JPH07119842B2 - Optical article having inorganic coating film and method for producing the same - Google Patents
Optical article having inorganic coating film and method for producing the sameInfo
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- JPH07119842B2 JPH07119842B2 JP62132630A JP13263087A JPH07119842B2 JP H07119842 B2 JPH07119842 B2 JP H07119842B2 JP 62132630 A JP62132630 A JP 62132630A JP 13263087 A JP13263087 A JP 13263087A JP H07119842 B2 JPH07119842 B2 JP H07119842B2
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、無機コート膜を有する光学物品及びその製造
方法に関する。The present invention relates to an optical article having an inorganic coating film and a method for producing the same.
真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング
法などによって得られる無機コート膜は、眼鏡、レン
ズ、ディスプレイ装置のパネル等、光学材料の反射防止
膜、ハードコート膜、各種機能性膜等に広く用いられて
いる。特に二酸化珪素膜は、その基板との付着力、硬
度、取扱易さ等の点で幅広く使用されている。Inorganic coated films obtained by vacuum vapor deposition, ion plating, sputtering, etc. are widely used for antireflection films of optical materials, hard coat films, various functional films, etc., such as glasses, lenses, and display device panels. ing. In particular, the silicon dioxide film is widely used because of its adhesion to the substrate, hardness, ease of handling, and the like.
また、表面改質に関しては、無機コート膜に係わらず、
アルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキルポリシ
ロキサンを用いた処理方法が開示されている。（例え
ば、特公昭35-9760号公報、特開昭49-12833号公報、特
公昭50-15473号公報、特開昭61-130902号公報など） 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、これら無機コート膜の表面には、表面に付着し
た水滴の乾燥過程に於て、光学ガラスに発生するヤケ現
象似にたヤケが発生し、外観、光学特性などに好ましく
ない影響を及ぼしている。特に眼鏡レンズは、玉摺加工
時及び使用時に水滴が付着し易く、水滴が付着した状態
で短時間でも放置すると、ヤケが発生していた。一般に
光学ガラスに発生するヤケの原因は次の様に考えられて
いる。先ず、表面に付着した水滴にガラス内部のイオン
であるNa+、Ba+、Pb+等が溶け出し、水滴がアルカリ性
の溶液となる。次に、この溶液と空気中のCO2、SO2等の
酸性ガスが反応し、NaSO4、BaCO3、PbCO3、BaSO4、PbSO
4等が化合物として生成し、表面に残りヤケの原因とな
る。一方、合成樹脂性基板表面に形成した二酸化珪素膜
などの無機コート膜には、陽イオンが含まれておらず、
発生するヤケの原因は、未だ不明の所が多かった。本発
明者らが、実験、分析を行った結果、これらのコート膜
上に発生するヤケの原因は、付着した水滴から生ずる珪
素化合物を中心とした蒸発残留物が、表面に強固に付着
して起こることが判明した。このことは以下に述べる事
実から明らかにされた物である。Regarding surface modification, regardless of the inorganic coating film,
A treatment method using an alkoxysilane, a halogenated silane, and an alkylpolysiloxane is disclosed. (For example, Japanese Patent Publication No. 35-9760, Japanese Patent Publication No. 49-12833, Japanese Patent Publication No. 50-15473, Japanese Patent Publication No. 61-130902, etc.) [Problems to be solved by the invention] On the surface of these inorganic coating films, during the drying process of the water droplets attached to the surface, bleeding similar to the bleeding phenomenon that occurs on optical glass occurs, which adversely affects the appearance and optical characteristics. In particular, eyeglass lenses are susceptible to water droplets during edging and during use, and if left in a state in which water droplets are attached for a short time, burns occur. Generally, the cause of burns that occur in optical glass is considered as follows. First, the ions inside the glass, Na + , Ba + , Pb +, etc., are dissolved into the water droplets attached to the surface, and the water droplets become an alkaline solution. Next, this solution reacts with acidic gases such as CO 2 and SO 2 in the air to produce NaSO 4 , BaCO 3 , PbCO 3 , BaSO 4 , and PbSO 4 .
4 etc. are generated as a compound and remain on the surface, causing burns. On the other hand, the inorganic coating film such as a silicon dioxide film formed on the surface of the synthetic resin substrate does not contain cations,
The cause of the burns was still unclear. As a result of experiments and analysis conducted by the present inventors, the cause of burns that occur on these coat films is that the evaporation residue centering on the silicon compound generated from the adhered water droplets is strongly adhered to the surface. It turned out to happen. This is clarified by the facts described below.
超純水をコート膜表面に付着させた場合、ヤケは発
生しない。（光学ガラスに発生するヤケの生成過程で
は、超純水に於てもヤケは発生する。） 透過型電子顕微鏡（TEM）により、ヤケの発生した
コート膜表面付近を断面観察したところ、表面に付着物
が観察された。When ultrapure water is attached to the surface of the coating film, no burn occurs. (In the process of producing burns that occur on optical glass, burns occur even in ultrapure water.) When a cross-section of the coat film surface where the burns occurred was observed with a transmission electron microscope (TEM), Adherence was observed.
で観察された付着物の元素分析を行ったところ、
Siが主に検出された。An elemental analysis of the deposits observed in
Si was mainly detected.
そこで本発明は、この様な問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、無機コート膜の表面状態を改質
し、この問題を解決できうる機能を表面に持たせるとこ
ろにある。Therefore, the present invention solves such a problem, and an object of the present invention is to modify the surface state of the inorganic coating film to provide the surface with a function capable of solving this problem.
すなわち、本発明の無機コート膜を有する光学物品及び
その製造方法は、最表層が主として二酸化珪素からなる
単層または多層の無機コート膜に、下記式（１）で示さ
れるシラン化合物、あるいはそのオリゴマー、もしくは
ポリマーを少なくとも１種以上含む混合物よりなる組成
物を反応あるいは吸着させ、かつ処理した表面の水に対
する静止接触角が100度以上であることを特徴とする。That is, an optical article having an inorganic coat film and a method for producing the same according to the present invention is a silane compound represented by the following formula (1) or an oligomer thereof in a single-layer or multilayer inorganic coat film whose outermost layer is mainly composed of silicon dioxide. Or a composition comprising a mixture containing at least one or more polymers reacted or adsorbed, and the treated surface has a static contact angle with water of 100 degrees or more.
さらには、最表層が主として二酸化珪素からなる無機コ
ート膜に、下記（１）式で表されるシラン化合物、ある
いはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なくとも１
種以上含む組成物を塗布し、しかる後乾燥することを特
徴とする。Furthermore, at least one silane compound represented by the following formula (1), or an oligomer or polymer thereof is added to an inorganic coating film whose outermost layer is mainly composed of silicon dioxide.
It is characterized in that a composition containing at least one species is applied and then dried.
さらに、最表層が主として二酸化珪素からなる無機コー
ト膜に、真空中或は大気中で気体の下記（１）式で表さ
れるシラン化合物、あるいはそのオリゴマー、もしくは
ポリマーを少なくとも１種以上含む組成物を反応あるい
は吸着させたことを特徴とする。Furthermore, a composition comprising an inorganic coating film whose outermost layer is mainly composed of silicon dioxide, and at least one or more kinds of silane compounds represented by the following formula (1), which are gases in vacuum or air, or oligomers or polymers thereof. Is reacted or adsorbed.
（ここでR1はフッ素を含む有機基、R2、R3，R4は水素ま
たは有機基ａ、ｂ、ｃはそれぞれの次の範囲である。１
≦ａ≦３、０≦ｂ≦２、１≦ｃ≦３） 前記に示した様に、無機コート膜の表面でのヤケの発生
原因は、水滴中の成分が蒸発残留物として表面に付着す
るためである。蒸発残留物の成分はSiを中心としてお
り、二酸化珪素の様な無機コート膜との親和性が大き
く、コート膜表面と強固に付着していると考えられる。
ヤケの発生を防ぐには、無機コート膜表面を改質し、表
面と蒸発残留物との親和性を小さくすることが必要であ
る。 (Here, R 1 is an organic group containing fluorine, R 2 , R 3 and R 4 are hydrogen or organic groups a, b and c are in the following ranges, respectively.
≦ a ≦ 3, 0 ≦ b ≦ 2, 1 ≦ c ≦ 3) As described above, the cause of the burn on the surface of the inorganic coating film is that the components in the water droplets adhere to the surface as evaporation residues. This is because. The component of the evaporation residue is mainly Si, and it has a high affinity with an inorganic coating film such as silicon dioxide, and it is considered that it adheres strongly to the surface of the coating film.
In order to prevent the occurrence of burns, it is necessary to modify the surface of the inorganic coating film to reduce the affinity between the surface and the evaporation residue.
鋭意研究の結果、撥水性を表面に持たせることにより、
蒸発残留物の無機コート膜表面との付着強度が弱まり、
たとえ表面に残留物が残っても、布等で軽く拭き取れる
ことが判った。さらに、撥水性を持たせることにより、
水滴自体も表面に付着しにくくなり、ヤケの発生低下に
役立つことも判った。ここで言う撥水性の基準として
は、純水の表面に対する接触角が100°以上あるのが望
ましい。As a result of earnest research, by giving the surface water repellency,
The adhesion strength of the evaporation residue with the surface of the inorganic coating film weakens,
It was found that even if the residue remained on the surface, it could be wiped off lightly with a cloth or the like. Furthermore, by making it water repellent,
It was also found that the water droplets themselves are less likely to adhere to the surface, which helps reduce the occurrence of burns. As a standard for water repellency, it is desirable that the contact angle of pure water with respect to the surface is 100 ° or more.
また、無機コート膜に処理を行うには、すでに基材上に
存在しているコート膜の性質、密着性、耐久性を低下さ
せることなく処理を行なう必要がある。特に合成樹脂製
基板上に設けた無機コート膜に処理を行う場合、高温で
処理を行なうと、無機コート膜にクラックが発生し、外
観、耐久性が著しく低下する。従って、処理前の密着
性、耐久性、外観、反射防止における分光特性などに悪
影響を与えない程度の処理層の厚み、温度範囲、環境で
処理できることが望ましい。Further, in order to treat the inorganic coat film, it is necessary to perform the treatment without deteriorating the properties, adhesion and durability of the coat film already existing on the substrate. In particular, when the inorganic coat film provided on the synthetic resin substrate is treated at a high temperature, the inorganic coat film is cracked, and the appearance and durability are significantly deteriorated. Therefore, it is desirable that the treatment can be performed within the thickness, temperature range, and environment of the treatment layer that does not adversely affect the adhesion, durability, appearance, spectral characteristics in antireflection, etc. before treatment.
基材表面に撥水性を付与するには、従来から用いられて
いるシリコンオイルを薄く塗布したり、四フッ化エチレ
ンを基材表面に形成させて表面の撥水性を高める方法が
知られている。しかし、これらの方法は、処理剤が、表
面と反応するわけではなく化学的には表面と結合してい
るとは言えない。その為、拭きや溶剤で容易に表面から
処理剤が脱落していた。In order to impart water repellency to the surface of the base material, conventionally known methods include thinly applying silicon oil or forming tetrafluoroethylene on the surface of the base material to increase the water repellency of the surface. . However, in these methods, the treating agent does not react with the surface and is not chemically bound to the surface. Therefore, the treating agent was easily removed from the surface by wiping or solvent.
一方、本発明で無機コート膜表面との反応、あるいは吸
着に用いる物質は、処理温度範囲が常温付近から高温ま
でと広く、上記の条件を満足し、常温に於いても十分な
処理膜が得られる。また、従来使用されている撥水処理
剤であるアルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキ
ルポリシロキサンなどと比較して、取扱も簡単で、液の
寿命も長い。On the other hand, the substance used for the reaction with the surface of the inorganic coated film or the adsorption in the present invention has a wide treatment temperature range from around room temperature to high temperature, satisfies the above conditions, and obtains a sufficiently treated film even at room temperature. To be Further, compared with the conventionally used water repellent treatment agents such as alkoxysilane, halogenated silane, and alkylpolysiloxane, they are easy to handle and have a long service life.
本発明に用いる物質として、次のような物が挙げられ
る。The substances used in the present invention include the following.
２、２、２−トリフルオロエチルトリアミノシラン,3、
３、３−トリフルオロプロピルトリアミノシラン,2、
２、２、３、３、３−ヘキサフルオロトリアミノシラ
ン,4、４、４−トリフルオロブチルトリアミノシラン,2
−（パーフルオロエチル）エチルトリアミノシラン,5、
５、５−トリフルオロペンチルトリアミノシラン,3−
（パーフルオロエチル）プロピルトリアミノシラン,2−
（パーフルオロプロピル）エチルトリアミノシラン，
（パーフルオロプロピルメチル）トリアミノシラン，
（パーフルオロブチルメチル）トリアミノシラン,6、
６、６−トリフルオロヘキシルトリアミノシラン,4−
（パーフルオロエチル）ブチルトリアミノシラン,3−
（パーフルオロプロピル）プロピルトリアミノシラン,4
−（パーフルオロブチル）エチルトリアミノシラン,5−
（パーフルオロペンチル）メチルトリアミノシラン,7、
７、７−トリフルオロヘプチルトリアミノシラン,5−
（パーフルオロエチル）ペンチルトリアミノシラン,4−
（パーフルオロプロピル）ブチルトリアミノシラン,3−
（パーフルオロブチル）プロピルトリアミノシラン,2−
（パーフルオロペンチル）エチルトリアミノシラン，
（パーフルオロヘキシルメチル）トリアミノシラン,8、
８、８−トリフルオロオクチルトリアミノシラン,6−
（パーフルオロエチル）ヘキシルトリアミノシラン,5−
（パーフルオロプロピル）ペンチルトリアミノシラン,4
−（パーフルオロブチル）トリアミノシラン,3−（パー
フルオロペンチル）ブチルトリアミノシラン,2−（パー
フルオロヘキシル）エチルトリアミノシラン，（パーフ
ルオロヘプチルメチル）トリアミノシラン,9、９、９−
トリフルオロノニルトリアミノシラン,7−（パーフルオ
ロエチル）ヘプチルトリアミノシラン,6−（パーフルオ
ロプロピル）ヘキシルトリアミノシラン,5−（パーフル
オロブチル）ペンチルトリアミノシラン,4−（パフルオ
ロペンチル）ブチルトリアミノシラン,3−（パーフルオ
ロヘキシル）プロピルトリアミノシラン,2−（パーフル
オロヘプチル）エチルトリアミノシラン，（パーフルオ
ロオクチルメチル）トリアミノシラン,10、10、10−ト
リフルオロデシルトリアミノシラン,8−（パーフルオロ
エチル）オクチルトリアミノシラン,7−（パーフルオロ
プロピル）ヘプチルトリアミノシラン,6−（パーフルオ
ロブチル）ヘキシルトリアミノシラン,5−（パーフルオ
ロペンチル）ペンチルトリアミノシラン,4−（パーフル
オロヘキシル）ブチルトリアミノシラン,2−（パーフル
オロオクチル）エチルトリアミノシラン，（パーフルオ
ロノニルメチル）トリアミノシラン,11、11、11−トリ
フルオロウンデシルトリアミノシラン,9−（パーフルオ
ロエチル）ノニルトリアミノシラン,8−（パーフルオロ
プロピル）オクチルトリアミノシラン,7−（パーフルオ
ロブチル）ヘプチルトリアミノシラン,6−（パーフルオ
ロペンチル）ヘキシルトリアミノシラン,5−（パーフル
オロヘキシル）ペンチルトリアミノシラン,4−（パーフ
ルオロヘプチル）ブチルトリアミノシラン,3−（パーフ
ルオロオクチル）プロピルトリアミノシラン,2−（パー
フルオロノニル）エチルトリアミノシラン，（パーフル
オロデシルメチル）トリアミノシラン,12、12、12−ト
リフルオロドデシルトリアミノシラン,10−（パーフル
オロエチル）デシルトリアミノシラン,9−（パーフルオ
ロプロピル）ノニルトリアミノシラン,8−（パーフルオ
ロブチル）オクチルトリアミノシラン,7−（パーフルオ
ロペンチル）ヘプチルトリアミノシラン,6−（パーフロ
オロヘキシル）ヘキシルトリアミノシラン,5−（パーフ
ルオロヘプチル）ペンチルトリアミノシラン,4−（パー
フルオロオクチル）ブチルトリアミノシラン,3−（パー
フルオロノニル）プロピルトリアミノシラン,2−（パー
フルオロデシル）エチルトリアミノシラン，（パーフル
オロウンデシルメチル）トリアミノシラン,13、13、13
−トリフルオロトリデシルトリアミノシラン,11−（パ
ーフルオロエチル）ウンデシルトリアミノシラン,10−
（パーフルオロプロピル）デシルトリアミノシラン,9−
（パーフルオロブチル）ノニルトリアミノシラン,8−
（パーフルオロペンチル）オクチルトリアミノシラン,7
−（パーフルオロヘキシル）ヘプチルトリアミノシラ
ン,6−（パーフルオロヘプチル）ヘキシルトリアミノシ
ラン,5−（パーフルオロオクチル）ペンチルトリアミノ
シラン,4−（パーフルオロノニル）ブチルトリアミノシ
ラン,3−（パーフルオロデシル）プロピルトリアミノシ
ラン,2−（パーフルオロウンデシル）エチルトリアミノ
シラン，（パーフルオロドデシルメチル）トリアミノシ
ラン，ビス（２、２、２−トリフルオロエチル）ジアミ
ノシラン，ビス（３、３、３−トリフルオロプロピル）
ジアミノシラン，ビス（２、２、２、３、３、３−ヘキ
サフルオロ）ジアミノシラン，ビス（４、４、４−トリ
フルオロブチル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフ
ルオロエチル）エチル）ジアミノシラン，ビス（５、
５、５−トリフルオロペンチル）ジアミノシラン，ビス
（３−（パーフルオロエチル）プロピル）ジアミノシラ
ン，ビス（２−（パーフルオロプロピル）エチル）ジア
ミノシラン，ビス（パーフルオロプロピルメチル）ジア
ミノシラン，ビス（パーフルオロブチルメチル）ジアミ
ノシラン，ビス（６、６、６−トリフルオロヘキシル）
ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロエチル）ブ
チル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオロプロ
ピル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフ
ルオロブチル）エチル）ジアミノシラン，ビス（５−
（パーフルオロペンチル）メチル）ジアミノシラン，ビ
ス（７、７、７−トリフルオロヘプチル）ジアミノシラ
ン，ビス（５−（パーフルオロエチル）ペンチル）ジア
ミノシラン，ビス（４−（パーフルオロプロピル）ブチ
ル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオロブチ
ル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフル
オロペンチル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パーフ
ルオロヘキシルメチル）ジアミノシラン，ビス（８、
８、８−トリフルオロオクチル）ジアミノシラン，ビス
（６−（パーフルオロエチル）ヘキシル）ジアミノシラ
ン， ビス（５−（パーフルオロプロピル）ペンチル）ジアミ
ノシラン，ビス（４−（パーフルオロブチル）ブチル）
ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオロペンチル）
ブチル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフルオロヘ
キシル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロ
ペプチルメチル）ジアミノシラン，ビス（９、９、９−
トリフルオロノニル）ジアミノシラン，ビス（７−（パ
ーフルオロエチル）ヘプチル）ジアミノシラン，ビス
（６−（パーフルオロプロピル）ヘキシル）ジアミノシ
ラン，ビス（５−（パーフルオロブチル）ペンチル）ジ
アミノシラン，ビス（４−（パーフルオロペンチル）ブ
チル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオロヘキ
シル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフ
ルオロヘプチル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パー
フルオロオクチルメチル）ジアミノシラン，ビス（10、
10、10−トリフルオロデシル）ジアミノシラン，ビス
（８−（パーフルオロエチル）オクチル）ジアミノシラ
ン，ビス（７−（パーフルオロプロピル）ヘプチル）ジ
アミノシラン，ビス（６−（パーフルオロブチル）ヘキ
シル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロペン
チル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフ
ルオロヘキシル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−
（パーフルオロヘプチル）プロピル）ジアミノシラン，
ビス（２−（パーフルオロオクチル）エチル）ジアミノ
シラン，ビス（パーフルオロノニルメチル）ジアミノシ
ラン，ビス（11、11、11−トリフルオロウンデシル）ジ
アミノシラン，ビス（９−（パーフルオロエチル）ノニ
ル）ジアミノシラン，ビス（８−（パーフルオロプロピ
ル）オクチル）ジアミノシラン，ビス（７−（パーフル
オロブチル）ヘプチル）ジアミノシラン，ビス（６−
（パーフルオロペンチル）ヘキシル）ジアミノシラン，
ビス（５−（パーフルオロヘキシル）ペンチル）ジアミ
ノシラン，ビス（４−（パーフルオロヘプチル）ブチ
ル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオロオクチ
ル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフル
オロノニル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パーフル
オロデシルメチル）ジアミノシラン，ビス（12、12、12
−トリフルオロドデシル）ジアミノシラン，ビス（10−
（パーフルオロエチル）デシル）ジアミノシラン，ビス
（９−（パーフルオロプロピル）ノニル）ジアミノシラ
ン，ビス（８−（パーフルオロブチル）オクチル）ジア
ミノシラン，ビス（７−（パーフルオロペンチル）ヘプ
チル）ジアミノシラン，ビス（６−（パーフルオロヘキ
シル）ヘキシル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフ
ルオロヘプチル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４
−（パーフルオロオクチル）ブチル）ジアミノシラン，
ビス（３−（パーフルオロノニル）プロピル）ジアミノ
シラン，ビス（２−（パーフルオロデシル）エチル）ジ
アミノシラン，ビス（パーフルオロウンデシルメチル）
ジアミノシラン，ビス（13、13、13、−トリフルオロト
リデシル）ジアミノシラン，ビス（11−（パーフルオロ
エチル）ウンデシル）ジアミノシラン，ビス（10−（パ
ーフルオロプロピル）デシル）ジアミノシラン，ビス
（９−（パーフルオロブチルノニル）ジアミノシラン，
ビス（８−（パーフルオロペンチル）オクチル）ジアミ
ノシラン，ビス（７−（パーフルオロヘキシル）ヘプチ
ル）ジアミノシラン，ビス（６−（パーフルオロヘプチ
ル）ヘキシル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフル
オロオクチル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−
（パーフルオロノニル）ブチル）ジアミノシラン，ビス
（３−（パーフルオロデシル）プロピル）ジアミノシラ
ン，ビス（２−（パーフルオロウンデシル）エチル）ジ
アミノシラン，ビス（パーフルオロドデシルメチル）ジ
アミノシラン，トリス（２、２、２−トリフルオロエチ
ル）アミノシラン，トリス（３、３、３−トリフルオロ
プロピル）アミノシラン，トリス（２、２、２、３、
３、３−ヘキサフルオロ）アミノシラン，トリス（４、
４、４−トリフルオロブチル）アミノシラン，トリス
（２−（パーフルオロエチル）エチル）アミノシラン，
トリス（５、５、５−トリフルオロペンチル）アミノシ
ラン，トリス（３−（パーフルオロエチル）プロピル）
アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロプロピル）
エチルアミノシラン，トリス（パーフルオロプロピルメ
チル）アミノシラン，トリス（パーフルオロブチルメチ
ル）アミノシラン，トリス（６、６、６−トリフルオロ
ヘキシル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロ
エチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−パーフル
オロプロピル）プロピル）アミノシラン，トリス（４−
（パーフルオロブチル）エチル）アミノシラン，トリス
（５−（パーフルオロペンチル）メチル）アミノシラ
ン，トリス（７、７、７−トリフルオロヘプチル）アミ
ノシラン，トリス（５−（パーフルオロエチルペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロプロピ
ル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオ
ロブチル）プロピル）アミノシラン，トリス（２−（パ
ーフルオロペンチル）エチル）アミノシラン，トリス
（パーフルオロヘキシルメチル）アミノシラン，トリス
（８、８、８−トリフルオロオクチル）アミノシラン，
トリス（６−（パーフルオロエチル）ヘキシル）アミノ
シラン，トリス（５−（パーフルオロプロピル）ペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロブチ
ル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオ
ロペンチル）ブチル）アミノシラン，トリス（２−（パ
ーフルオロヘキシル）エチル）アミノシラン，トリス
（パーフルオロヘプチルメチル）アミノシラン，トリス
（９、９、９−トリフルオロノニル）アミノシラン，ト
リス（７−（パーフルオロエチル）ヘプチル）アミノシ
ラン，トリス（６−（パーフルオロプロピル）ヘキシ
ル）アミノシランン，トリス（５−（パーフルオロブチ
ル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフル
オロペンチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−
（パーフルオロヘキシル）プロピル）アミノシラン，ト
リス（２−（パーフルオロヘプチル）エチル）アミノシ
ラン，トリス（パーフルオロオクチルメチル）トリアミ
ノシラン，トリス（10、10、10−トリフルオロデシル）
アミノシラン，トリス（３−（パーフルオロエチル）オ
クチル）アミノシラン，トリス（７−（パーフルオロプ
ロピル）ヘプチル）アミノシラン，トリス（６−（パー
フルオロブチル）ヘキシル）アミノシラン，トリス（５
−（パーフルオロペンチル）ペンチル）アミノシラン，
トリス（４−（パーフルオロヘキシル）ブチル）アミノ
シラン，トリス（３−（パーフルオロヘプチル）プロピ
ル）アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロノニ
ルメチル）アミノシラン，トリス（11、11、11−トリフ
ルオロウンデシル）アミノシラン，トリス（９−（パー
フルオロエチル）ノニル）アミノシラン，トリス（８−
（パーフルオロプロピル）オクチル）アミノシラン，ト
リス（７−（パーフルオロブチル）ヘプチル）アミノシ
ラン，トリス（６−（パーフルオロペンチル）ヘキシ
ル）アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロヘキシ
ル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフル
オロヘプチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−
（パーフルオロオクチル）プロピル）アミノシラン，ト
リス（２−（パーフルオロノニル）エチル）アミノシラ
ン，トリス（パーフルオロデシルメチル）アミノシラ
ン，トリス（12、12、12−トリフルオロドデシル）アミ
ノシラン，トリス（10−（パーフルオロエチル）デシ
ル）アミノシラン，トリス（９−（パーフルオロプロピ
ル）ノニル）アミノシラン，トリス（８−（パーフルオ
ロブチル）オクチル）アミノシラン，トリス（７−（パ
ーフルオロペンチル）ヘプチル）アミノシラン，トリス
（６−（パーフルオロヘキシル）ヘキシル）アミノシラ
ン，トリス（５−（パーフルオロヘプチル）ペンチル）
アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロオクチル）
ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオロノ
ニル）プロピル）アミノシラン，トリス（２−（パーフ
ルオロデシル）エチル）アミノシラン，トリス（パーフ
ルオロウンデシルメチル）アミノシラン，トリス（13、
13、13−トリフルオロトリデシル）アミノシラン，トリ
ス（11−（パーフルオロエチル）ウンデシル）アミノシ
ラン，トリス（10−（パーフルオロプロピル）デシル）
アミノシラン，トリス（９−（パーフルオロブチル）ノ
ニル）アミノシラン，トリス（８−（パーフルオロペン
チル）オクチル）アミノシラン，トリス（７−（パーフ
ルオロヘキシル）ヘプチル）アミノシラン，トリス（６
−（パーフルオロヘプチル）ヘキシル）アミノシラン，
トリス（５−（パーフルオロオクチル）ペンチル）アミ
ノシラン，トリス（４−（パーフルオロノニル）ブチ
ル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオロデシ
ル）プロピル）アミノシラン，トリス（２−（パーフル
オロウンデシル）エチル）アミノシラン，トリス（パー
フルオロドデシルメチル）アミノシラン,2−（パーフル
オロヘプチル）エチルジアミノシラン,2−（パーフルオ
ロヘプチル）エチル−メチル−ジアミノシラン,2−（パ
ーフルオロヘプチル）エチル−プロピル−ジアミノシラ
ン,2−（パーフルオロヘプチル）エチル−ブチル−ジア
ミノシラン,2−（パーフルオロヘプチル）エチル−ペン
チル−ジアミノシラン,2−（パーフルオロヘプチル）エ
チル−ヘキシル−ジアミノシラン，ビス−（２−（パー
フルオロヘプチル）エチル）−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロヘプチル）エチル）メチル−アミ
ノシラン，ビス−（２−（パーフルオロヘプチル）エチ
ル）−エチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフル
オロヘプチル）エチル）−ブチル−アミノシラン，ビス
−（２−パーフルオロヘプチル）エチル）−プロピル−
アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロヘプチル）
エチル）−ペンチル−アミノシラン，ビス−（２−（パ
ーフルオロヘプチル）エチル）ヘキシル−アミノシラ
ン,2−（パーフルオロヘプチル）エチルジメチルアミノ
シラン,2−（パーフルオロヘプチル）エチルメチルエチ
ルアミノシラン,2−（パーフルオロヘプチル）エチルメ
チルプロピルアミノシラン,2−（パーフルオロヘプチ
ル）エチルジエチルアミノシラン,2−（パーフルオロヘ
プチル）エチルエチルプロピルアミノシラン,2−（パー
フルオロヘプチル）エチルジプロピルアミノシラン,2−
（パーフルオロヘプチル）エチル−メチルアミノ−ジア
ミノシラン,2−（パーフルオロヘプチル）エチル−ビス
（メチルアミノ）−アミノシラン,2−（パーフルオロヘ
プチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン,2−
（パーフルオロヘプチル）エチル−エチルアミノ−ジア
ミノシラン,2−（パーフルオロヘプチル）エチル−ビス
（エチルアミノ）−アミノシラン,2−（パーフルオロヘ
プチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラン,2−
（パーフルオロオクチル）エチルジアミノシラン,2−
（パーフルオロオクチル）エチル−メチル−ジアミノシ
ラン,2−（パーフルオロオクチル）エチル−プロピル−
ジアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）エチル−
ブチル−ジアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）
エチル−ペンチル−ジアミノシラン,2−（パーフルオロ
オクチル）エチル−ヘキシル−ジアミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロオクチル）エチル）−アミノシラ
ン，ビス−（２−（パーフルオロオクチル）エチル）メ
チル−アミノシラン，ビス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）−エチル−アミノシラン，ビス（２−（パ
ーフルオロオクチル）エチル）−ブチル−アミノシラ
ン，ビス（２−（パーフルオロオクチル）エチル）−プ
ロピル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオ
クチル）エチル）−ペンチル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロオクチル）エチル）ヘキシル−ア
ミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）エチルジメチ
ルアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）エチルメ
チルエチルアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）
エチルメチルプロピルアミノシラン,2−（パーフルオロ
オクチル）エチルジエチルアミノシラン,2−（パーフル
オロオクチル）エチルエチルプロピルアミノシラン,2−
（パーフルオロオクチル）エチルジプロピルアミノシラ
ン,2−（パーフルオロオクチル）エチル−メチルアミノ
−ジアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）エチル
−ビス（メチルアミノ）−アミノシラン,2−（パーフル
オロオクチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラ
ン,2−（パーフルオロオクチル）エチル−エチルアミノ
−ジアミノシラン,2−（パーフルオロオクチル）エチル
−ビス（エチルアミノ）−アミノシラン,2−（パーフル
オロオクチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラ
ン,2−（パーフルオロノニル）エチルジアミノシラン,2
−（パーフルオロノニル）エチル−メチル−ジアミノシ
ラン,2−（パーフルオロノニル）エチル−プロピル−ジ
アミノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチル−ブチ
ル−ジアミノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチル
−ペンチル−ジアミノシラン,2−（パーフルオロノニ
ル）エチル−ヘキシル−ジアミノシラン，ビス−（２−
（パーフルオロノニル）エチル）−アミノシラン，ビス
−（２−（パーフルオロノニル）エチル）メチル−アミ
ノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチ
ル）−エチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフル
オロノニル）エチル）−ブチル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロノニル）エチル）−プロピル−ア
ミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノンイル）エ
チル）−ペンチル−アミノシラン，ビス−（２−（パー
フルオロノニル）エチル）ヘキシル−アミノシラン,2−
（パーフルオロノニル）エチルジメチルアミノシラン,2
−（パーフルオロノニル）エチルメチルエチルアミノシ
ラン,2−（パーフルオロノニル）エチルメチルエチルプ
ロピルアミノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチル
ジエチルアミノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチ
ルエチルプロピルアミノシラン,2−（パーフルオロノニ
ル）エチルジプロピルアミノシラン,2−（パーフルオロ
ノニル）エチル−メチルアミノ−ジアミノシラン,2−
（パーフルオロノニル）エチル−ビス（メチルアミノ）
−アミノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチル−ト
リス（メチルアミノ）シラン,2−（パーフルオロノニ
ル）エチル−エチルアミノ−ジアミノシラン,2−（パー
フルオロノニル）エチル−ビス（エチルアミノ）−アミ
ノシラン,2−（パーフルオロノニル）エチル−トリス
（エチルアミノ）シラン。2,2,2-trifluoroethyltriaminosilane, 3,
3,3-trifluoropropyltriaminosilane, 2,
2,2,3,3,3-hexafluorotriaminosilane, 4,4,4-trifluorobutyltriaminosilane, 2
-(Perfluoroethyl) ethyltriaminosilane, 5,
5,5-trifluoropentyltriaminosilane, 3-
(Perfluoroethyl) propyltriaminosilane, 2-
(Perfluoropropyl) ethyltriaminosilane,
(Perfluoropropylmethyl) triaminosilane,
(Perfluorobutylmethyl) triaminosilane, 6,
6,6-trifluorohexyltriaminosilane, 4-
(Perfluoroethyl) butyltriaminosilane, 3-
(Perfluoropropyl) propyltriaminosilane, 4
-(Perfluorobutyl) ethyltriaminosilane, 5-
(Perfluoropentyl) methyltriaminosilane, 7,
7,7-Trifluoroheptyltriaminosilane, 5-
(Perfluoroethyl) pentyltriaminosilane, 4-
(Perfluoropropyl) butyltriaminosilane, 3-
(Perfluorobutyl) propyltriaminosilane, 2-
(Perfluoropentyl) ethyltriaminosilane,
(Perfluorohexylmethyl) triaminosilane, 8,
8,8-Trifluorooctyltriaminosilane, 6-
(Perfluoroethyl) hexyltriaminosilane, 5-
(Perfluoropropyl) pentyltriaminosilane, 4
-(Perfluorobutyl) triaminosilane, 3- (perfluoropentyl) butyltriaminosilane, 2- (perfluorohexyl) ethyltriaminosilane, (perfluoroheptylmethyl) triaminosilane, 9, 9, 9-
Trifluorononyltriaminosilane, 7- (perfluoroethyl) heptyltriaminosilane, 6- (perfluoropropyl) hexyltriaminosilane, 5- (perfluorobutyl) pentyltriaminosilane, 4- (perfluoropentyl) butyltriaminosilane, 3- (perfluorohexyl) propyltriaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyltriaminosilane, (perfluorooctylmethyl) triaminosilane, 10,10,10-trifluorodecyltriaminosilane, 8- (perfluoroethyl) Octyltriaminosilane, 7- (perfluoropropyl) heptyltriaminosilane, 6- (perfluorobutyl) hexyltriaminosilane, 5- (perfluoropentyl) pentyltriaminosilane, 4- (perfluorohexyl) butyltria Nosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyltriaminosilane, (perfluorononylmethyl) triaminosilane, 11,11,11-trifluoroundecyltriaminosilane, 9- (perfluoroethyl) nonyltriaminosilane, 8- (perfluorooctyl) ethyltriaminosilane Fluoropropyl) octyltriaminosilane, 7- (perfluorobutyl) heptyltriaminosilane, 6- (perfluoropentyl) hexyltriaminosilane, 5- (perfluorohexyl) pentyltriaminosilane, 4- (perfluoroheptyl) butyltriaminosilane , 3- (perfluorooctyl) propyltriaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyltriaminosilane, (perfluorodecylmethyl) triaminosilane, 12,12,12-trifluorododecyltriaminosilane, 10- (perfluoroethyl) ) Decyltriaminosilane, 9- (perfluoropropyl) nonyltriaminosilane, 8- (perfluorobutyl) octyltriaminosilane, 7- (perfluoropentyl) heptyltriaminosilane, 6- (perfluorohexyl) hexyltriaminosilane, 5 -(Perfluoroheptyl) pentyltriaminosilane, 4- (perfluorooctyl) butyltriaminosilane, 3- (perfluorononyl) propyltriaminosilane, 2- (perfluorodecyl) ethyltriaminosilane, (perfluoroundecylmethyl) Triaminosilane, 13, 13, 13
-Trifluorotridecyltriaminosilane, 11- (perfluoroethyl) undecyltriaminosilane, 10-
(Perfluoropropyl) decyltriaminosilane, 9-
(Perfluorobutyl) nonyltriaminosilane, 8-
(Perfluoropentyl) octyltriaminosilane, 7
-(Perfluorohexyl) heptyltriaminosilane, 6- (perfluoroheptyl) hexyltriaminosilane, 5- (perfluorooctyl) pentyltriaminosilane, 4- (perfluorononyl) butyltriaminosilane, 3- (perfluorodecyl) Propyltriaminosilane, 2- (perfluoroundecyl) ethyltriaminosilane, (perfluorododecylmethyl) triaminosilane, bis (2,2,2-trifluoroethyl) diaminosilane, bis (3,3,3-trifluoro) Propyl)
Diaminosilane, bis (2,2,2,3,3,3-hexafluoro) diaminosilane, bis (4,4,4-trifluorobutyl) diaminosilane, bis (2- (perfluoroethyl) ethyl) di Aminosilane, bis (5,
5,5-trifluoropentyl) diaminosilane, bis (3- (perfluoroethyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluoropropyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluoropropylmethyl) diaminosilane, bis (Perfluorobutylmethyl) diaminosilane, bis (6,6,6-trifluorohexyl)
Diaminosilane, bis (4- (perfluoroethyl) butyl) diaminosilane, bis (3- (perfluoropropyl) propyl) diaminosilane, bis (4- (perfluorobutyl) ethyl) diaminosilane, bis (5-
(Perfluoropentyl) methyl) diaminosilane, bis (7,7,7-trifluoroheptyl) diaminosilane, bis (5- (perfluoroethyl) pentyl) diaminosilane, bis (4- (perfluoropropyl) butyl) Diaminosilane, bis (3- (perfluorobutyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluoropentyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluorohexylmethyl) diaminosilane, bis (8,
8,8-Trifluorooctyl) diaminosilane, bis (6- (perfluoroethyl) hexyl) diaminosilane, bis (5- (perfluoropropyl) pentyl) diaminosilane, bis (4- (perfluorobutyl) butyl)
Diaminosilane, bis (3- (perfluoropentyl))
Butyl) diaminosilane, bis (2- (perfluorohexyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluoropeptylmethyl) diaminosilane, bis (9,9,9-
Trifluorononyl) diaminosilane, bis (7- (perfluoroethyl) heptyl) diaminosilane, bis (6- (perfluoropropyl) hexyl) diaminosilane, bis (5- (perfluorobutyl) pentyl) diaminosilane, bis (4- (perfluoropentyl) butyl) diaminosilane, bis (3- (perfluorohexyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluoroheptyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluorooctylmethyl) diaminosilane , Screw (10,
10,10-Trifluorodecyl) diaminosilane, bis (8- (perfluoroethyl) octyl) diaminosilane, bis (7- (perfluoropropyl) heptyl) diaminosilane, bis (6- (perfluorobutyl) hexyl) Diaminosilane, bis (5- (perfluoropentyl) pentyl) diaminosilane, bis (4- (perfluorohexyl) butyl) diaminosilane, bis (3-
(Perfluoroheptyl) propyl) diaminosilane,
Bis (2- (perfluorooctyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluorononylmethyl) diaminosilane, bis (11,11,11-trifluoroundecyl) diaminosilane, bis (9- (perfluoroethyl) nonyl ) Diaminosilane, bis (8- (perfluoropropyl) octyl) diaminosilane, bis (7- (perfluorobutyl) heptyl) diaminosilane, bis (6-
(Perfluoropentyl) hexyl) diaminosilane,
