JPH07142308A

JPH07142308A - 基板供給装置および基板収容容器

Info

Publication number: JPH07142308A
Application number: JP5169627A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Saegusa; 克己三枝
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-06-16
Filing date: 1993-06-16
Publication date: 1995-06-02

Abstract

(57)【要約】【目的】露光装置等に対するレチクル等の基板の供給
工程を簡略化する。【構成】露光装置の露光台５にレチクルＬを供給する
ライブラリ１は、カセット搬出入位置Ｐ₁ とレチクル取
出位置Ｐ₂ の間を軌道帯１１によって往復移動される複
数のボックス１２を有し、各ボックス１２は、カセット
搬出入位置Ｐ₁ でカセット２を受取り、レチクル取出位
置Ｐ₂ に運ばれる。ここで、カセット開閉アーム３によ
ってカセット２の扉を開き、ハンド４によってカセット
２からレチクルＬを取出して露光台５へ運ぶ。カセット
２は、ボックス１２とともにカセット搬出入位置Ｐ₁ へ
もどり、ここでボックス１２から取出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や液晶
製造装置において、露光装置等にレチクルやマスク等の
基板を供給するための基板供給装置および基板収容容器
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置や液晶製造装置において
は、露光装置等にレチクルやマスク等の基板を自動的に
供給する基板供給装置が用いられる。従来、このような
基板供給装置は、図１５に示すように、各基板を入れた
カセット１０２を垂直方向に積重ねて収納するライブラ
リ１０１と、ライブラリ１０１からカセット１０２を順
次取出すカセットハンド１０４ａと、取出されたカセッ
ト１０２を開くカセット開閉装置１０３と、開かれたカ
セット１０２からレチクル等の基板Ｗを取出して露光装
置１０５へ搬送するレチクルハンド１０４ｂからなり、
カセットハンド１０４ａはライブラリ１０１に近接する
エレベータ１０６によって垂直方向へ移動され、ライブ
ラリ１０１に積層された任意のカセット１０２を取出す
ことができるように構成されている。

【０００３】また、各基板を収容するカセットは、基板
の底面を支持する下皿と、これを覆う上蓋からなり、上
蓋に設けられた押えピン等によって基板を下皿に押圧す
ることで、基板のガタつきを防ぐのが一般的であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、ライブラリからカセットハンドによっ
てカセットを取出してカセット開閉装置へ運び、カセッ
トからレチクルハンドによって基板を取出して露光装置
に運ぶ工程が複雑で多くの駆動機構を必要とするため、
装置全体の大型化や複雑化を招き、半導体や液晶の製造
コストの削減を妨げていた。

【０００５】すなわち、ライブラリがカセットを垂直方
向に積重ねて収容するものであるため、各カセットをラ
イブラリから取出すカセットハンドをエレベータによっ
て上下動させなければならず、また、垂直にカセットを
積重ねたものを横方向に数列設けることで収容能力を向
上させたライブラリの場合には、カセットハンドを上下
動させるエレベータをさらに水平方向に移動させる必要
があるため、作業工程数が多く、かつ、ライブラリから
カセットを取出す機構が著しく大型化し、加えて、その
駆動部分も複雑になる。さらに、ライブラリに新たなカ
セットを補充する場合は、ライブラリの棚に手動で搬入
するか、あるいはロボットによって所定の棚に搬入した
うえでカセットハンドによって入れかえる等の工程を必
要とするため、基板供給工程の簡略化や自動化が困難で
あった。

【０００６】また、各基板を収容するカセットは、前述
のように、上蓋と下皿の間に基板を挟持しているだけで
あるため、基板のガタつきを防ぐことができず、カセッ
トの移動中に基板が振動して塵を発生し、基板の表面が
汚染されたり、カセット内にゴミが溜まるおそれがあ
る。また、カセットの中の基板が水平になる状態（水平
姿勢）で搬送しなければならないという制約があるうえ
に、水平姿勢で搬送しても搬送速度に限界がある。

【０００７】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、基板の供給工程の簡略化
が容易であり、かつライブラリからカセットを取出すハ
ンド等に大型で複雑な駆動機構を必要としない基板供給
装置を提供することを目的とするものである。また、本
発明の他の目的は、収容した基板のガタつきを防ぐこと
のできる基板収容容器を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の基板供給装置は、それぞれ基板を入れた基板
収容容器を受取りおよび排出自在に構成された複数のキ
ャリヤと、各キャリヤを所定の無限軌道に沿って移動さ
せる軌道帯からなる収納手段を有することを特徴とす
る。

【０００９】また、本発明の基板収容容器は、支持手段
を有する第１の収容部材と、前記支持手段に支持された
基板を前記第１の収容部材の所定の位置へ弾力的に拘束
する弾性拘束手段と、前記基板を前記支持手段へ押圧す
る押圧手段を有する第２の収容部材からなり、前記弾性
拘束手段が前記基板を拘束しない状態に変化自在である
ことを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記装置によれば、収納手段に対する基板収容
容器の補充や取出しを定位置で連続的に行うことができ
るため、露光装置等に対する基板の供給工程を簡略化す
ることができる。また、基板収容容器を取出すハンドを
収納手段に沿って移動させる必要がないため、該ハンド
に大型で複雑な駆動機構を必要としない。その結果、装
置の小型化および簡略化が容易である。

【００１１】また、上記基板収容容器は、これに収容さ
れた基板が第１の収容部材の所定の位置へ弾力的に拘束
されるため、基板収容容器を高速度で移動させても、ま
た、基板収容容器を垂直姿勢で移動させても、基板がガ
タつくおそれがない。基板収容容器から基板を取出すと
きは、これを拘束しない状態に弾性拘束手段を変化させ
れば、基板をハンド等によって搬出可能になる。

【００１２】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１３】図１は、一実施例を示す模式斜視図であっ
て、本実施例の基板供給装置Ｅは、一対のローラ１１ａ
に支持された軌道帯１１と、その長さ方向に所定の間隔
で保持された複数のキャリヤであるボックス１２と、軌
道帯１１の外側に配置されたガイドレール１３からなる
収納手段であるライブラリ１を有し、軌道帯１１は、水
平方向に無限軌道である長尺のループ状の移動路Ｐに沿
って各ボックス１２を移動させる。各ボックス１２は、
軌道帯１１の両側においてそれぞれ開口する方形断面の
筒状体であり、一対の側面１２ａ，１２ｂのうちの一方
の側面１２ａが軌道帯１１のリンクに結合されており、
他方の側面１２ｂは、ガイドレール１３に沿って摺動自
在である。

【００１４】一方のローラ１１ａが図示しないモータに
よって駆動されると、軌道帯１１は移動路Ｐに沿って時
計回りに移動し、各ボックス１２を順次、図示左端のカ
セット搬出入位置Ｐ₁ に向って搬送する。軌道帯１１は
カセット搬出入位置Ｐ₁ においてその移動方向を反転す
るため、各ボックス１２は時計回りに９０゜回動しなが
らカセット搬出入位置Ｐ₁ に到達する。

【００１５】基板収容容器である各カセット２は、その
内部に収納された基板であるレチクルが水平になるよう
な姿勢（以下、「水平姿勢」という。）でカセット搬出
入位置Ｐ₁ に待機しており、手動あるいは図示しないロ
ボットによってカセット搬出入位置Ｐ₁ に到達したボッ
クス１２内へ水平姿勢のままで挿入される。カセット２
を受入れたボックス１２は軌道帯１１の移動とともにさ
らに時計回りに９０゜回動したうえで、図示右方へ移動
し、前述と同様に９０゜回動しながらレチクル取出位置
Ｐ₂ へ到達する。

【００１６】レチクル取出位置Ｐ₂ にはカセット開閉ア
ーム３およびハンド４が設けられており、カセット開閉
アーム３がレチクル取出位置Ｐ₂ へ到達したカセット２
のカセット扉を開くと、ハンド４がカセット２内のレチ
クルＬを取出して露光台５へ搬送する。一連の露光終了
後にレチクルＬはカセット２へもどされる。

【００１７】この後、カセット２は、軌道帯１１の移動
によって９０゜回動されたうえでカセット搬出入位置Ｐ
₁ へ向って搬送され、カセット搬出入位置Ｐ₁ において
新たなカセット２が搬入される前にボックス１２から排
出される。このようなボックス１２に対するカセット２
の搬入搬出およびカセット２からレチクルＬを取出す作
業を、それぞれ定位置で中断することなく連続して行う
ことができるためにレチクル供給工程の短縮および簡略
化が容易であり、加えて、複雑な駆動機構を必要とせ
ず、装置全体の小形化も容易である。

