JPH07140313A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

Info

Publication number
JPH07140313A
JPH07140313A JP28485793A JP28485793A JPH07140313A JP H07140313 A JPH07140313 A JP H07140313A JP 28485793 A JP28485793 A JP 28485793A JP 28485793 A JP28485793 A JP 28485793A JP H07140313 A JPH07140313 A JP H07140313A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
colored
color
color filter
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28485793A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuki Mori
靖樹 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP28485793A priority Critical patent/JPH07140313A/en
Publication of JPH07140313A publication Critical patent/JPH07140313A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the process for production of color filters which are formed with fine patterns of multiple colors having a uniform thickness and high accuracy on a substrate with the good follow-up characteristic of a photosensitive film and workability and have excellent heat resistance. CONSTITUTION:This process for production of the color filters comprise forming the multicolor patterns by repeating (i) a stage for sticking the photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer colored to one color on a transparent substrate in such a manner that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, (ii) a stage for forming the prescribed patterns by exposing and (iii) a stage for peeling the base film and developing the photosensitive film. The color filters are formed as a stripe shape in the sticking stage described above. The feed direction of the photosensitive film is set at a direction parallel with the longitudinal direction of the pixels of the stripe shape of the first color at the time of sticking of the second and subsequent colors.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に2種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又モザイク状のパターンを一定の間
隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。これら
のパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整
然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必
要があり、種々のカラーフイルタの製造法が提案されて
いる。例えばスクリーン印刷法では低コストのカラーフ
イルタの形成が可能である。またフォトリソグラフィ技
術を用いる方法、すなわち、カラーフイルタ用基板上に
形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外線
照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形成しなが
ら染色する方法がある。
2. Description of the Related Art A color filter is an optically transparent substrate, such as glass, having two or more kinds of very fine stripe-like or mosaic-like patterns with different hues, which are arranged in parallel or parallel to each other. It is a crossed arrangement. It is necessary for these patterns to arrange hues in a predetermined order at predetermined intervals and to form a uniform layer with little thickness unevenness, and various color filter manufacturing methods have been proposed. For example, the screen printing method can form a low-cost color filter. Further, a method using a photolithography technique, that is, a method of irradiating a transparent film formed on a color filter substrate with ultraviolet rays through a predetermined negative mask to remove an unexposed portion, and then dyeing while forming a stain-proof layer is available. is there.

【0003】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したのち、
露光、現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他
の色についても同様に繰り返し行ってカラーフイルタを
形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時
のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジス
ト等に一般に使用されている。ベースフイルム及び感光
性樹脂層から成る感光性フイルムを使用した多色の微細
なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精
度で形成できるカラーフイルタの製造法が知られてい
る。透明基板上にベースフイルムと一色に着色された感
光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、着色された感
光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる工程、露
光して所定のパターンを形成させる工程および前記ベー
スフイルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パ
ターンを形成させてカラーフイルタが製造される。例え
ば、一つの色相の着色剤を含む感光性樹脂の層を支持体
に塗布乾燥した感光性フイルムの感光性樹脂の層を透明
な板の上に転写して、所定のパターンのマスクを介して
露光、現像してパターンを形成する方法(特開昭61−
99102号公報)がある。アルカリ現像を行う方法
(特開平2−239205号公報)水溶性ベースフイル
ムを用いる方法(特開平2−271301号公報)ま
た、このフイルムに所定のパターンのマスクを介して露
光、現像してパターンを形成したのちに、透明な板の上
に転写してカラーフイルタのパターンを形成する方法
(特開昭61−99103号公報、特開昭63−665
03号公報)およびこのフイルムを透明な板の上に加熱
圧着して、所定のパターンのマスクを介して露光して、
ベースフイルムを剥離し、現像して透明着色の画像パタ
ーンを形成する方法(特開昭63−187203号公
報、特開平2−244005号公報)、さらに、着色感
光性樹脂の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着体を構成
した感光性フイルムを用いて特開昭63−187203
号公報と同様の方法でカラーフイルタのパターンを形成
する方法(特開平2−24624号公報)が知られてい
る。さらには、感光性フイルムを用いて、カラーフイル
タを作成する方法が、特開平3−160454号公報、
特開平3−111802号公報、特開平2−15180
5号公報、特開平4−212161号公報、特開平4−
301602号公報、特開平5−2107号公報等に提
案されている。
As an improved method of the above-mentioned method, a colored solution type photosensitive resin composition is applied on a substrate and dried,
There is a method of forming a color filter by exposing and developing to form a pattern of one color and repeating this process for other colors in the same manner. In addition, it is generally used as an etching resist, a plating resist, a solder resist, etc. at the time of manufacturing a printed wiring board. There is known a method for producing a color filter which can easily and highly accurately form a multicolor fine stripe-shaped or mosaic-shaped pattern using a photosensitive film composed of a base film and a photosensitive resin layer. A step of laminating a photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, and exposing to form a predetermined pattern The step of allowing and the step of peeling off and developing the base film are repeated to form a multicolor pattern to manufacture a color filter. For example, a layer of a photosensitive resin containing a colorant of one hue is applied to a support and dried, and the layer of the photosensitive resin of the photosensitive film is transferred onto a transparent plate, and then a mask of a predetermined pattern is used. A method of exposing and developing to form a pattern (Japanese Patent Laid-Open No. 61-
99102). Method for carrying out alkali development (JP-A-2-239205) Method using water-soluble base film (JP-A-2-271301) Also, the film is exposed and developed through a mask having a predetermined pattern to form a pattern. After being formed, a method for forming a color filter pattern by transferring the pattern onto a transparent plate (Japanese Patent Laid-Open No. 61-99103 and 63-665).
No. 03) and this film are heat-pressed onto a transparent plate and exposed through a mask having a predetermined pattern,
A method of forming a transparent colored image pattern by peeling off the base film and developing it (JP-A-63-187203, JP-A-2-244005), and a method in which polyvinyl acetate Using a photosensitive film constituting a polymer adhesive, the method is disclosed in JP-A-63-187203.
There is known a method for forming a pattern of a color filter (Japanese Patent Laid-Open No. 24-24624) by a method similar to that of Japanese Patent Laid-Open Publication No. 24-24624. Further, a method of forming a color filter using a photosensitive film is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-160454,
JP-A-3-111802, JP-A-2-15180
5, JP-A-4-212161, JP-A-4-212161
No. 301602, Japanese Patent Laid-Open No. 5-2107, etc.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のカラーフイルタ
の製法では、二色目以降の層を形成する際に、既に形成
された着色層上の二色目以降の着色層と前記基板上に直
接接触する着色層との間に段差が生ずる。この段差は既
に形成された着色層の厚さ(1〜5μm)によって決ま
る。この段差があるために新着色層が下地(透明ガラ
ス)に接触せず、また不十分な接着圧力の為、接着力が
不十分となり、着色層が下地に密着せず、ベースフイル
ムを剥離すると、ベースフイルムとともに剥離されて、
下地に着色層が付着しない部分が生ずる。またそのま
ま、露光現像すると、着色像が存在しない部分を露光す
る等の不都合が生じ、所望のカラーフイルタが得られな
い欠点がある。さらに詳しく説明すると、特に、カラー
フイルタがストライプ状の三原色(赤、緑、青)の画素
から構成されている場合には一色目のストライプ状の画
素が例えば厚さ2.0μm、幅70μm、間隔300μ
mで透明基板上に構成されている上に二色目の着色層を
貼り合わせると、前置画素により、2.0μm前後の凹
凸があるため、透明基板と着色層の間に接触不十分の部
分が生じ、二色目の着色層がこの凹凸に十分に追随しな
い欠点があった。本発明は、この欠点を無くし、作業性
が良く、しかも高精度で多色の微細パターンを形成する
ことができるカラーフイルタの製法を提供するものであ
る。
In the conventional method for producing a color filter, when the second and subsequent layers are formed, the second and subsequent colored layers on the already formed colored layer are brought into direct contact with the substrate. A step is formed between the colored layer and the colored layer. This step difference is determined by the thickness (1 to 5 μm) of the colored layer already formed. Due to this step, the new colored layer does not come into contact with the base (transparent glass), and due to insufficient adhesion pressure, the adhesive strength becomes insufficient, the colored layer does not adhere to the base, and the base film is peeled off. , Peeled off with the base film,
There is a portion where the colored layer does not adhere to the base. Further, if exposed and developed as it is, there is a disadvantage that a portion where a colored image does not exist is exposed, and a desired color filter cannot be obtained. More specifically, in particular, when the color filter is composed of pixels of three primary colors (red, green, blue) in a striped pattern, the striped pixels of the first color are, for example, 2.0 μm in thickness, 70 μm in width, and spaced. 300μ
When a second colored layer is pasted on the transparent substrate having a thickness of m, there is unevenness of about 2.0 μm due to the front pixels, so that there is insufficient contact between the transparent substrate and the colored layer. Occurs, and there is a drawback that the second colored layer does not sufficiently follow this unevenness. The present invention provides a method for manufacturing a color filter which eliminates this drawback, has good workability, and is capable of forming a multicolor fine pattern with high accuracy.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、(i)透明基
板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂
層とからなる感光性フイルムを着色された感光性樹脂層
が前記基板に面するように貼り合わせる工程、(ii)露
光して所定のパターンを形成させる工程および(iii)
前記ベースフイルムを剥がして現像する工程を繰り返し
て多色パターンを形成させるカラーフイルタの製法であ
って、前記貼り合わせる工程において、カラーフイルタ
の形状をストライプ状とし、二色目以降の貼り合わせの
際に、前記感光性フイルムの送り方向を、一色目のスト
ライプ状の画素の長手方向に平行とすることを特徴とす
るカラーフイルタの製法に関する。
According to the present invention, there is provided (i) a transparent substrate on which a photosensitive resin layer colored with a photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin layer colored with one color is provided. And (ii) exposing to form a predetermined pattern, and (iii)
A method of manufacturing a color filter in which the step of peeling off the base film and developing is repeated to form a multicolor pattern, wherein in the step of laminating, the shape of the color filter is formed into a stripe shape, and when the second and subsequent colors are laminated. The present invention relates to a method of manufacturing a color filter, wherein the feeding direction of the photosensitive film is parallel to the longitudinal direction of the first-color striped pixels.

【0006】本発明によれば、画素による凹凸に二色目
以降の感光性フイルムが良好に追随される。即ち、スト
ライプの長手方向に平行に加圧ロールを駆動させて、貼
り合わせていくことにより、前置画素の凹凸による段差
部分に十分なフイルムの供給が行われるため、接触不十
分の部分がなくなる。
According to the present invention, the photosensitive film of the second and subsequent colors is satisfactorily followed by the unevenness due to the pixels. That is, by driving the pressure roll parallel to the longitudinal direction of the stripes and adhering the stripes, the film is sufficiently supplied to the step portion due to the unevenness of the front pixel, and the insufficient contact portion is eliminated. .

【0007】例えば2μmの段差があるときは、凹凸の
追随のため、前置画素毎に4μmのフイルム長さが余分
に必要であって、A4版では横方向4〜8mmのフイルム
が凹凸部分で消費される。この消費量を前置画素の凹凸
による段差に精度良く合わせることが出来る。
For example, when there is a step of 2 μm, an extra film length of 4 μm is required for each front pixel in order to follow the unevenness. In the A4 size, a film of 4 to 8 mm in the lateral direction is uneven. Consumed. This consumption amount can be accurately matched to the step due to the unevenness of the front pixel.

【0008】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えばポリエチレンテレフタレー
トなどのフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を形成させ
たものである。この着色感光性樹脂層は未硬化であり、
柔軟で、粘着性を有するため、この上にさらにポリエチ
レンフイルムなどの保護フイルムを貼り合わせて外部か
らの損傷、異物の付着等を防止することが望ましい。感
光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フ
イルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わされ、ま
た、該着色感光性樹脂層表面のベースフイルムは、所定
パターンのネガマスクを通じて露光した後に除去され
る。
The photosensitive film used in the present invention is a transparent base film, for example, a film such as polyethylene terephthalate, coated with a photosensitive resin composition colored in one color and dried to form a colored photosensitive resin layer. It was formed. This colored photosensitive resin layer is uncured,
Since it is flexible and has an adhesive property, it is desirable that a protective film such as a polyethylene film is further laminated thereon to prevent external damage, adhesion of foreign matter, and the like. The colored photosensitive resin layer formed on the photosensitive film is attached on a transparent substrate while peeling off the protective film, and the base film on the surface of the colored photosensitive resin layer is removed after exposure through a negative mask having a predetermined pattern. It

【0009】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレ
ン性不飽和化合物(a)、カルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマー(b)、光重合開始剤または光重合開始
剤系化合物(c)および顔料又は染料(d)を含有する
のが好ましく、層の厚さは0.5〜15μmとすること
が好ましい。
The photosensitive resin layer colored in one color includes an ethylenically unsaturated compound (a), a carboxyl group-containing film-forming polymer (b), a photopolymerization initiator or a photopolymerization initiator compound (c) and a pigment. Alternatively, the dye (d) is preferably contained, and the layer thickness is preferably 0.5 to 15 μm.

【0010】エチレン性不飽和化合物((a)成分)と
しては、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロール
プロパンジ(メタ)アクリレート(メタアクリレートま
たはアクリレートを意味する、以下同じ)、トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロ
ールメタントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレート等;グリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、例えばトリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグ
リシジルエーテルジ(メタ)アクリレート等;多価カル
ボン酸、例えば無水フタル酸等と水酸基およびエチレン
性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート等とのエステル化物;(メタ)
アクリル酸(メタアクリル酸またはアクリル酸を意味す
る、以下同じ)のアルキルエステル、例えば(メタ)ア
クリルメチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)ア
クリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシ
ル等が挙げられ、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナートと2価アルコールと2価の(メタ)アクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物なども用いられる。これらの化合物は2種以
上用いても良い。(a)成分の配合量は(a)成分と
(b)成分の総量を100重量部として好ましくは90
〜50重量部とされる。
The ethylenically unsaturated compound (component (a)) is, for example, a compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol, such as trimethylolpropane di (meth) acrylate (methacrylate). Or acrylate, the same below), trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc .; containing glycidyl group Compounds obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acids to compounds, such as trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, etc .; polyvalent carboxylic acids such as anhydrous Compounds with Tal acid and a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, ester of example β- hydroxyethyl (meth) acrylate; (meth)
Alkyl ester of acrylic acid (meaning methacrylic acid or acrylic acid, the same applies hereinafter), for example, (meth) acrylic methyl, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc. And a urethane diacrylate compound obtained by reacting trimethylhexamethylene diisocyanate with a dihydric alcohol and a divalent (meth) acrylic acid monoester may also be used. You may use 2 or more types of these compounds. The blending amount of the component (a) is preferably 90 with the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts by weight.
~ 50 parts by weight.

【0011】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー((b)成分)としては、例えば(メタ)アクリル酸
アルキルエステルと(メタ)アクリル酸との共重合体:
(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリ
ル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合
体が挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)
アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メ
タ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられる。ま
た、(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メタ)ア
クリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとして
は、(メタ)アクリル酸ジメチルエチル、(メタ)アク
リル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸ジ
エチル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アク
リレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル
(メタ)アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。さらに(メタ)アクリル酸を共重合成分として含む
テレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエス
テル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合体、セ
ルロースアセテート、セルロースアセテートブチレー
ト、メチルセルロース、エチルセルロース等も用いるこ
とが出来る。
As the carboxyl group-containing film-forming polymer (component (b)), for example, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid:
Examples thereof include copolymers of (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid, and a vinyl monomer copolymerizable therewith. Examples of alkyl (meth) acrylates include methyl (meth) acrylate, (meth)
Examples thereof include ethyl acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Further, as vinyl monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid, dimethylethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, diethyl (meth) acrylate 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyltoluene and the like. Furthermore, polyesters such as terephthalic acid, isophthalic acid and sebacic acid containing (meth) acrylic acid as a copolymerization component, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, methyl cellulose, ethyl cellulose and the like can also be used. .

【0012】(b)成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は(a)成分と(b)
成分の総量を100重量部として好ましくは10〜50
重量部である。配合量が10重量部未満では、エチレン
性不飽和化合物が多くなるため光感度が低下し、50重
量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、(b)成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強
度の点から10,000以上が好ましい。
By using the component (b), the coating properties and the film properties of the cured product are improved, and the compounding amounts of the component (a) and the component (b) are
The total amount of the components is 100 parts by weight, and preferably 10 to 50.
Parts by weight. If the blending amount is less than 10 parts by weight, the amount of ethylenically unsaturated compound increases, and the photosensitivity decreases, and if it exceeds 50 parts by weight, the photocured product tends to become brittle. Further, the weight average molecular weight of the component (b) is preferably 10,000 or more from the viewpoint of the coating property and the film strength.

【0013】前記の光重合開始剤または光重合開始剤系
化合物((c)成分)としては、例えばベンゾフェノ
ン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベン
ゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N′−テトラメチ
ル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ
−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4′−ジ
エチルアミノベンゾフェノン、2−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン;ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン;2(o
−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール
二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m
−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾー
ル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジ
フェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−
5−フェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリ
アリールイミダゾール二量体等が用いられる。
Examples of the photopolymerization initiator or the photopolymerization initiator compound (component (c)) include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N. Aromatic ketones such as'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone; benzoin methyl ether, benzoin Benzoin ether such as ethyl ether and benzoin phenyl ether; Benzoin such as methylbenzoin and ethylbenzoin; 2 (o
-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m
-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2-mer
(P-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl)-
5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5
-A 2,4,5-triarylimidazole dimer such as a diphenylimidazole dimer is used.

【0014】(c)成分の配合量は(a)成分と(b)
成分の総量100重量部に対して好ましくは0.1〜1
0重量部である。この配合量が0.1重量部未満では光
感度が不十分となり、10重量部を超えると露光の際に
組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十
分となる傾向がある。
The blending amounts of the component (c) are the components (a) and (b).
The total amount of the components is preferably 0.1 to 1 with respect to 100 parts by weight.
0 parts by weight. If the content is less than 0.1 parts by weight, the photosensitivity will be insufficient, and if it exceeds 10 parts by weight, the light absorption on the surface of the composition will increase during exposure, and the internal photocuring will tend to be insufficient. There is.

【0015】前記顔料又は染料((d)成分)として
は、一般に知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂
層の成分、特にエチレン性不飽和化合物またはカルボキ
シル基含有フイルム性付与ポリマーに対する相溶性、目
標とする色相、光透過性等を考慮して選択される。
(d)成分の配合量は、(a)成分と(b)成分の総量
100重量部に対して好ましくは1〜50重量部であ
る。この配合量が1重量部未満では着色が不十分であ
り、50重量部を超えると光透過率が低下する傾向があ
る。
As the pigment or dye (component (d)), a generally known coloring agent can be used, and a phase for the component of the photosensitive resin layer, particularly for the ethylenically unsaturated compound or the carboxyl group-containing film-forming polymer. It is selected in consideration of solubility, target hue, light transmittance and the like.
The blending amount of the component (d) is preferably 1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b). If the blending amount is less than 1 part by weight, the coloring is insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the light transmittance tends to decrease.

【0016】着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を高め
るためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマーの
カルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂および/また
はエポキシ樹脂を、(a)成分と(b)成分の総量10
0重量部に対して1〜20重量部添加含有させることが
好ましい。これらを添加して130〜200℃で30〜
60分加熱することによって着色層の架橋密度が向上
し、耐熱性が著しく向上する。
In the colored photosensitive resin layer, a melamine resin and / or an epoxy resin which reacts thermally with the carboxyl group of the carboxyl group-containing film-forming polymer in order to enhance the heat curing property, the (a) component and the (b) component. Total of 10
It is preferable to add 1 to 20 parts by weight to 0 parts by weight. Add these to 30 ~ 30 at 130 ~ 200 ℃
By heating for 60 minutes, the crosslink density of the colored layer is improved and the heat resistance is significantly improved.

【0017】カラーフイルタを形成する基板がガラス板
の場合は、着色感光性樹脂層とガラス板との密着性を向
上させるため、あらかじめシランカップリング剤で処理
したガラス板を用いることが好ましい。また、着色感光
性樹脂層にシランカップリング剤を含有させ、感光性樹
脂層とガラス板との密着性を向上させることもできる。
この場合のシランカップリング剤の添加量は、(a)成
分と(b)成分の総量100重量部に対して1〜30重
量部であることが好ましい。
When the substrate forming the color filter is a glass plate, it is preferable to use a glass plate previously treated with a silane coupling agent in order to improve the adhesion between the colored photosensitive resin layer and the glass plate. Further, the colored photosensitive resin layer may contain a silane coupling agent to improve the adhesion between the photosensitive resin layer and the glass plate.
In this case, the addition amount of the silane coupling agent is preferably 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b).

【0018】本発明においてカラーフイルタは、次のよ
うにして製造される。まず、透明基板上に感光性フイル
ムに形成された着色感光性樹脂層を貼り合わせ、着色感
光性樹脂層表面のベースフイルム上に所定パターンのネ
ガマスクを乗せて露光したあと、ベースフイルムが除去
される。ついで未露光部分が現像液で現像され、着色パ
ターンが形成され、この着色パターンの形成工程を色の
異なる感光性フイルムを用いて所定回数繰り返し行い、
多色のパターンを形成させてカラーフイルタが得られる
が、二色目以降の貼り合わせの際に、感光性フイルムの
送り方向が一色目のストライプ状の画素の長手方向に平
行とされる。
In the present invention, the color filter is manufactured as follows. First, a colored photosensitive resin layer formed on a photosensitive film is attached to a transparent substrate, a negative mask of a predetermined pattern is placed on the base film on the surface of the colored photosensitive resin layer, and the base film is removed. . Then, the unexposed portion is developed with a developing solution to form a colored pattern, and the step of forming this colored pattern is repeated a predetermined number of times using photosensitive films of different colors,
A color filter is obtained by forming a multicolor pattern, and the feeding direction of the photosensitive film is made parallel to the longitudinal direction of the stripe-shaped pixels of the first color when the second and subsequent colors are laminated.

【0019】[0019]

【実施例】【Example】

実施例1 1)感光性フイルムの製造 表1の材料を均一に溶解した溶液A 206重量部に表
2のいずれかの顔料35重量部、メラミン樹脂5重量部
およびシランカップリング剤5重量部をそれぞれ添加
し、溶解して着色感光性樹脂層塗工溶液を得た。
Example 1 1) Production of Photosensitive Film To 206 parts by weight of a solution A in which the materials shown in Table 1 were uniformly dissolved, 35 parts by weight of the pigment of any one of Table 2, 5 parts by weight of melamine resin and 5 parts by weight of silane coupling agent were added. Each was added and dissolved to obtain a colored photosensitive resin layer coating solution.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】[0021]

【表2】 [Table 2]

【0022】メラミン樹脂はサイメル300(ヘキサメ
トキシメチルメラミンの商品名、三井東圧社製)シラン
カップリング剤はK3M503(信越化学社製)を用い
た。得られた溶液を、厚さ6μmのポリエチレンテレフ
タレートフイルム(テイジン社製テトロンフイルムS
6)上に均一な厚さに塗布し、100℃の乾燥機で2分
間乾燥し、保護フイルムとして厚さ30μmのポリエチ
レンフイルムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾
燥後の感光性樹脂層の厚さは2μmであった。
Cymel 300 (trade name of hexamethoxymethyl melamine, manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd.) was used as the melamine resin, and K3M503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as the silane coupling agent. The resulting solution was used as a polyethylene terephthalate film (Tetron film S manufactured by Teijin Ltd.) having a thickness of 6 μm.
6) A film having a uniform thickness was applied onto the above 6) and dried for 2 minutes in a dryer at 100 ° C., and a polyethylene film having a thickness of 30 μm was stuck as a protective film to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive resin layer after drying was 2 μm.

【0023】つぎに、前記カラーフイルタ用の下地基板
を80℃で10分間加熱後、前記カラーフイルタ用の
(1)で得た感光性フイルムの保護フイルムを剥がしな
がら、着色感光性樹脂層をロール温度120℃、ロール
圧0.5kg/cm2、速度1.5m/分でラミネートした。
次いで、所定のパターン(図1の1(赤色)、2(青
色)または3(緑色)のいずれかのみからなるパターン
に相当)のネガマスクを通して露光機HMW−201B
(3kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製)で露光した
後、ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し、3
0℃で2重量%のNa2CO3水溶液で10〜20秒スプ
レー現像をして未露光部を除去し、1色の着色パターン
を形成した。この着色パターンの形成工程を、赤、青、
緑の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り返し行い、
二色目の青のラミネートの時にフイルムの送り方向を前
置画素の赤のストライプ状パターンに平行させてフイル
ムを送り、緑についても同様に行い、図1に示す多色の
パターンを形成した。この際の露光量は赤、青、緑色の
感光性樹脂層に対しては50mJ/cm2とした。得られた多
色パターンに紫外線照射機(ランプH5600L/2、
東芝電材社製)を用いて3J/cm2で照射した後、150
℃で45分間加熱してカラーフイルタを得た。得られた
カラーフイルタは赤、青および緑色のパターン(画素が
幅70μm、長さが150mm、間隔が30μmの周期の
ストライプ状のパターン)が整然と並んでいた。
Next, after heating the base substrate for the color filter at 80 ° C. for 10 minutes, the colored photosensitive resin layer is rolled while peeling off the protective film of the photosensitive film obtained in (1) for the color filter. Lamination was performed at a temperature of 120 ° C., a roll pressure of 0.5 kg / cm 2 , and a speed of 1.5 m / min.
Then, the exposure machine HMW-201B is passed through a negative mask of a predetermined pattern (corresponding to a pattern consisting of only 1 (red), 2 (blue) or 3 (green) in FIG. 1).
(3 kW, ultra-high pressure mercury lamp, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), exposed to light, and then the polyethylene terephthalate film was removed.
The unexposed area was removed by spray developing with a 2 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 0 ° C. for 10 to 20 seconds to form a colored pattern of one color. This colored pattern forming process is performed with red, blue,
Repeat using the photosensitive film of each color in the order of green,
When laminating the second color blue, the film was fed with the feeding direction of the film parallel to the red stripe pattern of the front pixels, and the same was performed for green to form the multicolor pattern shown in FIG. The exposure dose at this time was 50 mJ / cm 2 for the red, blue and green photosensitive resin layers. An ultraviolet irradiator (lamp H5600L / 2,
After irradiating with 3 J / cm 2 using Toshiba Denshi Co., Ltd., 150
It heated at 45 degreeC for 45 minutes, and obtained the color filter. The color filter thus obtained had orderly arranged red, blue and green patterns (a stripe pattern having a pixel width of 70 μm, a length of 150 mm, and an interval of 30 μm).

【0024】比較例1 実施例1と同様にして厚さ6μmのポリエチレンテレフ
タレートフイルム(テイジン製 テトロンフイルム S
6)をベースフイルムとして、上に保護フイルムとして
厚さ30μmのポリエチレンフイルムを貼り合わせた感
光性フイルムを顔料の赤、青、緑を用いてそれぞれにつ
いて作成した。実施例1と同様にして赤色の着色パター
ンを形成し、ついで、このパターンの形成工程を青、緑
の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り返し行った。
この際、ストライプパターンとフイルムの送り方向は平
行せず、30度の角度で交差させた。得られた多色のパ
ターンの模式図を図2に示す。フイルムの追随性が不十
分で、フイルムにしわが一部発生し、追随性が不均一と
なった。はじめの色の赤(1)のパターンは幅70μm
で良好であったが、青(2)、緑(3)では、赤と赤の
隣合った画素のあいだ(230μm)の一部分しか画素
が生ぜず、特に、赤の画素に30μm間隔で接している
青の画素では50μm幅しか再現せず、70μm幅のス
トライプは再現されなかった。
Comparative Example 1 A polyethylene terephthalate film having a thickness of 6 μm (manufactured by Teijin Tetron Film S
Using 6) as a base film, a photosensitive film having a 30 μm-thick polyethylene film laminated thereon as a protective film was prepared using the pigments red, blue and green, respectively. A red colored pattern was formed in the same manner as in Example 1, and then the pattern forming process was repeated using a photosensitive film of each color in the order of blue and green.
At this time, the stripe pattern and the film feeding direction were not parallel to each other, but were intersected at an angle of 30 degrees. A schematic view of the obtained multicolor pattern is shown in FIG. The film did not have sufficient followability, some wrinkles were generated on the film, and the followability was uneven. The first color red (1) pattern is 70 μm wide
However, in blue (2) and green (3), only a part of the pixel (230 μm) between the adjacent pixels of red and red was generated, and in particular, the red pixel was touched at 30 μm intervals. With the blue pixels present, only the width of 50 μm was reproduced, and the stripe of 70 μm width was not reproduced.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明の製法によれば、感光性フイルム
の追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の多
色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有するカ
ラーフイルタを製造することができる。
According to the manufacturing method of the present invention, a color having excellent heat resistance, in which a highly precise multicolor fine pattern having a uniform thickness is formed on a substrate with good followability and workability of a photosensitive film. A filter can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例で得たカラーフイルタのパター
ンを示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a pattern of a color filter obtained in an example of the present invention.

【図2】比較例で得たカラーフイルタのパターンを示す
図である。
FIG. 2 is a diagram showing a pattern of a color filter obtained in a comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 赤色 2 青色 3 緑色 1 red 2 blue 3 green

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (i)透明基板上に、ベースフイルムと
一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイル
ムを着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように
貼り合わせる工程、(ii)露光して所定のパターンを形
成させる工程および(iii)前記ベースフイルムを剥が
して現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させ
るカラーフイルタの製法であって、前記貼り合わせる工
程において、カラーフイルタの形状を、ストライプ状と
し、二色目以降の貼り合わせの際に、前記感光性フイル
ムの送り方向を、一色目のストライプ状の画素の長手方
向に平行にすることを特徴とするカラーフイルタの製
法。
1. (i) A step of laminating a photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate. A method for producing a color filter in which (ii) a step of exposing to form a predetermined pattern and (iii) a step of peeling off and developing the base film to form a multicolor pattern are repeated, A color filter characterized in that the color filter has a stripe shape, and the feeding direction of the photosensitive film is parallel to the longitudinal direction of the stripe-shaped pixels of the first color when the second color and the subsequent ones are laminated. Manufacturing method.
JP28485793A 1993-11-15 1993-11-15 Production of color filter Pending JPH07140313A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28485793A JPH07140313A (en) 1993-11-15 1993-11-15 Production of color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28485793A JPH07140313A (en) 1993-11-15 1993-11-15 Production of color filter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07140313A true JPH07140313A (en) 1995-06-02

Family

ID=17683932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28485793A Pending JPH07140313A (en) 1993-11-15 1993-11-15 Production of color filter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07140313A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000250222A (en) Colored image forming photosensitive film and production of colored image using same
JPH07140313A (en) Production of color filter
JPH07140312A (en) Production of color filter
JPH06308310A (en) Production of color filter
JPH07134204A (en) Production of color filter
JPH0815520A (en) Photosensitive resin composition for color filter, photosensitive film using the same, production of color filter and color filter
JPH06289210A (en) Production of color filter
JPH06308311A (en) Production of color filter
JPH07134206A (en) Photosensitive film for color filter
JPH08137101A (en) Photosensitive resin composition for color filter, photosensitive film and color filter
JPH06324208A (en) Production of color filter
JPH08136724A (en) Production of color filter and color filter
JPH0829612A (en) Production of color filter
JPH1123835A (en) Photosensitive film for color filter and manufacture of color filter
JPH07333416A (en) Production of color filter
JPH07311308A (en) Production of color filter and the color filter
JPH06313804A (en) Manufacture of color filter
JPH07140317A (en) Production of color filter and color filter
JPH07318711A (en) Production of color filter
JPH08194105A (en) Production of color filter
JPH09251106A (en) Production of color filter
JPH06289212A (en) Production of color filter
JPH08179118A (en) Production of color filter
JPH08166504A (en) Production of color filter
JPH08234010A (en) Production of color filter