Bis (5- (perfluorohexyl) pentyl) diaminosilane, bis (4- (perfluoroheptyl) butyl) diaminosilane, bis (3- (perfluorooctyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluorononyl) ) Ethyl) diaminosilane, bis (perfluorodecylmethyl) diaminosilane, bis (12,12,12
-Trifluorododecyl) diaminosilane, bis (10-
(Perfluoroethyl) decyl) diaminosilane, bis (9- (perfluoropropyl) nonyl) diaminosilane, bis (8- (perfluorobutyl) octyl) diaminosilane, bis (7- (perfluoropentyl) heptyl) di Aminosilane, bis (6- (perfluorohexyl) hexyl) diaminosilane, bis (5- (perfluoroheptyl) pentyl) diaminosilane, bis (4
-(Perfluorooctyl) butyl) diaminosilane,
Bis (3- (perfluorononyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluorodecyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluoroundecylmethyl)
Diaminosilane, bis (13,13,13, -trifluorotridecyl) diaminosilane, bis (11- (perfluoroethyl) undecyl) diaminosilane, bis (10- (perfluoropropyl) decyl) diaminosilane, bis (9 -(Perfluorobutylnonyl) diaminosilane,
Bis (8- (perfluoropentyl) octyl) diaminosilane, bis (7- (perfluorohexyl) heptyl) diaminosilane, bis (6- (perfluoroheptyl) hexyl) diaminosilane, bis (5- (perfluorooctyl) ) Pentyl) diaminosilane, bis (4-
(Perfluorononyl) butyl) diaminosilane, bis (3- (perfluorodecyl) propyl) diaminosilane, bis (2- (perfluoroundecyl) ethyl) diaminosilane, bis (perfluorododecylmethyl) diaminosilane, tris (2,2,2-trifluoroethyl) aminosilane, tris (3,3,3-trifluoropropyl) aminosilane, tris (2,2,2,3,
3,3-hexafluoro) aminosilane, tris (4,
4,4-trifluorobutyl) aminosilane, tris (2- (perfluoroethyl) ethyl) aminosilane,
Tris (5,5,5-trifluoropentyl) aminosilane, tris (3- (perfluoroethyl) propyl)
Aminosilane, tris (2- (perfluoropropyl)
Ethylaminosilane, tris (perfluoropropylmethyl) aminosilane, tris (perfluorobutylmethyl) aminosilane, tris (6,6,6-trifluorohexyl) aminosilane, tris (4- (perfluoroethyl) butyl) aminosilane, tris ( 3-perfluoropropyl) propyl) aminosilane, tris (4-
(Perfluorobutyl) ethyl) aminosilane, tris (5- (perfluoropentyl) methyl) aminosilane, tris (7,7,7-trifluoroheptyl) aminosilane, tris (5- (perfluoroethylpentyl) aminosilane, tris ( 4- (perfluoropropyl) butyl) aminosilane, tris (3- (perfluorobutyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluoropentyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluorohexylmethyl) aminosilane, tris (8, 8,8-trifluorooctyl) aminosilane,
Tris (6- (perfluoroethyl) hexyl) aminosilane, tris (5- (perfluoropropyl) pentyl) aminosilane, tris (4- (perfluorobutyl) butyl) aminosilane, tris (3- (perfluoropentyl) butyl) Aminosilane, tris (2- (perfluorohexyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluoroheptylmethyl) aminosilane, tris (9,9,9-trifluorononyl) aminosilane, tris (7- (perfluoroethyl) heptyl) aminosilane , Tris (6- (perfluoropropyl) hexyl) aminosilane, tris (5- (perfluorobutyl) pentyl) aminosilane, tris (4- (perfluoropentyl) butyl) aminosilane, tris (3-)
(Perfluorohexyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluoroheptyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluorooctylmethyl) triaminosilane, tris (10,10,10-trifluorodecyl)
Aminosilane, tris (3- (perfluoroethyl) octyl) aminosilane, tris (7- (perfluoropropyl) heptyl) aminosilane, tris (6- (perfluorobutyl) hexyl) aminosilane, tris (5
-(Perfluoropentyl) pentyl) aminosilane,
Tris (4- (perfluorohexyl) butyl) aminosilane, tris (3- (perfluoroheptyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluorooctyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluorononylmethyl) aminosilane, tris ( 11,11,11-trifluoroundecyl) aminosilane, tris (9- (perfluoroethyl) nonyl) aminosilane, tris (8-
(Perfluoropropyl) octyl) aminosilane, tris (7- (perfluorobutyl) heptyl) aminosilane, tris (6- (perfluoropentyl) hexyl) aminosilane, tris (5- (perfluorohexyl) pentyl) aminosilane, tris ( 4- (perfluoroheptyl) butyl) aminosilane, tris (3-
(Perfluorooctyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluorononyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluorodecylmethyl) aminosilane, tris (12,12,12-trifluorododecyl) aminosilane, tris (10- ( Perfluoroethyl) decyl) aminosilane, tris (9- (perfluoropropyl) nonyl) aminosilane, tris (8- (perfluorobutyl) octyl) aminosilane, tris (7- (perfluoropentyl) heptyl) aminosilane, tris (6 -(Perfluorohexyl) hexyl) aminosilane, tris (5- (perfluoroheptyl) pentyl)
Aminosilane, tris (4- (perfluorooctyl))
Butyl) aminosilane, tris (3- (perfluorononyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluorodecyl) ethyl) aminosilane, tris (perfluoroundecylmethyl) aminosilane, tris (13,
13,13-Trifluorotridecyl) aminosilane, tris (11- (perfluoroethyl) undecyl) aminosilane, tris (10- (perfluoropropyl) decyl)
Aminosilane, tris (9- (perfluorobutyl) nonyl) aminosilane, tris (8- (perfluoropentyl) octyl) aminosilane, tris (7- (perfluorohexyl) heptyl) aminosilane, tris (6
-(Perfluoroheptyl) hexyl) aminosilane,
Tris (5- (perfluorooctyl) pentyl) aminosilane, tris (4- (perfluorononyl) butyl) aminosilane, tris (3- (perfluorodecyl) propyl) aminosilane, tris (2- (perfluoroundecyl) ethyl ) Aminosilane, tris (perfluorododecylmethyl) aminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyldiaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-methyl-diaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-propyl-diaminosilane , 2- (perfluoroheptyl) ethyl-butyl-diaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-pentyl-diaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-hexyl-diaminosilane, bis- (2- (per Fluoroheptyl) ethyl - aminosilane, bis -
(2- (perfluoroheptyl) ethyl) methyl-aminosilane, bis- (2- (perfluoroheptyl) ethyl) -ethyl-aminosilane, bis- (2- (perfluoroheptyl) ethyl) -butyl-aminosilane, bis- (2-Perfluoroheptyl) ethyl) -propyl-
Aminosilane, bis- (2- (perfluoroheptyl)
Ethyl) -pentyl-aminosilane, bis- (2- (perfluoroheptyl) ethyl) hexyl-aminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyldimethylaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethylmethylethylaminosilane, 2- (per) Fluoroheptyl) ethylmethylpropylaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyldiethylaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethylethylpropylaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyldipropylaminosilane, 2-
(Perfluoroheptyl) ethyl-methylamino-diaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-bis (methylamino) -aminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-tris (methylamino) silane, 2-
(Perfluoroheptyl) ethyl-ethylamino-diaminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-bis (ethylamino) -aminosilane, 2- (perfluoroheptyl) ethyl-tris (ethylamino) silane, 2-
(Perfluorooctyl) ethyldiaminosilane, 2-
(Perfluorooctyl) ethyl-methyl-diaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-propyl-
Diaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-
Butyl-diaminosilane, 2- (perfluorooctyl)
Ethyl-pentyl-diaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-hexyl-diaminosilane, bis-
(2- (perfluorooctyl) ethyl) -aminosilane, bis- (2- (perfluorooctyl) ethyl) methyl-aminosilane, bis (2- (perfluorooctyl) ethyl) -ethyl-aminosilane, bis (2- ( Perfluorooctyl) ethyl) -butyl-aminosilane, bis (2- (perfluorooctyl) ethyl) -propyl-aminosilane, bis- (2- (perfluorooctyl) ethyl) -pentyl-aminosilane, bis-
(2- (Perfluorooctyl) ethyl) hexyl-aminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyldimethylaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethylmethylethylaminosilane, 2- (perfluorooctyl)
Ethylmethylpropylaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyldiethylaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethylethylpropylaminosilane, 2-
(Perfluorooctyl) ethyldipropylaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-methylamino-diaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-bis (methylamino) -aminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl -Tris (methylamino) silane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-ethylamino-diaminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-bis (ethylamino) -aminosilane, 2- (perfluorooctyl) ethyl-tris (Ethylamino) silane, 2- (perfluorononyl) ethyldiaminosilane, 2
-(Perfluorononyl) ethyl-methyl-diaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-propyl-diaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-butyl-diaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl- Pentyl-diaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-hexyl-diaminosilane, bis- (2-
(Perfluorononyl) ethyl) -aminosilane, bis- (2- (perfluorononyl) ethyl) methyl-aminosilane, bis- (2- (perfluorononyl) ethyl) -ethyl-aminosilane, bis- (2- (per) Fluorononyl) ethyl) -butyl-aminosilane, bis-
(2- (perfluorononyl) ethyl) -propyl-aminosilane, bis- (2- (perfluorononyl) ethyl) -pentyl-aminosilane, bis- (2- (perfluorononyl) ethyl) hexyl-aminosilane, 2 −
(Perfluorononyl) ethyldimethylaminosilane, 2
2- (perfluorononyl) ethylmethylethylaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethylmethylethylpropylaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyldiethylaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethylethylpropylaminosilane, 2- ( Perfluorononyl) ethyldipropylaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-methylamino-diaminosilane, 2-
(Perfluorononyl) ethyl-bis (methylamino)
-Aminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-tris (methylamino) silane, 2- (perfluorononyl) ethyl-ethylamino-diaminosilane, 2- (perfluorononyl) ethyl-bis (ethylamino) -aminosilane , 2- (Perfluorononyl) ethyl-tris (ethylamino) silane.
本発明では、これらに限定されるのではなく、特許請求
範囲に示される一般式のものであれば、本発明の目的
を、達成できることは言うまでもない。また、本発明に
於いて、オリゴマー、ポリマーとは、 で示される反応基同士が反応して形成されるオリゴマ
ー、ポリマーを指す。これには、脱アンモニアによって
形成されるシラザン化合物も含まれる。It goes without saying that the present invention is not limited to these, and the object of the present invention can be achieved as long as it has the general formula shown in the claims. Further, in the present invention, the oligomer and the polymer are Indicates an oligomer or polymer formed by the reaction between the reactive groups represented by. This also includes silazane compounds formed by deammonification.
従って、使用するシラン化合物同士が無機コート膜との
反応前、もしくは反応後結合し、ポリマー化することが
ありえるが、本発明の目的とするところの重合度を得る
ように調整すればなんら問題ない。また、目的に応じ
て、１種以上のシラン化合物を混合して用いてもよい。Therefore, the silane compounds to be used may be polymerized by binding with each other before or after the reaction with the inorganic coat film, but there is no problem if the silane compounds are adjusted so as to obtain the desired degree of polymerization of the present invention. . Further, one or more silane compounds may be mixed and used depending on the purpose.
シラン化合物を無機コート膜に反応あるいは吸着させる
には、Dip法，スピンナー法，スプレー法等により表面
に塗布し、反応、吸着させる方法を用いることが出来る
が、塗布膜厚を調整するためにシラン化合物を希釈する
ための溶媒が必要となる。また、表面との反応に寄与し
なかったシラン化合物を洗浄するための溶媒も必要であ
る。水酸基を有する水系、アルコール系の溶媒は、溶媒
とシラン化合物が反応したり、溶解性、洗浄性が悪いた
め、使用することが困難である。そのため、今までは人
体に有害な溶媒、環境に有害な溶媒（例えばフロン）を
使用することが一般的であった。フロンに関してはオゾ
ン層破壊物質として世界的に全廃の動きがあり、環境保
護の面からも使用を避ける事が望ましい。In order to react or adsorb the silane compound on the inorganic coating film, a method of coating on the surface by a Dip method, a spinner method, a spray method, or the like, and causing reaction or adsorption can be used. A solvent is needed to dilute the compound. Further, a solvent for cleaning the silane compound that did not contribute to the reaction with the surface is also required. It is difficult to use a water-based or alcohol-based solvent having a hydroxyl group because the solvent and the silane compound react with each other and the solubility and the cleaning property are poor. Therefore, until now, it has been common to use a solvent harmful to the human body and a solvent harmful to the environment (for example, CFCs). CFCs are being abolished worldwide as ozone-depleting substances, and it is desirable to avoid their use in terms of environmental protection.
また、DiP法、スピンナー法、スプレー法の場合、真空
中で形成した無機コート膜を、真空槽内から取り出して
新たな工程を増す必要があり、洗浄工程も付設しなけれ
ばならず効率的とは言えない。従って、反応方法として
は、真空雰囲気中あるいは大気中でシラン化合物のガス
を無機コート膜と反応させる方法などを用いることが望
ましい。DiP法などの場合、塗布中の雰囲気、例えば湿
度、温度を最適にコントロールすることにより、反応速
度が制御出来、また浸漬時間、液温、シラン化合物の濃
度を調節することにより所望の処理膜を得ることが出来
る。さらに、塗布後、コート膜の特性に影響を与えない
程度の加熱や光照射を行うことにより反応を促進すれば
より効果的である。Also, in the case of DiP method, spinner method, spray method, it is necessary to take out the inorganic coating film formed in vacuum from the vacuum chamber to add a new step, and a cleaning step must be additionally provided, which is efficient. I can't say. Therefore, as the reaction method, it is desirable to use a method of reacting the gas of the silane compound with the inorganic coating film in a vacuum atmosphere or in the air. In the case of the DiP method or the like, the reaction rate can be controlled by optimally controlling the atmosphere during coating, such as humidity and temperature, and the desired treatment film can be obtained by adjusting the dipping time, liquid temperature, and concentration of silane compound. You can get it. Further, it is more effective if the reaction is promoted by performing heating or light irradiation to such an extent that the characteristics of the coat film are not affected after coating.
