JPH0714344U - リモートシール型差圧・圧力発信器 - Google Patents

リモートシール型差圧・圧力発信器

Info

Publication number
JPH0714344U
JPH0714344U JP4713193U JP4713193U JPH0714344U JP H0714344 U JPH0714344 U JP H0714344U JP 4713193 U JP4713193 U JP 4713193U JP 4713193 U JP4713193 U JP 4713193U JP H0714344 U JPH0714344 U JP H0714344U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
diaphragm
measured
seal
flange
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4713193U
Other languages
English (en)
Inventor
博治 須山
篤彦 服部
正吉 菊池
裕 土居
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Gas Co Ltd
Azbil Corp
Original Assignee
Tokyo Gas Co Ltd
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Gas Co Ltd, Azbil Corp filed Critical Tokyo Gas Co Ltd
Priority to JP4713193U priority Critical patent/JPH0714344U/ja
Publication of JPH0714344U publication Critical patent/JPH0714344U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被測圧部、測圧端間に介在されるガスケット
等のセンタリングや取付けが容易で、シール面やダイヤ
フラムの損傷もなく、シール性を確保できるようにす
る。 【構成】 被測圧部の筒状部15の小径フランジ15a
とシールダイヤフラム6を有するダイヤフラムベース1
0が、フランジ12,16のボルト止めによって結合さ
れる。これら両部材間には、内、外周に開口した複数の
切欠部21a,22aを有し内周部分が嵌合部となる突
出部21,22を両端外周寄りに形成した円筒部材20
が介在して挾持される。また、これら突出部内側の内端
面には、シール部材23が配設される。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、たとえば腐食性流体や高温流体等の各種プロセス流体の圧力等を検 出するために被測圧部側に臨む少なくとも一つの測圧端を検出部ボディから導出 したキャピラリチューブの延設端に有するリモートシール型の差圧・圧力発信器 に関する。
【0002】
【従来の技術】
各種のプロセス流体の圧力等を測定するために用いられるリモートシール型の 差圧または圧力発信器(差圧・圧力発信器という)は、強腐食性、高粘性、凝縮 性、高温、金属の析出等を有するプロセス流体の測定用として用いて効果的なも のである。 すなわち、この種のリモートシール型差圧・圧力発信器は、その発信器本体側 で圧力検出を行なう検出部ボディから離れた被測圧部側にプロセス接液用のシー ルダイヤフラムを測圧端として二カ所または一カ所に設けるとともに、これら測 圧端と検出部ボディとの間をキャピラリチューブでつなぎ、その内部に圧力伝達 媒体としてシリコンオイル等の封入液を封入してなる液封構造とされている。
【0003】 そして、この種のリモートシール型差圧・圧力発信器は、たとえば石油精製プ ラントにおける高温反応塔等といった密閉タンク内で上、下二位置の差圧または タンク内圧を大気圧との圧力差にて検出することにより液面測定を行なう場合な どに用いられる。このようなリモートシール型差圧・圧力発信器における測圧端 は、流体の特性等から、タンクあるいは配管等に設けた筒状取付け部に対し直接 取付ける、いわゆる直取付け構造が一般に採用されている。
【0004】 このようなリモートシール型差圧・圧力発信器において、たとえば差圧発信器 の概略構成を図4を用いて説明すると、全体を符号1で示すリモートシール型差 圧発信器は、その内部に一対をなす受圧空間2A,2Bおよびその圧力差を検出 する圧力検出センサ3等を備えた検出部ボディ4と、この検出部ボディ4の各受 圧空間2A,2Bにキャピラリチューブ5A,5Bを介してそれぞれ接続された 測圧端としてのシールダイヤフラム6A,6Bを有する高、低圧圧力取出部7A ,7Bとを備えている。
