JPH07142441A

JPH07142441A - 遠心乾燥装置

Info

Publication number: JPH07142441A
Application number: JP5307270A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Yamamoto; 俊明山本
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1993-11-13
Filing date: 1993-11-13
Publication date: 1995-06-02
Anticipated expiration: 2016-09-04
Also published as: JP3204284B2

Abstract

(57)【要約】【目的】大径の基板の乾燥用としても十分に小型であ
ると共に、乾燥時間の短縮、静電気による基板への影響
の低減を達成した遠心乾燥装置を提供すること。【構成】基板保持カセット２０を遠心力作用方向側に
て支承して該基板保持カセットに対して補強作用をなす
カセット支承部材４５（６２）と、該基板保持カセット
からの基板の脱落を防止する脱落防止手段４８とを設
け、以て該基板保持カセットの小型化を可能とし、上記
の効果を得ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、遠心乾燥装置、詳しく
は洗浄後のシリコンウエハー等基板の表面に付着してい
る水分を遠心力により飛散させ、又、空気を基板の表面
に流すことにより基板を乾燥する遠心乾燥装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の遠心乾燥装置として、図
１３に示すものが知られている。

【０００３】この従来の遠心乾燥装置は、水平面に沿っ
て回転駆動される回転体としてのターンテーブル１と、
該ターンテーブル１の回転中心から偏倚した外周部適宜
位置に取り付けられた複数個のクレードル２すなわちカ
セット保持部材とを備えている。そして、洗浄後のシリ
コンウエハー等の基板３がその主面同士が平行となるよ
うに等ピッチにて整列して複数枚収納された基板保持カ
セット４を各クレードル２に上方から装填し、各クレー
ドル２をこれを枢支した支軸５を中心として鉛直面に沿
って９０^O 下方へ回動して各基板３の主面を水平状態
に、すなわちターンテーブル１の回転中心１ａに対して
直交する状態に保ち、その後ターンテーブル１を回転さ
せるように構成されている。なお、ターンテーブル１に
はスピンドル６の上端部が結合され、該スピンドル６の
他端部にはプーリ７が嵌着されている。そして、モータ
８の出力軸に嵌着された他のプーリ９とこのプーリ７と
にベルト１０が掛け回され、モータ８のトルクがターン
テーブル１に付与されて回転駆動される。

【０００４】図１４及び図１５は上記基板保持カセット
４の詳細を示すものであるが、該図から明らかなよう
に、基板３はその全体が該基板保持カセット４内に収容
される。また、図示のように、この基板保持カセット４
は全体として箱状に形成されており、その内側には収容
すべき基板３の枚数分の受け溝４ａが並設されており、
各基板３はその外周部にてこれら受け溝４ａの各々に係
合し、隣接する基板３同士が互いに接触しないようにな
されている。また、基板保持カセット４には、これを支
え持つための取手４６が両側に形成されている。

【０００５】図１６は上述した遠心乾燥装置に供される
他の基板保持カセット１２の縦断面を示すものである。
図示のように、この基板保持カセット１２においては、
基板３がその略下半分だけ収容される。なお、該図にお
いて、参照符号１２ａは各基板３の外周部が係合すべく
該基板保持カセット１２に並設された受け溝を示し、
又、参照符号１２ｂは取手を示している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の遠心乾
燥装置においては、使用する基板保持カセット４、１２
が比較的大型で占有スペースが大きく、しかもこれらを
ターンテーブル１上にて分散して配置しているため、大
径化してきたシリコンウエハー、例えば８インチサイズ
のシリコンウエハーの乾燥用として使用するためには装
置全体を大型化しなければならないという欠点がある。

【０００７】また、上記のように大きな基板保持カセッ
ト４、１２においては、これに付着する液体が多量とな
ってターンテーブル１を長時間回転させなければ乾燥が
完了せず、また、空気との接触面積が大であることから
ターンテーブル１の回転に伴う空気との摩擦により発生
する静電気の量が多く、基板３にダメージを与える等の
問題がある。

