JPH07113191A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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JPH07113191A
JPH07113191A JP25547193A JP25547193A JPH07113191A JP H07113191 A JPH07113191 A JP H07113191A JP 25547193 A JP25547193 A JP 25547193A JP 25547193 A JP25547193 A JP 25547193A JP H07113191 A JPH07113191 A JP H07113191A
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JP
Japan
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solvent
cleaning
sheet
sticking
washing
Prior art date
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Pending
Application number
JP25547193A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Hagiwara
弘之 萩原
Masato Hasegawa
正人 長谷川
Yukio Okubo
由紀夫 大久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 帯状の薄板の圧延油等の洗浄において、
地球環境破壊物質を使用することなく従来法と同等以上
の洗浄効果を有する洗浄装置を提供することである。 【構成】 洗浄用溶剤の循環ポンプと循環ポンプに
連通するスプレ−ノズル、一対の回転ブラシ、超音波発
生器、エアノズルを備えた溶剤洗浄槽を設け、溶剤洗浄
槽の出口に溶剤吸収ロ−ルを配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用のリ−ドフレ
−ム材やテレビのブラウン管のシャドウマスク材等に用
いる帯状の金属薄板の洗浄装置に係るもので、特に薄板
表面上に付着した圧延油、潤滑油、焼入れ油や防錆油な
どの除去を目的とした脱脂洗浄装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、金属薄板の脱脂洗浄方法として
は、フロン113、1−1−1トリクロロエタン、塩化
メチレン等の各種溶剤あるいはアルカリや界面活性剤等
の水系洗剤を貯留した洗浄槽内にコイルから金属薄板を
連続的に供給し、超音波やブラシ、スプレ−、撹拌力等
の物理力を用いて油脂成分を強制剥離・溶解して洗浄
し、乾燥工程を経て巻取る方法がとられてきた。
【0003】フロン113及び1−1−1トリクロロエ
タンは高い洗浄能力を有し乾燥速度も大きいことから、
脱脂洗浄剤として広く使用されてきた。しかし、これら
の塩素系溶剤はオゾン層破壊物質であり、予想以上に地
球外殻のオゾン層の破壊が進行していることから、無害
な洗浄剤への早急な代替が求められている。また、塩化
メチレンは発癌性物質の疑いがあり人体に対する安全性
が確認されていないことから、使用量の削減や自粛が叫
ばれている。
【0004】アルカリや界面活性剤等の水系洗剤を使用
する洗浄方法は、基本的には水を使用する洗浄法であり
人体に対する毒性は低く安全性は高い。しかし、洗浄排
水やリンス排水が大量に発生することから、これら排水
の処理のための排水処理設備を完備しなければならな
い。従って、他の洗浄プロセスと洗浄コストを比較する
場合は、排水処理コストを含めて評価する必要がある。
水洗浄では従来法に比較して乾燥速度が極めて遅いこと
から、温風乾燥器や真空乾燥器を使用して強制乾燥する
必要があるが、この時洗浄後のリンスが不十分であった
り洗浄水に溶解性成分が含まれていると、ウオ−タマ−
クと呼ばれるシミが発生し製品不良となる。特に洗剤を
使用した場合には、洗浄後に表面に残留するイオン残渣
が問題になる場合がある。また、乾燥が不十分であると
水分で錆が発生し製品不良となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の脱脂洗浄装置に
おいては、環境破壊物質や人体に対する毒性の高い溶剤
や排水処理の困難な洗剤を使用するという問題点があ
る。又、水系の洗剤を用いた場合は、金属薄板表面の錆
の発生やシミ残り、イオン残渣等の製品品質に与える問
題がある。そこで本発明は上記問題点を解決するもの
で、その目的とするところは、前記環境破壊物質を使用
しないで、従来法と同等以上の洗浄効果の得られる洗浄
装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】洗浄用溶剤の循環ポンプ
と循環ポンプに連通するスプレ−ノズル、一対の回転ブ
ラシ、超音波発生器、エアノズルを備えた溶剤洗浄槽を
設け、溶剤洗浄槽の出口に溶剤吸収ロ−ル及び温風ノズ
ルを配置し、溶剤洗浄槽にて洗浄・乾燥を行う構成とし
たものである。
【0007】
【作用】溶剤洗浄槽においては、金属薄板の表面に固着
した有機物を溶剤により剥離・溶解作用により洗浄を行
い、循環ポンプに連通するスプレ−ノズル、洗浄ブラシ
及び超音波発生器による物理力を利用し洗浄効果を高め
ようとするものである。溶剤洗浄槽出口の吸液ロ−ルは
金属薄板表面に残った溶剤の液膜を低減し乾燥に要する
時間とエネルギ−を大幅に削減するとともに溶剤の回収
の作用を行うものである。さらに、温風により金属薄板
の表面に残留する微量の溶剤を完全に乾燥させる。
【0008】
【実施例】図1に本発明による実施例の1例を示す。コ
イル状に巻取った金属薄板材を巻き出し側1にセット
し、その一端を溶剤洗浄槽2に導入する。溶剤洗浄槽2
には洗浄用の溶剤3を貯留し、板材の一定長さを浸漬し
て超音波発生機4からの超音波を照射し、金属薄板材表
面に付着した油分を超音波振動により剥離し洗浄水中に
分散させる構造とする。
【0009】超音波発生機4の周波数と出力は、洗浄に
より剥離しようとする汚れ成分とその付着量から最適な
仕様の機種を選択する。洗浄水の液深は超音波発生機の
周波数の1/4の整数倍とすることにより最も高い洗浄
効果を得ることができる。洗浄用の溶剤3は、除去する
汚れ成分により各種の溶剤の中から、洗浄レベル、コス
ト、安全性などを考慮して最適なものを選定する。圧延
油等の油分の除去には、例えばダフニクリ−ナ−(出光
興産)、ナフテゾ−ル(日本石油化学商品名)、テクリ
−ン(日本石油商品名)、NSクリ−ン(日鉱石油化学
商品名)等の石油系有機溶剤を用いることができる。
【0010】溶剤3は循環ポンプ5により溶剤洗浄槽2
下部から吸引し、溶剤洗浄槽2の入り口側に配置したス
プレ−ノズル6から薄板1表面に噴射することにより、
その物理力により表面に付着した汚れ分を溶解剥離す
る。スプレ−ノズル6は、金属薄板の幅方向に全面に噴
流が照射されるように噴出量及び角度を考慮してヘッダ
管に複数個配置し、そのヘッダ管を一対以上金属薄板の
両側に配置する。循環ポンプ5に接続する配管には洗浄
槽側にフィルタ7を設置し、溶剤3に分散する固形分を
濾過して除去する。フィルタ7内のエレメントは定期的
に汚れ具合を点検し、汚れの程度に応じて適宜交換す
る。
【0011】さらに、スプレ−ノズル6付近に一対以上
の回転ブラシ8を配置し、ブラシ8により金属薄板1の
表面を擦過することにより、より強固に表面に固着した
汚れ成分の強制剥離が可能となる。ブラシ繊維は、薄板
表面を損傷しないものを選定し、ブラシ8の回転方向は
相対速度を高める意味で薄板の進行方向と逆回転とする
ことにより、より大きな洗浄効果が得られる。
【0012】溶剤洗浄槽2の出口側には、液きり用のエ
アノズル9を配置しブロア(図示せず)からの空気流に
より薄板1を溶剤3から引き上げたときに付着する液を
飛散させる。エアノズル9は、薄板1の幅方向に全面に
噴流が照射されるように噴出量及び角度を考慮してヘッ
ダ管に複数個配置するか、あるいは金属薄板1の全幅に
渡るスリット状のエアノズル状のヘッダ管を一対以上金
属薄板の両側に配置する。金属薄板1を溶剤3から引き
上げるときは、溶剤3の液面と直角上方に引上げエアノ
ズル9からの空気流は金属薄板1表面から溶剤槽2に流
下する方向とする。
【0013】溶剤洗浄槽2から出た金属薄板1は一対の
吸液ロ−ル11を通過し、表面に残留する溶剤3を除去
する。吸液ロ−ル11は回転軸の周囲に不織布を積層し
て構成し、毛細管現象で金属薄板表面上に残留する溶剤
を繊維中に吸収し、さらに真空吸引ポンプ12で吸引し
て乾燥を行う。真空吸引ポンプ12への配管途中にはミ
ストセパレ−タ13を配置し、凝縮した溶剤3を分離し
て溶剤貯留槽14に送る。溶剤貯留槽14には溶剤洗浄
槽2の溶剤3の廃液も定期的に送られ、その一部を再生
装置15で蒸留再生する。再生液は一旦貯留槽10に備
蓄したのち、溶剤循環ポンプを使用しスプレ−ノズルを
経由して循環再使用する。
【0014】吸液ロ−ル11の次に温風ノズル16を設
け、ブロア(図示せず)からヒ−タ(図示せず)に送り
こんだ空気を加熱し金属薄板1の表面に吹き付けること
により完全に乾燥し巻取り装置に巻取り洗浄を完了す
る。溶剤洗浄槽2に使用する材料や機器は耐溶剤性を考
慮して選定し、引火点を有する溶剤を使用する場合は防
爆仕様の電気品を選定する。さらに、安全性の観点から
溶剤洗浄槽内部には炎検知器17および消火設備(図示
せず)を設け、万一の出火時に備える。又、有機溶剤を
使用する場合は溶剤洗浄槽を密閉構造として槽内部を負
圧に保ち、洗浄槽外に溶剤蒸気が漏れないよう配慮して
健全な作業環境を確保するようにつとめる。それと同時
に、溶剤洗浄槽2の周囲には適当な位置に可燃性ガス検
知器(図示せず)を設け、常に用剤の空気中濃度が爆発
限界以下であることを監視する。
【0015】上記洗浄装置を使用して、下記条件にて実
際に金属薄板の連続洗浄を行った。洗浄後に薄板に残留
する油分の分析結果では、水洗浄槽出口では50mg/
m2、溶剤洗浄槽出口では3.5mg/m2となり、従
来の1−1−1トリクロロエタンによる洗浄方法(5m
g/m2)と比較して、同程度以上の洗浄効果が得られ
た。 (洗浄条件) 薄板形状 板厚 0.1mm 幅 500mm 付着油分 圧延油 付着量(洗浄前) 約1900mg/m2 薄板通板速度 18m/min 洗浄溶剤 ナフテゾ−ルM(日本石油化学製) 超音波発生器 45kHz、60W 油分分析方法 四塩化炭素抽出後、油分濃度計で分
【0016】
【発明の効果】本発明により、従来使用していた1−1
−1トリクロロエタン等の環境汚染物質を使用せずに同
等以上の洗浄効果をうることができた結果、環境汚染物
質を全廃し環境改善を達成することができる。さらに、
1−1−1トリクロロエタンより毒性の低い洗浄用溶剤
を用いることにより、作業環境を改善する効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例を示す図。
【符号の説明】
1 金属薄板コイル(洗浄前) 2 溶剤洗浄槽 3 洗浄用有機溶剤 4 超音波発生器 5 溶剤循環ポンプ 6 スプレ−ノズル 7 フィルタ 8 回転ブラシ 9 エアノズル 11 溶剤吸収ロ−ル 12 真空ポンプ 13 ミストセパレ−タ 14 溶剤貯留槽 15 溶剤再生装置 16 温風ノズル 17 炎検知器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄用有機溶剤の循環ポンプと循環ポン
    プに連通するスプレ−ノズル、一対の回転ブラシ、超音
    波発生器、エアノズルを備えた溶剤洗浄槽を設け、溶剤
    洗浄槽の出口に溶剤吸収ロ−ル及び温風ノズルを配置し
    たことを特徴とする薄板の洗浄装置。
JP25547193A 1993-10-13 1993-10-13 洗浄装置 Pending JPH07113191A (ja)

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