【0005】 また、これら各圧力取出部7A,7Bのシールダイヤフラム6A,6Bによる 内方室からキャピラリチューブ5A,5Bを介して連続する検出部ボディ4の対 応する受圧空間2A,2Bにかけての空間部内には、それぞれ圧力伝達媒体とし てシリコンオイルなどの封入液8が封入されている。
【0006】 そして、上述した差圧発信器1の各圧力取出部7A,7Bは、被測圧部として のタンク9に設けられた高、低圧圧力取出用孔9A,9Bに連結され、その受圧 素子としてのシールダイヤフラム6A,6Bがタンク9内に臨み、タンク9下方 でその内部流体中に臨む高圧側のシールダイヤフラム6Aにて液面高さhによる ヘッド圧を、またタンク9上方でタンク内室に臨む低圧側のダイヤフラム6Bに てタンク内圧を測定し、これらの差圧によりタンク9内の液面位置(高さh)を 測定するような構成とされていた。
【0007】 なお、圧力発信器では、上述した検出部ボディ4内の受圧空間2A,2Bのう ちの一方を大気圧室とし、そのキャピラリチューブ5Aを大気に開放するように なっている。そして、他方のキャピラリチューブ5Bが、測圧端としてのシール ダイヤフラム6Bを有する圧力取出部7Bを、上部が大気に連通しているタンク 9の一部に形成される圧力取出用孔9Bに対しタンク内圧を測定可能に設けるこ とで、このタンク内圧と大気圧との圧力差により測定し、タンク9内の液面位置 (高さh)を測定し得るものである。
【0008】 ところで、上述したリモートシール型差圧・圧力発信器1において、その測圧 端7(7A,7B)およびこれらが取付けられるタンク9側の被測圧部となる圧 力取出用孔9A,9B部分での具体的な取付け構造として、概略図5に示すよう な構造が知られている。 すなわち、測圧端7は、ステンレス鋼等の金属材料により形成されるダイヤフ ラムベース10とその接液側に臨むダイヤフラム受面10aに沿って配設され、 その周縁部がベース10側に溶接等で固着されるシールダイヤフラム6(6A, 6B)を備えている。ここで、このようなシールダイヤフラム6は、被測定流体 が高圧、高腐食性流体、たとえば塩酸や塩素ガス等である場合には、一般的なス テンレス(SUS)等では腐食してしまうため、タンタル(Ta)、ハステロイ 、チタン等のような耐蝕性を有する高級金属材料によって、たとえば0.08m m程度の厚さで形成されている。
【0009】 また、図中11は被測定流体が腐食性流体である場合においてステンレス鋼等 によるベース10部分での耐蝕性を保障するためにベース10のダイヤフラム6 部分を除いた接液側を保護するように設けられる薄板材からなる略環状のカバー で、このカバー11を用いた場合は、シールダイヤフラム6は、図6から明らか なように、その周縁部をカバー11内周縁に溶接等で固着するようになっている 。ここで、このようなカバー11も、上述したシールダイヤフラム6と同様に、 タンタル(Ta)、ハステロイ、チタン等の耐蝕性を有する高級金属材料で形成 される。
【0010】 12はダイヤフラムベース10の外側に設けられた測圧側のフランジで、フラ ンジ固定用ボルト12a等によりベース10と一体的に結合されている。そして 、このフランジ12には、外周寄りの複数個所に、被測圧部側との結合用ボルト 13の挿通穴14が形成されている。なお、このフランジ12は、接液部分がな いことから、ステンレス鋼等の金属材料で形成すればよい。
【0011】 一方、タンク9の被測圧部となる圧力取出用孔9A,9Bは、先端に小径フラ ンジ15aを有する筒状部15によって構成されている。小径フランジ15aは 、前記測圧端側のダイヤフラムベース10と対向する部分で、略同径に形成され ている。 16は筒状部15の外周に可動可能な状態で嵌装して設けられた被測圧側のル ーズフランジで、このフランジ16の外周寄りの部分には、前記結合用ボルト1 3の挿通穴17が複数個所に形成されている。 ここで、上述したタンク9側の被測圧部である筒状部15は、被測定流体に対 しての耐蝕性を確保できるように、タンタル(Ta)、ハステロイ、チタン等の 耐蝕性を有する高級金属材料で形成される一方、フランジ16は、ステンレス鋼 のような金属材料で形成されている。
【0012】 18は被測圧部における筒状部15の小径フランジ15aと測圧端側のダイヤ フラムベース10との間に介在され、被測定流体に接液する部分をシールする環 状ガスケットで、この例では、ガスケット18として、各シール面が鋸歯状に形 成された鋸歯状メタルガスケット等を用いている。なお、18aは外方に延設さ れた外輪部で、たとえば結合用ボルト13等により、平面方向での位置決めを行 なう部分である。 このようなガスケット18としては、図7で示したようなセミメタリックによ る渦巻き状ガスケットを用いてもよい。なお、図7中18bは内輪部である。
【0013】 そして、上述した測圧端7の被測圧部への取付けは、ダイヤフラムベース10 を、被測圧部側の筒状部15の小径フランジ15aに対しガスケット18を介在 させた状態で、フランジ12,16を、複数本の結合用ボルト13とナット19 とで締結固定することにより、一体的に結合されるようになっている。
【0014】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来構造によれば、ガスケット18は、結合用ボルト13 が、フランジ12,16の挿通穴14,17の中心に位置したときに、ガスケッ ト外輪部18aがボルト13に接するような寸法をもって製作されている。
【0015】 しかし、上述したボルト13と挿通孔14,17との隙間は、いずれのフラン ジ規格でも3mm程度もあるために、被測圧部側の筒状部15の小径フランジ1 5aや測圧端でのダイヤフラムベース10との間での同心性が出し難いものであ った。このため、組付け作業時において、中心位置出し作業に時間を要し、しか も精度のよい同心性を保った組付け状態を得ることができ難いばかりでなく、ガ スケット18を位置出しのために動かす際に受圧用のダイヤフラム6に干渉して 損傷を与えるといった問題もあった。
【0016】 さらに、上述した従来構造では、位置出しのためにガスケット18を動かした ときに、鋸歯状ガスケットでは、各シール面との間で鋸歯が摺接し、鋸歯がつぶ れたり、シール面に損傷を与えるといった問題を生じ易く、また渦巻き状ガスケ ットでも、同様にガスケットシール面に損傷を与えるといった問題を生じ易いも ので、リーク事故を発生する虞れがあった。しかも、一旦傷付くと、取外し後に おいて再使用時の信頼性が低下するといった不具合もあり、これらの問題を一掃 できるような何らかの対策を講じることが望まれている。
【0017】 また、上述した従来構造では、ガスケット18等がずれた状態で組み付けられ ることがあり、シール性等の面で問題を生じる虞れがあるもので、このような点 にも配慮しなければならない。
【0018】 本考案はこのような事情に鑑みてなされたものであり、被測圧部への測圧端の 取付けにあたって、センタリングや取付けが容易で、高圧、負圧、高温、さらに 腐食性等の被測定流体に対してのシール性を確保でき、またガスケットシール面 や受圧ダイヤフラムでの損傷問題も防止できるようにしたリモートシール型差圧 ・圧力発信器を得ることを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】
このような要請に応えるために本考案に係るリモートシール型差圧・圧力発信 器は、圧力伝達用封入液が封入されたキャピラリチューブにより検出器ボディと 連接されかつ被測圧部にシールダイヤフラムを有するダイヤフラムベースを、前 記被測圧部にフランジ接続するにあたって、内、外周に開口した複数の切欠部を 有し内周部分が嵌合部とされる突出部を両端外周寄りに形成するとともにこの突 出部内側の内端面にシール部材を配設した円筒部材を備え、この円筒部材を、被 測圧部とダイヤフラムベースとの間に挾持した状態でフランジ接続したものであ る。
【0020】
【作用】
本考案によれば、被測圧部とこれにフランジ接続されるダイヤフラムベースと の間に、円筒部材を挾持した状態で介在させ、この円筒部材を、その両端外周寄 りに突設された突出部の内周を嵌合部として、前記被測圧部、ダイヤフラムベー スに嵌合させることにより、この円筒部材をセンタリングした位置決め状態で取 付けることが可能で、しかもこの円筒部材の両端面で前記突出部よりも内側部分 にシール部材を配設することにより、これらの接合部分でのシール性を確実に維 持することが可能となる。
【0021】
【実施例】
図1ないし図3は本考案に係るリモートシール型差圧・圧力発信器の一実施例 を示し、その要部である測圧端部分のみを示している。なお、リモートシール型 差圧・圧力発信器における検出部を含めた全体の概略構成は前述した図4および 図5に例示した通りで、これらの図と同一または相当する部分には同一符号を付 し、その詳細な説明は省略する。
【0022】 さて、本考案によれば、図1に示したようなリモートシール型差圧・圧力発信 器における測圧端7において、圧力伝達用封入液8が封入されたキャピラリチュ ーブ5(5A,5B)により検出器ボディ4と連接されかつ被測圧部にシールダ イヤフラム6(6A,6B)を有するダイヤフラムベース10を、被測圧部にフ ランジ接続するにあたって、内、外周に開口した複数の切欠部21a,22aを 有し内周部分が被測圧部側の小径フランジ15aと測圧端側のダイヤフラムベー ス10へのインロー嵌合部とされる突出部21,22を両端外周寄りに形成する とともにこの突出部21,22内側の内端面にシール部材としてのガスケット2 3,23を配設した円筒部材20を備え、この円筒部材20を、被測圧部(小径 フランジ15a)とダイヤフラムベース10との間に挾持した状態でフランジ接 続したところに特徴を有している。
【0023】 なお、上述した突出部21,22は円筒部材20の両端面で外周部分に所定間 隔をおいて突設され、前記小径フランジ15a、ダイヤフラムベース10の外周 部にインロー嵌合するように構成されている。また、図中24,24は前記ガス ケット23,23が嵌め込まれる溝部である。
【0024】 上述した構成によれば、被測圧部の小径フランジ15aとこれにフランジ接続 されるダイヤフラムベース10との間に、円筒部材20を挾持した状態で介在さ せ、この円筒部材20を、その両端外周寄りに突設した突出部21,22の内周 を嵌合部として、前記小径フランジ15a、ダイヤフラムベース10の外周部に 嵌合させることにより、この円筒部材20を、センタリングした位置決め状態で 取付けることが可能である。 しかも、この円筒部材20の両端面で前記突出部21,22よりも内側部分に ガスケット23,23を配設することにより、これらの接合部分でのシール性を 確実に維持することが可能となる。
【0025】 そして、このような構成では、被測圧部の小径フランジ15a、測圧端のダイ ヤフラムベース10およびその間に介在される円筒部材20のセンタリングが、 突出部21,22のインロー嵌合によってきわめて簡単に行なえ、取付け作業性 が従来に比べて格段と向上する。 特に、このような構造では、フランジ12,16での挿通孔14,17とボル ト13との位置関係は、各部材の同心性に影響しないため、組立性を向上させる うえで効果を発揮し得る。
【0026】 また、円筒部材20の両端側に突設されて被測圧部側の小径フランジ15a、 測圧端のダイヤフラムベース10に嵌合する突出部21,22間に、締切り状態 確認用として切欠部21a,22aが形成されているため、ガスケット23,2 3が均一に締め付けられたか否か、ガスケット23,23のつぶれ具合等の確認 が行なえ、片締め状態を防止でき、高温、高圧に対して確実なシール性を確保す ることができる。しかも、ガスケット23,23は、溝部24,24内に保持さ れているため、脱落等が防止され、シール性の面で優れている。
【0027】 ここで、上述した実施例では、図3の(a)に示すように、ガスケット23と して、フッ素系樹脂材や金属材によるガスケットを用いた場合を例示したが、こ れに限定されず、同図の(b)に示すように金属性Oリング23aや同図の(c )に示すように鋸歯状のシール面をもつガスケット23bを用いてもよいことは 言うまでもない。
【0028】 なお、ガスケット23として鋸歯状のものである場合に、たとえ鋸歯やシール 面に傷が付いても、ガスケット23は円筒部材20の溝部24内に嵌込み保持さ れており、組立時等において位置ずれがないので、取り外したとしても、その再 使用可能であるという利点がある。
【0029】 また、上述した構造では、計器の寿命が延び、被測圧部側も、ダイヤフラムベ ース側も、保守作業が不要となる。 さらに、用途に適したガスケット23,23a,23bを交換することにより 、高温、高圧、負圧、各種腐食性流体のあらゆるプロセス条件に容易に対処でき るという利点もある。
【0030】 なお、本発明は上述した実施例構造に限定されず、検出部ボディ4やこれを測 圧端7に連結する測圧側のキャピラリチューブ5との連結構造、さらにダイヤフ ラムベース10やシールダイヤフラム6、カバー11の組付け構造等を始めとし て各部の形状、構造等を、適宜変形、変更することは自由である。
【0031】 また、本発明に係るリモートシール型の差圧・圧力発信器は、上述した実施例 における液面計に限定されず、種々の分野における各種の機器、装置における差 圧・圧力測定用として用いてその効果を発揮し得るものである。
【0032】
【考案の効果】
以上説明したように本考案に係るリモートシール型差圧・圧力発信器によれば 、被測圧部にシールダイヤフラムを有するダイヤフラムベースを、前記被測圧部 にフランジ接続するにあたって、内、外周に開口した複数の切欠部を有し内周部 分が嵌合部とされる突出部を両端外周寄りに形成するとともにこの突出部内側の 内端面にシール部材を配設した円筒部材を、被測圧部とダイヤフラムベースとの 間に挾持した状態でフランジ接続するようにしたので、簡単かつ安価な構成にも かかわらず、以下に列挙する種々優れた効果を奏する。
【0033】 被測圧部、測圧端およびその間に介在される円筒部材のセンタリングがきわめ て簡単に行なえ、取付け作業性が従来に比べて格段と向上する。 円筒部材の両端側に突設されて被測圧部側の小径フランジ、測圧端のダイヤフ ラムベースに嵌合する突出部間に切欠部が形成されているため、ガスケットが均 一に締め付けられたか否かの確認が行なえ、片締め状態を防止でき、確実なシー ル性を確保することができる。
【0034】 ガスケットとして鋸歯状のものである場合に、たとえ鋸歯やシール面に傷が付 いても、ガスケットは円筒部材の溝内に嵌込み保持されており、位置がずれない ので、再使用可能である。 計器の寿命が延び、被測圧部側も、ダイヤフラムベース側も、保守作業が不要 となる。
【0035】 用途に適したガスケットを交換することにより、高温、高圧、負圧、各種腐食 性流体のあらゆるプロセス条件に容易に対処できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係るリモートシール型差圧・圧力発信
器の一実施例を示し、要部である測圧端の被測圧部への
取付け部分の拡大断面図である。
【図2】本考案を特徴づける円筒部材を示し、(a)は
要部断面図、(b)は概略平面図である。
【図3】本考案を特徴づける円筒部材の溝部に組み付け
られるガスケットとして、複数例を(a),(b),
(c)に例示する概略図である。
【図4】リモートシール型差圧・圧力発信器の検出部構
造の従来例を説明するための概略図である。
【図5】従来のリモートシール型差圧・圧力発信器の測
圧端の被測圧部への取付け構造を示す概略断面図であ
る。
【図6】ダイヤフラムベースの接液面の拡大断面図であ
る。
【図7】ガスケットの変形例を示す概略図である。
【符号の説明】
1 リモートシール型差圧・圧力発信器 4 検出部ボディ 5 キャピラリチューブ 6 シールダイヤフラム 7 測圧端 8 封入液 9 タンク 9A,9B 高、低圧圧力取出用孔 10 ダイヤフラムベース 11 カバー 12 測圧端側のフランジ 13 結合用ボルト 14 挿通孔 15 筒状部 15a 小径フランジ 16 被測圧部側のフランジ 17 挿通孔 18 ガスケット 19 ナット 20 円筒部材 21 突出部 21a 切欠部 22 突出部 22a 切欠部 23 ガスケット 24 溝部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 菊池 正吉 神奈川県高座郡寒川町大曲四丁目1番1号 山武ハネウエル株式会社湘南工場内 (72)考案者 土居 裕 神奈川県高座郡寒川町大曲四丁目1番1号 山武ハネウエル株式会社湘南工場内

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧力伝達用封入液が封入されたキャピラ
    リチューブにより検出器ボディと連接されかつ被測圧部
    にシールダイヤフラムを有するダイヤフラムベースを、
    前記被測圧部にフランジ接続するリモートシール型差圧
    ・圧力発信器において、 内、外周に開口した複数の切欠部を有しかつ内周部分が
    嵌合部とされる突出部を両端外周寄りに形成するととも
    に、この突出部内側の内端面にシール部材を配設した円
    筒部材を備え、この円筒部材を、前記被測圧部とダイヤ
    フラムベースとの間に挾持した状態でフランジ接続した
    ことを特徴とするリモートシール型差圧・圧力発信器。
JP4713193U 1993-08-09 1993-08-09 リモートシール型差圧・圧力発信器 Pending JPH0714344U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4713193U JPH0714344U (ja) 1993-08-09 1993-08-09 リモートシール型差圧・圧力発信器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4713193U JPH0714344U (ja) 1993-08-09 1993-08-09 リモートシール型差圧・圧力発信器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0714344U true JPH0714344U (ja) 1995-03-10

