JPH07126896A

JPH07126896A - 表面処理方法およびそれに使用する表面処理装置

Info

Publication number: JPH07126896A
Application number: JP29753893A
Authority: JP
Inventors: Tatsuaki Omasa; 龍晋大政
Original assignee: Nihon Techno KK
Current assignee: Nihon Techno KK
Priority date: 1993-11-02
Filing date: 1993-11-02
Publication date: 1995-05-16
Anticipated expiration: 2014-06-23
Also published as: JP2911350B2

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明の目的は、処理浴を振動撹拌すると同
時に、被処理物自体にも被処理物用保持具を介して振動
モータによる振動を与えることによって、被処理物のど
の個所とも均一に処理浴が接触できるようにする点にあ
る。【構成】処理液を振動撹拌すると同時に被処理物自体
にも被処理物保持具を介して振動モータによる振動を与
えることを特徴とする表面処理方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、表面処理方法およびそれに使用
する表面処理装置に関する。

【０００２】

【従来技術】めっきは、めっきの前処理段階、めっき段
階、めっきの後処理段階より構成されるが、現実には、
たとえば銅めっき（このときは前段のみ）およびニッケ
ルめっき（全工程が必要）を例にとると、有機溶剤脱脂
−煮沸脱脂−水洗−電解脱脂−一次水洗−二次水洗−銅
ストライク−銅めっき−回収−一次水洗−二次水洗−酸
中和−一次水洗−二次水洗−ニッケルめっき−回収−一
次水洗−二次水洗−中和−水洗−湯洗−乾燥という多数
の工程を必要としている。このように多数の工程が必要
となる最大の原因は各処理液と被めっき物との均一な接
触が充分に行われていない点にある。しかも、脱脂処理
に用いる有機溶剤の代表であるトリクロロエチレンは公
害発生源としてマークされている存在であり、これを使
用しない方法の出現が強く望まれている。また、小物の
めっきには、バレルめっき法が使用されている。このめ
っき法はバレルにその容積の１／２〜１／３の小物を入
れ、バレルを回転させながら脱脂、水洗、めっき、水洗
などを行うことにより、小物のめっきを効率よく行う方
法として実用化されている。しかしながら、バレルを回
転させているにもかかわらず、その中の小物はなかなか
均一にめっき液等と接触することが困難であり、とくに
袋穴のあるものとか、複雑な形状のものなどにはこの傾
向が著しい。その対策としてめっき液の充分な撹拌が必
要とされているが、ここにもいろいろの問題点が存在し
ている。撹拌手段としては、ポンプによる循環撹拌があ
り、これはめっき液を酸化させることがない点では好ま
しい手段ではあるが、撹拌効率が悪いので、実用性に乏
しい。エアレーションも有効な撹拌手段ではあるが、め
っき液を酸化させるので、青化浴においては炭酸塩を生
成するなどの問題点があり、めっき装置にエアレーショ
ン手段を組みこむことができない。

【０００３】そこで、本発明者は、先に特開平４−３６
１１８５号において、めっきの前処理段階、めっき段階
およびめっきの後処理段階のすべての処理段階における
少なくとも一工程において振動撹拌を使用することを提
案している。これにより、従来のめっき処理工程に較べ
てその工程数を大幅に少なくすることができると共に、
生産性を著しく向上することができる。

【０００４】ところが、小物に脱脂、洗浄、めっきなど
の処理をするときは、従来バレルを使用することがあっ
たが、バレルを使用するとバレルの回転に伴ってバレル
内で被めっき体が持ち上げられ、ついで落下するが、そ
の結果、被めっき体同志が衝突することによって傷つく
ことがある。また、小物をかごなどの容器に入れて脱
脂、洗浄、めっきなどの処理を行う場合、重量の大きい
ものが多数かごなどに収納されていると、振動撹拌によ
ってすら、重なり合っている小物同志の接触点に処理液
を充分侵入させることができず、その結果、脱脂、水
洗、めっき等の処理が均一にならないという問題点があ
る。

【０００５】また、塗装前の脱脂にはトリクロロエタン
が大々的に使用されているが、フロンとともにトリクロ
ロエタンの使用が禁止される方向にあるが、今のところ
これらに匹敵する優秀な脱脂剤は見出されておらず、ト
リクロロエタンやフロンを使用しないで効率よく充分な
洗浄ができる方法の提供が急務である。

【０００６】

【目的】本発明の目的は、処理浴を振動撹拌すると同時
に、被処理物自体にも被処理物用保持具を介して振動モ
ータによる振動を与えることによって、被処理物のどの
個所とも均一に処理浴が接触できるようにする点にあ
る。

【０００７】

【構成】本発明の第一は、処理浴を振動撹拌すると同時
に、被処理物自体にも被処理物用保持具を介して振動モ
ータによる振動を与えることを特徴とする表面処理方法
に関する。

【０００８】本発明の第二は、処理槽、振動モータによ
り駆動する振動撹拌手段および振動モータにより振動す
る被処理物用保持具よりなることを特徴とする表面処理
装置に関する。

【０００９】この装置においては、振動撹拌手段を駆動
するための振動モータと被処理物用保持具を振動させる
振動モータは、それぞれ別個の振動モータとすることが
できるが、同一のものでも充分目的を達成することがで
き、これにより省スペース、低コストとすることができ
る。

【００１０】振動モータは、低周波、例えば１５〜６０
Ｈｚで作動させる。振動板を経て液に伝えられる振動
は、いまだ理論的には充分解明されていないが、振動板
の固有振動数に関係があるのか、不思議なことにインバ
ータを用いて波長を変えて行くと（１）液が上下にさざ
波をたてる状態、（２）液の流動が最大になり、液がラ
ンダムに動く乱流状態、（３）液の流動も、振動板の振
動も全くみられない状態、といったように、あたかもサ
イン、コサインカーブのように変化する。したがって、
装置は、（２）の状態が出現するように周波数をセット
することが好ましい。必要に応じてインバータを用いて
その都度、周波数をセットすることが好ましい。

【００１１】本発明は、振動板を振動モータにより振動
させて処理液を撹拌するだけではなく、処理液を振動撹
拌すると同時に、被処理物それ自体をも振動モータの振
動により振動させることが重要である。

【００１２】被処理物への振動の伝達は、振動モータか
らの振動を被処理物用保持具に伝達することにより達成
することができる。被処理物用保持具としては、被処理
物を多数収納するかごや多孔性容器であることもできる
し、吊り具であることもできる。本発明は、とくに多数
の小物をかごなどの被処理物用保持具に収納したケース
において極めて有効である。被処理物用保持具は、振動
モータに連結した振動枠などに直接連結することもでき
るが、振動枠などに連結した支持台座上に被処理物用保
持具を載置するだけで、被処理物と被処理物用保持具の
重量により振動枠などの振動を支持台座から被処理物用
保持具、被処理物へと伝達することができる。また、こ
のやり方が被処理物用保持具の装置への脱着が簡単であ
り、作業上有利である。

【００１３】振動モータの振動が、かごや多孔性容器の
ような被処理物用保持具に伝えられると、かごや多孔性
容器の中の被処理物は、振動羽根の振動と同一方向に振
動するだけでなく、少しづつではあるが微妙に一定方向
に回転運動をおこす。そのため、かごや多孔性容器内の
多数の被処理物同志の接触個所が変化するので、被処理
物への脱脂、水洗、めっきなどが均一かつ迅速に進行す
る。この点から、かご等の形状は、多角形のものより丸
形の方が好ましい場合がある。

【００１４】この場合、被処理物用保持具を振動させる
ための振動モータ（三相交流）の極を切り換えると、回
転運動の方向が逆方向になるので、前述の効果を一層高
めることができる。たとえば、タイマーにより１分毎、
３分毎あるいは５分毎といったように一定時間毎に極を
切り換えることができる。前記回転運動は、ゆっくりで
はあるが肉眼でわかる程度のものである。

【００１５】振動モータは、市販されているものを使用
すればよく、例えば安川電機（株）製ＫＥＥ−２−２
Ｂ、ＫＥＥ−３．５−２Ｂ、ＫＥＥ−６−２Ｂ、ＫＥＥ
−１０−２Ｂ、ＫＥＥ−１６−２、ＫＥＥ−２３−２な
どを使用することができる。振動モータの出力は、処理
浴の液量、かごや多孔性容器内の被処理物全部の重量に
対応して決定する。通常の１００〜５００リットルのス
ケールでは、振動撹拌用のみのときは０．１５〜０．４
ＫＷのもので充分であるが、１つの振動モータで振動撹
拌用と被処理物用保持具用の振動を兼用する場合には、
それぞれ相応するだけの能力アップが必要になることは
当然であり、通常０．３〜２．０ＫＷのものを使用す
る。処理液として引火性のものを使用するときは、防曝
型の振動モータを使用し、加熱手段も蒸気加熱、テフロ
ン加工ヒータなどを選択する。

【００１６】前記振動撹拌手段は、処理浴を横方向に振
動を与えるものであることもできるが、処理浴を上下方
向に振動を与えるものであることもできる。本発明で
は、図１１および図１２に示すような処理装置におい
て、横振動撹拌手段を設ける場合には例えば図１〜５に
示すように横振動撹拌手段を通常かご５３の下部に設け
る。上下方向振動撹拌手段を設ける場合には例えば図６
〜９に示すような上下方向振動撹拌手段をかご５３と槽
５１の壁の間に設けたり、あるいは図１０に示すような
上下方向振動撹拌手段をかご５３の下部に設ける場合も
ある。また、処理槽たとえばめっき槽におけるように電
極を使用するときの電極の位置は、槽の左右壁に沿って
設けるのが普通であり、横振動撹拌手段に対しては上方
に設けられ、上下方向振動手段のときは、上下振動撹拌
手段の内側に設けてもよいし、外側に設けてもよい。

【００１７】振動撹拌手段は、１５〜６０Ｈｚ、好まし
くは２０〜４０Ｈｚでの振動を発生させる、振動モータ
による振動を液中の振動板に伝え、液体にこの振動を伝
えることにもとづく本発明者が開発した新しい撹拌手段
であり、その基本的考え方は特開平３−２７５１３０号
公報に開示したとおりであり、また、その変形撹拌手段
は特願平４−２８６５４４号として平成４年９月１４日
に出願している。この振動撹拌は、振動板による振動が
系全体に伝えられると、系全体に流動撹拌が発生してス
クリューによる撹拌に較べて系全体がすみやかに均一化
されることは驚くべきことであり、この現象は、液体系
のみならず、粉体、粒体系においても同様であり、おが
屑中に着色おが屑を加えた実験でも立証できているとこ
ろである。なお、振動板の振幅は２〜３０ｍｍ、好まし
くは１０〜１５ｍｍである。

【００１８】（横方向振動について）まず、本発明に用
いることのできる横方向の振動撹拌手段について図面を
参照して説明する。図１は、本発明の振動撹拌手段の上
面図を示し、図２はその断面図を示す。１は、横方向に
振動を発生する振動モータまたは電磁モータ（以下、単
に振動モータと称する）であり、２はその振動を伝達す
るためのコの字状振動伝達子であり、槽または任意の支
持物に直接またはスライドベアリング１３などを介して
取付けられている。３は、振動モータ１で発生した振動
が減衰しないようにするための支持体であり、４は、振
動羽根６をつけた振動子５を吊り下げ、かつコの字状振
動伝達子の振動を振動子５に伝達する役目をする垂直振
動伝達子である。振動羽根６は振動モータまたは電磁モ
ータ１の振動により振動撹拌作用を槽内の液体や粉体な
どに与える働きをする。支持体３の両側には例えばスプ
リングのような弾性体８，８が設けられており、コの字
状振動伝達子２の振動が減衰しないようにするとともに
振動モータ１の側の重量とほぼ同じ重量にしてバランス
のくずれにより発生する音を最小限に抑えこむ振動安定
手段を設けることができる。振動安定手段は槽１２の反
対側にも取り付けることができる。コの字形の振動伝達
子を介して該槽の一方の側に設置されている振動モータ
とその対向する側に設けられた弾性体とその保持機構と
の両者間では重量的にほぼバランスが取れるよう調整さ
れていることが好ましい。前記振動子は、棒状態であっ
てもよいし、枠体であってもよい。要は、槽の底部にあ
って伝達子により伝達されてきた横方向の振動を振動羽
根に伝える働きをすればよい。

【００１９】振動羽根は任意枚数を振動子に付設すれば
よい。振動羽根は振動子上に垂直にあるいは斜めに取り
付ける〔図５の（ａ）〜（ｄ）参照〕。振動羽根の取付
け方は振動子に溶接することもできるし、着脱自在とす
ることもできる。とくに羽根を振動子に押込式にとりつ
ける方式を採用すれば、必要とする撹拌条件に応じて振
動羽根の大きさを変更したり、振動羽根の数を変更する
ことができるので、好ましい。また、羽根の取付角度を
変更できるようにすることもできる。槽の大きさが幅８
００ｍｍ、長さ１０００ｍｍ、深さ１１００ｍｍの場合
には、例えば、５０ｍｍ間隔で幅８０ｍｍ、長さ５００
ｍｍ、厚さ０．１５ｍｍの振動羽根を取り付けることに
より充分撹拌効果を挙げることができる。振動羽根と電
極の位置関係について述べると、通常電極は槽の左右に
あり、振動羽根の位置からみれば上方に設けられている
が、場合によっては振動羽根の下、すなわち槽の底部に
設けることもできる。

【００２０】コの字状の振動伝達子の両先端部を弾性体
を介して受け取めている支持体の存在は、振動モータに
より発生した横方向の振動が減衰しないようにするた
め、地盤と同じようにしっかりした構造体のものとする
ことが好ましい。例えば、地盤に基礎を打ち、それに垂
直に立ち上ったＨ型鋼材、あるいは鉄筋、鉄骨入りコン
クリート壁などを用いることができる。槽の壁が充分に
しっかりしているときは槽の壁をもって支持体とするこ
ともできる。

【００２１】前記弾性体は、振動伝達子の振動をうけと
め、前記支持体からその振動をはねかえす役割を果すも
のである。例えば、図３に示すように、丸棒７のまわり
にバネ鋼により作った直径３〜１０ｍｍのスプリング８
をはめこんだものを前記弾性体として使用することがで
きる。前記弾性体は前記支持体の振動モータ側とその反
対側とに対照的に設置することが好ましい。図３のもの
は、そのような構造になっており、バネは止め板９で固
定されている。

【００２２】（上下方向振動について）つぎに、本発明
で用いる上下方向振動手段について、図面を参照して詳
細に説明する。まず、図６〜９について説明する。振動
撹拌手段は、振動モータ２６で発生した振動を振動枠２
３、振動棒２１を介して振動羽根群２２、２２……に伝
える。振動羽根群は図２〜４に明示されているように循
環槽２９の両側に設置する。振動モータ２６よりの振動
が循環槽２９本体に影響しないようにするため、振動枠
２３はスプリング２４と台座２５を介して本体に取付け
られている。振動羽根は、水平であってもよいがやや傾
斜をつけて取付けることが好ましい。傾斜の程度は水平
方向を基準にして０〜４５°、好ましくは１０〜２０°
の角度で取付けることが好ましい。本実施例では１５°
でセットした。振動羽根の幅は特に制限はないが３０ｍ
ｍ以上程度あれば充分その効力を発揮する。通常３０〜
１００ｍｍ、好ましくは５０〜８０ｍｍ程度である。撹
拌羽根同士の間隔はとくに制限はないが通常１０〜８０
ｍｍ、好ましくは３０〜４０ｍｍであり、本実施例では
３５ｍｍ間隔とした。また、左右の振動羽根２２の位置
は、同一の高さでもよいが、ややずらせた位置に設ける
こともできる。最上位の振動羽根は液面から約１００ｍ
ｍ下の位置にすることが好ましい。これより上に設ける
とその振幅により多少異なるが、液が飛び散るので好ま
しくない。最下位の振動羽根は底から約５０ｍｍ上の位
置とすることが好ましい。

【００２３】振動板の振動のさせ方は、前記公報や明細
書記載のように振動板を均一に振動させてもよいが、振
動板の１箇所または２箇所を振動軸に連結して振動させ
ることもできる。この場合、液槽が四角形のときは振動
板の一辺の両端部に振動軸を一本づつ二本設けてもよい
が、辺の中央に一本設けることもできる。また振動板の
一つの角部に一本の振動軸を設けてもよい。振動軸をと
りつけた辺の対角辺あるいは振動軸をとりつけた角部以
外の角部は固定軸により支持する。固定軸には弾性体、
たとえば、ゴム、プラスチックス、スプリング、空気バ
ネ等を介して振動板を固定することが好ましいが、振動
板自体の弾力にたよることも可能である。図１０にその
一具体例を示す。振動モータに任意の手段で連結した振
動伝達棒３５を介して振動棒３１，３２を設け、この振
動棒３１，３２にはゴム片３８，３９を用いて振動板３
６を固定する一方、固定棒３３，３４には、振動板３６
の振動を支持する支持用ゴム片４０，４１を固定し、こ
れに振動板３６を連結する。振動板３６は、支持用ゴム
片４０，４１を支点として振動伝達棒３１，３２の上下
軸にあわせて扇をあおぐように振動するのでこれを槽中
におさえることにより、液体、粉体、粒体等の混合撹拌
を行うことができる。

【００２４】本発明の振動撹拌手段の材質は、処理液た
とえば脱脂液、めっき液や中和液あるいは洗浄液などに
侵されないものであれば格別の制限はない。振動羽根
は、ステンレスやチタンのような耐腐蝕性金属、セラミ
ックス、合成樹脂などを用いることができる。めっき
浴、電解脱脂などにおける電極の材料には、特別の制限
はないが、電解脱脂の場合は、通常、鉛またはその合金
を使用する。また、処理液を収納する槽の材質にも特別
の制限はないが、例えば脱脂の場合はステンレスが、め
っきの場合はＦＲＰなどが用いられる。

【００２５】本発明の表面処理としては、（１）機械部
品等の加工のための脱脂、水洗、（２）塗装前の脱脂、
水洗、（３）めっきの前処理、めっき、めっきの後処理
（めっきは電解めっきも無電解めっきも含む）、（４）
半導体等電気部品の洗浄、（５）クロメート処理、
（６）電着塗装、（７）酸、アルカリ処理、（８）固形
物表面の化学反応、（９）食器洗浄などを例示すること
ができる。

【００２６】

【実施例】

実施例１被処理物：鉄（ＳＰＣＣ）製の直径２２ｍｍ、厚さ４
ｍｍの円形プレス部品で、中央に直径８ｍｍの穴がある
ほか、周辺にも３つの直径２ｍｍの穴がある部品。処理の態様：脱脂使用装置：図１１および１２に示す。図１１は概略的
な上面図であり、図１２は概略的な断面図である。これ
らの図のものは、実験上めっき、あるいは電解脱脂でも
使用できるように電極２７、２７も設けられているが、
脱脂のためのみの装置としては必要がないことは明らか
であろう。また、電極は、図のように振動羽根の外側で
もよいが、内側に設けてもよい。処理槽の大きさは、横
８５０ｍｍ、縦６５０ｍｍ、深さ６５０ｍｍである。脱脂浴：通常の水系脱脂浴であり、テクノクリーン
＃２０００〔日本テクノ（株）；商品名、界面活性剤と
アルカリ成分を含む、ＰＨ１１〕１０％を含む鉄・ステ
ンレス用アルカリ性脱脂浴である。振動羽根：長さ５００ｍｍ、巾８０ｍｍ、厚さ０．１
５ｍｍのもの１０枚を仰角１５°で槽の左右両側に固
定。処理温度：７０℃ 被処理物用保持具として、ステンレス金網（１０ｍｍ
目）で作った４５ｃｍ×４５ｃｍ×５０ｃｍのかごに、
前記被めっき体５００個を入れ、振動周波数を２８．５
Ｈｚにセットし、２分毎に極が切り換わるようにして、
脱脂処理を５分間実施し、ついで同一構造の装置で５分
間水洗を行った。その結果、小さな穴のなかまで完全、
かつ均一に脱脂されていた。一方、比較のために、かご
に対して振動モータの振動が伝わらないよう、振動枠と
の連結棒２８を脱脂槽に連結固定して脱脂処理を行う以
外は、実施例１と同様の処理を行った。脱脂処理時間が
５分間の場合は、被処理物同志の接触個所と思われる個
所が脱脂されていないことが判った。その数は非常に少
ないものであったが、このような不良品をなくすために
は、約１５分の脱脂処理時間が必要であり、実施例１の
時間の約３倍が必要であった。

【００２７】実施例２被処理物：ステンレス製で、先すぼみ型の円柱（大き
い方の直径１５ｍｍ、小さい方の直径５ｍｍ、長さ５ｍ
ｍ）の一端に指サックのような形の網目状物が結合して
いる部品。使用装置は、脱脂浴、かごの形状、処理温度は、すべて
実施例１と同じで、周波数２８．７Ｈｚ、極の切り換え
時間を３分毎とし、１０分間の脱脂処理を行い、つい
で、同じ構造の装置を用いて５分間の水洗を行った。こ
れにより、すべての部分の脱脂が完全に達成されてい
た。実施例１と同様の比較試験を行ったところ、かごを
振動させない場合は、不良品を発生させないために必要
な時間は約２０分であり、実施例２の約２倍の時間が必
要であった。

【００２８】実施例３被処理物：ステンレス製、小さな穴のある直径５０ｍ
ｍのリードフレーム状円板。脱脂浴：溶剤系脱脂浴で、テクノクリーンＳ７００
〔日本テクノ（株）；商品名、ナフテン系石油溶剤、消
防法第４類第３石油類、中毒予防規則に該当せず〕を使
用。使用装置は実施例１のものを使用し、実施例１と同一の
かごに被処理物５００個を入れ、処理温度６０℃、周波
数２８．５Ｈｚ、極切り換え１分毎で、５分間脱脂後、
熱風乾燥を行った。処理物はすべて完全に脱脂されてい
た。これに対し、かごを振動させないでおくと、脱脂処
理時間は１０分間が必要であった。

【００２９】実施例４被処理物：皿状亜鉛合金部品で、直径６０ｍｍ、厚さ
２ｍｍ、皿中央に直径２０ｍｍの穴およびその両側に直
径５ｍｍの穴２個を有し、高さ２０ｍｍの部品。脱脂浴：水系脱脂浴で、テクノクリーン＃２１００
〔日本テクノ（株）；商品名、軽金属用、界面活性剤と
アルカリ成分を含む、ＰＨ１０〕６％を含む弱アルカリ
性脱脂浴。使用装置は、実施例１のものを用い、処理温度５０℃、
周波数２３．５Ｈｚ、極切り換え３分毎、かご内の部品
数５００個として、実施例１を繰返した。１５分間の脱
脂処理時間で完全に脱脂の目的が達成された。一方、か
ごを振動させない場合は、同程度の脱脂効果を得るため
には３０分間を要した。

【００３０】実施例５被処理物：鉄製のプラグ中心電極で、直径５ｍｍ、長
さ１５ｍｍの鉄柱に、直径３ｍｍのめくら穴のネジが深
さ１２ｍｍにわたって切ってあるもの。周波数３３．７Ｈｚ、極切り換え２分毎とした以外は、
すべての条件を実施例１と同じにして脱脂処理を行っ
た。完全に脱脂が達成されるのには１０分を必要とし
た。これは、本発明の装置のかわりに、振動撹拌手段と
バレルを併用した脱脂方法とほぼ同一の処理時間であっ
た。しかし、本発明は、バレルのようにかごに回転を与
えていないため、部品同志が打ち合うことがないため、
バレル処理による傷は全く発生していなかった。

【００３１】実施例６小型円板２枚を溶接して作った機械部品を実施例１と同
一装置、同一条件で脱脂処理した。ついで、脱脂液のか
わりに工業用塩酸と水の１：１混合液を用い、同一型装
置を用い、２８．５Ｈｚ、６０℃で２分間酸洗浄処理を
行った。なお、１分後には極の切り換えを行った。これ
により、溶接跡が消滅していた。振動撹拌のみの場合
は、５分間の処理時間を必要とした。

【００３２】実施例７セラミツク製半導体チップを実施例１の装置によりイオ
ン交換水を用いて７０℃で水洗処理したところ、２分間
で汚れが除去できた。従来は、チップ同志が重ならない
よう、チップを金網でサンドイッチ状に固定して洗浄を
行っていたが、本発明によれば、チップが重なっていて
も洗浄効果に支障はなかった。

【００３３】実施例８実施例１の装置を使用し、直径５ｍｍ、長さ１５ｍｍの
銅柱５００個をかごに入れ、下記組成の低温用アルカリ
性無電解ニッケル浴を用い、４０〜５０℃で無電解めっ
きを行った。塩化ニッケル２３ｇ／リットル塩化アンモニウム４０ｇ／リツトル次亜リン酸ナトリウム１２ｇ／リツトルクエン酸ナトリウム６０ｇ／リットルＰＨ８〜９これにより３５分間で平均５μｍのめっき層が形成でき
た。これは、撹拌のみの場合に較べて２〜３割の時間短
縮になっている。ニッケル被膜は振動撹拌のみを用いた
場合より一層均一（膜厚のバラツキは、振動撹拌のみの
とき３〜４μｍであるのに、本発明は１μｍ）で、かつ
光沢がよいものであり、熱サイクル試験の結果も良好で
あった。

【００３４】実施例９実施例１の装置を使用し、扁平円柱小型鉄製部品５００
個をかごに入れ、下記組成のテトラクロメート浴を用
い、温度１５〜２１℃、電流密度９０Ａ／ｄｍ²でクロ
メート処理を行った。クロム酸３２０ｇ／リツトル硫酸０．６４ｇ／リツトル水酸化ナトリウム５０ｇ／リットルこれにより、振動撹拌単独の場合に較べて、めっき速度
が早く、膜厚も一層均一で、マイクロクラックも一層少
なく、かつ、色艶も大へん均一であった。

【００３５】

【効果】

（１）振動撹拌に加えて、被処理物それ自体にも被処理
物用保持具を介して振動モータによる振動を与えること
により、処理液と被処理物との接触が一層促進され、そ
の結果、いずれの処理も被処理物に対して極めて均一に
進行する。（２）小物を多数一度に処理するときは、例えばめっき
処理においては従来はバレルを使用することがあった
が、バレルを使用するとバレルの回転に伴って、バレル
内で被めっき体が持ち上げられ、ついで落下するが、そ
の結果、被めっき体同志が衝突することによって、傷つ
くことがあるが、本発明によればこのような傷は決して
生じない。（３）小物を処理するときは、従来は“かご”を使用す
ることがあったが、かごの中にはたくさんの小物が入れ
られるので、小物同志が重なり合って振動撹拌によって
さえも両者の接触点に処理液が充分に侵入出来ず、処理
むらが発生したが、本発明では“かご”が振動モータに
より振動するとともに、微妙に少しづつ回転的に変位す
るため、小物同志の接触点がかわり、その結果、極めて
均一な処理を短時間で達成することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の横方向振動のための基本的振動撹拌装
置の上面図である。

【図２】図１の断面図である。

【図３】図２のＡ部分の拡大断面図である。

【図４】振動伝達機構と振動子の概略図である。

【図５】振動羽根の振動子への取付け態様のいろいろを
（ａ）から（ｄ）に示す。

【図６】本発明の上下方向振動のための振動撹拌手段を
説明するための上面図である。

【図７】図６の側面図である。

【図８】図７のもう１つの側面からみた側面図である。

【図９】図６〜７の振動撹拌手段の斜視図である。

【図１０】上下振動を与えるためのもう１つの振動撹拌
手段を示す斜視図である。

【図１１】本発明の処理装置の１例を示す上面図であ
る。

【図１２】図１１の断面図である。

【符号の説明】１振動モータ２コの字状振動伝達子３支持体４垂直振動伝達子５振動子６振動羽根７丸棒８スプリング９止め板１０ヒーター１１電極１２槽１３スライドベアリング２１振動棒２２振動羽根２３振動枠２４スプリング２５台座２６振動モータ２７電極２８振動枠との連結棒２９槽３１振動棒３２振動棒３３固定棒３４固定棒３５振動伝達棒３６振動板３７槽底部３８支持用ゴム片３９支持用ゴム片４０支持用ゴム片４１支持用ゴム片５１槽５３かご５４モータ５５歯車５６支持台座

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ２５Ｆ 7/00 ＫＪ // Ｃ２３Ｇ 5/00 9352−4Ｋ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】処理液を振動撹拌すると同時に被処理物
自体にも被処理物保持具を介して振動モータによる振動
を与えることを特徴とする表面処理方法。
【請求項２】被処理物がかごまたは多孔性容器に充填
された複数の物品である請求項１記載の表面処理方法。
【請求項３】振動モータの極を切り換える請求項１ま
たは２記載の表面処理方法。
【請求項４】処理槽、振動モータにより駆動する振動
撹拌手段および振動モータにより振動する被処理物用保
持具よりなることを特徴とする表面処理装置。
【請求項５】前記振動モータの極を切り換える手段を
付設した請求項４記載の表面処理装置。
【請求項６】前記被処理物用保持具は、振動モータに
連結した支持台座上に載置されている請求項４または５
記載の表面処理装置。
【請求項７】前記処理が脱脂である請求項４、５また
は６記載の表面処理装置。
【請求項８】前記処理が洗浄である請求項４、５また
は６記載の表面処理装置。
【請求項９】前記処理がめっきである請求項４、５ま
たは６記載の表面処理装置。
【請求項１０】前記処理が電着である請求項４、５ま
たは６記載の表面処理装置。