気体のシラン化合物で処理する場合、真空槽内で無機コ
ート膜を形成中、あるいは形成後にシラン化合物のガス
を導入し、反応させてもよい。また、アルゴンや酸素等
のプラズマ雰囲気中にシラン化合物のガスを導入し、反
応性蒸着、反応性イオンプレーティング等を行うことも
可能である。When treating with a gaseous silane compound, the silane compound gas may be introduced and reacted during or after the formation of the inorganic coating film in the vacuum chamber. It is also possible to introduce a gas of a silane compound into a plasma atmosphere such as argon or oxygen to carry out reactive vapor deposition, reactive ion plating or the like.
シラン化合物と無機コート膜との反応性を高めるために
前処理して、無機コート膜表面を、洗浄、薬品処理、プ
ラズマ処理することはより効果的である。It is more effective to carry out pretreatment to enhance the reactivity between the silane compound and the inorganic coating film, and to wash, chemical-treat, or plasma-treat the surface of the inorganic coating film.
反応に用いるシラン化合物は、単体もしくは混合で用い
てもよく、溶媒で希釈したり、酸や塩基で前処理して使
用することも可能である。The silane compound used in the reaction may be used alone or as a mixture, or may be diluted with a solvent or may be pretreated with an acid or a base before use.
反応が終了後、大気中の水分子と反応したシラン化合
物、コート膜表面との反応、吸着に寄与できなかったシ
ラン化合物を洗浄により洗い流すことにより、処理前の
反射防止特性などの外観が変わらない処理を行うことが
出来る。いままで述べた処理は、二酸化珪素を主として
含む無機コート膜表面に可能である。After the reaction is completed, the silane compound that has reacted with water molecules in the atmosphere, the reaction with the coating film surface, and the silane compound that could not contribute to adsorption are washed away to maintain the appearance such as antireflection properties before treatment. Processing can be performed. The treatments described so far are possible on the surface of the inorganic coating film mainly containing silicon dioxide.
無機コート膜、たとえば、二酸化珪素膜などでは、その
表面に極性の大きな−OH基が露出しており、これが水滴
中に含まれる不純物を吸着し易いため、ヤケが起こると
説明できる。従って、無機コート膜表面を極性の小さ
な、あるいは撥水性の基で置換することにより、ヤケの
防止が出来る。It can be explained that an inorganic coated film, for example, a silicon dioxide film, has a large-polarity —OH group exposed on the surface thereof, which easily adsorbs impurities contained in water droplets, thus causing burns. Therefore, by substituting the surface of the inorganic coating film with a group having a small polarity or a water-repellent group, burn can be prevented.
以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。Hereinafter, the present invention will be described in detail based on Examples, but the present invention is not limited thereto.
（実施例１） ジエチレングリコールビス（アリルカーボネート）製樹
脂からなる合成樹脂製レンズをアセトンで洗浄し、室温
で５分間、５％水酸化ナトリウム水溶液を用いて表面処
理を行い、以下に述べるコーティング液をディッピング
法により、液温５℃、引き上げ速度40cm/minの条件で塗
布した。次に熱風乾燥炉中で80℃で30分、130℃で２時
間加熱硬化させた。(Example 1) A synthetic resin lens made of a resin made of diethylene glycol bis (allyl carbonate) was washed with acetone, surface-treated with a 5% sodium hydroxide aqueous solution for 5 minutes at room temperature, and a coating solution described below was prepared. Coating was performed by a dipping method at a liquid temperature of 5 ° C. and a pulling rate of 40 cm / min. Then, it was heated and cured in a hot air drying oven at 80 ° C. for 30 minutes and 130 ° C. for 2 hours.
コーティング液は次の様にして作製した。The coating liquid was prepared as follows.
攪拌装置を備えた反応容器中にエタノール206g、エタノ
ール分散コロイダルシリカ396g（触媒化成工業株式会社
製“オスカル1232"固形分30％）、γ−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシランの部分加水分解物312g、フロ
ーコントロール剤0.2部（日本ユニカー（株）製“Ｌ−7
604"）及び0.05N酢酸水溶液86gを加え、室温で３時間攪
拌をし、コーティング液とした。In a reaction vessel equipped with a stirrer, 206 g of ethanol, 396 g of ethanol-dispersed colloidal silica (Catalyst Chemical Co., Ltd. "Oscar 1232" solid content 30%), 312 g of partial hydrolyzate of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 0.2 parts of flow control agent ("L-7" manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.)
604 ") and 0.05 g of acetic acid aqueous solution (86 g) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to obtain a coating liquid.
上記のようにして得られたレンズを真空槽内にセット
し、真空蒸着法により、基板温度50℃で、樹脂表面に反
射防止処理を行った。膜構成は、レンズ側からSiO2がλ
/4,ZrO2層とSiO2層の合計膜厚がλ/4,ZrO2層がλ/4,最
上層のSiO2がλ/4とした（ここでλ＝520nm）。次にこ
のレンズをアセトンで洗浄し、十分乾燥させた後、液温
20℃の２−（パーフルオロオクチル）エチルトリアミノ
シラン、を1wt％含む１、１、２−トリクロロ−１、
２、２、−トリフルオロエタン溶液に５分間浸漬した。
浸漬後、相対湿度50％、温度50℃雰囲気中に取り出し、
10分間放置した。その後、１、１、２−トリクロロ−
１、２、２、−トリフルオロエタンにより洗浄を行っ
た。洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に、大きな
変化はみられなかった。The lens obtained as described above was set in a vacuum chamber, and the resin surface was subjected to antireflection treatment at a substrate temperature of 50 ° C. by a vacuum vapor deposition method. The film composition is SiO 2 λ from the lens side.
/ 4, the total thickness of the ZrO 2 layer and the SiO 2 layer was λ / 4, the ZrO 2 layer was λ / 4, and the uppermost SiO 2 was λ / 4 (where λ = 520 nm). Next, wash this lens with acetone, dry it thoroughly, and then
1,1,2-trichloro-1, containing 1 wt% of 2- (perfluorooctyl) ethyltriaminosilane at 20 ° C.,
It was immersed in a 2,2, -trifluoroethane solution for 5 minutes.
After immersion, take out in an atmosphere with relative humidity of 50% and temperature of 50 ° C.
Let stand for 10 minutes. Then 1,1,2-trichloro-
Washing was performed with 1,2,2, -trifluoroethane. No significant change was observed in the appearance of the lens after cleaning and the antireflection property.
得られたコート膜の評価方法は、以下に示す方法を用い
た。The evaluation method of the obtained coat film used the method shown below.
ヤケ性：水道水をコート膜表面にたらし乾燥させた
後、布で残留物を拭き取った。残留物が残ればＣ、完全
に拭き取れればＡ、一部残ればＢと評価した。Burnability: After tap water was applied to the surface of the coating film to dry it, the residue was wiped off with a cloth. When the residue remained, it was evaluated as C, when completely wiped off, it was evaluated as A, and when part of it remained, it was evaluated as B.
接触角：接触角計（協和科学株式会社製CA−Ｄ型）
を用いて液適法（純水）により測定した。Contact angle: Contact angle meter (Kyowa Scientific Co., Ltd. CA-D type)
Was measured by a liquid solution method (pure water).
温水試験:80℃の温度に５時間浸漬後と同様にヤ
ケ性の試験を行った。Hot water test: A burn test was performed in the same manner as after the immersion in the temperature of 80 ° C. for 5 hours.
（実施例２） ジエチレングリコールビス（アリルカーボネート）製樹
脂からなる合成樹脂製レンズをアセトンで洗浄し、その
後、真空蒸着法により基板温度50℃で、樹脂表面に反射
防止処理を行った。反射防止処理は実施例１と同様の処
理を行い、処理後イソプロピルアリコールで洗浄を行っ
た。次にこのレンズを実施例１で用いた処理液で実施例
１と同様に処理した。Example 2 A synthetic resin lens made of a resin made of diethylene glycol bis (allyl carbonate) was washed with acetone, and then the resin surface was subjected to antireflection treatment at a substrate temperature of 50 ° C. by a vacuum vapor deposition method. As the antireflection treatment, the same treatment as in Example 1 was performed, and after the treatment, washing was performed with isopropyl alcohol. Next, this lens was treated with the treatment liquid used in Example 1 in the same manner as in Example 1.
洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変化は
見られなかった。No significant change was observed in the appearance and antireflection characteristics of the lens after cleaning.
（実施例３） 実施例１で用いた反射防止層の最上層である二酸化珪素
を、次のようにして形成した。電子銃を用いて、二酸化
珪素を溶解しながら、アルゴンとビス（パーフルオロプ
ロピルメチル）ジアミノシランを9:1に混合した気体を
真空度が0.01Torrになるよう、真空槽内に導入し、13.5
6MHzの高周波電場により、雰囲気をプラズマ化した。(Example 3) Silicon dioxide, which is the uppermost layer of the antireflection layer used in Example 1, was formed as follows. Using an electron gun, while dissolving silicon dioxide, a gas in which argon and bis (perfluoropropylmethyl) diaminosilane were mixed at a ratio of 9: 1 was introduced into the vacuum chamber so that the degree of vacuum was 0.01 Torr.
The atmosphere was turned into plasma by a high-frequency electric field of 6 MHz.
基板には300V直流電圧を印加し、高周波出力300wで反応
性イオンプレーティングを行いながら二酸化珪素層を形
成した。A 300 V DC voltage was applied to the substrate, and a silicon dioxide layer was formed while performing reactive ion plating at a high frequency output of 300 w.
（実施例４） 実施例１で得られたレンズに、実施例１と同様に反射防
止処理を行い、その後、ビス−（２−パーフルオロヘプ
チル）エチル）−ブチル−アミノシランを5wt％含む
１、１、２、−トリクロロ−１、２、２−トリフルオロ
エタン溶液に１分間浸漬した。浸漬後、相対湿度70％、
温度60℃雰囲気中に取り出し、５分間放置した。放置後
テトラヒドロフランにより洗浄を行った。洗浄後の外観
は処理前とほとんど変化がなかった。(Example 4) The lens obtained in Example 1 was subjected to an antireflection treatment in the same manner as in Example 1, and thereafter, containing 5 wt% of bis- (2-perfluoroheptyl) ethyl) -butyl-aminosilane 1, It was immersed in a 1,2, -trichloro-1,2,2-trifluoroethane solution for 1 minute. After immersion, relative humidity 70%,
It was taken out in an atmosphere at a temperature of 60 ° C. and left for 5 minutes. After standing, it was washed with tetrahydrofuran. The appearance after washing was almost unchanged from that before the treatment.
（比較例１） 実施例１で用いた処理前の反射防止膜付きレンズを液温
15℃のジメチルジクロロシラン98％溶液に、１分間浸漬
した。浸漬後、湿度60％、温度25℃の雰囲気中で、10cm
/秒の速度でレンンズを引き上げた。引き上げ後、トリ
クロロエチレンにより洗浄を行った。(Comparative Example 1) The lens with the antireflection film before the treatment used in Example 1 was heated to the liquid temperature.
It was immersed in a 98% dimethyldichlorosilane solution at 15 ° C for 1 minute. After immersion, 10 cm in an atmosphere of humidity 60% and temperature 25 ℃
Raised the Renns at a speed of / second. After pulling up, it was washed with trichlorethylene.
（比較例２） 実施例１で用いた処理前の反射防止膜付レンズを、ジメ
チルジエトキシシラン50gとイソプロピルアルコール450
g、及び0.05N塩酸20gを混合した液温10℃の溶液に３分
間浸漬した。浸漬後、湿度75％、温度50℃の雰囲気中で
15分間放置し、その後アセトンにより洗浄を行った。Comparative Example 2 The anti-reflection film-coated lens used in Example 1 was treated with 50 g of dimethyldiethoxysilane and 450 of isopropyl alcohol.
It was immersed for 3 minutes in a solution having a liquid temperature of 10 ° C. mixed with 20 g of 0.05 g hydrochloric acid. After soaking, in an atmosphere with a humidity of 75% and a temperature of 50 ° C
It was left for 15 minutes and then washed with acetone.
（比較例３） 実施例１で得られたシラン化合物による処理を行う前の
反射防止膜付きの合成樹脂製レンズを比較例３とした。Comparative Example 3 A synthetic resin lens having an antireflection film before the treatment with the silane compound obtained in Example 1 was used as Comparative Example 3.
上記、実施例１〜４、比較例１〜３の評価結果をまとめ
て表１に示した。The evaluation results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 are summarized in Table 1.
無機コート膜表面に、水に対する静止接触角が101度以
上の撥水性を持たせた事により、表面エネルギーが低下
し、水及び水中の不純物との親和性が低下し、ヤケ現象
を防止することが出来た。さらに表面エネルギーの低下
に伴い、人体から分泌される汗、脂肪又は食用油等の有
機物による汚れも、ティッシュペーパー等で拭くだけで
簡単に取り除くことが出来た。また、本発明で用いる物
質は、他の表面処理剤と比較して低温での反応性も十分
で、表面処理の持続性も良いことが判った。The surface of the inorganic coated film is made water-repellent with a static contact angle of 101 degrees or more to reduce the surface energy, reduce the affinity with water and impurities in water, and prevent the burn phenomenon. Was completed. Furthermore, as the surface energy decreases, stains from organic substances such as sweat, fat or edible oil secreted from the human body can be easily removed simply by wiping with tissue paper or the like. Further, it was found that the substance used in the present invention had sufficient reactivity at low temperature as compared with other surface treatment agents and had good surface treatment durability.
さらに、気体のシラン化合物を反応させる方法を用いる
と溶剤（例えばフロン）を使用する必要がなくなり、地
球に優しい処理が可能となる。Furthermore, when a method of reacting a gaseous silane compound is used, it is not necessary to use a solvent (for example, chlorofluorocarbon), and a treatment friendly to the earth becomes possible.
本発明は、合成樹脂製眼鏡レンズ、精密機器用光学レン
ズ、表示パネル、時計用カバーガラス、窓ガラス等無機
コート膜を使用した製品に適用できる方法であり、その
用途は更に拡大されるであろう。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is a method that can be applied to products using an inorganic coating film such as synthetic resin spectacle lenses, optical lenses for precision instruments, display panels, cover glasses for watches, window glasses, etc., and its application will be further expanded. Let's do it.
Claims (3)
酸化珪素からなる単層または多層の無機コート膜に、下
記（１）式で示されるシラン化合物あるいはそのオリゴ
マー、もしくはポリマーを少なくとも１種以上含む組成
物を反応あるいは吸着させ、かつ下記（１）式で示され
るシラン化合物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリ
マーを少なくとも１種以上含む組成物を反応あるいは吸
着させた前記無機コート膜の表面の水に対する静止接触
角が101度以上であることを特徴とする無機コート膜を
有する光学物品。1. A single-layer or multi-layered inorganic coating film having an outermost layer provided above a substrate mainly made of silicon dioxide, and at least one silane compound represented by the following formula (1) or an oligomer or polymer thereof. With respect to water on the surface of the inorganic coat film, the composition containing the above is reacted or adsorbed, and the composition containing at least one silane compound represented by the following formula (1) or an oligomer or polymer thereof is reacted or adsorbed. An optical article having an inorganic coating film, which has a static contact angle of 101 degrees or more.
またはハードコート層を有する合成樹脂製レンズ上に形
成された反射防止膜であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の無機コート膜を有する光学物品。2. The inorganic coating film is a synthetic resin lens,
An optical article having an inorganic coat film according to claim 1, which is an antireflection film formed on a synthetic resin lens having a hard coat layer.
らなる単層または多層の無機コート膜を設ける工程、前
記無機コート膜に、下記（１）式で示されるシラン化合
物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なく
とも１種以上含む組成物からなる膜を反応あるいは吸着
させる工程を有し、下記（１）式で示されるシラン化合
物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なく
とも１種以上含む組成物を塗布した前記無機コート膜の
表面の水に対する静止接触角を101度以上とすることを
特徴とする無機コート膜を有する光学物品の製造方法。 （ここでR1はフッ素を含む有機基、R2、R3，R4は水素ま
たは有機基、a.b.cはそれぞれ次の範囲である。１≦ａ
≦３、０≦ｂ≦２、１≦ｃ≦３）3. A step of providing a single-layer or multi-layer inorganic coating film whose outermost layer is mainly composed of silicon dioxide above the substrate, wherein the inorganic coating film has a silane compound represented by the following formula (1) or an oligomer thereof, or There is a step of reacting or adsorbing a film made of a composition containing at least one polymer, and a composition containing at least one silane compound represented by the following formula (1) or an oligomer thereof, or a polymer is applied. A method for producing an optical article having an inorganic coated film, wherein a static contact angle of water on the surface of the inorganic coated film is 101 degrees or more. (Here, R 1 is an organic group containing fluorine, R 2 , R 3 , and R 4 are hydrogen or an organic group, and abc is in the following range. 1 ≦ a
≦ 3, 0 ≦ b ≦ 2, 1 ≦ c ≦ 3)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7201939B2 (en) | 2002-08-07 | 2007-04-10 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical fiber with antireflection coating, and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2561395B2 (en) * | 1991-02-27 | 1996-12-04 | ホーヤ株式会社 | Optical member having water-repellent thin film and method for manufacturing the same |
| US5360869A (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-01 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Method of making fluorinated copolymers |
| US6119626A (en) * | 1996-11-14 | 2000-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum apparatus for forming a thin-film and method for forming thin-film |
| US5851674A (en) * | 1997-07-30 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| US6277485B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-08-21 | 3M Innovative Properties Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| KR101419078B1 (en) * | 2006-11-14 | 2014-07-11 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | Coating liquid for forming low refractive index film method for producing the same and antireflection member |
| EP2865737A1 (en) * | 2013-10-28 | 2015-04-29 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Fine epilame product |
| JP2020030247A (en) * | 2018-08-20 | 2020-02-27 | 株式会社タムロン | Optical element having stain resistant layer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213653A (en) * | 1982-06-01 | 1983-12-12 | Asahi Glass Co Ltd | Glass having low reflectance |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP62132630A patent/JPH07119842B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7201939B2 (en) | 2002-08-07 | 2007-04-10 | Kabushiki Kaisha Topcon | Optical fiber with antireflection coating, and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63296002A (en) | 1988-12-02 |
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