【００１８】本実施例の基板供給装置Ｅは、例えば、図
２に示すような半導体製造装置Ｓの一側面板６の内側に
近接して配設される。レチクルを収納したカセット２の
搬入および排出は、カセット搬出入位置Ｐ₁ に面して設
けられた窓６ａを通って行われる。必要であれば、軌道
帯１１によって搬送中のカセット２を点検するための開
口６ｂを設けてもよい。また、カセット２を排出するた
めの第２の窓（図示せず）を設けることもできる。

【００１９】次に、各ボックス１２について詳細に説明
する。

【００２０】図３に示すように、各ボックス１２はその
両側面１２ａ，１２ｂのそれぞれに係合部材１４ａ，１
４ｂを有し、その一方を軌道帯１１のリンクの保持部材
１１ｂに契合させることによって軌道帯１１に連結され
る。また、各ボックス１２の内面には複数の弾性部材１
２ｃが固着されており、これらはボックス１２に挿入さ
れたカセット２の外面に圧接され、搬送中のカセット２
のガタつきを防止する。なお、ボックス１２がカセット
搬出入位置Ｐ₁ に到達したときには、図示しない吸引力
あるいは電気的アクチュエータ等によって弾性部材１２
ｃの押圧力を解除することが必要である。

【００２１】図４は、一変形例を示すもので、本変形例
は、ボックス１２を水平方向に往復移動させる軌道帯１
１の替わりに、Ｌ字型のループ状の移動路Ａに沿って各
ボックス５２を移動させる軌道帯５１を用いたものであ
る。このように、ボックスの移動路の長さを長くするこ
とによって数多くのカセットを待機させることができ
る。

【００２２】また、図５に示すように、軌道帯６１の移
動路Ｂを傾斜させることにより、カセット搬出入位置Ｂ
₁ とレチクル取出位置Ｂ₂ の高さを変えることもでき
る。

【００２３】さらには、図６の（ａ）に示すように、軌
道帯７１の移動路の往復部分Ｃａ，Ｃｂを垂直方向に離
間させたり、図６の（ｂ）に示すように三角形のループ
状の移動路Ｄに沿って移動する軌道帯８１を用いること
で、カセット搬出入位置Ｄ₁やレチクル取出位置Ｄ₂ の
高さや水平方向の位置を任意に設定できる。

【００２４】さらに、レチクル取出位置におけるカセッ
トがレチクルを垂直に保持する姿勢（垂直姿勢）になる
ように構成することも容易である。

【００２５】次にカセット２の構成を説明する。カセッ
ト２は図７に示す第１の収容部材である下皿２１と図８
に示す第２の収容部材である上蓋３０からなり、下皿２
１は、平板状の本体２２と、その四隅のそれぞれに立設
された支持手段である底面支持部材２３ａ〜２３ｄと、
本体２２の一対の側縁２２ａ，２２ｂのそれぞれに立上
り部２２ｃ，２２ｄを介して一体的に設けられたフラン
ジ部材２４ａ，２４ｂと、各フランジ部材２４ａ，２４
ｂの内側にこれに近接して一対ずつ立設された第１の板
バネユニット２５ａ〜２５ｄと、これらとともに弾性拘
束手段を構成する、各底面支持部材２３ａ〜２３ｄと一
体的に設けられた第２の板バネユニット２６ａ〜２６ｄ
を有する。

【００２６】各底面支持部材２３ａ〜２３ｄは、破線で
示すレチクルＬの下面を支持するレチクル支持面２３ｅ
〜２３ｈを有する。第１の板バネユニット２５ａ〜２５
ｄおよび第２の板バネユニット２６ａ〜２６ｄは、それ
ぞれ本体２２に立設された支持体２７と形状記憶合金で
作られた弾性部材である板バネ２８を有し、各板バネ２
８は、レチクルＬの外周縁に付勢されてこれを下皿２１
の所定の位置に弾力的に拘束し、本体２２に張りめぐら
された配線２９に接続されたヒータ（後述する）によっ
て加熱されたときに、レチクルＬの外周縁から離れてこ
れを拘束しない形状に変形するように構成されている。
なお、第２の板バネユニット２６ａ〜２６ｄの支持体２
７はそれぞれ隣接する底面支持部材２３ａ〜２３ｄと一
体的である。

