサンプル
と、このサンプルに接触するべく移動可能な触針と、前
記サンプルを搭載して移動可能なサンプルステージと、
前記触針と前記サンプル間の接触抵抗を測定する接触抵
抗測定装置とを備えている。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は本発明の一実施例の構成図、図２は
本実施例の構造を示す側面図、図３は本実施例の触針組
立部品を示す図、図４は本実施例のサンプルステージ組
立部品を示す図である。
本実施例の構造を示す側面図、図３は本実施例の触針組
立部品を示す図、図４は本実施例のサンプルステージ組
立部品を示す図である。
【０００８】本実施例は高真空装置１９と、この高真空
装置１９に設けられた真空ポンプ６と、ゲートバルブ７
とサンプル気体入口８及びサンプル気体ボンベ９からな
る気体導入・制御装置と、測定対象であるサンプル３
と、このサンプル３に接触するべく移動可能な触針２
と、サンプル３を搭載して移動可能なサンプルステージ
１８と、触針２とサンプル３間の接触抵抗を測定する接
触抵抗測定装置１とを有してなり、さらにサンプル３の
近傍に温度センサ４とヒータ１０とを備え、また触針２
の荷重部に力センサ５を備えて構成される。
装置１９に設けられた真空ポンプ６と、ゲートバルブ７
とサンプル気体入口８及びサンプル気体ボンベ９からな
る気体導入・制御装置と、測定対象であるサンプル３
と、このサンプル３に接触するべく移動可能な触針２
と、サンプル３を搭載して移動可能なサンプルステージ
１８と、触針２とサンプル３間の接触抵抗を測定する接
触抵抗測定装置１とを有してなり、さらにサンプル３の
近傍に温度センサ４とヒータ１０とを備え、また触針２
の荷重部に力センサ５を備えて構成される。
【０００９】即ち、図１に示すように、高真空装置１９
内において、移動可能な触針２と移動可能なサンプル３
の間の接触抵抗を、例えば四端子法により電流と電圧の
値から計算する。その部分が接触抵抗測定装置１であ
る。触針２とサンプル３の接触力は力センサ５により測
定可能である。またヒータ１０により雰囲気温度を調整
し、温度センサ４により温度を測定する。さらに、真空
ポンプ６とゲートバルブ７とサンプル気体入口８の調整
により、装置内にサンプル気体ボンベ９から供給される
気体の濃度を制御する。このようにしてサンプル３の表
面状態を制御することができる。
内において、移動可能な触針２と移動可能なサンプル３
の間の接触抵抗を、例えば四端子法により電流と電圧の
値から計算する。その部分が接触抵抗測定装置１であ
る。触針２とサンプル３の接触力は力センサ５により測
定可能である。またヒータ１０により雰囲気温度を調整
し、温度センサ４により温度を測定する。さらに、真空
ポンプ６とゲートバルブ７とサンプル気体入口８の調整
により、装置内にサンプル気体ボンベ９から供給される
気体の濃度を制御する。このようにしてサンプル３の表
面状態を制御することができる。
【００１０】図２に本実施例の構造を示すように、触針
組立部品１４とサンプルステージ組立部品１５はそれぞ
れ直線導入器１１と接続されており、移動可能である。
各電気信号はセラミックコーティングされた電線と電流
端子１７を介して外部に出力することができる。また図
３に示す本実施例の触針組立部品１４において、触針２
はばね１６にセラミックプレート１２により電気的に絶
縁して接続しており、力センサ５により触針２に加わる
力を検出することができる。触針２の表面を清浄にする
為には、触針２に大電流を流して加熱したり、加熱ヒー
タによって加熱することにより可能である。さらに図４
に示す本実施例のサンプルステージ組立部品１５におい
て、サンプル３はサンプルステージ１８上に固定され、
セラミックジョイント１３により電気的に絶縁された状
態で直線導入器１１に接続され、移動可能となってい
る。ヒータ１０がサンプルステージ１８の底部に、また
温度センサ４がサンプルステージ１８の内部に備えてあ
り、温度制御が可能である。
組立部品１４とサンプルステージ組立部品１５はそれぞ
れ直線導入器１１と接続されており、移動可能である。
各電気信号はセラミックコーティングされた電線と電流
端子１７を介して外部に出力することができる。また図
３に示す本実施例の触針組立部品１４において、触針２
はばね１６にセラミックプレート１２により電気的に絶
縁して接続しており、力センサ５により触針２に加わる
力を検出することができる。触針２の表面を清浄にする
為には、触針２に大電流を流して加熱したり、加熱ヒー
タによって加熱することにより可能である。さらに図４
に示す本実施例のサンプルステージ組立部品１５におい
て、サンプル３はサンプルステージ１８上に固定され、
セラミックジョイント１３により電気的に絶縁された状
態で直線導入器１１に接続され、移動可能となってい
る。ヒータ１０がサンプルステージ１８の底部に、また
温度センサ４がサンプルステージ１８の内部に備えてあ
り、温度制御が可能である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、高真空装
置内において、各種気体導入・制御装置と、移動可能な
触針と、移動可能なサンプルステージと、触針−サンプ
ル間接触抵抗測定装置とを備えているので、サンプルの
表面状態を制御でき、測定する電気的接触部の雰囲気気
体を制御しながら、連続的かつ同時に接触抵抗を測定で
きるという効果を有する。また、サンプル近傍に温度セ
ンサとヒータとを備えることにより、温度制御しながら
接触抵抗を測定することができるという効果を有する。
また、触針の荷重部に力センサを備えることにより、接
触力を測定しながら接触抵抗を測定できるという効果を
有する。
