JPH06308310A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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JPH06308310A
JPH06308310A JP9292093A JP9292093A JPH06308310A JP H06308310 A JPH06308310 A JP H06308310A JP 9292093 A JP9292093 A JP 9292093A JP 9292093 A JP9292093 A JP 9292093A JP H06308310 A JPH06308310 A JP H06308310A
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JP
Japan
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film
resin layer
photosensitive resin
colored
color filter
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JP9292093A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuki Mori
Manabu Saito
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
学 斉藤
靖樹 森
Original Assignee
Hitachi Chem Co Ltd
日立化成工業株式会社
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To produce the color filter which is formed with fine patterns of multiple colors having a uniform thickness and high precision on a substrate with a good follow-up characteristic of a photosensitive film and good workability and has excellent heat resistance.
CONSTITUTION: This process for production of the color filter consists in forming the multicolor patterns by repeating a stage for sticking the photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer colored to one color on a transparent substrate in such a manner that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, a stage for forming prescribed patterns by exposing and a stage for peeling the base film and developing the resin layer. The film thickness of the colored photosensitive resin layer is so determined as to be larger from the lower layer toward the upper layer in order of sticking at this time.
COPYRIGHT: (C)1994,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造法に関する。 The present invention relates to a process for producing a color filter.

【0002】 [0002]

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラスなどの光学的に透明な基板の表面に2種以上の色相を異にする極めて微細なストライプ状又モザイク状のパターンを一定の間隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。 BACKGROUND ART Color filters are very fine stripes also mosaic pattern having different two or more colors in the optically transparent surface of the substrate such as glass at regular intervals, parallel or one in which are arranged to intersect. これらのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必要があり、種々のカラーフイルタの製造法が提案されている。 These patterns are orderly arranged at a predetermined interval hue in a predetermined order, moreover it is necessary to be less uniform layer of thickness unevenness, the preparation of various color filters have been proposed. 例えばスクリーン印刷法では低コストのカラーフイルタの形成が可能である。 For example, a screen printing method is capable of forming a low-cost color filters. またフォトリソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフイルタ用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外線照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形成しながら染色する方法がある。 A method using a photolithography technique also, that a transparent film formed on a substrate for a color filter, and ultraviolet radiation through a predetermined negative mask, after removing the unexposed portion, the method for dyeing while forming a resist printing layer is there.

【0003】前記の方法の改良法として、基板上に着色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したのち、 [0003] After the modification of the method, the solution form a photosensitive resin composition colored substrate was coated and dried,
露光、現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他の色についても同様に繰り返し行ってカラーフイルタを形成する方法がある。 Exposed and developed to form a color pattern, a method of forming a color filter by repeating the steps in the same manner for the other colors. また、現在プリント配線板製造時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジスト等に一般に使用されている、ベースフイルム及び感光性樹脂層から成る感光性フイルムを使用した多色の微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成できるカラーフイルタの製造法が知られている。 The etching resist of the present printed circuit board during manufacturing, a plating resist, solder resist or the like are generally used, the base film and a photosensitive resin layer of a multicolor using a photosensitive film consisting of a fine stripe or mosaic form preparation of color filters for a pattern can be formed with simple precision are known. 透明基板上にベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、着色された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる工程、露光して所定のパターンを形成させる工程および前記ベースフイルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させてカラーフイルタが製造される。 A photosensitive film comprising a colored base film and color on a transparent substrate a photosensitive resin layer, the step of colored photosensitive resin layer is bonded to facing the substrate, by exposing form a predetermined pattern to form a multicolor pattern by repeating the step of developing peeling the step and the base film is a color filter is manufactured. 例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹脂の層を支持体に塗布乾燥した感光性フイルムの感光性樹脂の層を透明な板の上に転写して、所定のパターンのマスクを介して露光、現像してパターンを形成する方法(特開昭61−9 For example, by transferring a layer of photosensitive resin of the photosensitive film in which a layer of photosensitive resin is coated and dried on a support comprising one hue colorant on a transparent plate, through a mask having a predetermined pattern exposure a method of forming a developing the pattern (JP 61-9
9102号公報)がある。 9102 JP) there is. また、このフイルムに所定のパターンのマスクを介して露光、現像してパターンを形成したのちに、透明な板の上に転写してカラーフイルタのパターンを形成する方法(特開昭61−99103号公報)およびこのフイルムを透明な板の上に加熱圧着して、所定のパターンのマスクを介して露光して、ベースフイルムを剥離し、現像して透明着色の画像パターンを形成する方法(特開昭63−187203号公報)。 Further, the film exposure through a mask having a predetermined pattern, after forming the developer to pattern, transparent method of forming a transfer to a color filter pattern on the plate (JP-A 61-99103 publication) and the film was thermocompression bonding onto a transparent plate, a method which is exposed through a mask having a predetermined pattern, peeling off the base film, to form an image pattern of developing the transparent colored (JP Akira 63-187203 JP). さらに、着色感光性樹脂の上にポリ酢酸ビニル共重合体の接着体を構成した感光性フイルムを用いて特開昭63− Further, JP using a photosensitive film that constitutes the adhesion of polyvinyl acetate copolymer on the colored photosensitive resin 63-
187203号公報と同様の方法でカラーフイルタのパターンを形成する方法(特開平2−24624号公報) 187,203 discloses a method for forming a pattern of color filters in a similar way (Japanese Patent Laid-Open No. 2-24624)
が知られている。 It has been known.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の製造法では、二色目以降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との間に段差が生ずる。 In the conventional production method [0005], in forming a layer after the second color, already colored layer and the second color after the colored layer in direct contact with the substrate on the formed colored layer step between the occurs. この段差は既に形成された着色層の厚さ(1〜5μm)によって決まる。 This step has already thickness of the formed colored layer depends (1 to 5 [mu] m). この段差があるために新着色層が下地(透明ガラス)に接触せず、 New colored layer does not contact the base (transparent glass) Because of this step,
また不十分な接着圧力の為、接着力が不十分となり、着色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、 Also because of insufficient adhesion pressure, adhesive strength becomes insufficient, when the colored layer is not in close contact with the base, to peel off the base film,
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に着色層が付着しない部分が生ずる。 It is peeled off together with the base film, resulting the portion colored layer does not adhere to the substrate. またそのまま、露光現像すると、着色像が存在しない部分を露光する等の不都合が生じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。 The intact when exposed and developed, inconvenience such that exposed portions colored image is not present, there is a desired color filter can not be obtained drawbacks. 本発明は、前記の欠点を無くし、作業性が良く、しかも高精度で多色の微細パターンを形成することができるカラーフイルタの製造法を提供するものである。 The present invention eliminates the abovementioned disadvantages, good workability, moreover there is provided a method for producing a color filter that can form a multicolor fine pattern with high accuracy.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、露光して所定のパターンを形成させる工程および前記ベースフイルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法において、着色された感光性樹脂層の膜厚を貼り合わせ順に下層から上層に向かって厚くするカラーフイルタの製造法に関する。 Means for Solving the Problems The present invention, on a transparent substrate, the surface of the photosensitive film consisting of a photosensitive resin layer colored in the base film and color, the colored photosensitive resin layer is said substrate step of bonding so that, in the exposure to the preparation of a color filter to form a multi-colored pattern by repeating the step of developing peeling the step and the base film to form a predetermined pattern, colored photosensitive resin layer from the lower order bonded to a film thickness of the process for producing a color filter to be thick toward the upper layer. 本発明においては、貼り合わせ順に下層から上層に向かって着色された感光性樹脂層の膜厚を厚くすることにより、一色に着色された感光性樹脂層の廻りを覆い、段差の廻りに過剰の着色感光性樹脂材料を集めその結果、密着性を向上させ、ベースフイルムの剥離の際に、感光性樹脂層が基板から剥がれること、また現像時に感光性樹脂層が基板から剥がれることが防止され、フイルムの追随性が得られる。 In the present invention, by increasing the thickness of the colored toward the upper from the lower layer order laminated photosensitive resin layer covers around colored in one color photosensitive resin layer, the excess around the step the colored photosensitive resin material collected result, to improve adhesion at the time of peeling the base film, it photosensitive resin layer peels off from the substrate, also the photosensitive resin layer is prevented from peeling off a substrate on development, followability of the film is obtained. 例えば、赤、青、緑、黒の順に貼り合わせる場合には膜厚は赤1.0μm、青1.5μm、緑1.7μm、黒2.0μmとされる。 For example, red, blue, green, in the case of bonding in the order of black film thickness is red 1.0μm, blue 1.5μm, green 1.7μm, and black 2.0μm.

【0006】本発明に用いられる感光性フイルムは、透明なベースフイルム、例えばポリエチレンテレフタレートなどのフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を形成させたものである。 [0006] The photosensitive film for use in the present invention, a transparent base film, for example, on the film such as polyethylene terephthalate, a colored in one color photosensitive resin composition was applied, the colored photosensitive resin layers were dried in which to form. この着色感光性樹脂層は未硬化であり、 The colored photosensitive resin layer is uncured,
柔軟で、粘着性を有するため、この上にさらにポリエチレンフイルムなどの保護フイルムを貼り合わせて外部からの損傷、異物の付着等を防止することが望ましい。 Flexible, since having adhesiveness, it is desirable to prevent damage, foreign matter adhesion and the like from the outside by sticking a protective film such as a further polyethylene film thereon. 感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わされ、また、該着色感光性樹脂層表面のベースフイルムは、所定パターンのネガマスクを通じて露光した後に除去される。 Colored photosensitive resin layer formed on the photosensitive film is laminated on a transparent substrate while peeling off the protective film, also, the base film of the colored photosensitive resin layer surface is removed after exposure through a negative mask having a predetermined pattern that.

【0007】基板の表面にあらかじめ、金属酸化物の微粒子を0.1〜30重量%含有する感光性樹脂層を設けることにより、フイルムの追随性が改善され、前記の一色に着色された感光性樹脂層の密着性を向上させ、ベースフイルムの剥離の際に、感光性樹脂層が基板から剥がれることが防止され、また、現像時に感光性樹脂層が基板から剥がれることが防止される。 [0007] in advance on the surface of the substrate, by providing a photosensitive resin layer containing 0.1 to 30% by weight of fine particles of a metal oxide improves the followability of the film, colored photosensitive one color of the to improve the adhesion of the resin layer, when the peeling of the base film, a photosensitive resin layer is prevented from peeling from the substrate and the photosensitive resin layer is prevented detached from the substrate during development.

【0008】下地層は、透明基板上にベースフイルム上の金属酸化物の微粒子を含有する感光性樹脂層を積層するかこれを含有する感光性樹脂液を用いてスピンコート、ディップコートを行って形成される。 [0008] underlayer performs spin coating, a dip coating a photosensitive resin solution containing the same or laminating a photosensitive resin layer containing fine particles of metal oxide on the base film on a transparent substrate It is formed. 下地層を構成する感光性樹脂層に含有される金属酸化物の微粒子の具体例としては、三酸化アンチモン、酸化マグネシウム、 Specific examples of the fine particles of the metal oxide contained in the photosensitive resin layer constituting the underlying layer, antimony trioxide, magnesium oxide,
酸化亜鉛、酸化珪素等がある。 Zinc oxide, there is a silicon oxide or the like. 金属酸化物微粒子の添加量は、0.1〜30重量%、好ましくは0.1〜5重量%の範囲とされる。 The addition amount of the metal oxide fine particles, 0.1 to 30 wt%, and preferably from 0.1 to 5 wt%. 0.1重量%未満では画像の密着性の向上に十分な効果が得られず、30重量%を超えると、感光性樹脂層の変色、透明度の低下がある。 Is less than 0.1 wt%, sufficient effect can be obtained in improving the adhesion of the image, if it exceeds 30 wt%, discoloration of the photosensitive resin layer, there is a decrease in transparency. 金属酸化物の微粒子は、平均粒径が0.01〜0.2μmの範囲のものを用いることが好ましい。 Fine particles of a metal oxide has an average particle diameter of it is preferably used in the range of 0.01 to 0.2 [mu] m.

【0009】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレン性不飽和化合物(a)、カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマー(b)、光重合開始剤または光重合開始剤系化合物(c)および(d)顔料又は染料(d)を含有するのが好ましく、層の厚さは0.5〜15μmとすることが好ましい。 [0009] colored in one color photosensitive resin layer, an ethylenically unsaturated compound (a), a carboxyl group-containing film-imparting polymer (b), a photopolymerization initiator or photopolymerization initiator compound (c) and ( preferably contains a d) pigments or dyes (d), the thickness of the layer is preferably set to 0.5 to 15 m.

【0010】エチレン性不飽和化合物((a)成分)としては、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート(メタアクリレートまたはアクリレートを意味する、以下同じ)、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等;グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート等;多価カルボン酸、例えば無水 [0010] ethylenically unsaturated compound ((a) component), such as polyhydric alcohols to alpha, compounds obtained by adding β- unsaturated carboxylic acids, such as trimethylolpropane di (meth) acrylate (methacrylate or means acrylate, hereinafter the same), trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; glycidyl group-containing the compound alpha, beta-unsaturated carboxylic acid compound obtained by adding, for example, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol a diglycidyl ether di (meth) acrylate; polycarboxylic acids, for example anhydrides タル酸等と水酸基およびエチレン性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等とのエステル化物;(メタ) Compounds with Tal acid and a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, ester of example β- hydroxyethyl (meth) acrylate; (meth)
アクリル酸(メタアクリル酸またはアクリル酸を意味する、以下同じ)のアルキルエステル、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ) Alkyl esters of acrylic acid (meaning methacrylic acid or acrylic acid, hereinafter the same), for example, (meth) acrylate, (meth) acrylate, (meth)
アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられ、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナートと2価アルコールと2価の(メタ)アクリル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレート化合物なども用いられる。 Butyl acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate and the like, trimethylhexamethylene diisocyanate and a dihydric alcohol and divalent (meth) urethane diacrylate compounds obtained by reacting an acrylic acid monoester such as It may also be used. これらの化合物は2種以上用いても良い。 These compounds may be used two or more. (a)成分の配合量は(a)成分と(b)成分の総量を100重量部として好ましくは90 (A) is preferably blended amount of the component to the total amount of component (a) and component (b) as 100 parts by weight of 90
〜50重量部とされる。 Are 50 parts by weight.

【0011】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマー((b)成分)としては、例えば(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリル酸との共重合体: [0011] carboxyl group The content film-imparting polymer ((b) component), for example, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid:
(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体が挙げられる。 A copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and a (meth) vinyl monomers copolymerizable with acrylic acid and thereof. (メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ) (Meth) acrylic acid alkyl ester, for example (meth) acrylate, (meth)
アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられる。 Ethyl acrylate, butyl (meth) acrylate, and (meth) 2-ethylhexyl acrylate. また、(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メタ)アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸ジメチルエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸ジエチル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。 Further, (meth) vinyl monomer copolymerizable with with these acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid, (meth) dimethyl ethyl acrylate, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl, (meth) diethyl acrylate , 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyl toluene, and the like. さらに(メタ)アクリル酸を共重合成分として含むテレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエステル、ブタジエンとアクリロニトリルの共重合体、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、 Further (meth) terephthalic acid containing acrylic acid as a copolymerization component, isophthalic acid, polyesters such as sebacic acid, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate,
メチルセルロース、エチルセルロース等も用いることが出来る。 Methyl cellulose, ethyl cellulose, or the like can be used.

【0012】(b)成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が向上し、その配合量は(a)成分と(b) [0012] (b) by the use of components, improved film properties of the coating film property and the cured product, the amount component (a) and (b)
成分の総量を100重量部として好ましくは10〜50 Preferably the total amount of components as 100 parts by weight of 10 to 50
重量部である。 Are parts by weight. 配合量が10重量部未満では、エチレン性不飽和化合物が多くなるため光感度が低下し、50重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。 When the amount is less than 10 parts by weight, photosensitivity for ethylenically unsaturated compound is increased is reduced and tends to exceeds 50 parts by weight, the photocured product becomes brittle. また、(b)成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の点から10,000以上が好ましい。 Further, (b) a weight-average molecular weight of the component, the coating film and the film more than 10,000 from the viewpoint of strength are preferred.

【0013】前記の光重合開始剤または光重合開始剤系化合物((c)成分)としては、例えばベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4′−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン;2(o [0013] The photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system compound as the ((c) component), such as benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diamino benzophenone (Michler's ketone), N, N '- tetramethyl-4,4'-diamino benzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylamino benzophenone, 4,4'-diethylamino benzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone aromatic ketones quinone and the like; benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin ethers such as benzoin phenyl ether, methyl benzoin, benzoin and ethyl benzoin; 2 (o
−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m - chlorophenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl) -4,5-di (m
−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2− - methoxyphenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2-(o-fluorophenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2-(o-methoxyphenyl) -4,5-diphenyl imidazole two mer, 2-
(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)− (P- methoxyphenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2,4-di (p- methoxyphenyl) -
5−フェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5 5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2- (p-methylmercapto-phenyl) -4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体等が用いられる。 - such as diphenyl imidazole dimer triarylimidazole dimer and the like are used.

【0014】(c)成分の配合量は(a)成分と(b) [0014] (c) The amount of component (a) a component (b)
成分の総量100重量部に対して好ましくは0.1〜1 Preferably the total amount 100 parts by weight of component 0.1
0重量部である。 0 parts by weight. この配合量が0.1重量部未満では光感度が不十分となり、10重量部を超えると露光の際に組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向がある。 Tends to the amount of light sensitivity is insufficient is less than 0.1 part by weight, the light absorption at the surface of the composition upon exposure exceeds 10 parts by weight increases the internal light curing becomes insufficient there is.

【0015】前記顔料又は染料((d)成分)としては、一般に知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層の成分、特にエチレン性不飽和化合物またはカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透過性等を考慮して選択される。 [0015] As the pigment or dye ((d) component), generally known colorants can be used are, components of the photosensitive resin layer, in particular a phase for the ethylenically unsaturated compound or a carboxyl group-containing film-imparting polymer soluble, hue a target is selected in view of the optical transparency and the like.
(d)成分の配合量は、(a)成分と(b)成分の総量100重量部に対して好ましくは1〜50重量部である。 (D) The amount of the component is preferably 1 to 50 parts by weight per 100 parts by weight of component (a) and component (b). この配合量が1重量部未満では着色が不十分であり、50重量部を超えると光透過率が低下する傾向がある。 The amount is colored is less than 1 part by weight is insufficient, tends to more than 50 parts by weight, the light transmittance decreases.

【0016】着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂および/またはエポキシ樹脂を、(a)成分と(b)成分の総量10 [0016] colored photosensitive resin layer, a melamine resin and / or epoxy resin carboxyl groups and the thermal reaction of the carboxyl group-containing film-imparting polymer in order to improve the heat-curable, and component (a) component (b) the total amount of 10
0重量部に対して1〜20重量部添加含有させることが好ましい。 Preferably contains added 20 parts by weight relative to 0 parts by weight. これらを添加して130〜200℃で30〜 These were added to 30 at 130~200 ℃
60分加熱することによって着色層の架橋密度が向上し、耐熱性が著しく向上する。 Improved crosslink density of the colored layer by heating 60 minutes, the heat resistance is remarkably improved.

【0017】カラーフイルタを形成する基板がガラス板の場合は、着色感光性樹脂層とガラス板との密着性を向上させるため、あらかじめシランカップリング剤で処理したガラス板を用いることが好ましい。 [0017] When a substrate for forming a color filter is a glass plate, in order to improve the adhesion between the colored photosensitive resin layer and the glass plate, it is preferable to use a glass plate treated with a silane coupling agent. また、着色感光性樹脂層にシランカップリング剤を含有させ、感光性樹脂層とガラス板との密着性を向上させることもできる。 Further, the colored photosensitive resin layers contain a silane coupling agent, it can improve the adhesion between the photosensitive resin layer and the glass plate.
この場合のシランカップリング剤の添加量は、(a)成分と(b)成分の総量100重量部に対して1〜30重量部であることが好ましい。 The addition amount of the silane coupling agent in this case is preferably 1 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of component (a) and component (b).

【0018】本発明においてカラーフイルタは、次のようにして製造される。 [0018] The color filter in accordance with the invention are prepared in the following manner. まず、透明基板上に感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層を貼り合わせ、着色感光性樹脂層表面のベースフイルム上に所定パターンのネガマスクを乗せて露光したあと、ベースフイルムが除去される。 First, laminating the formed photosensitive film on the transparent substrate colored photosensitive resin layer, after exposure put a negative mask having a predetermined pattern on the base film of the colored photosensitive resin layer surface, the base film is removed . ついで未露光部分が現像液で現像され、着色パターンが形成される。 Then the unexposed portion is developed with a developer, the colored pattern is formed. この着色パターン形成工程を、色の異なる感光性フイルムを用いて所定回数繰り返し行い、他色のパターンを形成させてカラーフイルタが得られる。 The color pattern, repeated a predetermined number of times using a different color photosensitive film, color filter is obtained by forming other color patterns. このとき、着色感光性樹脂層の膜厚が貼り合わせ順に下層から上層に向かって厚くされる。 At this time, the thicker the lower layer toward the upper layer film thickness is adhered order of the colored photosensitive resin layer.

【0019】 [0019]

【実施例】 【Example】

実施例1 表1の材料を均一に溶解した溶液A206重量部に表2 Table 2 To a solution A206 parts were uniformly dissolved material of Example 1 in Table 1
のいずれかの顔料35重量部、メラミン樹脂5重量部およびシランカップリング剤5重量部をそれぞれ添加し、 35 parts by weight or pigments, melamine resin 5 parts by weight silane coupling agent 5 parts by weight were added, respectively,
溶解して感光性樹脂層塗工溶液を得た。 Dissolved to obtain a photosensitive resin layer coating solution.

【表1】 [Table 1]

【表2】 [Table 2] メラミン樹脂はサイメル300(ヘキサメトキシメチルメラミンの商品名、三井東圧社製)、シランカップリング剤はK3M503(信越化学社製)を用いた。 Melamine resin Cymel 300 (trade name of hexamethoxymethylmelamine, manufactured by Mitsui Toatsu Chemicals, Inc.), a silane coupling agent was used K3M503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). 得られた溶液を、厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフイルム(テイジン社製テトロンフイルムS25)上に均一な厚さに塗布し、100℃の乾燥機で2分間乾燥し、保護フイルムとして厚さ30μmのポリエチレンフイルムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。 The resulting solution was coated to a uniform thickness on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 [mu] m (manufactured by Teijin Limited Tetron Film S25), and dried for 2 minutes at a 100 ° C. oven, thick polyethylene 30μm as a protective film by bonding a film to obtain a photosensitive film. 乾燥後の感光性樹脂層の厚さは、赤が1.0μm、青が1.5μ The thickness of the photosensitive resin layer after drying, red 1.0 .mu.m, blue 1.5μ
m、緑が1.7μm、黒が2.0μmであった。 m, green 1.7μm, black was 2.0μm. つぎに、カラーフイルタ用の下地基板を80℃で10分間加熱後、着色感光性樹脂層感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着色感光性樹脂層をロール温度120 Then, after heated 10 minutes starting substrate for a color filter at 80 ° C., while peeling off the protective film of the colored photosensitive resin layer photosensitive film, a roll temperature of colored photosensitive resin layer 120
℃、ロール圧4kg/cm 2 、速度1.5m/分でラミネートした。 ° C., a roll pressure of 4 kg / cm 2, was laminated at a speed of 1.5 m / min. 次いで、所定のパターンのネガマスクを通して露光機HMW−201B(3kW、超高圧水銀灯、 Then, an exposure machine HMW-201B through a negative mask having a predetermined pattern (3 kW, ultra-high pressure mercury lamp,
オーク製作所製)で露光した後、ポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し、30℃で2重量%のNa 2 After exposing Oak Seisakusho), to remove the polyethylene terephthalate film, a 2 wt% at 30 ° C. Na 2 C
3水溶液で10〜20秒スプレー現像をして未露光部を除去し、1色の着色パターンを形成した。 O 3 and 10 to 20 seconds spray development with an aqueous solution to remove the unexposed portion, thereby forming one color colored pattern. この着色パターンの形成工程を、赤、青、緑、黒の順に各色の感光性フイルムを用いて4回繰り返し行い、図1に示す多色のパターンを形成した。 The step of forming the colored pattern, red, blue, green, repeated four times using each color light-sensitive film in the order of black, to form a multi-colored pattern shown in FIG. この際の露光量は赤、青、緑色の感光性樹脂層に対しては150mJ/cm 2 、黒色の感光性樹脂層に対しては300mJ/cm 2とした。 Exposure amount in the red, blue, 150 mJ / cm 2 for green photosensitive resin layer for the photosensitive resin layer of black was 300 mJ / cm 2. 得られた多色パターンに紫外線照射機(ランプH5600 The resulting multicolor pattern ultraviolet irradiator (lamp H5600
L/2、東芝電材社製)を用いて3J/cm 2で照射した後、150℃で45分間加熱してカラーフイルタを得た。 L / 2, was irradiated with 3J / cm 2 using a Toshiba material Co., Ltd.), to obtain a color filter was heated for 45 minutes at 0.99 ° C.. 得られたカラーフイルタは赤、青および緑色のパターンが整然と並び、それぞれの間隔は黒色で埋められていた。 The resulting color filter is red, line orderly blue and green pattern, had each of the intervals are filled with black.

【0020】比較例1 実施例1と同様にして厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフイルム(テイジン製 テトロンフイルム [0020] Polyethylene terephthalate film having a thickness of 25μm in the same manner as in Comparative Example 1 Example 1 (Teijin Tetron Film
S25)をベースフイルムとして、上に保護フイルムとして厚さ30μmのポリエチレンフイルムを貼り合わせた感光性フイルムを顔料の赤、青、緑、黒それぞれについて作成した。 The S25) as a base film to prepare a photosensitive film obtained by bonding polyethylene film having a thickness of 30μm as a protective film on the red pigments, blue, green, each black. 乾燥後の感光性樹脂層の厚さはいずれも2μmとした。 The thickness of the photosensitive resin layer after drying were all with 2 [mu] m. 実施例1と同様にして下地層を設けないで、赤色の着色パターンを形成し、ついで、このパターンの形成工程を、青、緑、黒の順に各色の感光性フイルムを用いて3回繰り返し行った。 Without providing the base layer in the same manner as in Example 1, to form a red color pattern, then the step of forming the pattern, blue, green, repeated 3 times using each color light-sensitive film in the order of black It was. 実施例1と同様の多色のパターンを形成した。 To form a similar multi-colored pattern as in Example 1. 得られた多色のパターンの模式図を図2に示す。 A schematic diagram of the resulting multicolor pattern shown in FIG. はじめの色の赤(1)のパターンは良好であったが、青(2)、緑(3)では、赤と赤の隣合った画素のあいだ(325μm)の一部分しか画素が生ぜず、特に、赤の画素に25μm間隔で接している青の画素では50μm幅しか再現せず、125μm×125 Pattern of the beginning of the color of red (1) was good, blue (2), in the green (3), only not generated pixel is part of between (325μm) of pixels Tonaria' of red and red, especially not reproduce only 50μm width is blue pixels that are in contact with 25μm spacing red pixels, 125 [mu] m × 125
μmの正方形は再現されなかった。 μm square was not reproduced. 黒はまったく画素を生じなかった。 Black did not quite rise to the pixel.

【0021】 [0021]

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有するカラーフイルタを製造することができる。 According to the preparation of the present invention, having the following property, excellent heat resistance, which is formed of a high-precision multi-colored fine pattern having a uniform thickness with good workability on a photosensitive substrate film it is possible to produce a color filter.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施例で得たカラーフイルタのパターンを示す図面である。 1 is a diagram showing a pattern of a color filter obtained in Example of the present invention.

【図2】本発明の比較例で得たカラーフイルタのパターンを示す図である。 2 is a diagram showing a pattern of a color filter obtained in Comparative Example of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 赤色 2 青色 3 緑色 4 黒色 1 red 2 blue 3 green 4 black

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、 To 1. A transparent substrate, a photosensitive film consisting of a photosensitive resin layer colored in the base film and color,
    着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、露光して所定のパターンを形成させる工程および前記ベースフイルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法において、着色された感光性樹脂層の膜厚を貼り合わせ順に下層から上層に向かって厚くすることを特徴とするカラーフイルタの製造法。 Step colored photosensitive resin layer is bonded to facing the substrate, a color filter to form a multi-colored pattern by repeating the step of developing peeling the step and the base film to form a predetermined pattern by exposing in the production method, production process of a color filter, characterized in that thickening the lower layer toward the upper layer in the order of bonding the film thickness of the colored photosensitive resin layer.
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