JPH06308311A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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Publication number
JPH06308311A
JPH06308311A JP9347893A JP9347893A JPH06308311A JP H06308311 A JPH06308311 A JP H06308311A JP 9347893 A JP9347893 A JP 9347893A JP 9347893 A JP9347893 A JP 9347893A JP H06308311 A JPH06308311 A JP H06308311A
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JP
Japan
Prior art keywords
film
color filter
colored
resin layer
photosensitive resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP9347893A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuki Mori
靖樹 森
Manabu Saito
学 斉藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP9347893A priority Critical patent/JPH06308311A/en
Publication of JPH06308311A publication Critical patent/JPH06308311A/en
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Abstract

PURPOSE:To produce the color filter which is formed with fine patterns of multiple colors having a uniform thickness and high precision on a substrate with a good follow-up characteristic of a photosensitive film and good workability and has excellent heat resistance. CONSTITUTION:This process for production of the color filter consists in forming the multicolor patterns by repeating a stage for sticking the photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer colored to one color on a transparent substrate in such a manner that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, a stage for forming prescribed patterns by exposing and a stage for peeling the base film and developing the resin layer. The sticking stage described above is executed under a reduced pressure.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に2種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを一定の
間隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて
整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする
必要があり、種々のカラーフイルタの製造法が提案され
ている。例えばスクリーン印刷法では低コストのカラー
フイルタの形成が可能である。またフォトリソグラフィ
技術を用いる方法、すなわち、カラーフイルタ用基板上
に形成された透明膜に、所定のネガマスクを通して紫外
線照射し、未露光部を除去したのち、防染層を形成しな
がら染色する方法がある。
2. Description of the Related Art A color filter is an optically transparent substrate, such as glass, which has two or more kinds of very fine stripe-like or mosaic-like patterns having different hues, which are arranged at regular intervals in parallel or parallel. It is a crossed arrangement. It is necessary for these patterns to arrange hues in a predetermined order at predetermined intervals and to form a uniform layer with little thickness unevenness, and various color filter manufacturing methods have been proposed. For example, the screen printing method can form a low-cost color filter. Further, a method using a photolithography technique, that is, a method of irradiating a transparent film formed on a color filter substrate with ultraviolet rays through a predetermined negative mask to remove an unexposed portion, and then dyeing while forming a stain-proof layer is available. is there.

【0003】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥したのち、
露光、現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他
の色についても同様に繰り返し行ってカラーフイルタを
形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時
のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジス
ト等に一般に使用されている、ベースフイルム及び感光
性樹脂層から成る感光性フイルムを使用した多色の微細
なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精
度で形成できるカラーフイルタの製造法が知られてい
る。透明基板上にベースフイルムと一色に着色された感
光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、着色された感
光性樹脂層が基板に面するように貼りあわせる工程、露
光して所定のパターンを形成させる工程および前記ベー
スフイルムを剥がして現像する工程を繰り返して多色パ
ターンを形成させてカラーフイルタが製造される。例え
ば、一つの色相着色剤を含む感光性樹脂の層を支持体に
塗布乾燥した感光性フイルムの感光性樹脂の層を透明な
板の上に転写して、所定のパターンのマスクを介して露
光、現像してパターンを形成する方法(特開昭61−9
9102号公報)がある。また、このフイルムに所定の
パターンのマスクを介して露光、現像してパターンを形
成したのちに、透明な板の上に転写してカラーフイルタ
のパターンを形成する方法(特開昭61−99103号
公報)およびこのフイルムを透明な板の上に加熱圧着し
て、所定のパターンのマスクを介して露光して、ベース
フイルムを剥離し、現像して透明着色の画像パターンを
形成する方法(特開昭63−187203号公報)。さ
らに、着色感光性樹脂の上にポリ酢酸ビニル共重合体の
接着体を構成した感光性フイルムを用いて特開昭63−
187203号公報と同様の方法でカラーフイルタのパ
ターンを形成する方法(特開平2−24624号公報)
が知られている。
As an improved method of the above-mentioned method, a colored solution type photosensitive resin composition is applied on a substrate and dried,
There is a method of forming a color filter by exposing and developing to form a pattern of one color and repeating this process for other colors in the same manner. In addition, multicolor fine stripes or mosaics using a photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer, which is generally used for etching resist, plating resist, solder resist, etc. at the time of manufacturing printed wiring boards. There is known a manufacturing method of a color filter which can easily form a pattern of 1. A process of laminating a photosensitive film consisting of a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate, exposing to form a predetermined pattern The step of allowing and the step of peeling off and developing the base film are repeated to form a multicolor pattern to manufacture a color filter. For example, a layer of a photosensitive resin containing one hue colorant is applied to a support, and a layer of the photosensitive resin of a dried photosensitive film is transferred onto a transparent plate and exposed through a mask having a predetermined pattern. , A method of developing to form a pattern (JP-A-61-9)
9102). Further, a method of forming a pattern by exposing and developing this film through a mask having a predetermined pattern to form a pattern, and then transferring it onto a transparent plate to form a pattern of a color filter (Japanese Patent Laid-Open No. 61-99103). And a method of forming a transparent colored image pattern by heat-pressing this film onto a transparent plate, exposing through a mask having a predetermined pattern, peeling off the base film, and developing. 63-187203). Further, a photosensitive film comprising a polyvinyl acetate copolymer adhesive on a colored photosensitive resin is used.
A method for forming a color filter pattern by a method similar to that of Japanese Patent No. 187203 (Japanese Patent Laid-Open No. 24-6244)
It has been known.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の製造法では、二
色目以降の層を形成する際に、既に形成された着色層上
の二色目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色
層との間に段差が生ずる。この段差は既に形成された着
色層の厚さ(1〜5μm)によって決まる。この段差が
あるために新着色層が下地(透明ガラス)に接触せず、
また不十分な接着圧力の為、接着力が不十分となり、着
色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に着色層が付
着しない部分が生ずる。またそのまま、露光現像する
と、着色像が存在しない部分を露光する等の不都合が生
じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。本
発明は、前記の欠点を無くし、作業性が良く、しかも高
精度で多色の微細パターンを形成することができるカラ
ーフイルタの製造法を提供するものである。
According to the conventional manufacturing method, when the second and subsequent layers are formed, the second and subsequent colored layers on the already formed colored layer are in direct contact with the colored layer. There is a step between and. This step difference is determined by the thickness (1 to 5 μm) of the colored layer already formed. Due to this step, the new colored layer does not contact the base (transparent glass),
Also, due to insufficient adhesion pressure, the adhesive strength becomes insufficient, the colored layer does not adhere to the base, and the base film is peeled off,
It is peeled off together with the base film, and a portion where the colored layer does not adhere to the base is generated. Further, if exposed and developed as it is, there is a disadvantage that a portion where a colored image does not exist is exposed, and a desired color filter cannot be obtained. The present invention provides a method for manufacturing a color filter which eliminates the above-mentioned drawbacks, has good workability, and is capable of forming a highly precise multicolor fine pattern.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂とからな
る感光性フイルムを、着色された感光性樹脂層が前記基
板に面するように貼りあわせる工程、露光して所定のパ
ターンを形成させる工程および前記ベースフイルムを剥
がして現像する工程を繰り返して多色パターンを形成さ
せるカラーフイルタの製造法において、前記の貼りあわ
せる工程を減圧下で行うカラーフイルタの製造法に関す
る。本発明においては、前記基板の感光性フイルムの貼
付けは減圧下で行われ、段差の接触しない部分は減圧に
より空気層が除かれて接着される。本発明により着色さ
れた感光性樹脂層の密着性を向上させ、ベースフイルム
の剥離の際および現像時に、感光性樹脂層が基板から剥
がれることが防止され、フイルムの追随性が改善され
る。
According to the present invention, a photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin colored in one color is provided on a transparent substrate so that the colored photosensitive resin layer faces the substrate. In the method for producing a color filter in which the step of adhering to, the step of exposing to form a predetermined pattern and the step of peeling off and developing the base film are repeated to form a multicolor pattern, the step of adhering is performed under reduced pressure. The present invention relates to a color filter manufacturing method. In the present invention, the sticking of the photosensitive film on the substrate is performed under a reduced pressure, and the air layer is removed by the reduced pressure at a portion which is not in contact with the step to be bonded. The adhesion of the colored photosensitive resin layer according to the present invention is improved, the photosensitive resin layer is prevented from being peeled off from the substrate at the time of peeling the base film and at the time of development, and the followability of the film is improved.

【0006】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えばポリエチレンテレフタレー
トなどのフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて着色感光性樹脂層を形成させ
たものである。この着色感光性樹脂層は未硬化であり、
柔軟で、粘着性を有するため、この上にさらにポリエチ
レンフイルムなどの保護フイルムを貼りあわせて外部か
らの損傷、異物の付着等を防止することが望ましい。感
光性フイルムに形成された着色感光性樹脂層は、保護フ
イルムを剥がしながら透明基板上に貼り合わされ、ま
た、該着色感光性樹脂層表面のベースフイルムは、所定
パターンのネガマスクを通じて露光した後に除去され
る。
The photosensitive film used in the present invention is a transparent base film, for example, a film such as polyethylene terephthalate, on which a photosensitive resin composition colored in one color is applied and dried to form a colored photosensitive resin layer. It was formed. This colored photosensitive resin layer is uncured,
Since it is flexible and has an adhesive property, it is desirable that a protective film such as a polyethylene film is further laminated thereon to prevent external damage, adhesion of foreign matters and the like. The colored photosensitive resin layer formed on the photosensitive film is attached on a transparent substrate while peeling off the protective film, and the base film on the surface of the colored photosensitive resin layer is removed after exposure through a negative mask having a predetermined pattern. It

【0007】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレ
ン性不飽和化合物(a)、カルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマー(b)、光重合開始剤または光重合開始
剤系化合物(c)および(d)顔料又は染料(d)を含
有するのが好ましく、層の厚さは0.5〜15μmとす
ることが好ましい。
The photosensitive resin layer colored in one color comprises an ethylenically unsaturated compound (a), a carboxyl group-containing film-forming polymer (b), a photopolymerization initiator or a photopolymerization initiator compound (c) and ( d) It preferably contains a pigment or dye (d), and the layer thickness is preferably 0.5 to 15 μm.

【0008】エチレン性不飽和化合物((a)成分)と
しては、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボ
ン酸を付加して得られる化合物、例えばトリメチロール
プロパンジ(メタ)アクリレート(メタアクリレートま
たはアクリレートを意味する、以下同じ)、トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロ
ールメタントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレート等;グリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、例えばトリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグ
リシジルエーテルジ(メタ)アクリレート等;多価カル
ボン酸、例えば無水フタル酸等と水酸基およびエチレン
性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート等とのエステル化物;(メタ)
アクリル酸(メタアクリル酸またはアクリル酸を意味す
る、以下同じ)のアルキルエステル、例えば(メタ)ア
クリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)
アクリル酸ブチル、(メタ)アクル酸2−エチルヘキシ
ル等が挙げられ、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナートと2価アルコールと2価の(メタ)アクリル酸モ
ノエステルとを反応させて得られるウレタンジアクリレ
ート化合物なども用いられる。これらの化合物は2種以
上用いても良い。(a)成分の配合量は(a)成分と
(b)成分の総量を100重量部として好ましくは90
〜50重量部とされる。
The ethylenically unsaturated compound (component (a)) is, for example, a compound obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acid to polyhydric alcohol, for example, trimethylolpropane di (meth) acrylate (methacrylate). Or acrylate, the same hereinafter), trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc .; containing glycidyl group Compounds obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acids to compounds, such as trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, etc .; polyvalent carboxylic acids such as anhydrous Compounds with Tal acid and a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group, ester of example β- hydroxyethyl (meth) acrylate; (meth)
Alkyl ester of acrylic acid (meaning methacrylic acid or acrylic acid, the same applies hereinafter), for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth)
Examples thereof include butyl acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and urethane diacrylate compounds obtained by reacting trimethylhexamethylene diisocyanate with a dihydric alcohol and a divalent (meth) acrylic acid monoester. Is also used. You may use 2 or more types of these compounds. The blending amount of the component (a) is preferably 90 with the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts by weight.
~ 50 parts by weight.

【0009】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー((b)成分)としては、例えば(メタ)アクリル酸
アルキルエステルと(メタ)アクリル酸との共重合体:
(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)アクリ
ル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合
体が挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)
アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メ
タ)アクリル酸2−エチルヘキシル等が挙げられる。ま
た、(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メタ)ア
クリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとして
は、(メタ)アクリル酸ジメチルエチル、(メタ)アク
リル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸ジ
エチル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アク
リレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル
(メタ)アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。さらに(メタ)アクリル酸を共重合成分として含む
テレフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエス
テル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合体、セ
ルロースアセテート、セルロースアセテートブチレー
ト、メチルセルロース、エチルセルロース等も用いるこ
とが出来る。
The carboxyl group-containing film-forming polymer (component (b)) is, for example, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid:
Examples thereof include copolymers of (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid, and a vinyl monomer copolymerizable therewith. Examples of alkyl (meth) acrylates include methyl (meth) acrylate, (meth)
Examples thereof include ethyl acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Further, as vinyl monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid, dimethylethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, diethyl (meth) acrylate 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyltoluene and the like. Furthermore, polyesters such as terephthalic acid, isophthalic acid and sebacic acid containing (meth) acrylic acid as a copolymerization component, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, methyl cellulose, ethyl cellulose and the like can also be used. .

【0010】(b)成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は(a)成分と(b)
成分の総量を100重量部として好ましくは10〜50
重量部である。配合量が10重量部未満では、エチレン
性不飽和化合物が多くなるため光感度が低下し、50重
量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、(b)成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強
度の点から10,000以上が好ましい。
By using the component (b), the coating properties and the film properties of the cured product are improved, and the compounding amounts of the component (a) and the component (b) are
The total amount of the components is 100 parts by weight, and preferably 10 to 50.
Parts by weight. If the blending amount is less than 10 parts by weight, the amount of ethylenically unsaturated compound increases, and the photosensitivity decreases, and if it exceeds 50 parts by weight, the photocured product tends to become brittle. Further, the weight average molecular weight of the component (b) is preferably 10,000 or more from the viewpoint of the coating property and the film strength.

【0011】前記の光重合開始剤または光重合開始剤系
化合物((c)成分)としては、例えばベンゾフェノ
ン、N,N′−テトラメチル−4,4′−ジアミノベン
ゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N′−テトラメチ
ル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ
−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4′−ジ
エチルアミノベンゾフェノン、2−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン;ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン;2(o
−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール
二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m
−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾー
ル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジ
フェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−
5−フェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリ
アリールイミダゾール二量体等が用いられる。
Examples of the photopolymerization initiator or the photopolymerization initiator compound (component (c)) include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), N, N. Aromatic ketones such as'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone; benzoin methyl ether, benzoin Benzoin ether such as ethyl ether and benzoin phenyl ether; Benzoin such as methylbenzoin and ethylbenzoin; 2 (o
-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m
-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2-mer
(P-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl)-
5-phenylimidazole dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5
-A 2,4,5-triarylimidazole dimer such as a diphenylimidazole dimer is used.

【0012】(c)成分の配合量は(a)成分と(b)
成分の総量100重量部に対して好ましくは0.1〜1
0重量部である。この配合量が0.1重量部未満では光
感度が不十分となり、10重量部を超えると露光の際に
組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十
分となる傾向がある。
The blending amounts of the component (c) are the components (a) and (b).
The total amount of the components is preferably 0.1 to 1 with respect to 100 parts by weight.
0 parts by weight. If the content is less than 0.1 parts by weight, the photosensitivity will be insufficient, and if it exceeds 10 parts by weight, the light absorption on the surface of the composition will increase during exposure, and the internal photocuring will tend to be insufficient. There is.

【0013】前記顔料又は染料((d)成分)として
は、一般に知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂
層の成分、特にエチレン性不飽和化合物またはカルボキ
シル基含有フイルム性付与ポリマーに対する相溶性、目
標とする色相、光透過性等を考慮して選択される。
(d)成分の配合量は、(a)成分と(b)成分の総量
100重量部に対して好ましくは1〜50重量部であ
る。この配合量が1重量部未満では着色が不十分であ
り、50重量部を超えると光透過率が低下する傾向があ
る。
As the pigment or dye (component (d)), a generally known coloring agent can be used, and a phase for the component of the photosensitive resin layer, especially for the ethylenically unsaturated compound or the carboxyl group-containing film-forming polymer. It is selected in consideration of solubility, target hue, light transmittance and the like.
The blending amount of the component (d) is preferably 1 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b). If the blending amount is less than 1 part by weight, the coloring is insufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the light transmittance tends to decrease.

【0014】着色感光性樹脂層には、加熱硬化性を高め
るためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマーの
カルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂および/また
はエポキシ樹脂を、(a)成分と(b)成分の総量10
0重量部に対して1〜20重量部添加含有させることが
好ましい。これらを添加して130〜200℃で30〜
60分加熱することによって着色層の架橋密度が向上
し、耐熱性が著しく向上する。
In the colored photosensitive resin layer, a melamine resin and / or an epoxy resin which thermally reacts with the carboxyl group of the carboxyl group-containing film-forming polymer in order to enhance the heat curing property, the (a) component and the (b) component. Total of 10
It is preferable to add 1 to 20 parts by weight to 0 parts by weight. Add these to 30 ~ 30 at 130 ~ 200 ℃
By heating for 60 minutes, the crosslink density of the colored layer is improved and the heat resistance is significantly improved.

【0015】カラーフイルタを形成する基板がガラス板
の場合は、着色感光性樹脂層とガラス板との密着性を向
上させるため、あらかじめシランカップリング剤で処理
したガラス板を用いることが好ましい。また、着色感光
性樹脂層にシランカップリング剤を含有させ、感光性樹
脂層とガラス板との密着性を向上させることもできる。
この場合のシランカップリング剤の添加量は、(a)成
分と(b)成分の総量100重量部に対して1〜30重
量部であることが好ましい。
When the substrate forming the color filter is a glass plate, it is preferable to use a glass plate previously treated with a silane coupling agent in order to improve the adhesion between the colored photosensitive resin layer and the glass plate. Further, the colored photosensitive resin layer may contain a silane coupling agent to improve the adhesion between the photosensitive resin layer and the glass plate.
In this case, the addition amount of the silane coupling agent is preferably 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b).

【0016】本発明においてカラーフィルタは、次のよ
うにして製造される。まず、透明基板上に感光性フイル
ムに形成された着色感光性樹脂層を貼り合わせ、着色感
光性樹脂層表面のベースフィルム上に所定パターンのネ
ガマスクを乗せて露光したあと、ベースフイルムが除去
される。ついで未露光部分が現像液で現像され、着色パ
ターンが形成される。この着色パターン形成工程を、色
の異なる感光性フィルムを用いて所定回数繰り返し行
い、他色のパターンを形成させてカラーフィルタが得ら
れる。上記の貼り合わせ工程が減圧下で行われるが、通
常は真空ラミネータが使用される。減圧の程度は、接着
性の点から5mmHg以下が好ましい。通常、貼り合わ
せ時の送り速度は0.1〜15m/分で、貼り合わせ時
のロール圧力は4kg/cm2程度である。ロール温度
は80℃〜140℃が好ましい。真空ラミネータの例と
しては、ANGER ELECTRONIC(アンガー
・エレクトロニック)GMBH社製のVACUUM L
AMINATOR TYPE VCLなどがある。
In the present invention, the color filter is manufactured as follows. First, a colored photosensitive resin layer formed on a photosensitive film is attached to a transparent substrate, and a negative mask having a predetermined pattern is placed on the base film on the surface of the colored photosensitive resin to expose it, and then the base film is removed. . Then, the unexposed portion is developed with a developing solution to form a colored pattern. This colored pattern forming step is repeated a predetermined number of times using photosensitive films of different colors to form a pattern of another color to obtain a color filter. Although the above-mentioned bonding step is performed under reduced pressure, a vacuum laminator is usually used. The degree of pressure reduction is preferably 5 mmHg or less from the viewpoint of adhesiveness. Usually, the feeding speed at the time of bonding is 0.1 to 15 m / min, and the roll pressure at the time of bonding is about 4 kg / cm 2 . The roll temperature is preferably 80 ° C to 140 ° C. An example of the vacuum laminator is VACUUM L made by ANGER ELECTRONIC GMBH.
AMINATOR TYPE VCL and the like.

【0017】[0017]

【実施例】【Example】

実施例1 1)感光性フイルムの製造 表1の材料を均一に溶解した溶液A206重量部に表2
のいずれかの顔料35重量部、メラミン樹脂5重量部お
よびシランカップリング剤5重量部をそれぞれ添加し、
溶解して感光性樹脂層塗工溶液を得た。
Example 1 1) Production of photosensitive film Table 2 was added to 206 parts by weight of solution A in which the materials shown in Table 1 were uniformly dissolved.
35 parts by weight of any of the pigments, 5 parts by weight of a melamine resin and 5 parts by weight of a silane coupling agent are added,
It melt | dissolved and the photosensitive resin layer coating solution was obtained.

【表1】 [Table 1]

【表2】 メラミン樹脂はサイメル300(ヘキサメトキシメチル
メラミンの商品名、三井東圧社製)、シランカップリン
グ剤はK3M503(信越化学社製)を用いた。得られ
た溶液を、厚さ25μmのポリエチレンテレフタレート
フイルム(テイジン社製テトロンフイルムS25)上に
均一な厚さに塗布し、100℃の乾燥機で2分間乾燥
し、保護フイルムとして厚さ30μmのポリエチレンフ
イルムを貼りあわせて感光性フイルムを得た。乾燥後の
感光性樹脂層の厚さは2μmであった。つぎに、前記カ
ラーフイルタ用の基板(透明ガラス、コーニング社製F
727厚さ1.0mm)を80℃で10分間加熱後、真
空ラミネータを用いて減圧下で前記カラーフイルタ用の
下地基板に前記の着色感光性樹脂層感光性フイルムの保
護フイルムを剥がしながら、着色感光性樹脂層をロール
温度120℃、ロール圧4kg/cm2、速度1.5m
/分でラミネートした。使用した真空ラミネータは、A
NGER ELECTRONIC(アンガー・エレクト
ロニック)GMBH社製のVACUUM CAMINA
TOR TYPE VCLを用い、5mmHgの圧力で
行った。所定のパターンのネガマスクを通して露光機H
MW−201B(3kW、超高圧水銀灯、オーク製作所
製)で露光した後、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムを除去し、30℃で2重量%のNa2CO3水溶液で1
0〜20秒スプレー現像して未露光部を除去し、1色の
着色パターンを形成した。この着色パターンの形成工程
を、赤、青、緑、黒の順に各色の感光性フイルムを用い
て4回繰り返し行い、図1に示す多色のパターンを形成
した。この際の露光量は赤、青、緑色の感光性樹脂層に
対しては150mJ/cm2、黒色の感光性樹脂層に対
しては300mJ/cm2とした。得られた多色パター
ンに紫外線照射機(ランプH5600L/2、東芝電材
社製)を用いて3J/cm2で照射した後、150℃で
45分間加熱してカラーフイルタを得た。得られたカラ
ーフイルタは赤、青および緑色のパターンが整然と並
び、それぞれの間隔は黒色で埋められていた。
[Table 2] Cymel 300 (trade name of hexamethoxymethyl melamine, manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd.) was used as the melamine resin, and K3M503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used as the silane coupling agent. The obtained solution was applied to a polyethylene terephthalate film (Tetron film S25 manufactured by Teijin Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm to a uniform thickness and dried for 2 minutes in a dryer at 100 ° C. to obtain a polyethylene film having a thickness of 30 μm as a protective film. A film was attached to obtain a photosensitive film. The thickness of the photosensitive resin layer after drying was 2 μm. Next, the substrate for the color filter (transparent glass, Corning F
(727 thickness 1.0 mm) at 80 ° C. for 10 minutes, and then colored while peeling off the protective film of the colored photosensitive resin layer photosensitive film on the base substrate for the color filter under reduced pressure using a vacuum laminator. Roll the photosensitive resin layer at 120 ℃, roll pressure 4kg / cm 2 , speed 1.5m
/ Min. The vacuum laminator used is A
NGER ELECTRONIC VACUM CAMINA made by GMBH
It was performed using a TOR TYPE VCL at a pressure of 5 mmHg. Exposure machine H through a negative mask of a predetermined pattern
After exposure with MW-201B (3 kW, ultra-high pressure mercury lamp, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), the polyethylene terephthalate film was removed, and 1% was added with a 2 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C.
The unexposed area was removed by spray development for 0 to 20 seconds, and a colored pattern of one color was formed. This step of forming a colored pattern was repeated four times using the photosensitive films of respective colors in the order of red, blue, green and black to form the multicolor pattern shown in FIG. Exposure amount in the red, blue, 150 mJ / cm 2 for green photosensitive resin layer for the photosensitive resin layer of black was 300 mJ / cm 2. The resulting multicolor pattern was irradiated at 3 J / cm 2 with an ultraviolet irradiation device (lamp H5600L / 2, manufactured by Toshiba Denshi Co., Ltd.) and then heated at 150 ° C. for 45 minutes to obtain a color filter. The resulting color filter had red, blue and green patterns arranged in an orderly manner, and the spaces between them were filled with black.

【0018】比較例1 実施例1と同様にして厚さ25μmのポリエチレンテレ
フタレートフイルム(テイジン製、テトロンフイルム
S25)をベースフイルムとして、上に保護フイルムと
して厚さ30μmのポリエチレンフイルムを貼りあわせ
た感光性フイルムを顔料の赤、青、緑、黒それぞれにつ
いて作成した。実施例1と同様にして下地層を設けない
で、赤色の着色パターンを形成し、ついで、このパター
ンの形成工程を、青、緑、黒の順に各色の感光性フイル
ムを用いて3回繰り返し行った。実施例1と同様の多色
のパターンを形成した。得られた多色のパターンの模式
図を図2に示す。はじめの色の赤(1)のパターンは良
好であったが、青(2)、緑(3)では、赤と赤の隣合
った画素のあいだ(325μm)の一部分しか画素が生
ぜず、特に、赤の画素に25μm間隔で接している青の
画素では50μm幅しか再現せず、125μm×125
μmの正方形は再現されなかった。黒はまったく画素を
生じなかった。
Comparative Example 1 A polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm (manufactured by Teijin, Tetoron film) was prepared in the same manner as in Example 1.
S25) was used as a base film, and a 30 μm-thick polyethylene film as a protective film was laminated thereon to prepare a photosensitive film for each of the pigments red, blue, green and black. A red colored pattern was formed in the same manner as in Example 1 without providing a base layer, and then the pattern forming process was repeated three times using a photosensitive film of each color in the order of blue, green and black. It was A multicolor pattern similar to that of Example 1 was formed. A schematic view of the obtained multicolor pattern is shown in FIG. The pattern of red (1) of the first color was good, but in blue (2) and green (3), only a part of the pixel (325 μm) between the adjacent pixels of red and red was generated. , A blue pixel that is in contact with a red pixel at 25 μm intervals reproduces only a 50 μm width, and 125 μm × 125
The μm square was not reproduced. Black produced no pixels.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の
多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有する
カラーフイルタを製造することができる。
According to the manufacturing method of the present invention, a highly precise multicolor fine pattern having a uniform thickness is formed on a substrate with excellent followability and workability of a photosensitive film and excellent heat resistance. A color filter can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例で得たカラーフイルタのパター
ンを示す画面である。
FIG. 1 is a screen showing a pattern of a color filter obtained in an example of the present invention.

【図2】本発明の比較例で得たカラーフイルタのパター
ンを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a pattern of a color filter obtained in a comparative example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 赤色 2 青色 3 緑色 4 黒色 1 red 2 blue 3 green 4 black

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
着色された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り
あわせる工程、露光して所定のパターンを形成させる工
程および前記ベースフイルムを剥がして現像する工程を
繰り返して多色パターンを形成させるカラーフイルタの
製造法において、前記の貼りあわせる工程を減圧下で行
うことを特徴とするカラーフイルタの製造法。
1. A photosensitive film comprising a base film and a photosensitive resin layer colored in one color on a transparent substrate,
A color filter for forming a multicolor pattern by repeating a step of laminating a colored photosensitive resin layer so as to face the substrate, a step of exposing and forming a predetermined pattern, and a step of peeling off and developing the base film. 2. The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the laminating step is performed under reduced pressure.
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