Family

ID=12766586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4713193U Pending JPH0714344U (ja) 1993-08-09 1993-08-09 リモートシール型差圧・圧力発信器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0714344U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011123011A (ja) * 2009-12-14 2011-06-23 Yokogawa Electric Corp ダイアフラムシール型差圧測定装置
JP2013002945A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Denso Corp 圧力センサ
KR20150131990A (ko) * 2014-05-16 2015-11-25 아즈빌주식회사 차압 센서 및 차압 센서의 제조 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011123011A (ja) * 2009-12-14 2011-06-23 Yokogawa Electric Corp ダイアフラムシール型差圧測定装置
JP2013002945A (ja) * 2011-06-16 2013-01-07 Denso Corp 圧力センサ
KR20150131990A (ko) * 2014-05-16 2015-11-25 아즈빌주식회사 차압 센서 및 차압 센서의 제조 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4192192A (en) Diaphragm seal assembly
JP6968073B2 (ja) センサを備えた管継手
US20030177837A1 (en) Pressure transmitter with process coupling
US8733188B2 (en) Apparatus for mounting pipe sensors
US5652391A (en) Double-diaphragm gauge protector
TWI719664B (zh) 壓力感測器
JP5926858B2 (ja) 圧力検出器の取付け構造
US6612177B2 (en) Device for measuring the pressure of liquid or gaseous media
US6401546B1 (en) Press-fit remote diaphragm assembly
EP0488446A1 (en) Pressure transducer with strain gauge for fitting on the end flange of a pipeline or of a casing and assembly unit implementing same
JPH0714344U (ja) リモートシール型差圧・圧力発信器
JP2008196994A (ja) 測定器の継手およびその製造方法
CN217583146U (zh) 一种特种工业压力表用防尘密封结构
JP5343837B2 (ja) ダイアフラムシール型差圧測定装置
CN113390021A (zh) 一种管道法兰(盲法兰)泄漏监测设备及使用方法
CA1069336A (en) Prepackaged guard device sub-assembly for pressure responsive instruments
CN112504347A (zh) 高可靠一体轴向结构的温度压力表
CA2123581C (en) Connecting flange for pressure sensing elements
JP2002277339A (ja) 差圧測定装置
JPH04117261U (ja) 二重形の密封装置
CN113567137B (zh) 一种薄壁式冷却孔液流检测装置及方法
JP7213997B2 (ja) ハウジング形管継手
CN118275023A (zh) 半导体工艺设备及其流体测压装置
JPH09189634A (ja) 差圧・圧力発信器
JP3384736B2 (ja) リモートシール型発信器の受圧部用高耐食性アダプタ