【０００８】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてな
されたものであって、大径の基板の乾燥用としても十分
に小型であると共に、乾燥時間の短縮、静電気による基
板への影響低減を達成した遠心乾燥装置を提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数枚の基板
をその主面同士が平行となるように整列して保持し得る
基板保持カセットを、その保持した基板の主面が回転体
の回転中心に対して略直交する状態にて該回転体に装填
し、該回転体を回転駆動することにより前記基板を乾燥
させる遠心乾燥装置において、前記基板保持カセットを
遠心力作用方向側にて支承するカセット支承部材と、前
記基板の前記基板保持カセットからの脱落を防止する脱
落防止手段とを備えたものである。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例としての遠心乾燥装置
について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、本発
明に係る遠心乾燥装置は、以下に説明する部分以外は図
１３に示した従来の装置と同様に構成されているので、
装置全体としての説明は省略し要部の説明に留める。ま
た、以下の説明において、該従来の遠心乾燥装置の構成
部材と同一または対応する構成部材並びに取り扱う基板
については同じ参照符号を用いている。

【００１１】図１は本発明の実施例としての遠心乾燥装
置の縦断面を示すものであるが、該図において、参照符
号２０は当該遠心乾燥装置において使用される小型の基
板保持カセットを示している。まず、この基板保持カセ
ット２０について詳述する。

【００１２】図２及び図３に示すように、この基板保持
カセット２０は、その左右方向及び前後方向の夫々にお
いて対称の形状にて形成されており、互いに平行に前後
に伸長して設けられた例えば４本の長手基板支持部材２
１と、該各基板支持部材２１の端部間に介装されて該端
部同士を相互結合させる前後一対の平板上の側部材２２
とからなる。なお、当該基板保持カセット２０は、複数
枚、この場合例えば２５枚の基板３をその主面同士が平
行となるように等ピッチにて整列して保持するのである
が、これら各基板３の主面に平行な方向を左右方向、整
列方向を前後方向と称している。図２及び図３から明ら
かなように、これら基板支持部材２１及び側部材２２は
小ねじ２３により締結され、互いに一体化されている。
図３及び図４において、参照符号２１ａは、該小ねじ２
３が螺合すべく基板支持部材２１に形成されたねじ孔を
示すものである。

【００１３】ここで、上記各基板支持部材２１について
詳述する。

【００１４】４本の基板支持部材２１は夫々同形状、同
寸法にて形成されており、図３に示すように、その保持
する基板３の外周に沿うように互いに離間して配置され
ている。そして、その断面形状が、一部が突出した円形
となっている。図４から明らかなように、この突出した
部分に、保持すべき基板３の枚数分の受け溝２１ｂが長
手方向に沿って並設されており、各基板３はその外周部
にてこれら受け溝２１ｂの各々に係合し、隣接する基板
３同士が互いに接触しないようになされている。なお、
これら基板支持部材２１については、かかる形状に限ら
ず、種々の構成を採用し得る。

【００１５】また、上記各基板支持部材２１及び側部材
２２は、例えばペルフルオロアルコキシふっ素樹脂（Ｐ
ＦＡ）ポリ四ふっ化エチレン（ＰＴＦＥ）またはポリエ
ーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等を素材として形成
される。

【００１６】上記した構成の基板保持カセット２０にお
いては、その保持する基板３の主面に平行な方向、すな
わち左右方向における最大寸法は、前後両端に具備した
側部材２２の最大幅寸法Ｂ₁ （図３参照）がそれであ
り、この最大寸法Ｂ₁ は、同じ方向における基板３の外
形寸法、すなわち直径Ｄよりも小さく設定されている。
なお、図３に示すように、この最大寸法Ｂ₁ は側部材２
２の上半部分の幅寸法であり、下半部分の幅寸法Ｂ₂ は
該上半部分よりも更に小さく設定されている。また、図
３において、符号Ｈは基板保持カセット２０の高さを示
すものであるが、この高さＨに関しては、基板２の直径
Ｄの約１／４以下に設定されている。

【００１７】上記のように小型の基板保持カセット２０
を使用することによって、当該遠心乾燥装置に関し、大
径の基板の乾燥用としても十分に小型化できる。また、
小型の基板保持カセット２０は、これに付着してくる液
体の量が少ないことから、乾燥が迅速に行われると共
に、空気との接触面積が小さい故に、基板３に対して悪
影響を及ぼす静電気の発生を抑えることが出来るもので
ある。

【００１８】ところで、図２及び図３に示すように、上
記基板保持カセット２０には、取手２５が設けられてい
る。詳しくは、この取手２５は、基板３の整列方向すな
わち前後方向における端部をなす両側部材２２の外側面
上に夫々２つずつ配置されており、且つ、小ねじ２６に
よって該側部材２２に締結されている。このように、取
手２５を、基板３の主面に平行な方向すなわち左右方向
において突設することをせず、基板３の整列方向である
前後方向において突出するように設けたので、基板保持
カセット２０の該左右方向における最大寸法が前述した
寸法Ｂ₁ 以上となることがない。

【００１９】なお、上記取手２５は、作業者自身が上記
基板保持カセット２０を持つ際にここを把持するほか、
当該基板保持カセット２０を遠心乾燥装置等に対して自
動的に搬入、搬出する装置によって支え持つ際に利用さ
れる。

【００２０】すなわち、この搬入、搬出を行う装置は本
発明に係る遠心乾燥装置と併設され、上記基板保持カセ
ット２０をその取手２５にて吊支するハンガー部材２９
（図２に図示）を具備して該基板保持カセット２０を保
持する保持手段（ハンガー部材２９以外は図示せず）
と、この保持手段を所定経路に沿って移動させることに
よって基板保持カセット２０を遠心乾燥装置に対して出
し入れすべく搬送する搬送手段（図示せず）とを備えて
いる。なお、図２に示すように、ハンガー部材２９はそ
の爪部２９ａにて取手２５に係合する。

【００２１】なお、本実施例においては、上記基板保持
カセット２０が、基板支持部材２１、側部材２２及び取
手２５の各部材を小ねじ等を用いて互いに組み付けてな
るが、この他、該基板保持カセット２０を全体的に一体
成型することも可能である。このように一体成型品とす
ることにより、該基板保持カセットからの塵埃（パーテ
ィクル）の発生が少なくなる。

【００２２】次に、本発明に係る遠心乾燥装置に装備さ
れて上記した基板保持カセット２０が着脱自在に装填さ
れるカセット保持部材としてのクレードル３１について
説明する。

【００２３】図１に示すように、クレードル３１は複数
設けられ、回転体としてのターンテーブル１上であって
その回転中心１ａから偏倚した位置に設けられている。
また、これらクレードル３１は、ターンテーブル１の回
転中心１ａに関して対称に振り分けて配置されている。

【００２４】なお、図１に示すように、ターンテーブル
１は、上部にて開口した円筒状のケーシング３４により
囲僥されており、該開口部を開閉する蓋体３５が設けら
れている。また、この蓋体３５は当該遠心乾燥装置の本
体部分を構成するフレーム３６にヒンジ３７により回動
自在（矢印Ｌにて示している）に取り付けられており、
図示せぬシリンダーによって駆動力を付与されて開閉運
動を行う。

【００２５】図１において実線及び二点鎖線にて示すよ
うに、各クレードル３１は、その保持する基板３の主面
がターンテーブル１の回転中心１ａに対して略直行する
状態になる位置と略平行となる他の位置との間で回動可
能（図１において矢印Ｍにて示している）となってい
る。詳しくは、クレードル３１はその端部にてシャフト
３９に嵌着されており、該シャフト３９はターンテーブ
ル１に対して回転自在に取り付けられている。そして、
該シャフト３９を回転駆動することによってクレードル
３１を上記２つの位置の間において回動させ且つ位置決
めする位置決め手段としてのシリンダ（図示せず）が設
けられている。

【００２６】ここで、クレードル３１の構成について詳
述する。

【００２７】図５及び図６に示すように、クレードル３
１は、略直方体状に形成されて上部にて開口したケース
４１を有している。なお、該両図に示すように、ケース
４１の下面には断面形状がＬ字状の補強部材４２が固着
されている。図５に示すように、このケース４１の一端
には張出部４１ａが設けられており、該張出部４１ａに
はボス４１ｂ（図６にも示す）が固設され、該ボス４１
ｂが前述したシャフト３９に嵌合し、且つ、キー等によ
って該シャフト３９に固定されている。

【００２８】図６から明らかなように、上記ケース４１
の底部であって左右両側には、当該クレードル３１内に
収容される前述の基板保持カセット２０を遠心力作用方
向側、すなわち遠心力が指向する方向側において支承す
る一対のカセット支承部材４５が固設されている。該両
カセット支承部材４５は互いに同形状、同寸法にて形成
されており、その材質として例えば、前述した基板保持
カセット２０と同様のもの（ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＥＥ
Ｋ等）が選定される。図７はこのカセット支承部材４５
の斜視図であるが、該図から特に明らかなように、該カ
セット支承部材４５は比較的長く形成されており、図５
に示すようにケース４１の略全長にわたって延在するよ
うに設けられている。なお、図６及び図７に示すよう
に、カセット支承部材４５の両端部であって背面側に
は、その平坦な底面４５ａに対して垂直な平面４５ｂが
形成されており、該平面４５ｂがケース４１の左右両内
側面に当接している。また、該両平面４５ｂにより挟ま
れる背面側は凹部４５ｃとなっている。

【００２９】図６及び図７に示すように、上記カセット
支承部材４５の内側部には上下２段の平坦な支承面４５
ｅ及び４５ｆが形成されており、基板保持カセット２０
は、その具備した４本の基板支持部材２１がこの支承面
４５ｅ、４５ｆによって略全長にわたって支承されてい
る。この構成により、基板保持カセット２０はカセット
支承部材４５によってその底面側略全域にわたって均等
に支承され、該カセット支承部材４５により補強される
状態となる。

【００３０】図５及び図６に示すように、クレードル３
１のケース４１には、その上部に、左右一対の基板受け
部材４８が取り付けられている。なお、該両基板受け部
材４８は互いに同形状、同寸法にて形成されており、そ
の材質として例えば、上記カセット支承部材４５及び基
板保持カセット２０と同様のもの（ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、
ＰＥＥＫ等）が使用される。図８はこの基板受け部材４
８の斜視図であるが、該図から特に明らかなように、該
基板受け部材４８は全体として略矩形板状に形成されて
いる。そして、図５から明らかなように、各基板３の整
列方向において延在して設けられている。図６及び図８
に示すように、上記基板受け部材４８には、各基板３の
外周部が係合する受け溝４８ａがその長手方向に沿って
並設されている。

【００３１】クレードル３１が図１において二点鎖線に
て示すように下方に回動した際に、上記の基板受け部材
４８は、基板保持カセット２０から各基板３が脱落する
のを防止する脱落防止手段として作用する。このような
脱落防止手段を設け、しかも、前述したカセット支承部
材４５により基板保持カセット２０の補強作用をなして
いることから、該基板保持カセット２０を前記のように
小型なものとすることが可能となっている。

【００３２】なお、前述したように、上記基板受け部材
４８は、基板３を該基板３の主面に平行な方向において
挟むように複数、この場合一対設けられている。このよ
うに、複数の基板受け部材４８を以て基板３を挟むよう
に受けているので、基板３が安定し、脱落を確実に防止
することが出来る。また、図６から明らかなように、該
基板受け部材４８は、遠心力作用方向に対して略垂直に
して基板３の中心を通る仮想直線５０上若しくはその近
傍に配置される。かかる構成の故、基板３の脱落を防止
すべく、最も有効に受ける状態となっている。

【００３３】ここで、クレードル３１に対する上記基板
受け部材４８の取付け構造について詳述する。

【００３４】図８に示すように、基板受け部材４８の背
面側に段差部４８ｂが形成されており、図６にも示すよ
うにこの段差部４８ｂを以てクレードル３１のケース４
１の上縁に載置するように配設している。なお、図５に
も示すように、ケース４１の上縁部には外方に向って伸
びる拡径部４１ｄが形成されているが、基板受け部材４
８が設けられ部分については範囲Ｒ（図５参照）に亘っ
て該拡径部４１ｄは除かれている。

【００３５】図５及び図６に示すように、基板受け部材
４８との間にケース４１の上部を挟むように矩形状の取
付プレート５２が設けられており、該取付プレート５２
はその下部において基板受け部材４８と共にケース４１
に対して小ねじ５３により締結されている。また、取付
プレート５１の上部は基板受け部材４８に対して小ねじ
５３により締結されている。なお、図８から明らかなよ
うに、基板受け部材４８には、これら小ねじ５３が挿通
される挿通孔４８ｄが形成されている。

【００３６】続いて、上記した構成の遠心乾燥装置の動
作を簡単に説明する。

【００３７】まず、図１において、チャンバー３４上に
設けられた蓋体３５をこれを作動させるシリンダ（図示
せず）により開かせる。そして、他のシリンダ（図示せ
ず）の作動を以て各クレードル３１を上方に回動させて
待機させる。

【００３８】この状態において、乾燥すべき基板３を収
容した基板保持カセット２０を該クレードル３１内に入
れ、該クレードル３１の底部に設けられたカセット支承
部材４５上に載置する。この時、クレードル３１に設け
られた基板受け部材４８の各受け溝４８ａに各基板３を
係合させる。

【００３９】次に、上記の各シリンダを逆作動させ、各
クレードル３１を下方に回動させると共に、チャンバー
３４上の蓋体３５を閉じる。このようにクレードル３１
が下方に回動することによって各基板３はその主面がタ
ーンテーブル１の回転中心１ａ（図１参照）に対して略
垂直となる。この状態でターンテーブル１を回転駆動す
る。これによって各基板３に遠心力が作用し、基板３の
表面に付着している液体が飛散する。

【００４０】各基板３の表面から液体が取り除かれて乾
燥が完了したら、ターンテーブル１を停止する。そし
て、クレードル３１を上方に回動させると共に、蓋体３
５を開く。この状態で基板３をこれを保持した基板保持
カセット２０と共に回収する。

【００４１】なお、クレードル３１に対する基板保持カ
セット２０の搬入及び搬出は従来の基板保持カセットと
同様に単時間に簡単にこれを行うことができる。

【００４２】ところで、本実施例においては、基板保持
カセット２０からの基板３の脱落を防止する手段として
基板受け部材４８を設けているが、この他の脱落防止手
段として例えば、クレードル３１自体に専用の蓋体（図
示せず）を開閉自在に設けることが考えられる。しかし
ながら、このように蓋体を設けると、構成が比較的複雑
になると共に、基板保持カセット２０の出し入れの都度
この蓋体を操作しなければならず、時間的ロスの増大を
招来する。

【００４３】なお、本実施例においては、取り扱われる
基板３が、例えばその直径が８インチ（約２００ｍｍ）
のシリコンウエハーであるが、これより大径あるいは小
径のシリコンウエハーを扱う場合には基盤保持カセット
２０の諸寸法を適宜増減させることは勿論のこと、本実
施例におけるような円形ではない基板を扱う場合にはそ
れに応じて各部寸法等を変化させることは言及するまで
もない。

【００４４】また、本実施例の遠心乾燥装
置は、ターンテーブル１の回転中心１ａが重力方向と略
一致する状態にて設置されるが、この他、回転中心が水
平となる遠心乾燥装置に関しても本発明を適用すること
が可能である。

【００４５】図９は、図１に示した遠心乾燥装置にカセ
ット部材として装備されるべき他のクレードル６１を示
すものである。なお、当該クレードル６１は、以下に説
明する部分以外は図５乃至図８に基づいて説明したクレ
ードル３１と同様に構成されているので、クレードル全
体としての説明は省略し要部の説明に留める。また、以
下の説明において、該クレードル３１の構成部分と同一
の構成部分については同じ参照符号を用いている。

【００４６】図９に示すように、当該クレードル６１に
おいては、基板保持カセット２０を遠心力作用方向側に
おいて支承すべく一対設けられたカセット支承部材６２
が、上記クレードル３１が具備するカセット支承部材４
５とは異なっている。なお、これら一対のカセット支承
部材６２は互いに同形状、同寸法にて形成されており、
上記クレードル３１と同様の材質にて成形されている。

【００４７】図１０乃至図１２に当該カセット支承部材
６２の詳細を示す。該各図から明らかなように、該カセ
ット支承部材６２には上下２段の平坦な支承面６２ａ及
び６２ｂが形成されており、図９に示すように、基板保
持カセット２０は、その具備した４本の基板支持部材２
１がこれら支承面６２ａ、６２ｂによって略全長に亘っ
て支承される。

【００４８】カセット支承部材６２には、上記支承面６
２ｂの近傍に、その底面６２ｃに対して垂直に伸長する
基板受部６２ｄが形成されており、該基板受部６２ｄの
頂部には、各基板３の外周部が係合する多数の受け溝６
２ｅが並設されている。そして、図９から明らかなよう
に、基板保持カセット２０が該カセット支承部材６２に
より支承された状態において、各基板３は該受け溝６２
ｅに係合して保持され、基板保持カセット２０（の基板
支持部材２１に形成された受け溝２１ｂ）から離脱する
ようになされている。なお、このとき、各基板３は、上
方に配設された基板受け部材４８の受け溝４８ａにも係
合する。このように、基板３をクレードル６１内に装填
したときに各受け溝によりしっかりと支える構成の故、
基板３が安定し、高速回転による良好な乾燥状態が得ら
れる。また、各基板３が基板保持カセット２０からカセ
ット支承部材６２に受け渡された状態で遠心乾燥が行わ
れるから、該基板保持カセット２０の摩耗が抑えられ
る。

【００４９】なお、図１０及び図１１に示すように、カ
セット支承部材６２には、該カセット支承部材６２をク
レードル本体としてのケース４１に対して締結するため
のボルト（図示せず）が挿通される挿通孔６２ｆが形成
されている。また、上記した各支承面６２ａ、６２ｂよ
りも低い位置に底面が位置する凹部６２ｇが形成され、
該凹部６２ｇの底面には貫通孔６２ｈが形成されてい
る。これら凹部６２ｇ及び貫通孔６２ｈは、基板保持カ
セット２０がその保持した基板３と共に該カセット支承
部材６２上に載置されたときに、該基板保持カセット２
０及び基板３から滴下する液体を集めてクレードル６１
の下方に落とすためのものである。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による遠心
乾燥装置においては、基板保持カセットを遠心力作用方
向側にて支承して該基板保持カセットに対する補強作用
をなすカセット支承部材と、該基板保持カセットからの
基板の脱落を防止する脱落防止手段を有し、以て、該基
板保持カセットの小型化を可能としている。具体的に
は、保持する基板の主面に平行な方向における該基板保
持カセットの最大寸法を該方向における基板の外形寸法
よりも小としている。このように小型の基板保持カセッ
トの使用を可能としたため、大径の基板の乾燥用として
も十分に小型化できるという効果がある。また、小型の
基板保持カセットは、これに付着する液体の量が少ない
ことから乾燥が迅速に行われると共に、空気との接触面
積が小さい故に、基板に悪影響を及ぼす静電気の発生を
抑えることができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例としての遠心乾燥装置
の縦断面図である。

【図２】図２は、図１に示した遠心乾燥装置に装填され
るべき基板保持カセット及び該カセットに保持された基
板を示す一部断面を含む側面図である。

【図３】図３は、図２に示した基板保持カセット及び基
板の、半断面を含む正面図である。

【図４】図４は、図２及び図３に示した基板保持カセッ
トが具備する基板支持部材とこれにより保持される基板
の一部を示す斜視図である。

【図５】図５は、図１に示した遠心乾燥装置が具備した
カセット保持部材としてのクレードルと該クレードルに
収容された基板保持カセットを示す縦断面図である。

【図６】図６は、図５に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図７】図７は、図５及び図６に示したクレードルに設
けられたカセット支承部材を示す斜視図である。

【図８】図８は、図５及び図６に示したクレードルに設
けられた脱落防止手段としての基板受け部材の斜視図で
ある。

【図９】図９は、図１に示した遠心乾燥装置にカセット
保持部材として装備されるべき他のクレードルと該クレ
ードルに収容された基板保持カセットを示す縦断面図で
ある。

【図１０】図１０は、図９に示したクレードルが具備す
るカセット支承部材の側面図である。

【図１１】図１１は、図１０に関するＥ−Ｅ矢視図であ
る。

【図１２】図１２は、図１０に関するＦ−Ｆ矢視図であ
る。

【図１３】図１３は、従来の遠心乾燥装置の縦断面図で
ある。

【図１４】図１４は、図１３に示した遠心乾燥装置に装
填されるべき基板保持カセットの縦断面図である。

【図１５】図１５は、図１４に関するＣ−Ｃ断面図であ
る。

【図１６】図１６は、図１３に示した遠心乾燥装置に装
填されるべき他の基板保持カセットの縦断面図である。

【符号の説明】

１ターンテーブル（回転体）１ａ回転中心３基板８モータ２０基板保持カセット２１基板支持部材２２側部材２５取手２９ハンガー部材３１、６１クレードル（カセット保持部
材）４１ケース４５、６２カセット支承部材４８基板受け部材（脱落防止手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数枚の基板をその主面同士が平行とな
るように整列して保持し得る基板保持カセットを、その
保持した基板の主面が回転体の回転中心に対して略直交
する状態にて該回転体に装填し、該回転体を回転駆動す
ることにより前記基板を乾燥させる遠心乾燥装置におい
て、前記基板保持カセットを遠心力作用方向側にて支承
するカセット支承部材と、前記基板の前記基板保持カセ
ットからの脱落を防止する脱落防止手段とを備えたこと
を特徴とする遠心乾燥装置。
【請求項２】前記基板保持カセットは前記回転体の回
転中心から偏倚した位置に装填されることを特徴とする
請求項１記載の遠心乾燥装置。
【請求項３】前記回転体には、前記基板保持カセット
を着脱自在に収容保持するカセット保持部材が、前記基
板の主面が前記回転体の回転中心に対して略直交する状
態になる位置と他の位置との間で移動可能に設けられ、
前記カセット支承部材及び脱落防止手段が該カセット保
持部材上に設けられていることを特徴とする請求項１又
は請求項２記載の遠心乾燥装置。
【請求項４】前記脱落防止手段は、前記基板の整列方
向において延在して設けられて前記基板の外周部が係合
する複数の受け溝が長手方向に沿って並設された基板受
け部材からなることを特徴とする請求項１乃至請求項３
のうちいずれか１記載の遠心乾燥装置。
【請求項５】前記基板受け部材は、前記基板を該基板
の主面に平行な方向において挟むように複数設けられて
いることを特徴とする請求項４記載の遠心乾燥装置。
【請求項６】前記基板受け部材は、遠心力作用方向に
対して略垂直にして前記基板の中心を通る仮想直線上若
しくはその近傍に配置されていることを特徴とする請求
項４又は請求項５記載の遠心乾燥装置。
【請求項７】前記基板保持カセットは、その保持する
基板の主面に平行な方向における最大寸法が該方向にお
ける基板の外形寸法よりも小となされていることを特徴
とする請求項１乃至請求項６のうちいずれか１記載の遠
心乾燥装置。
【請求項８】前記基板保持カセットは、略平行に且つ
前記基板の外周に沿うべく互いに離間して配置されると
共に各々に前記基板の外周部が係合する複数の受け溝が
長手方向に沿って並設された複数の基板支持部材と、該
基板支持部材の端部間に介装されて該端部同士を相互結
合させる側部材とからなることを特徴とする請求項１乃
至請求項７のうちいずれか１記載の遠心乾燥装置。
【請求項９】前記カセット支承部材は前記基板支持部
材を支承することを特徴とする請求項８記載の遠心乾燥
装置。
【請求項１０】前記カセット支承部材には、前記基板
の外周部が係合する複数の受け溝が並設され、前記基板
保持カセットが該カセット支承部材により支承された状
態において前記基板が該受け溝に係合すると共に該基板
保持カセットから離脱するようになされていることを特
徴とする請求項１乃至請求項９のうちいずれか１記載の
遠心乾燥装置。