JPH07122796A - レーザ光発生装置 - Google Patents
レーザ光発生装置Info
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- JPH07122796A JPH07122796A JP5265133A JP26513393A JPH07122796A JP H07122796 A JPH07122796 A JP H07122796A JP 5265133 A JP5265133 A JP 5265133A JP 26513393 A JP26513393 A JP 26513393A JP H07122796 A JPH07122796 A JP H07122796A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 熔接用座グリ４１ａ、４１ｂが設けられたレ
ンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとは、ボルト
６０ａ、６０ｂにより仮留めされ、レーザ熔接光により
重ね合わせ貫通熔接される。 【効果】 レーザ熔接時の衝撃によるレンズ鏡筒のずれ
を抑えることができ、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部と
の接合は十分に強度のある接合となり、経時変化に対す
る接合面のずれをなくすことができる。
ンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとは、ボルト
６０ａ、６０ｂにより仮留めされ、レーザ熔接光により
重ね合わせ貫通熔接される。 【効果】 レーザ熔接時の衝撃によるレンズ鏡筒のずれ
を抑えることができ、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部と
の接合は十分に強度のある接合となり、経時変化に対す
る接合面のずれをなくすことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光発生装置に関
し、特に、小型集積型の第２高調波発生（ＳＨＧ：Seco
nd harmonic generation) レーザ光を発生する外部励起
型ＳＨＧレーザ光発生装置に関する。
し、特に、小型集積型の第２高調波発生（ＳＨＧ：Seco
nd harmonic generation) レーザ光を発生する外部励起
型ＳＨＧレーザ光発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、第２高調波レーザ光を発生す
る、いわゆるＳＨＧレーザ光発生装置には、外部共振型
のＳＨＧレーザ光発生装置や、内部共振型で共振器内部
の非線形光学素子によるＳＨＧレーザ光発生装置等が存
在する。
る、いわゆるＳＨＧレーザ光発生装置には、外部共振型
のＳＨＧレーザ光発生装置や、内部共振型で共振器内部
の非線形光学素子によるＳＨＧレーザ光発生装置等が存
在する。
【０００３】このＳＨＧレーザ光発生装置において、レ
ンズを保持するレンズ鏡筒とこのレンズ鏡筒を支持する
レンズ鏡筒支持部とを固定する方法として、ＵＶ系接着
剤を用いて接着したり、レーザ熔接光により熔接（レー
ザ熔接）を行ったりしている。このレーザ熔接を行う場
合には、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部の上側又は横側
の接合面のへり部分とを熔接している。
ンズを保持するレンズ鏡筒とこのレンズ鏡筒を支持する
レンズ鏡筒支持部とを固定する方法として、ＵＶ系接着
剤を用いて接着したり、レーザ熔接光により熔接（レー
ザ熔接）を行ったりしている。このレーザ熔接を行う場
合には、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部の上側又は横側
の接合面のへり部分とを熔接している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うにＵＶ系接着剤を用いてレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部とを接着固定した場合には、経時変化や温度変化によ
り接着剤が劣化し、次第にレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部との接合面にずれが生じる。
うにＵＶ系接着剤を用いてレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部とを接着固定した場合には、経時変化や温度変化によ
り接着剤が劣化し、次第にレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部との接合面にずれが生じる。
【０００５】また、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部の上
側の接合面のへり部分とをレーザ熔接した場合には、少
しの力を加えただけでも、熔接された部分を中心とし
て、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とが分離してしま
う。
側の接合面のへり部分とをレーザ熔接した場合には、少
しの力を加えただけでも、熔接された部分を中心とし
て、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とが分離してしま
う。
【０００６】さらに、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部の
へり部分とをレーザ熔接した場合には、正確に接合面に
焦点が合うようにレーザ熔接光を照射しなければならな
いので、非常に高い精度で位置合わせする必要がある。
へり部分とをレーザ熔接した場合には、正確に接合面に
焦点が合うようにレーザ熔接光を照射しなければならな
いので、非常に高い精度で位置合わせする必要がある。
【０００７】そこで、本発明は上述の実情に鑑み、レン
ズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部との接合部分に経時変化や温
度変化による劣化が生じず、また、少しの力を加えただ
けでは分離せず、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とのレ
ーザ熔接時のレーザ熔接光の焦点を容易に合わせること
ができるレーザ光発生装置を提供するものである。
ズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部との接合部分に経時変化や温
度変化による劣化が生じず、また、少しの力を加えただ
けでは分離せず、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とのレ
ーザ熔接時のレーザ熔接光の焦点を容易に合わせること
ができるレーザ光発生装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレーザ光発
生装置は、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とはレーザ熔
接光により重ね合わせ貫通熔接されていることにより上
述した課題を解決する。
生装置は、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とはレーザ熔
接光により重ね合わせ貫通熔接されていることにより上
述した課題を解決する。
【０００９】ここで、重ね合わせ貫通熔接とは、固定さ
れるべきレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とを重ね合わせ
て密着させ、次に、レーザ熔接光をレンズ鏡筒側から入
射してレンズ鏡筒支持部側まで到達させ、このときに、
レンズ鏡筒のレーザ熔接光が照射された部分が溶けてレ
ンズ鏡筒支持部の一部分と固定される熔接のことをい
う。尚、このとき、逆に、レーザ熔接光をレンズ鏡筒支
持部側から入射して、レンズ鏡筒側まで到達させても構
わない。
れるべきレンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とを重ね合わせ
て密着させ、次に、レーザ熔接光をレンズ鏡筒側から入
射してレンズ鏡筒支持部側まで到達させ、このときに、
レンズ鏡筒のレーザ熔接光が照射された部分が溶けてレ
ンズ鏡筒支持部の一部分と固定される熔接のことをい
う。尚、このとき、逆に、レーザ熔接光をレンズ鏡筒支
持部側から入射して、レンズ鏡筒側まで到達させても構
わない。
【００１０】また、上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部
とは、所定の圧力で固定金具を用いて予め仮留めされた
後に、レーザ光によって貫通熔接される。
とは、所定の圧力で固定金具を用いて予め仮留めされた
後に、レーザ光によって貫通熔接される。
【００１１】さらに、上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部とには、同一の膨張係数を有する材料を用いることを
特徴とする。
部とには、同一の膨張係数を有する材料を用いることを
特徴とする。
【００１２】ここで、上記レンズ鏡筒には、暗色で塗装
された複数の座グリが設けられ、この複数の座グリの周
囲には突条部が配置されることを特徴とする。
された複数の座グリが設けられ、この複数の座グリの周
囲には突条部が配置されることを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明においては、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支
持部とを所定の圧力で仮留めして、レーザ熔接光で重ね
合わせ貫通熔接することにより、レンズ鏡筒とレンズ鏡
筒支持部とを固定させることができる。
持部とを所定の圧力で仮留めして、レーザ熔接光で重ね
合わせ貫通熔接することにより、レンズ鏡筒とレンズ鏡
筒支持部とを固定させることができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例について、図
面を参照しながら説明する。図１には、内部レーザ共振
器を有する外部励起型ＳＨＧ（第２高調波）グリーンレ
ーザ光発生装置の長片方向の側面の断面図を示し、図２
には上記レーザ光発生装置の上面の断面図を示し、図３
には短片方向の側面の断面図を示す。
面を参照しながら説明する。図１には、内部レーザ共振
器を有する外部励起型ＳＨＧ（第２高調波）グリーンレ
ーザ光発生装置の長片方向の側面の断面図を示し、図２
には上記レーザ光発生装置の上面の断面図を示し、図３
には短片方向の側面の断面図を示す。
【００１５】この外部励起型ＳＨＧグリーンレーザ光発
生装置において、励起用光源としてのレーザダイオード
等の半導体レーザ素子１から出射された励起用レーザ光
は、レンズ２で集光される。この集光された励起用レー
ザ光は、例えば１／４波長板３の入射面を介してＮｄ：
ＹＡＧを用いたレーザ素子（レーザロッド）４に入射さ
れる。ここで、上記１／４波長板３は、出力レーザ光と
して射出する第２高調波レーザ光のノイズを低減し、安
定させるためのものである。この１／４波長板３の入射
面には、上記励起用レーザ光（例えば波長８１０ｎｍ）
を透過し、レーザ素子１で発生した波長１０６４ｎｍの
基本波レーザ光を反射するような波長選択性を持った反
射面（ダイクロイックミラー）３Ｒが形成され（例えば
コーティングされ）ており、上記反射面３Ｒはレーザ素
子１側から見て凹面鏡となっている。
生装置において、励起用光源としてのレーザダイオード
等の半導体レーザ素子１から出射された励起用レーザ光
は、レンズ２で集光される。この集光された励起用レー
ザ光は、例えば１／４波長板３の入射面を介してＮｄ：
ＹＡＧを用いたレーザ素子（レーザロッド）４に入射さ
れる。ここで、上記１／４波長板３は、出力レーザ光と
して射出する第２高調波レーザ光のノイズを低減し、安
定させるためのものである。この１／４波長板３の入射
面には、上記励起用レーザ光（例えば波長８１０ｎｍ）
を透過し、レーザ素子１で発生した波長１０６４ｎｍの
基本波レーザ光を反射するような波長選択性を持った反
射面（ダイクロイックミラー）３Ｒが形成され（例えば
コーティングされ）ており、上記反射面３Ｒはレーザ素
子１側から見て凹面鏡となっている。
【００１６】上記レーザ素子１で発生した基本波レーザ
光は、例えばＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ 4 ）より成る非線形
光学結晶素子５に入射されることにより、第２高調波発
生（ＳＨＧ）が行われる。この非線形光学結晶素子５の
出射面には、上記基本波レーザ光を反射し、非線形光学
結晶素子５で発生された第２高調波レーザ光となるグリ
ーン光（波長５３２ｎｍ）を透過するような波長選択性
を持った反射面（ダイクロイックミラー）５Ｒが形成さ
れている。従って、上記１／４波長板３の反射面３Ｒと
非線形光学結晶素子５の反射面５Ｒとの間に、レーザ共
振器７が構成される。このレーザ共振器７を構成する１
／４波長板３、レーザ媒質４、及び非線形光学結晶素子
５の各素子の対向面は、例えば無反射コーティングが施
されると共に、レーザ共振器固定ブロック１２上に取り
付けられている。
光は、例えばＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ 4 ）より成る非線形
光学結晶素子５に入射されることにより、第２高調波発
生（ＳＨＧ）が行われる。この非線形光学結晶素子５の
出射面には、上記基本波レーザ光を反射し、非線形光学
結晶素子５で発生された第２高調波レーザ光となるグリ
ーン光（波長５３２ｎｍ）を透過するような波長選択性
を持った反射面（ダイクロイックミラー）５Ｒが形成さ
れている。従って、上記１／４波長板３の反射面３Ｒと
非線形光学結晶素子５の反射面５Ｒとの間に、レーザ共
振器７が構成される。このレーザ共振器７を構成する１
／４波長板３、レーザ媒質４、及び非線形光学結晶素子
５の各素子の対向面は、例えば無反射コーティングが施
されると共に、レーザ共振器固定ブロック１２上に取り
付けられている。
【００１７】このレーザ共振器７の出射面（反射面）５
Ｒから導出されたＸ軸方向のＳＨＧレーザ光は、４５°
の立ち上げミラー６により垂直方向のＹ軸方向に偏向さ
れる。上記半導体レーザ素子１の取り付けブロック１
０、レンズ２を保持する鏡筒部分であるレンズ鏡筒１１
Ａ、このレンズ鏡筒を保持するレンズ鏡筒支持部１１
Ｂ、レーザ共振器固定ブロック１２、立ち上げミラー６
は、１つの基台（ベース）２０上にマウントされ、これ
らは単一の温度制御手段であるいわゆるＴＥ（サーモ・
エレクトリック）クーラ等の温度制御素子２１で温度制
御されている。
Ｒから導出されたＸ軸方向のＳＨＧレーザ光は、４５°
の立ち上げミラー６により垂直方向のＹ軸方向に偏向さ
れる。上記半導体レーザ素子１の取り付けブロック１
０、レンズ２を保持する鏡筒部分であるレンズ鏡筒１１
Ａ、このレンズ鏡筒を保持するレンズ鏡筒支持部１１
Ｂ、レーザ共振器固定ブロック１２、立ち上げミラー６
は、１つの基台（ベース）２０上にマウントされ、これ
らは単一の温度制御手段であるいわゆるＴＥ（サーモ・
エレクトリック）クーラ等の温度制御素子２１で温度制
御されている。
【００１８】以上のようなレーザ光発生のための各素子
は、パッケージあるいは筐体２２内に収納されている。
この筐体２２の底面２４が取り付け面となっており、取
り付け用のフランジ片２６のネジ挿入孔２５に取り付け
ネジ等を挿入してネジ止め固定できるようになってい
る。上記光学系の各素子１、２、３、４、５等は、この
取り付け面である底面２４に水平な方向に配列されて、
光軸が該底面２４に平行となっている。この底面２４に
平行な状態のまま筐体外部にレーザ光を取り出す場合に
は、光軸合わせのための水平、垂直の方向に移動させる
必要が生じ、特に取り付け面に対して垂直方向の移動の
ための構成が複雑化する。そこで、立ち上げミラー６を
用いて、レーザ共振器７からの出射レーザ光を底面２４
に対して垂直な方向に偏向し、筐体２２の蓋体２７に穿
設された出射孔２８を介して取り出すようにしている。
この出射孔２８は透明板で閉塞されている。
は、パッケージあるいは筐体２２内に収納されている。
この筐体２２の底面２４が取り付け面となっており、取
り付け用のフランジ片２６のネジ挿入孔２５に取り付け
ネジ等を挿入してネジ止め固定できるようになってい
る。上記光学系の各素子１、２、３、４、５等は、この
取り付け面である底面２４に水平な方向に配列されて、
光軸が該底面２４に平行となっている。この底面２４に
平行な状態のまま筐体外部にレーザ光を取り出す場合に
は、光軸合わせのための水平、垂直の方向に移動させる
必要が生じ、特に取り付け面に対して垂直方向の移動の
ための構成が複雑化する。そこで、立ち上げミラー６を
用いて、レーザ共振器７からの出射レーザ光を底面２４
に対して垂直な方向に偏向し、筐体２２の蓋体２７に穿
設された出射孔２８を介して取り出すようにしている。
この出射孔２８は透明板で閉塞されている。
【００１９】次に、重ね合わせ貫通熔接に用いられるレ
ーザ熔接機からのレーザ熔接光が入射される、レンズ鏡
筒１１Ａの構成を示す。図４の（ａ）は、レーザ素子１
側から見たときのレンズ鏡筒１１Ａの側面図であり、図
４の（ｂ）は、レーザ共振器７側から見たときのレンズ
鏡筒１１Ａの側面図であり、図４の（ｃ）は、図４の
（ｂ）に示す線Ａ−Ａ’で切断されたレンズ鏡筒１１Ａ
の上面からの断面図である。
ーザ熔接機からのレーザ熔接光が入射される、レンズ鏡
筒１１Ａの構成を示す。図４の（ａ）は、レーザ素子１
側から見たときのレンズ鏡筒１１Ａの側面図であり、図
４の（ｂ）は、レーザ共振器７側から見たときのレンズ
鏡筒１１Ａの側面図であり、図４の（ｃ）は、図４の
（ｂ）に示す線Ａ−Ａ’で切断されたレンズ鏡筒１１Ａ
の上面からの断面図である。
【００２０】このレンズ鏡筒１１Ａの中央には、レンズ
２を保持するレンズ保持部４３が存在し、このレンズ保
持部４３内のレンズ固定ガラス４５ａ、４５ｂにより、
レンズ２が固定される。よって、上記レーザ素子１から
の出射光は、レーザ光出力口４２を通り、レンズ２を介
してレーザ共振器７に入射される。また、このレンズ鏡
筒１１Ａの上部の左右には、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ
鏡筒支持部１１Ｂとを仮留めするときのネジ穴４０ａ、
４０ｂがあり、これらネジ穴の下部には、レーザ熔接光
によりレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを
レーザ熔接する際の熔接部分となる、暗い色で塗装され
た熔接用座グリ４１ａ、４１ｂが加工されて設けられて
いる。これらの熔接用座グリ４１ａ、４１ｂの金属板は
薄くなっているので、レーザ熔接光による重ね合わせ貫
通熔接に用いられるエネルギは少なくて済む。よって、
レーザ熔接光による重ね合わせ貫通熔接時の衝撃は少な
いので、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂと
のずれは少なくなる。これに対して、レンズ鏡筒１１Ａ
の他の部分は十分に厚い金属板で作られているので、強
度的には全く問題が無い。また、上記熔接用座グリ４１
ａ、４１ｂの周囲にある突条部４４ａ、４４ｂは、レー
ザ熔接時に、溶けた金属粒子等が飛び散り、レーザ光発
生装置が汚れるのを防いでいる。
２を保持するレンズ保持部４３が存在し、このレンズ保
持部４３内のレンズ固定ガラス４５ａ、４５ｂにより、
レンズ２が固定される。よって、上記レーザ素子１から
の出射光は、レーザ光出力口４２を通り、レンズ２を介
してレーザ共振器７に入射される。また、このレンズ鏡
筒１１Ａの上部の左右には、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ
鏡筒支持部１１Ｂとを仮留めするときのネジ穴４０ａ、
４０ｂがあり、これらネジ穴の下部には、レーザ熔接光
によりレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを
レーザ熔接する際の熔接部分となる、暗い色で塗装され
た熔接用座グリ４１ａ、４１ｂが加工されて設けられて
いる。これらの熔接用座グリ４１ａ、４１ｂの金属板は
薄くなっているので、レーザ熔接光による重ね合わせ貫
通熔接に用いられるエネルギは少なくて済む。よって、
レーザ熔接光による重ね合わせ貫通熔接時の衝撃は少な
いので、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂと
のずれは少なくなる。これに対して、レンズ鏡筒１１Ａ
の他の部分は十分に厚い金属板で作られているので、強
度的には全く問題が無い。また、上記熔接用座グリ４１
ａ、４１ｂの周囲にある突条部４４ａ、４４ｂは、レー
ザ熔接時に、溶けた金属粒子等が飛び散り、レーザ光発
生装置が汚れるのを防いでいる。
【００２１】次に、図５の（ａ）には、レンズ鏡筒支持
部１１Ｂの上面図を示し、図５の（ｂ）には、レーザ共
振器７側から見たときのレンズ鏡筒支持部１１Ｂの側面
図を示す。このレンズ鏡筒支持部１１Ｂの中央には、レ
ンズ鏡筒１１Ａのレンズ保持部４３がはめ込まれるレン
ズ鏡筒はめ込み部５４がある。また、このレンズ鏡筒は
め込み部５４の左右には、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡
筒支持部１１Ｂとの仮留めを行うときのボルトを通すキ
リ通し穴５２ａ、５２ｂがあり、それぞれのキリ通し穴
５２ａ、５２ｂの周囲には、ボルト用の座グリ５３ａ、
５３ｂが設けられている。
部１１Ｂの上面図を示し、図５の（ｂ）には、レーザ共
振器７側から見たときのレンズ鏡筒支持部１１Ｂの側面
図を示す。このレンズ鏡筒支持部１１Ｂの中央には、レ
ンズ鏡筒１１Ａのレンズ保持部４３がはめ込まれるレン
ズ鏡筒はめ込み部５４がある。また、このレンズ鏡筒は
め込み部５４の左右には、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡
筒支持部１１Ｂとの仮留めを行うときのボルトを通すキ
リ通し穴５２ａ、５２ｂがあり、それぞれのキリ通し穴
５２ａ、５２ｂの周囲には、ボルト用の座グリ５３ａ、
５３ｂが設けられている。
【００２２】上述したレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支
持部１１Ｂとの仮留め時の関係は、図６、図７に示すよ
うである。図６は、図１のレーザ共振器７側から見たと
きのレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとの関
係を示し、図７は図１のレーザ素子１側から見たときの
レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとの関係を
示す。
持部１１Ｂとの仮留め時の関係は、図６、図７に示すよ
うである。図６は、図１のレーザ共振器７側から見たと
きのレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとの関
係を示し、図７は図１のレーザ素子１側から見たときの
レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとの関係を
示す。
【００２３】ボルト６０ａ、６０ｂは、所定の圧力で、
スプリングワッシャ６１ａ、６１ｂ及びワッシャ６２
ａ、６２ｂを介し、キリ通し穴５２ａ、５２ｂを通っ
て、ネジ穴４０ａ、４０ｂで留められることにより、上
記レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとは仮留
めされる。これにより、レーザ熔接時の衝撃によるレン
ズ鏡筒１１Ａのずれを少なくすることができる。
スプリングワッシャ６１ａ、６１ｂ及びワッシャ６２
ａ、６２ｂを介し、キリ通し穴５２ａ、５２ｂを通っ
て、ネジ穴４０ａ、４０ｂで留められることにより、上
記レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとは仮留
めされる。これにより、レーザ熔接時の衝撃によるレン
ズ鏡筒１１Ａのずれを少なくすることができる。
【００２４】ここで、図８に、ボルト６０ａ、６０ｂの
締め付けトルクを変化させたときのレーザ熔接時のレン
ズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとのずれ量を示
したグラフを示す。これにより、締め付けトルクが弱い
ほど、ずれ量が大きくなっていることがわかる。
締め付けトルクを変化させたときのレーザ熔接時のレン
ズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとのずれ量を示
したグラフを示す。これにより、締め付けトルクが弱い
ほど、ずれ量が大きくなっていることがわかる。
【００２５】また、レンズ鏡筒支持部１１Ｂのキリ通し
穴５２ａ、５２ｂは、少し大きめに開けられているの
で、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを仮
留めしたときに、レンズ鏡筒１１Ａをレンズ鏡筒支持部
１１Ｂに対して、ある程度自由に動かすことができる。
従って、図１に示すように、各光学素子１、２、３、
４、５等が完全に筐体２２内に組み込まれた状態でも、
レンズ２を用いた、レーザ素子１とレーザ共振器７とを
光学的に結合させるための調整を容易に行うことができ
る。
穴５２ａ、５２ｂは、少し大きめに開けられているの
で、レンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを仮
留めしたときに、レンズ鏡筒１１Ａをレンズ鏡筒支持部
１１Ｂに対して、ある程度自由に動かすことができる。
従って、図１に示すように、各光学素子１、２、３、
４、５等が完全に筐体２２内に組み込まれた状態でも、
レンズ２を用いた、レーザ素子１とレーザ共振器７とを
光学的に結合させるための調整を容易に行うことができ
る。
【００２６】上述したレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支
持部１１Ｂとをレーザ熔接光により重ね合わせ貫通熔接
した場合と、上述のレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持
部１１Ｂとを従来のＵＶ系接着剤を用いて接着した場合
とにおける、上記レンズ２の移動量の経時変化を図９の
グラフに示す。ここで、条件として、レーザ光発生装置
には、ＴＥクーラ２１を用いて、２０〜６０°Ｃのヒー
トサイクルを１０ｍＨｚで２時間加えている。この図９
のグラフから、重ね合わせ貫通熔接した場合のレンズ移
動量ＹＡＧ1 、ＹＡＧ2 、ＹＡＧ3 、ＹＡＧ4 は、ＵＶ
系接着剤を用いて接着した場合のレンズ移動量ＵＶ1 と
比較して、少なくなっていることがわかる。
持部１１Ｂとをレーザ熔接光により重ね合わせ貫通熔接
した場合と、上述のレンズ鏡筒１１Ａとレンズ鏡筒支持
部１１Ｂとを従来のＵＶ系接着剤を用いて接着した場合
とにおける、上記レンズ２の移動量の経時変化を図９の
グラフに示す。ここで、条件として、レーザ光発生装置
には、ＴＥクーラ２１を用いて、２０〜６０°Ｃのヒー
トサイクルを１０ｍＨｚで２時間加えている。この図９
のグラフから、重ね合わせ貫通熔接した場合のレンズ移
動量ＹＡＧ1 、ＹＡＧ2 、ＹＡＧ3 、ＹＡＧ4 は、ＵＶ
系接着剤を用いて接着した場合のレンズ移動量ＵＶ1 と
比較して、少なくなっていることがわかる。
【００２７】また、具体的には、上記レンズ鏡筒１１Ａ
及びレンズ鏡筒支持部１１Ｂは、共に鉄とニッケルの合
金であるパーマロイで作製されている。このパーマロイ
は、一般的に、ステンレス等と比較して、熱伝導率が低
いが、レーザ熔接を行う場合には、熱伝導率が低い材質
のほうが低いエネルギでレーザ熔接することができる。
ここで、具体的な数値を挙げると、例えば、パーマロイ
を用いて作製された０．１ｍｍの熔接用座グリ４１ａ、
４１ｂが設けられたレンズ鏡筒１１Ａと、同じくパーマ
ロイを用いて作製されたレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを、
重ね合わせ貫通熔接する場合の最小熔接エネルギは５．
２Ｊであり、このときのチャージ電圧は２７０Ｖ、パル
ス幅は８．０ｍＳである。
及びレンズ鏡筒支持部１１Ｂは、共に鉄とニッケルの合
金であるパーマロイで作製されている。このパーマロイ
は、一般的に、ステンレス等と比較して、熱伝導率が低
いが、レーザ熔接を行う場合には、熱伝導率が低い材質
のほうが低いエネルギでレーザ熔接することができる。
ここで、具体的な数値を挙げると、例えば、パーマロイ
を用いて作製された０．１ｍｍの熔接用座グリ４１ａ、
４１ｂが設けられたレンズ鏡筒１１Ａと、同じくパーマ
ロイを用いて作製されたレンズ鏡筒支持部１１Ｂとを、
重ね合わせ貫通熔接する場合の最小熔接エネルギは５．
２Ｊであり、このときのチャージ電圧は２７０Ｖ、パル
ス幅は８．０ｍＳである。
【００２８】また、上記レンズ鏡筒１１Ａ及びレンズ鏡
筒支持部１１Ｂは、同一の膨張係数を有する金属を用い
て作製されているので、温度変化により熱膨張する場合
にも等しく膨張し、レーザ熔接された部分にストレスが
かかることは無い。よって、レーザ熔接された部分が剥
離することは無い。
筒支持部１１Ｂは、同一の膨張係数を有する金属を用い
て作製されているので、温度変化により熱膨張する場合
にも等しく膨張し、レーザ熔接された部分にストレスが
かかることは無い。よって、レーザ熔接された部分が剥
離することは無い。
【００２９】さらに、パーマロイの熱膨張係数は、図４
に示した、レンズ２を固定する低融点のレンズ固定ガラ
ス４５ａ、４５ｂの熱膨張係数と等しいので、熱膨張時
にこのレンズ固定ガラス４５ａ、４５ｂにストレスをか
けることは無い。
に示した、レンズ２を固定する低融点のレンズ固定ガラ
ス４５ａ、４５ｂの熱膨張係数と等しいので、熱膨張時
にこのレンズ固定ガラス４５ａ、４５ｂにストレスをか
けることは無い。
【００３０】尚、本発明に係るレーザ光発生装置は、上
記実施例のみに限定されるものではなく、励起用レーザ
光源とレーザ媒質とを挟んだ一対の反射鏡から成るレー
ザ共振器から構成される固体レーザを用いるようにして
もよい。また、レーザ媒質や非線形光学結晶素子は、Ｎ
ｄ：ＹＡＧやＫＴＰに限定されないことは勿論である。
記実施例のみに限定されるものではなく、励起用レーザ
光源とレーザ媒質とを挟んだ一対の反射鏡から成るレー
ザ共振器から構成される固体レーザを用いるようにして
もよい。また、レーザ媒質や非線形光学結晶素子は、Ｎ
ｄ：ＹＡＧやＫＴＰに限定されないことは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係るレーザ光発生装置は、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒
支持部とはレーザ熔接光により重ね合わせ貫通熔接され
ていることにより、経時変化に対する接合面のずれを無
くすことができる。また、このレーザ熔接を行うことに
より、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部との接合を十分に
強度のある接合とすることが可能となる。
明に係るレーザ光発生装置は、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒
支持部とはレーザ熔接光により重ね合わせ貫通熔接され
ていることにより、経時変化に対する接合面のずれを無
くすことができる。また、このレーザ熔接を行うことに
より、レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部との接合を十分に
強度のある接合とすることが可能となる。
【００３２】また、上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部
とは、所定の圧力で固定金具を用いて予め仮留めされた
後に、レーザ光によって貫通熔接されることにより、レ
ーザ熔接時の衝撃によるレンズ鏡筒のずれを抑えること
ができる。さらに、レーザ光の照射可能面積が飛躍的に
広くなり、レーザ熔接時のレーザ光の焦点を合わせやす
くなる。
とは、所定の圧力で固定金具を用いて予め仮留めされた
後に、レーザ光によって貫通熔接されることにより、レ
ーザ熔接時の衝撃によるレンズ鏡筒のずれを抑えること
ができる。さらに、レーザ光の照射可能面積が飛躍的に
広くなり、レーザ熔接時のレーザ光の焦点を合わせやす
くなる。
【００３３】その上、上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持
部とには、同一の膨張係数を有する材料を用いることに
より、温度変化に対する接合面のずれをなくすことがで
きる。
部とには、同一の膨張係数を有する材料を用いることに
より、温度変化に対する接合面のずれをなくすことがで
きる。
【００３４】上記レンズ鏡筒には、暗色で塗装された複
数の座グリが設けられることにより、レーザ光を容易に
貫通させることができ、また、少ないエネルギで熔接す
ることができる。さらに、上記座グリは、薄い平面で構
成されているのではなく、厚い金属で作製されているの
で、熔接された部分は十分に機械的な強度を保つことが
できる。その上、重ね合わせ貫通熔接に用いられるレー
ザ熔接機の参照光の反射を抑えることができ、目視や画
像処理による焦点調整を簡易に行うことができる。
数の座グリが設けられることにより、レーザ光を容易に
貫通させることができ、また、少ないエネルギで熔接す
ることができる。さらに、上記座グリは、薄い平面で構
成されているのではなく、厚い金属で作製されているの
で、熔接された部分は十分に機械的な強度を保つことが
できる。その上、重ね合わせ貫通熔接に用いられるレー
ザ熔接機の参照光の反射を抑えることができ、目視や画
像処理による焦点調整を簡易に行うことができる。
【００３５】また、上記複数の座グリの周囲には突条部
が配置されることにより、レーザ熔接時に溶けた金属粒
子等が飛び散ることにより、他の部品が汚れることを防
止することができる。
が配置されることにより、レーザ熔接時に溶けた金属粒
子等が飛び散ることにより、他の部品が汚れることを防
止することができる。
【図１】本発明に係るレーザ光発生装置の長片方向の側
面の断面図である。
面の断面図である。
【図２】本発明に係るレーザ光発生装置の上面の断面図
である。
である。
【図３】本発明に係るレーザ光発生装置の短片方向の側
面の断面図である。
面の断面図である。
【図４】レンズ鏡筒の概略的な構成を示す図である。
【図５】レンズ鏡筒支持部の概略的な構成を示す図であ
る。
る。
【図６】レンズ鏡筒側から見たレンズ鏡筒とレンズ鏡筒
支持部との関係を示す図である。
支持部との関係を示す図である。
【図７】レンズ鏡筒支持部側から見たレンズ鏡筒とレン
ズ鏡筒支持部との関係を示す図である。
ズ鏡筒支持部との関係を示す図である。
【図８】レンズのずれ量とトルクとの関係を示すグラフ
である。
である。
【図９】レンズの移動量と経過時間との関係を示すグラ
フである。
フである。
１・・・・・・・・レーザ素子 ２・・・・・・・・レンズ ３・・・・・・・・１／４波長板 ４・・・・・・・・レーザ媒質 ５・・・・・・・・非線形光学結晶素子 ６・・・・・・・・立ち上げミラー ７・・・・・・・・レーザ共振器 １１Ａ・・・・・・レンズ鏡筒 １１Ｂ・・・・・・レンズ鏡筒支持部 ４０ａ、４０ｂ・・ネジ穴 ４１ａ、４１ｂ・・熔接用座グリ ４３・・・・・・・レンズ保持部 ４４ａ、４４ｂ・・突条部 ５２ａ、５２ｂ・・キリ通し穴 ６０ａ、６０ｂ・・ボルト ６１ａ、６１ｂ・・スプリングワッシャ ６２ａ、６２ｂ・・ワッシャ
Claims (5)
- 【請求項１】 励起光源と、 この励起光源からのレーザ光を集光するレンズと、 このレンズを保持するレンズ鏡筒と、 このレンズ鏡筒を支持するレンズ鏡筒支持部と、 複数の光学素子により構成され、上記励起光源から上記
レンズを介して入射される光を共振させることによりレ
ーザ光を発生させるレーザ共振器とを有して成るレーザ
光発生装置であって、 上記レンズ鏡筒と上記レンズ鏡筒支持部とはレーザ熔接
光により重ね合わせ貫通熔接されていることを特徴とす
るレーザ光発生装置。 - 【請求項２】 上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部と
は、所定の圧力で固定金具を用いて予め仮留めされた後
に、レーザ光によって貫通熔接されることを特徴とする
請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項３】 上記レンズ鏡筒とレンズ鏡筒支持部とに
は、同一の膨張係数を有する材料を用いることを特徴と
する請求項１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項４】 上記レンズ鏡筒には、暗色で塗装された
複数の座グリが設けられていることを特徴とする請求項
１記載のレーザ光発生装置。 - 【請求項５】 上記レンズ鏡筒の複数の座グリの周囲に
は突条部が配置されることを特徴とする請求項１記載の
レーザ光発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265133A JPH07122796A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | レーザ光発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265133A JPH07122796A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | レーザ光発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122796A true JPH07122796A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17413082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5265133A Pending JPH07122796A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | レーザ光発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122796A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010120073A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Tamagawa Seiki Co Ltd | タンデム型センサのセンサ用円筒ケースの接続方法及び構造 |
| USRE41757E1 (en) | 1996-08-30 | 2010-09-28 | Yamaha Corporation | Sound source system based on computer software and method of generating acoustic waveform data |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP5265133A patent/JPH07122796A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE41757E1 (en) | 1996-08-30 | 2010-09-28 | Yamaha Corporation | Sound source system based on computer software and method of generating acoustic waveform data |
| JP2010120073A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Tamagawa Seiki Co Ltd | タンデム型センサのセンサ用円筒ケースの接続方法及び構造 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020507 |