【００２７】また、下皿２１の各フランジ部材２４ａ，
２４ｂはその中央付近に切欠２４ｃ，２４ｄと位置決め
ピン２４ｅ，２４ｆを有し、これらはそれぞれ後述する
上蓋３０の係止爪３１ａ，３１ｂおよび位置決め穴３２
ａに係合自在である。各フランジ部材２４ａ，２４ｂに
は、さらに、前述の配線２９を外部の電源に接続するた
めの接点２９ａ，２９ｂが設けられている。

【００２８】上蓋３０は、図８および図１１に示すよう
に方形の板状体である本体３０ａと、一対の側板３３
ａ，３３ｂと一対の端面板３４ａ，３４ｂからなり、各
側板３３ａ，３３ｂは係止爪３１ａ，３１ｂを枢動自在
に支持する突出部３５ａ，３５ｂを有し、各突出部３５
ａ，３５ｂには前述の位置決め穴３２ａが形成されてい
る。さらに、本体３０ａは、端面板３４ａ，３４ｂの一
方に近接する位置にすべり止め用の溝３０ｂ、他方に近
接する位置に方向指示用の矢印３０ｃを有する。また上
蓋３０の本体３０ａの下面には、下皿２１の各底面支持
部材２３ａ〜２３ｄとともにレチクルＬを挟持する押圧
手段である押えピン３６ａ〜３６ｄが一体的に設けられ
ている。

【００２９】次に、各板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，
２６ａ〜２６ｄについて詳細に説明する。

【００３０】図９の（ａ）および（ｂ）に示すように、
各板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，２６ａ〜２６ｄの板
バネ２８の背面には絶縁シート２８ａを介して駆動手段
であるヒータ２８ｂが固着され、板バネ２８の基部は両
面のそれぞれの絶縁材２７ａを介してビス２７ｂによっ
て下皿２１の本体２２に固着されている。板バネ２８の
立上り部分の上半部は、ヒータ２８ｂとともに耐摩耗性
にすぐれた弾性シート２８ｃによって覆われており、ヒ
ータ２８ｂの非通電時は、図１０の（ａ）に示すよう
に、下皿２１の内方へ湾曲し、底面支持部材２３ａ〜２
３ｄに支持されたレチクルＬの外周縁へ押圧されてこれ
を拘束する形状（以下、「拘束形状」という。）を保
ち、ヒータ２８ｂの通電によって例えば室温より数十度
高い温度に加熱されると、図１０の（ｂ）に示すように
立上がってレチクルＬの外周縁から後退してこれを拘束
しない形状（以下、「開放形状」という。）に変形す
る。

【００３１】レチクルＬをカセット２に収容するには、
上蓋３０を取りはずした状態で下皿２１の上方へ搬入
し、接点２９ａ，２９ｂを図示しない電源に接続して各
板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，２６ａ〜２６ｄのヒー
タ２８ｂに通電し、板バネ２８を加熱して開放形状に変
形させる。次いでレチクルＬを下降させてその下面を底
面支持部材２３ａ〜２３ｄに支持させ、電源を切り、各
板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，２６ａ〜２６ｄの板バ
ネ２８を拘束形状へ復帰させる。このように、レチクル
Ｌの外周縁を四方から板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，
２６ａ〜２６ｄによって弾性的に拘束したうえで、上蓋
３０を下降させて各押えピン３６ａ〜３６ｄをレチクル
Ｌの上面に当接させたのち、図１１に示すように、上蓋
３０の係止爪３１ａ，３１ｂをそれぞれ下皿２１の切欠
２４ｃ，２４ｄに係止させる。各係止爪３１ａ，３１ｂ
はバネ３０ｄ，３０ｅによって下皿２１のフランジ部材
２４ａ，２４ｂの図示下面に押圧され、これによって上
蓋３０と下皿２１を一体化する。

【００３２】このようにしてカセット２に収納されたレ
チクルＬは、上下方向を底面支持部材２３ａ〜２３ｄと
押えピン３６ａ〜３６ｄによって挟持され、加えて、そ
の外周縁を各板バネユニット２５ａ〜２５ｄ，２６ａ〜
２６ｄの板バネ２８によって弾力的に拘束されるため、
カセット２を水平姿勢で搬送するときはむろんのこと、
カセット２を垂直状態あるいは任意に傾斜させて搬送す
るときでも、内部のレチクルＬがガタつくおそれがな
い。従って、カセット２を任意の方向に高速度で搬送す
ることができるうえに、レチクルＬとカセット２の摩擦
によって塵が発生し、レチクルＬの表面が汚染されたり
カセット２の内部にゴミがたまる心配もない。

【００３３】なお、カセット２を開くには図１２に示す
ような開閉装置Ｍを用いるとよい。

【００３４】開閉装置Ｍは、カセット２の下皿２１を載
置する固定台４０と、これに固定された支柱４０ａに沿
って図示上下方向に往復移動自在な可動枠４１と、可動
枠４１の複数の貫通孔をそれぞれ貫通して図示上下方向
に往復移動自在な可動ピン４２からなり、可動枠４１と
可動ピン４２は個別の駆動装置によって上下方向に往復
移動される。可動枠４１は、それぞれカセット２の上蓋
３０の係止爪３１ａ，３１ｂのそれぞれの突出部３１ｃ
に係合し、バネ３０ｄ，３０ｅに抗して係止爪３１ａ，
３１ｂをそれぞれ駆動する一対の作動部材４１ａを有
し、また、各可動ピン４２は上蓋３０の上面に係合して
これを図示下方へ押圧自在である。なお、固定台４０
は、カセット２がこれに載置されたときに各接点２９
ａ，２９ｂを図示しない電源に接続する端子４０ｂを有
する。

【００３５】カセット２を開くには、まず、図１３の
（ａ）に示すように、開閉装置Ｍの固定台４０に下皿２
１を保持させ、可動ピン４２を下降させて上蓋３０に押
圧したうえで可動枠４１を上昇させる。可動枠４１の上
昇によって各作動部材４１ａを各係止爪３１ａ，３１ｂ
の突出部３１ｃに係合させ（図１３の（ｂ）に示す）、
バネ３０ｄ，３０ｅに抗して各係止爪３１ａ，３１ｂを
枢動させることで、各係止爪３１ａ，３１ｂと下皿２１
の各フランジ部材２４ａ，２４ｂの切欠２４ｃ，２４ｄ
の係合を解除し（図１３の（ｃ）に示す）、次いで可動
枠４１を可動ピン４２とともに上昇させることで上蓋３
０を上昇させ（図１３の（ｄ）に示す）、前述の電源か
ら各板バネ２８のヒータに電流を供給してこれを開放形
状に変形させたうえで（図１３の（ｅ）に示す）、レチ
クルＬを取りだす図１４は、各板バネユニット２５ａ〜
２５ｄ、２６ａ〜２６ｄの変形例を示すもので、本変形
例の板バネユニット５５は、形状記憶合金で作られた板
バネ２８の替わりに、これと同様の形状をもち、一般の
弾性材料で作られた当接手段である板バネ５８と、前記
支持体２７と同様の支持体５７と、板バネ５８と支持体
５７の間に配設され、図１４の（ａ）に示すように、板
バネ５８をレチクルＬの外周縁に付勢する弾性部材であ
るコイル５９からなる。コイル５９は、形状記憶合金に
よって作られており、図示しない配線に接続されてい
る。レチクルＬをカセット２から取出すときは、前述の
方法で上蓋３０を開放し、前記配線を所定の電源に接続
して直接コイル５９に通電することでこれを加熱して、
図１４の（ｂ）に示すように変形、短縮させ、レチクル
Ｌの外周縁から後退させる。次いで、図示しないレチク
ルハンドによって下皿２１から取出す。

【００３６】なお、板バネ２８およびコイル５９を形状
記憶合金で作る替わりに、バイメタルまたは磁歪合金で
作り、これらを加熱または励磁することで変形させるよ
うに構成することもできる。

【００３７】

【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。

【００３８】ライブラリがレチクル等の基板を搬送する
機能を有し、ライブラリに対するカセットの補充や取出
しをそれぞれ定位置で行うことができるため、基板の供
給工程を簡略化することができる。また、カセットを取
出す装置に大型で複雑な駆動機構を必要としない。

【００３９】その結果、装置全体の小型化やサイクルの
短縮が容易であり、半導体や液晶の製造コストを削減で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例を示す模式斜視図である。

【図２】図１の装置と半導体製造装置の側面板との関係
を示す説明図である。

【図３】ボックスおよびこれと軌道帯の連結部を説明す
る説明図である。

【図４】本実施例のライブラリの一変形例を示す模式斜
視図である。

【図５】本実施例のライブラリの別の変形例を説明する
説明図である。

【図６】本実施例のライブラリのさらに別の２つの変形
例を説明する説明図である。

【図７】カセットの下皿を示す斜視図である。

【図８】カセットの上蓋を示す斜視図である。

【図９】板バネユニットを示すもので、（ａ）は断面
図、（ｂ）は背面図である。

【図１０】板バネの形状の変化を示すもので、（ａ）は
ヒータの非通電時の形状、（ｂ）は通電時の形状をそれ
ぞれ示す図である。

【図１１】カセットにレチクルを収容し、上蓋と下皿を
閉じた状態を示す断面図である。

【図１２】レチクルを収容したカセットと開閉装置を示
す断面図である。

【図１３】開閉装置によってカセットを開く工程を説明
するもので、（ａ）はカセットを開く前、（ｂ）は開閉
装置の可動ピンを下降させた状態、（ｃ）は開閉装置の
可動枠を上昇させてカセットの係止爪を枢動させた状
態、（ｄ）は開閉装置とともに上蓋を上昇させた状態、
（ｅ）は上蓋を取りはずしたのち、板バネを加熱、変形
させた状態をそれぞれ示す部分断面図である。

【図１４】板バネユニットの一変形例を示すもので、
（ａ）はコイルの非通電時の状態、（ｂ）はコイルの通
電時の状態をそれぞれ示す部分断面図である。

【図１５】レチクル供給工程を説明する説明図である。

【符号の説明】

１ライブラリ２カセット６側面板１１，５１，６１，７１，８１軌道帯１２，５２ボックス１３ガイドレール２１下皿２３ａ〜２３ｄ底面支持部材２５ａ〜２５ｄ，２６ａ〜２６ｄ，５５板バネユニ
ット２８，５８板バネ２８ｂヒータ３０上蓋３１ａ，３１ｂ係止爪３６ａ〜３６ｄ押えピン５９コイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれ基板を入れた基板収容容器を受
取りおよび排出自在に構成された複数のキャリヤと、各
キャリヤを所定の無限軌道に沿って移動させる軌道帯か
らなる収納手段を有する基板供給装置。
【請求項２】各キャリヤが無限軌道上の任意の位置で
基板収容容器または基板を受取りおよび排出自在である
ことを特徴とする請求項１記載の基板供給装置。
【請求項３】支持手段を有する第１の収容部材と、前
記支持手段に支持された基板を前記第１の収容部材の所
定の位置へ弾力的に拘束する弾性拘束手段と、前記基板
を前記支持手段へ押圧する押圧手段を有する第２の収容
部材からなり、前記弾性拘束手段が前記基板を拘束しな
い状態に変化自在であることを特徴とする基板収容容
器。
【請求項４】弾性拘束手段を変化させるための駆動手
段が設けられていることを特徴とする請求項３記載の基
板収容容器。
【請求項５】弾性拘束手段が形状記憶合金またはバイ
メタルまたは磁歪合金で作られた複数の弾性部材からな
ることを特徴とする請求項３または４記載の基板収容容
器。
【請求項６】駆動手段が各弾性部材に一体的に設けら
れたヒータからなることを特徴とする請求項５記載の基
板収容容器。
【請求項７】弾性拘束手段が形状記憶合金またはバイ
メタルまたは磁歪合金で作られた複数の弾性部材と、こ
れによって基板の外周縁に付勢される当接手段からな
り、各弾性部材が駆動手段を兼ねていることを特徴とす
る請求項４記載の基板収容容器。