置内において、各種気体導入・制御装置と、移動可能な
触針と、移動可能なサンプルステージと、触針−サンプ
ル間接触抵抗測定装置とを備えているので、サンプルの
表面状態を制御でき、測定する電気的接触部の雰囲気気
体を制御しながら、連続的かつ同時に接触抵抗を測定で
きるという効果を有する。また、サンプル近傍に温度セ
ンサとヒータとを備えることにより、温度制御しながら
接触抵抗を測定することができるという効果を有する。
また、触針の荷重部に力センサを備えることにより、接
触力を測定しながら接触抵抗を測定できるという効果を
有する。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本実施例の構造を示す側面図である。
【図３】本実施例の触針組立部品を示し、（ａ）は側面
図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は平面図である。
図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は平面図である。
【図４】本実施例のサンプルステージ組立部品を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。
（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。
【符号の説明】 １ 接触抵抗測定装置 ２ 触針 ３ サンプル ４ 温度センサ ５ 力センサ ６ 真空ポンプ ７ ゲートバルブ ８ サンプル気体入口 ９ サンプル気体ボンベ １０ ヒータ １１ 直線導入器 １２ セラミックプレート １３ セラミックジョイント １４ 触針組立部品 １５ サンプルステージ組立部品 １６ ばね １７ 電流端子 １８ サンプルステージ １９ 高真空装置
Claims (3)
- 【請求項１】 高真空装置と、この高真空装置内に設け
られた各種気体導入・制御装置と、測定対象のサンプル
と、このサンプルに接触するべく移動可能な触針と、前
記サンプルを搭載して移動可能なサンプルステージと、
前記触針と前記サンプル間の接触抵抗を測定する接触抵
抗測定装置とを備えることを特徴とする触針式接触抵抗
測定装置。 - 【請求項２】 前記サンプルの近傍に温度センサとヒー
タとを備えることを特徴とする請求項１記載の触針式接
触抵抗測定装置。 - 【請求項３】 前記触針の荷重部に力センサを備えるこ
とを特徴とする請求項１記載の触針式接触抵抗測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30140391A JPH05142274A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 触針式接触抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30140391A JPH05142274A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 触針式接触抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142274A true JPH05142274A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=17896454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30140391A Withdrawn JPH05142274A (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | 触針式接触抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142274A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103176146A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 霍尔及气敏测量装置 |
| KR101540040B1 (ko) * | 2014-01-24 | 2015-07-28 | 한국패션산업연구원 | 직물센서 저항 시험장치 |
| CN109828155A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-05-31 | 兰州大学 | 一种可控温度下三向加载接触电阻测试装置 |
-
1991
- 1991-11-18 JP JP30140391A patent/JPH05142274A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103176146A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 霍尔及气敏测量装置 |
| KR101540040B1 (ko) * | 2014-01-24 | 2015-07-28 | 한국패션산업연구원 | 직물센서 저항 시험장치 |
| CN109828155A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-05-31 | 兰州大学 | 一种可控温度下三向加载接触电阻测试装置 |
| CN109828155B (zh) * | 2019-02-28 | 2024-01-12 | 兰州大学 | 一种可控温度下三向加载接触电阻测试装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |