JPH07129741A - 画像認識装置 - Google Patents
画像認識装置Info
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- JPH07129741A JPH07129741A JP5271965A JP27196593A JPH07129741A JP H07129741 A JPH07129741 A JP H07129741A JP 5271965 A JP5271965 A JP 5271965A JP 27196593 A JP27196593 A JP 27196593A JP H07129741 A JPH07129741 A JP H07129741A
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- moving
- television camera
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 画像認識装置において、縦横のパターン状に
配設された被検出物体７を高速度に認識処理する。 【構成】 基板２上に固定のテレビカメラ１５Ａと、所
定ピッチ間隔で連動して移動する移動のテレビカメラ１
５Ｂ，１５Ｃを配設し、基板２上に配設された複数個の
被検出物体７を同時平行的に撮像し、画像処理部８で識
別処理する。
配設された被検出物体７を高速度に認識処理する。 【構成】 基板２上に固定のテレビカメラ１５Ａと、所
定ピッチ間隔で連動して移動する移動のテレビカメラ１
５Ｂ，１５Ｃを配設し、基板２上に配設された複数個の
被検出物体７を同時平行的に撮像し、画像処理部８で識
別処理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は画像認識装置、特に、
縦横のパターン状に配置された、例えば半導体ウエーハ
上の半導体素子などの被検出物体を、複数個のテレビカ
メラを用いて同時並行的に撮像し、高速度で画像処理す
る画像認識装置に関する。
縦横のパターン状に配置された、例えば半導体ウエーハ
上の半導体素子などの被検出物体を、複数個のテレビカ
メラを用いて同時並行的に撮像し、高速度で画像処理す
る画像認識装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種、画像認識装置は被検出物体の表
面画像をテレビカメラで撮像し、撮像した映像信号を予
めメモリ内に記憶した標準パターン信号と比較すること
により、被検出物体を画像パターン上で識別して検出す
るものであり、被検出物体がスクリーン上に拡大して視
認できる上、高速処理が可能、正確である等から、各種
物体の自動組立や自動検査に使用されている。
面画像をテレビカメラで撮像し、撮像した映像信号を予
めメモリ内に記憶した標準パターン信号と比較すること
により、被検出物体を画像パターン上で識別して検出す
るものであり、被検出物体がスクリーン上に拡大して視
認できる上、高速処理が可能、正確である等から、各種
物体の自動組立や自動検査に使用されている。
【０００３】例えば、図７はこの種テレビカメラを用い
た半導体ウエーハの外観検査装置である。
た半導体ウエーハの外観検査装置である。
【０００４】同図において、１は被検査物体の半導体ウ
エーハ２を載置支持するステージ、３はステージ１を
Ｘ，Ｙ方向に駆動するＸＹ駆動部、４はＸＹ駆動部３を
駆動制御するモータコントロール部である。５は半導体
ウエーハ２上を照明する光源、６は半導体ウエーハ２上
の半導体素子７を１個づつ撮像するテレビカメラ、８は
テレビカメラ６で撮像した半導体素子７の映像信号を所
定の標準パターン信号と比較して撮像した表面画像が所
定のパターンか否かを識別する画像処理部であり、テレ
ビカメラ６の映像信号を増幅する増幅部９、増幅された
映像信号をメモリ１０に記憶した標準パターン信号と比
較する比較部１１、および上記映像信号を表示する表示
部１２などから構成されている。また、１３は画像処理
部８の処理信号により駆動され、不良の場合は半導体素
子７上に所定マークを付与するマーカである。
エーハ２を載置支持するステージ、３はステージ１を
Ｘ，Ｙ方向に駆動するＸＹ駆動部、４はＸＹ駆動部３を
駆動制御するモータコントロール部である。５は半導体
ウエーハ２上を照明する光源、６は半導体ウエーハ２上
の半導体素子７を１個づつ撮像するテレビカメラ、８は
テレビカメラ６で撮像した半導体素子７の映像信号を所
定の標準パターン信号と比較して撮像した表面画像が所
定のパターンか否かを識別する画像処理部であり、テレ
ビカメラ６の映像信号を増幅する増幅部９、増幅された
映像信号をメモリ１０に記憶した標準パターン信号と比
較する比較部１１、および上記映像信号を表示する表示
部１２などから構成されている。また、１３は画像処理
部８の処理信号により駆動され、不良の場合は半導体素
子７上に所定マークを付与するマーカである。
【０００５】半導体ウエーハ２は、例えば図８に示すよ
うに、円板状の半導体基板１４上に、拡散法や写真飾刻
法を用いて、多数の半導体素子７を縦横のパターン状に
形成したものであり、各半導体素子７は所定ピッチ間隔
の縦横列に形成される。各半導体素子７はウエーハ状態
で上記外観検査装置にかけられ、次のようにして、その
表面状態、例えば電極形状やバンプ電極の高さ（不図
示）などが検査される。
うに、円板状の半導体基板１４上に、拡散法や写真飾刻
法を用いて、多数の半導体素子７を縦横のパターン状に
形成したものであり、各半導体素子７は所定ピッチ間隔
の縦横列に形成される。各半導体素子７はウエーハ状態
で上記外観検査装置にかけられ、次のようにして、その
表面状態、例えば電極形状やバンプ電極の高さ（不図
示）などが検査される。
【０００６】即ち、まずステージ１上に半導体ウエーハ
２が載置され、例えば図８に示すように、その左側上端
位置の半導体素子７ｅがテレビカメラ６下方の所定位置
に設定され、テレビカメラ６で表面画像が撮像されて画
像処理部８でその表面画像が識別される。そして、不良
の場合は、マーカ１３により該半導体素子７ｅ上がマー
キングされる。次いで、ステージ１が半導体素子７のピ
ッチ間隔で上方に移動され、次の半導体素子７ｆの外観
検査が同様になされ、順次隣接する半導体素子７の外観
検査が進められ、半導体ウエーハ２上の全半導体素子７
が画像認識しながら自動検査される。
２が載置され、例えば図８に示すように、その左側上端
位置の半導体素子７ｅがテレビカメラ６下方の所定位置
に設定され、テレビカメラ６で表面画像が撮像されて画
像処理部８でその表面画像が識別される。そして、不良
の場合は、マーカ１３により該半導体素子７ｅ上がマー
キングされる。次いで、ステージ１が半導体素子７のピ
ッチ間隔で上方に移動され、次の半導体素子７ｆの外観
検査が同様になされ、順次隣接する半導体素子７の外観
検査が進められ、半導体ウエーハ２上の全半導体素子７
が画像認識しながら自動検査される。
【０００７】尚、上記ウエーハの外観検査装置は各半導
体素子７が半導体基板１４上に所定ピッチの縦横のパタ
ーンで形成されているから、ステージ１の移動が所定ピ
ッチ間隔でよく、駆動機構が簡単で、高速駆動に適す
る。また、メモリ１０に半導体素子７の画像パターンが
記憶されており、このパターン信号によりテレビカメラ
６で撮像した半導体素子７の位置ずれ量が補正できるな
ど、高精度の画像認識処理がなされる。
体素子７が半導体基板１４上に所定ピッチの縦横のパタ
ーンで形成されているから、ステージ１の移動が所定ピ
ッチ間隔でよく、駆動機構が簡単で、高速駆動に適す
る。また、メモリ１０に半導体素子７の画像パターンが
記憶されており、このパターン信号によりテレビカメラ
６で撮像した半導体素子７の位置ずれ量が補正できるな
ど、高精度の画像認識処理がなされる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、テレビカ
メラを用いた半導体素子の外観検査装置は各半導体ウエ
ーハをステージ上に装着するのみで、半導体素子が自動
的に外観検査がなされる。
メラを用いた半導体素子の外観検査装置は各半導体ウエ
ーハをステージ上に装着するのみで、半導体素子が自動
的に外観検査がなされる。
【０００９】しかしながら、近時半導体ウエーハは大径
化される一方、半導体素子のチップサイズが小形化さ
れ、１枚の半導体ウエーハ内に形成される半導体素子数
が極めて多くなる傾向にある。このため、半導体ウエー
ハの外観検査に処理時間がかかるといった問題が生じて
きた。
化される一方、半導体素子のチップサイズが小形化さ
れ、１枚の半導体ウエーハ内に形成される半導体素子数
が極めて多くなる傾向にある。このため、半導体ウエー
ハの外観検査に処理時間がかかるといった問題が生じて
きた。
【００１０】このため、半導体ウエーハ上に複数個のテ
レビカメラを配置させ、ウエーハ上に縦横のパターン状
に形成された半導体素子複数個を同時並行的に撮像して
高速度で認識処理することが考えられた。
レビカメラを配置させ、ウエーハ上に縦横のパターン状
に形成された半導体素子複数個を同時並行的に撮像して
高速度で認識処理することが考えられた。
【００１１】しかしながら、このように複数個のテレビ
カメラを配置させようとすると、半導体素子が品種によ
ってチップサイズが異なるために、これを撮像するテレ
ビカメラの設置位置を、検査対象の半導体素子の品種毎
に変更する必要があり、品種切換え時のテレビカメラの
設置位置の調整が大変であった。また、テレビカメラを
位置変更させる駆動系も設置するテレビカメラ数と同数
必要となり、装置が高価になり、かつ、カメラ間の位置
調整が複雑となるものであった。
カメラを配置させようとすると、半導体素子が品種によ
ってチップサイズが異なるために、これを撮像するテレ
ビカメラの設置位置を、検査対象の半導体素子の品種毎
に変更する必要があり、品種切換え時のテレビカメラの
設置位置の調整が大変であった。また、テレビカメラを
位置変更させる駆動系も設置するテレビカメラ数と同数
必要となり、装置が高価になり、かつ、カメラ間の位置
調整が複雑となるものであった。
【００１２】従って、本発明はかかるテレビカメラを用
いた半導体ウエーハの外観検査における処理時間上の問
題点に鑑みなされたものであり、テレビカメラを位置変
更する駆動系が安価に構成でき、位置調整が容易で、短
時間に外観検査がなされるテレビカメラを用いた半導体
ウエーハの外観検査装置を得ることを目的としている。
いた半導体ウエーハの外観検査における処理時間上の問
題点に鑑みなされたものであり、テレビカメラを位置変
更する駆動系が安価に構成でき、位置調整が容易で、短
時間に外観検査がなされるテレビカメラを用いた半導体
ウエーハの外観検査装置を得ることを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このため、本発明の画像
認識装置は所定ピッチ間隔で多数の被検出物体が配設さ
れた基板上をテレビカメラで撮像して得られた映像信号
とメモリに記憶された標準パターン信号とを比較して前
記基板上に配設された被検出物体を識別する画像認識装
置において、前記テレビカメラは前記基板と対峙して配
置された固定のテレビカメラと、この固定のテレビカメ
ラと所定距離離間し所定ピッチ間隔で連動して移動する
複数個の移動のテレビカメラとで構成されたことを特徴
としている。また、本発明の画像認識装置は前記複数個
の移動のテレビカメラは１回転当たりの移動量が基準移
動量から順次整数倍に変位して設定された複数個のリー
ド体にそれぞれ搭載され、前記リード体は各テーブルの
ボールスクリュー間が結合され、共通のモータで駆動さ
れることを特徴としている。また、本発明の画像認識装
置は前記各テーブルのボールスクリュー間がカップリン
グにより連結されたことを特徴としている。また、本発
明の画像認識装置は前記リード体は順次整数倍に変位し
て設定された複数個のリード体とこれらのリード体とは
それぞれ移動方向が逆向きとなる対のリード体で構成さ
れ、これらのリード体と対のリード体をそれぞれ固定テ
レビカメラの両側に配置したことを特徴としている。ま
た、本発明の画像認識装置は前記移動テレビカメラは１
回転あたりの移動量がそれぞれ同じ基準移動量に設定さ
れたリード体に搭載され、前記リード体はテーブルのボ
ールスクリュー間が倍速の変速機で結合され、共通のモ
ータで駆動されることを特徴としている。また、本発明
の画像認識装置は前記複数個の移動のテレビカメラはテ
ーブルが積層状に重合された直交配置のＸ，Ｙリード体
のテーブル上および重合部上に搭載され、前記Ｘ，Ｙリ
ード体はそれぞれ各テーブルのボールスクリューがＸ，
Ｙモータで駆動されることを特徴としている。
認識装置は所定ピッチ間隔で多数の被検出物体が配設さ
れた基板上をテレビカメラで撮像して得られた映像信号
とメモリに記憶された標準パターン信号とを比較して前
記基板上に配設された被検出物体を識別する画像認識装
置において、前記テレビカメラは前記基板と対峙して配
置された固定のテレビカメラと、この固定のテレビカメ
ラと所定距離離間し所定ピッチ間隔で連動して移動する
複数個の移動のテレビカメラとで構成されたことを特徴
としている。また、本発明の画像認識装置は前記複数個
の移動のテレビカメラは１回転当たりの移動量が基準移
動量から順次整数倍に変位して設定された複数個のリー
ド体にそれぞれ搭載され、前記リード体は各テーブルの
ボールスクリュー間が結合され、共通のモータで駆動さ
れることを特徴としている。また、本発明の画像認識装
置は前記各テーブルのボールスクリュー間がカップリン
グにより連結されたことを特徴としている。また、本発
明の画像認識装置は前記リード体は順次整数倍に変位し
て設定された複数個のリード体とこれらのリード体とは
それぞれ移動方向が逆向きとなる対のリード体で構成さ
れ、これらのリード体と対のリード体をそれぞれ固定テ
レビカメラの両側に配置したことを特徴としている。ま
た、本発明の画像認識装置は前記移動テレビカメラは１
回転あたりの移動量がそれぞれ同じ基準移動量に設定さ
れたリード体に搭載され、前記リード体はテーブルのボ
ールスクリュー間が倍速の変速機で結合され、共通のモ
ータで駆動されることを特徴としている。また、本発明
の画像認識装置は前記複数個の移動のテレビカメラはテ
ーブルが積層状に重合された直交配置のＸ，Ｙリード体
のテーブル上および重合部上に搭載され、前記Ｘ，Ｙリ
ード体はそれぞれ各テーブルのボールスクリューがＸ，
Ｙモータで駆動されることを特徴としている。
【００１４】
【作用】固定のテレビカメラと移動のテレビカメラによ
り基板上の複数個の被検出物体が同時並行的に撮像され
る。また、複数個のリード体は基準移動量から順次整数
倍に変位した移動量に設定されるから、各リード体間の
間隔を等しく保った状態で、その間隔を可変することが
できる。従って、各テレビカメラの間隔を被検出物体の
ピッチに対応させて移動することができる。また、各リ
ード体はボールスクリュー間を結合して共通のモータで
駆動させるから、駆動系が簡単に構成できる。また、直
交配置されたＸ，Ｙリード体に移動のテレビカメラを搭
載させるから、基板上の被検出体を縦横列で撮像するこ
とができる。
り基板上の複数個の被検出物体が同時並行的に撮像され
る。また、複数個のリード体は基準移動量から順次整数
倍に変位した移動量に設定されるから、各リード体間の
間隔を等しく保った状態で、その間隔を可変することが
できる。従って、各テレビカメラの間隔を被検出物体の
ピッチに対応させて移動することができる。また、各リ
ード体はボールスクリュー間を結合して共通のモータで
駆動させるから、駆動系が簡単に構成できる。また、直
交配置されたＸ，Ｙリード体に移動のテレビカメラを搭
載させるから、基板上の被検出体を縦横列で撮像するこ
とができる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳
述する。
述する。
【００１６】図１は本発明のテレビカメラを用いた半導
体ウエーハの外観検査装置である。
体ウエーハの外観検査装置である。
【００１７】この半導体ウエーハの外観検査装置におい
て、前記図７の半導体ウエーハの外観検査装置と異なる
点は、半導体ウエーハ２上の半導体素子７を撮像するテ
レビカメラ６を連設した複数個のテレビカメラ１５（１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…）に置換えたものであり、これ
らの連設された複数個のテレビカメラ１５の内、１個の
テレビカメラ１５Ａは固定のテレビカメラ、その他のテ
レビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ…は駆動系１６により駆動さ
れ、所定ピッチ間隔で連動して移動する移動のテレビカ
メラで構成したものである。そして、その他の構成は前
記図７の外観検査装置と同一であり、同じ構成物は同一
参照符号を付し、その説明は省略する。
て、前記図７の半導体ウエーハの外観検査装置と異なる
点は、半導体ウエーハ２上の半導体素子７を撮像するテ
レビカメラ６を連設した複数個のテレビカメラ１５（１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…）に置換えたものであり、これ
らの連設された複数個のテレビカメラ１５の内、１個の
テレビカメラ１５Ａは固定のテレビカメラ、その他のテ
レビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ…は駆動系１６により駆動さ
れ、所定ピッチ間隔で連動して移動する移動のテレビカ
メラで構成したものである。そして、その他の構成は前
記図７の外観検査装置と同一であり、同じ構成物は同一
参照符号を付し、その説明は省略する。
【００１８】即ち、上記複数個のテレビカメラ１５（１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…）は半導体ウエーハ２と対峙し
て配設され、半導体ウエーハ２上に隣接して形成された
一連の半導体素子７（７ａ，７ｂ，７ｃ…）にそれぞれ
その口径を対向させ、各半導体素子７（７ａ，７ｂ，７
ｃ…）毎の表面画像を撮像すべく互いに離間して配置さ
れている。また、移動のテレビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ…
は固定のテレビカメラ１５Ａに隣接した移動のテレビカ
メラ１５Ｂの移動量Ｌに対して、これと離間した移動の
テレビカメラ１５Ｃ…の移動量はこの移動量Ｌを順次整
数倍した移動量ＮＬ（Ｎ＝２，３…）に設定されて駆動
系１６により移動される。
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…）は半導体ウエーハ２と対峙し
て配設され、半導体ウエーハ２上に隣接して形成された
一連の半導体素子７（７ａ，７ｂ，７ｃ…）にそれぞれ
その口径を対向させ、各半導体素子７（７ａ，７ｂ，７
ｃ…）毎の表面画像を撮像すべく互いに離間して配置さ
れている。また、移動のテレビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ…
は固定のテレビカメラ１５Ａに隣接した移動のテレビカ
メラ１５Ｂの移動量Ｌに対して、これと離間した移動の
テレビカメラ１５Ｃ…の移動量はこの移動量Ｌを順次整
数倍した移動量ＮＬ（Ｎ＝２，３…）に設定されて駆動
系１６により移動される。
【００１９】かかる構成の半導体ウエーハの外観検査装
置は、各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…を半導
体ウエーハ２上に隣接して形成された一連の半導体素子
７ａ，７ｂ，７ｃ…にそれぞれその口径を対向させて配
置させ、各半導体素子７ａ，７ｂ，７ｃ…上の表面画像
をそれぞれ撮像し、撮像した半導体素子７ａ，７ｂ，７
ｃ…の映像信号を画像処理部８で同時並行的に認識処理
させることで、半導体ウエーハ２は複数個のテレビカメ
ラ１５で複数列の半導体素子７が同時並行的に検査さ
れ、高速で処理することができる。
置は、各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…を半導
体ウエーハ２上に隣接して形成された一連の半導体素子
７ａ，７ｂ，７ｃ…にそれぞれその口径を対向させて配
置させ、各半導体素子７ａ，７ｂ，７ｃ…上の表面画像
をそれぞれ撮像し、撮像した半導体素子７ａ，７ｂ，７
ｃ…の映像信号を画像処理部８で同時並行的に認識処理
させることで、半導体ウエーハ２は複数個のテレビカメ
ラ１５で複数列の半導体素子７が同時並行的に検査さ
れ、高速で処理することができる。
【００２０】そして、チップサイズの異なる半導体ウエ
ーハ２への品種切換えは、駆動系１６を駆動すること
で、各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…の間隔が
同時に所定量移動され、切換えた品種の半導体ウエーハ
上に隣接して形成された一連の半導体素子にそれぞれ対
向配置さすことができる。
ーハ２への品種切換えは、駆動系１６を駆動すること
で、各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…の間隔が
同時に所定量移動され、切換えた品種の半導体ウエーハ
上に隣接して形成された一連の半導体素子にそれぞれ対
向配置さすことができる。
【００２１】図２に上記移動のテレビカメラ１５Ｂ，１
５Ｃ…を移動する駆動系の一例を示す。
５Ｃ…を移動する駆動系の一例を示す。
【００２２】この駆動系１６ａは１回転当たりの移動量
がＬに設定されたリード体１７と１回転当たりの移動量
が２Ｌに設定されたリード体１８が用いられ、これらの
リード体１７、１８のテーブル１７ａ、１８ａ上に、そ
れぞれ移動のテレビカメラ１５Ｂ、１５Ｃが搭載され、
固定テレビカメラ１５Ａに連設される。そして、両リー
ド体１７、１８は各テーブル１７ａ、１８ａのボールス
クリュー１７ｂ、１８ｂがカップリング１９により結合
され、端部が共通のパルスモータ２０に接続されてい
る。
がＬに設定されたリード体１７と１回転当たりの移動量
が２Ｌに設定されたリード体１８が用いられ、これらの
リード体１７、１８のテーブル１７ａ、１８ａ上に、そ
れぞれ移動のテレビカメラ１５Ｂ、１５Ｃが搭載され、
固定テレビカメラ１５Ａに連設される。そして、両リー
ド体１７、１８は各テーブル１７ａ、１８ａのボールス
クリュー１７ｂ、１８ｂがカップリング１９により結合
され、端部が共通のパルスモータ２０に接続されてい
る。
【００２３】かかる駆動系１６ａによれば、パルスモー
タ２０を回転駆動すると、リード体１８の移動量がリー
ド体１７の移動量の２倍に設定されているから、各テレ
ビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの間隔は、図３に示す
ように、品種切換え前の品種Ａのチップ間隔ｍに対して
それぞれ品種Ｂのチップ間隔（ｍ＋ｄｍ）に切換えられ
る。即ち、この駆動系１６ａは、移動のテレビカメラ１
５Ｂ，１５Ｃを搭載する各リード体１７および１８は移
動量が順次整数倍に変位して設定されているから、移動
後の各リード体１７および１８間が互いに同じ間隔に保
持されるものである。
タ２０を回転駆動すると、リード体１８の移動量がリー
ド体１７の移動量の２倍に設定されているから、各テレ
ビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの間隔は、図３に示す
ように、品種切換え前の品種Ａのチップ間隔ｍに対して
それぞれ品種Ｂのチップ間隔（ｍ＋ｄｍ）に切換えられ
る。即ち、この駆動系１６ａは、移動のテレビカメラ１
５Ｂ，１５Ｃを搭載する各リード体１７および１８は移
動量が順次整数倍に変位して設定されているから、移動
後の各リード体１７および１８間が互いに同じ間隔に保
持されるものである。
【００２４】図４は本発明の他の実施例の駆動系１６ｂ
であり、上記図２の駆動系１６ａにおいて、移動量が順
次整数倍に変位して設定されたリード体１７，１８と、
これらのリード体１７，１８と移動方向が逆向きとなる
対のリード体１７Ａ，１８Ａを用い、これらのリード体
１７，１８と対のリード体１７Ａ，１８Ａを固定テレビ
カメラ１５Ａの両側に配置させ、それぞれ移動のテレビ
カメラ１５Ｂ，１５Ｃ、１５Ｄ，１５Ｅを搭載したもの
である。そして、各リード体１７，１８、１７Ａ，１８
Ａはそれぞれ各テーブルのボールスクリュウ間が一体に
結合されて、端部が共通のパルスモータ２０に接続され
ている。
であり、上記図２の駆動系１６ａにおいて、移動量が順
次整数倍に変位して設定されたリード体１７，１８と、
これらのリード体１７，１８と移動方向が逆向きとなる
対のリード体１７Ａ，１８Ａを用い、これらのリード体
１７，１８と対のリード体１７Ａ，１８Ａを固定テレビ
カメラ１５Ａの両側に配置させ、それぞれ移動のテレビ
カメラ１５Ｂ，１５Ｃ、１５Ｄ，１５Ｅを搭載したもの
である。そして、各リード体１７，１８、１７Ａ，１８
Ａはそれぞれ各テーブルのボールスクリュウ間が一体に
結合されて、端部が共通のパルスモータ２０に接続され
ている。
【００２５】かかる駆動系１６ｂは対のリード体１７
Ａ，１８Ａはリード体１７，１８とは逆向きに移動し、
各テーブル上に搭載したテレビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ、
１５Ｄ，１５Ｅを所定距離移動する。そして、上記駆動
系１６ａと同様に、パルスモータ２０を回転駆動して、
各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ，１５
Ｅの間隔を同じ間隔に保持しつつ、ピッチ間隔を代える
ことができる。
Ａ，１８Ａはリード体１７，１８とは逆向きに移動し、
各テーブル上に搭載したテレビカメラ１５Ｂ，１５Ｃ、
１５Ｄ，１５Ｅを所定距離移動する。そして、上記駆動
系１６ａと同様に、パルスモータ２０を回転駆動して、
各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ，１５
Ｅの間隔を同じ間隔に保持しつつ、ピッチ間隔を代える
ことができる。
【００２６】また、図５は本発明の他の実施例の駆動系
１６ｃであり、１回転あたりの移動量を同じ基準移動量
Ｌに設定したリード体２１、２２が用いられ、これらの
リード体２１、２２のテーブル上に、それぞれ移動のテ
レビカメラ１５Ｂ、１５Ｃが搭載され、固定テレビカメ
ラ１５Ａに連設される。そして、両リード体２１、２２
の各ボールスクリュー２１ｂ，２２ｂ間を倍速の変速機
２３で結合し、端部を共通のパルスモータ２０で接続し
たものである。
１６ｃであり、１回転あたりの移動量を同じ基準移動量
Ｌに設定したリード体２１、２２が用いられ、これらの
リード体２１、２２のテーブル上に、それぞれ移動のテ
レビカメラ１５Ｂ、１５Ｃが搭載され、固定テレビカメ
ラ１５Ａに連設される。そして、両リード体２１、２２
の各ボールスクリュー２１ｂ，２２ｂ間を倍速の変速機
２３で結合し、端部を共通のパルスモータ２０で接続し
たものである。
【００２７】かかる駆動系１６ｃも、リード体２２の移
動量がリード体２１の移動量の２倍となり、各テレビカ
メラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの間隔を、前記実施例の駆
動系１６ａと同様にして、各テレビカメラ１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃの間隔を同じ間隔に保持しつつそのピッチ間
隔を変えることができる。
動量がリード体２１の移動量の２倍となり、各テレビカ
メラ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの間隔を、前記実施例の駆
動系１６ａと同様にして、各テレビカメラ１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃの間隔を同じ間隔に保持しつつそのピッチ間
隔を変えることができる。
【００２８】また、図６は本発明の他の実施例の駆動系
１６ｄであり、直交方向に移動するＸ，Ｙリード体２
４，２５を用いて各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｆ，１５
Ｇ，１５ＨをＸＹ方向の平面的に搭載する構成である。
即ち、Ｘ，Ｙリード体２４，２５はそのボールスクリュ
ー２４ｂ，２５ｂがそれぞれＸ，Ｙパルスモータ２０
ａ，２０ｂに接続されてＸ，Ｙ方向に駆動される。そし
て、Ｘ，Ｙリード体２４，２５のテーブル２４ａ，２５
ａは積層状に重合して配置され、両テーブル２４ａ，２
５ａ上および積層された重合部上に移動のテレビカメラ
１５Ｆ，１５Ｇ，１５Ｈが固定のテレビカメラ１５Ａに
連設して配置されている。
１６ｄであり、直交方向に移動するＸ，Ｙリード体２
４，２５を用いて各テレビカメラ１５Ａ，１５Ｆ，１５
Ｇ，１５ＨをＸＹ方向の平面的に搭載する構成である。
即ち、Ｘ，Ｙリード体２４，２５はそのボールスクリュ
ー２４ｂ，２５ｂがそれぞれＸ，Ｙパルスモータ２０
ａ，２０ｂに接続されてＸ，Ｙ方向に駆動される。そし
て、Ｘ，Ｙリード体２４，２５のテーブル２４ａ，２５
ａは積層状に重合して配置され、両テーブル２４ａ，２
５ａ上および積層された重合部上に移動のテレビカメラ
１５Ｆ，１５Ｇ，１５Ｈが固定のテレビカメラ１５Ａに
連設して配置されている。
【００２９】かかる駆動系１６ｄは各移動のテレビカメ
ラ１５Ａ，１５Ｆ，１５Ｇ，１５ＨがＸＹ方向の平面的
に配置され、半導体ウエーハ２上の半導体素子７を複数
個平面的に纏った形で検査することができる。
ラ１５Ａ，１５Ｆ，１５Ｇ，１５ＨがＸＹ方向の平面的
に配置され、半導体ウエーハ２上の半導体素子７を複数
個平面的に纏った形で検査することができる。
【００３０】尚、本発明は被検出物体として半導体ウエ
ーハ上の半導体素子を例示したが、本発明はこれに限定
されることなく、縦横のパターン状に配置して構成する
被検出物体であれば、同様に適用できるものである。
ーハ上の半導体素子を例示したが、本発明はこれに限定
されることなく、縦横のパターン状に配置して構成する
被検出物体であれば、同様に適用できるものである。
【００３１】
【発明の効果】以上本発明によれば、固定のテレビカメ
ラと移動のテレビカメラを用い、基板上の被検出物体複
数個を同時平行的に撮像して画像処理するように構成し
たから、処理速度の早い画像認識装置が得られる。ま
た、移動のテレビカメラを所定ピッチ間隔で連動して移
動するように構成したから、被検出物体の品種切換え
時、各テレビカメラの配置位置を容易に位置調整するこ
とができる。また、テレビカメラを搭載する各リード体
は共通のモータで駆動するよう構成したから、駆動系が
簡単で安価に構成することが出来る。
ラと移動のテレビカメラを用い、基板上の被検出物体複
数個を同時平行的に撮像して画像処理するように構成し
たから、処理速度の早い画像認識装置が得られる。ま
た、移動のテレビカメラを所定ピッチ間隔で連動して移
動するように構成したから、被検出物体の品種切換え
時、各テレビカメラの配置位置を容易に位置調整するこ
とができる。また、テレビカメラを搭載する各リード体
は共通のモータで駆動するよう構成したから、駆動系が
簡単で安価に構成することが出来る。
【図１】本発明の半導体ウエーハの外観検査装置の要部
構成を示す概略図
構成を示す概略図
【図２】図１のテレビカメラの駆動系の一例を示す構成
図
図
【図３】図２のテレビカメラの作動状態の説明図
【図４】図１のテレビカメラの駆動系の他の例を示す構
成図
成図
【図５】図１のテレビカメラの駆動系の他の例を示す構
成図
成図
【図６】図１のテレビカメラの駆動系の他の例を示す構
成図
成図
【図７】従来の半導体ウエーハの外観検査装置の要部構
成を示す概略図
成を示す概略図
【図８】半導体ウエーハのパターン例を示す正面図
15 複数個の移動のテレビカメラ 15A 固定のテレビカメラ 15B,15C,15D,15E,15F,15G,15H 移動のテレビカメラ 17,18 リード体 17A,18A 対のリード体 19 カップリング 20 共通のパルスモータ 20a,20b Ｘ，Ｙパルスモータ 21,22 リード体 21b,22b ボールスクリュー 23 倍速の変速機 24,25 直交配置のリード体 24a,25a テーブル 24b,25b ボールスクリュー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０６Ｔ 7/00 9287−5Ｌ Ｇ０６Ｆ 15/62 ４０５ Ｚ
Claims (5)
- 【請求項１】 所定ピッチ間隔で多数の被検出物体が配
設された基板上をテレビカメラで撮像して得られた映像
信号とメモリに記憶された標準パターン信号とを比較し
て前記基板上に配設された被検出物体を識別する画像認
識装置において、 前記テレビカメラは前記基板と対峙して配置された固定
のテレビカメラと、この固定のテレビカメラと所定距離
離間し所定ピッチ間隔で連動して移動する複数個の移動
のテレビカメラとで構成されたことを特徴とする画像認
識装置 - 【請求項２】 前記複数個の移動のテレビカメラは１回
転当たりの移動量が基準移動量から順次整数倍に変位し
て設定された複数個のリード体にそれぞれ搭載され、前
記リード体は各テーブルのボールスクリュー間が一体に
結合またはカップリングにより連結されて共通のモータ
で駆動されることを特徴とする請求項１記載の画像認識
装置。 - 【請求項３】 前記リード体は順次整数倍に変位して設
定された複数個のリード体とこれらのリード体とはそれ
ぞれ移動方向が逆向きとなる対のリード体で構成され、
これらのリード体と対のリード体をそれぞれ固定テレビ
カメラの両側に配置したことを特徴とする請求項２記載
の画像認識装置。 - 【請求項４】 前記移動テレビカメラは１回転あたりの
移動量がそれぞれ同じ基準移動量に設定されたリード体
に搭載され、前記リード体はテーブルのボールスクリュ
ー間が倍速の変速機で結合されて共通のモータで駆動さ
れることを特徴とする請求項１記載の画像認識装置。 - 【請求項５】 前記複数個の移動のテレビカメラはテー
ブルが積層状に重合された直交配置のＸ，Ｙリード体の
テーブル上および重合部上に搭載され、前記Ｘ，Ｙリー
ド体はそれぞれ各テーブルのボールスクリューがＸ，Ｙ
モータで駆動されることを特徴とする請求項１記載の画
像認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271965A JPH07129741A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 画像認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271965A JPH07129741A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 画像認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07129741A true JPH07129741A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17507282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5271965A Withdrawn JPH07129741A (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 画像認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07129741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513204A (ja) * | 1998-04-30 | 2002-05-08 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 半導体ウェーハを検査するシステム及び方法 |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP5271965A patent/JPH07129741A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002513204A (ja) * | 1998-04-30 | 2002-05-08 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 半導体ウェーハを検査するシステム及び方法 |
| JP2010249833A (ja) * | 1998-04-30 | 2010-11-04 | Kla-Tencor Corp | 半導体ウェーハを検査するシステム及び方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |