JPH0711018A - 焦電素子用フィルムおよびその製造方法 - Google Patents
焦電素子用フィルムおよびその製造方法Info
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- JPH0711018A JPH0711018A JP5150278A JP15027893A JPH0711018A JP H0711018 A JPH0711018 A JP H0711018A JP 5150278 A JP5150278 A JP 5150278A JP 15027893 A JP15027893 A JP 15027893A JP H0711018 A JPH0711018 A JP H0711018A
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- Japan
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- roughened
- fluorine
- containing polymer
- pyroelectric element
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- Moulding By Coating Moulds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 焦電素子用フィルムにおいて、赤外線の吸収
率を向上させる。 【構成】 少なくとも一方の面が粗面化されている含フ
ッ素高分子重合体のフィルムであって、表面が粗面化さ
れているキャスト板上に含フッ素高分子重合体の溶液を
注入し、溶剤を蒸発乾燥させて該含フッ素高分子重合体
のフィルムとし、該フィルムを前記キャスト板から剥離
させることにより製造できる。
率を向上させる。 【構成】 少なくとも一方の面が粗面化されている含フ
ッ素高分子重合体のフィルムであって、表面が粗面化さ
れているキャスト板上に含フッ素高分子重合体の溶液を
注入し、溶剤を蒸発乾燥させて該含フッ素高分子重合体
のフィルムとし、該フィルムを前記キャスト板から剥離
させることにより製造できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、含フッ素高分子重合体
からなる焦電素子用フィルムおよびその製造方法に関す
る。
からなる焦電素子用フィルムおよびその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高分子重合体からなる焦電素子は、フィ
ルムの両面に高電圧が印加され自発分極を付与され、入
射赤外線の変化量に応じて電荷を発生させ、人体用およ
び火災検出用の素子として広く利用されている。
ルムの両面に高電圧が印加され自発分極を付与され、入
射赤外線の変化量に応じて電荷を発生させ、人体用およ
び火災検出用の素子として広く利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような焦電素子用
フィルムにおいて、入射赤外線量に対する感度の向上を
図るには、赤外線の吸収率を向上させる必要があり、表
面を粗面化すると、赤外線の透過角度が多方向に分散さ
れ、反射率が低減する。
フィルムにおいて、入射赤外線量に対する感度の向上を
図るには、赤外線の吸収率を向上させる必要があり、表
面を粗面化すると、赤外線の透過角度が多方向に分散さ
れ、反射率が低減する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記ような点
から赤外線の吸収率を向上させるため、含フッ素高分子
重合体のフィルムの少なくとも一方の面が約１μｍ以下
の凹凸面に粗面化されていることを特徴とするものであ
る。
から赤外線の吸収率を向上させるため、含フッ素高分子
重合体のフィルムの少なくとも一方の面が約１μｍ以下
の凹凸面に粗面化されていることを特徴とするものであ
る。
【０００５】但し、薄膜化されたフィルムを粗面化する
場合、一般的にはフィルムを固定して、サンドブラスト
処理またはウォーターホーニング処理によって粗面化が
行われる。しかし、特に薄いフィルムにあっては、固定
方法や機械的な粗面化の条件が難しく、研磨材の種類、
砥粒度、噴射圧力、処理時間等を変化させても、全体が
均一に粗面化されたフィルムを得ることは困難である。
場合、一般的にはフィルムを固定して、サンドブラスト
処理またはウォーターホーニング処理によって粗面化が
行われる。しかし、特に薄いフィルムにあっては、固定
方法や機械的な粗面化の条件が難しく、研磨材の種類、
砥粒度、噴射圧力、処理時間等を変化させても、全体が
均一に粗面化されたフィルムを得ることは困難である。
【０００６】固定方法においても、薄膜フィルムの小さ
な面積であれば比較的容易であるが、大きな面積になる
と、粘着シートで押さえる方法があるが、フィルムの強
度が小さいとシートの剥離時に切断、変形等が起こり、
好ましくない。
な面積であれば比較的容易であるが、大きな面積になる
と、粘着シートで押さえる方法があるが、フィルムの強
度が小さいとシートの剥離時に切断、変形等が起こり、
好ましくない。
【０００７】また、固定のために使用された粘着シート
の粘着材が焦電素子用フィルムに残留した場合、後処理
が困難である。また固定用シートの表面性および柔軟性
によってフィルムの粗面化の条件が変化して均一なフィ
ルムが得られにくい。
の粘着材が焦電素子用フィルムに残留した場合、後処理
が困難である。また固定用シートの表面性および柔軟性
によってフィルムの粗面化の条件が変化して均一なフィ
ルムが得られにくい。
【０００８】更に、他の大きな欠点として、機械的な方
法によってフィルムの粗面化を行った場合、高電界下で
フィルムの分極を行う操作において粗面化が不均一であ
るため、フィルムの単位厚さに印加される電圧が異な
り、分極時にフィルムの破壊が多く発生し、収率の低下
を招いてしまう。フィルムの破壊の現象は、粗面化の谷
によって局部的な厚さの小さい部分ができることによっ
て、多く発生するものと推察される。
法によってフィルムの粗面化を行った場合、高電界下で
フィルムの分極を行う操作において粗面化が不均一であ
るため、フィルムの単位厚さに印加される電圧が異な
り、分極時にフィルムの破壊が多く発生し、収率の低下
を招いてしまう。フィルムの破壊の現象は、粗面化の谷
によって局部的な厚さの小さい部分ができることによっ
て、多く発生するものと推察される。
【０００９】これらの現象は、サンドブラスト法に限ら
ず、スラリーを使用するウォーターホーニング処理にお
いても同様に発生する。
ず、スラリーを使用するウォーターホーニング処理にお
いても同様に発生する。
【００１０】この分極時の破壊防止策として、フィルム
の分極以後に粗面化することも考えられるが、焦電性を
有したフィルムは、結晶化率も高く固いために機械的な
衝撃を与えることは不具合であって、フィルムの固定の
ための引張力も粗面化されるフィルムの内部に歪みを与
えてしまい、フィルムの焦電特性および強度の点で好ま
しくない。
の分極以後に粗面化することも考えられるが、焦電性を
有したフィルムは、結晶化率も高く固いために機械的な
衝撃を与えることは不具合であって、フィルムの固定の
ための引張力も粗面化されるフィルムの内部に歪みを与
えてしまい、フィルムの焦電特性および強度の点で好ま
しくない。
【００１１】従って、本発明では、容易にしかも均一な
フィルムが得られ、分極時にも破壊の起こりにくいフィ
ルムを得る方法であって、表面が粗面化されているキャ
スト板上に含フッ素高分子重合体の溶液を注入し、溶剤
を蒸発乾燥させて含フッ素高分子重合体のフィルムと
し、そのフィルムをキャスト板から剥離させて焦電素子
用フィルムを得ることを特徴とする。特に、薄膜フィル
ムの粗面化されたキャスト板からの剥離に関しては、フ
ィルム強度の面から問題であるが、適当な温度差を与え
ることで容易に剥離することが判明した。
フィルムが得られ、分極時にも破壊の起こりにくいフィ
ルムを得る方法であって、表面が粗面化されているキャ
スト板上に含フッ素高分子重合体の溶液を注入し、溶剤
を蒸発乾燥させて含フッ素高分子重合体のフィルムと
し、そのフィルムをキャスト板から剥離させて焦電素子
用フィルムを得ることを特徴とする。特に、薄膜フィル
ムの粗面化されたキャスト板からの剥離に関しては、フ
ィルム強度の面から問題であるが、適当な温度差を与え
ることで容易に剥離することが判明した。
【００１２】本発明で使用される研磨処理されたガラス
板の材質は、表面が平滑であれば特に限定するものでは
ないが、一般の硬質ガラス（例えばフロートガラス、コ
ピー用ガラス）で十分であって、粗面化の度合は、サン
ドブラスト処理によって、＃４００〜２０００の砥粒で
特に焦電素子の特性上＃８００〜１２００のものが好ま
しく、材質はアルミナ質系が好ましく、噴出圧力は４〜
６kgf/平方cm、時間は６０〜２４０分程度が好ましい。
板の材質は、表面が平滑であれば特に限定するものでは
ないが、一般の硬質ガラス（例えばフロートガラス、コ
ピー用ガラス）で十分であって、粗面化の度合は、サン
ドブラスト処理によって、＃４００〜２０００の砥粒で
特に焦電素子の特性上＃８００〜１２００のものが好ま
しく、材質はアルミナ質系が好ましく、噴出圧力は４〜
６kgf/平方cm、時間は６０〜２４０分程度が好ましい。
【００１３】本発明に用いられる含フッ素高分子重合体
は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＦＥＰ
（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン
共重合体）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＣＴＦＥ
（ポリクロロトリフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（テト
ラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合
体）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＰＶＦ（ポ
リビニルフルオライド）等のような単重合体および共重
合体が好ましい。その溶液に使用される溶剤は、上記含
フッ素高分子重合体が溶解するものであれば特に限定す
るものではないが、アセトン、ベンゼン、ＴＨＦ（テト
ラヒドロフラン）、ＤＭＦ（ジメチルホルムアミド）、
ジメチルアセトアミド等を使用することができる。溶液
の濃度としては、０．１〜１０％程度でよく、薄いフィ
ルムを作成する場合ほど、希薄な溶液が好ましい。
は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＦＥＰ
（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン
共重合体）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＰＣＴＦＥ
（ポリクロロトリフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（テト
ラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合
体）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＰＶＦ（ポ
リビニルフルオライド）等のような単重合体および共重
合体が好ましい。その溶液に使用される溶剤は、上記含
フッ素高分子重合体が溶解するものであれば特に限定す
るものではないが、アセトン、ベンゼン、ＴＨＦ（テト
ラヒドロフラン）、ＤＭＦ（ジメチルホルムアミド）、
ジメチルアセトアミド等を使用することができる。溶液
の濃度としては、０．１〜１０％程度でよく、薄いフィ
ルムを作成する場合ほど、希薄な溶液が好ましい。
【００１４】本発明のキャスト法による成膜は、常圧
法、減圧法等により行われるが、どの場合にも予熱、蒸
発速度、温度等を溶液に適した条件を選択する必要があ
る。また、溶剤として毒性を有するものにあっては、人
体の安全性から成膜工程を閉鎖状態で行い、溶剤を冷却
回収すべきことは言うまでもない。
法、減圧法等により行われるが、どの場合にも予熱、蒸
発速度、温度等を溶液に適した条件を選択する必要があ
る。また、溶剤として毒性を有するものにあっては、人
体の安全性から成膜工程を閉鎖状態で行い、溶剤を冷却
回収すべきことは言うまでもない。
【００１５】本発明のキャスト法によるフィルムの厚さ
としては、赤外線検出素子としての用途、種類によって
異なり、２〜１００μｍのフィルムを成膜することが可
能であり、通常の５〜３０μｍのフィルムの成膜には、
何ら問題はない。なお、これらのフィルムの厚さの調整
は、キャスト板上に注入される溶液の量と濃度によって
決定されるが、キャスト板の水平度は、高度に保持する
必要がある。
としては、赤外線検出素子としての用途、種類によって
異なり、２〜１００μｍのフィルムを成膜することが可
能であり、通常の５〜３０μｍのフィルムの成膜には、
何ら問題はない。なお、これらのフィルムの厚さの調整
は、キャスト板上に注入される溶液の量と濃度によって
決定されるが、キャスト板の水平度は、高度に保持する
必要がある。
【００１６】得られたフィルムは、結晶化度を上げるた
めに熱処理され、フィルムの両面に金属膜（Ａｌ、Ｚ
ｎ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕ等）が蒸着され、高電圧が
印加され分極が行われるが、フィルム両面に電極を作成
しなくてもコロナ法によって分極処理は可能である。
めに熱処理され、フィルムの両面に金属膜（Ａｌ、Ｚ
ｎ、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕ等）が蒸着され、高電圧が
印加され分極が行われるが、フィルム両面に電極を作成
しなくてもコロナ法によって分極処理は可能である。
【００１７】以下、本発明について、更に具体的に説明
するが、本発明を限定するものではない。また、キャス
ト法によっては、片面のみの粗面化が行われ、その後、
サンドブラスト法等によって、他面の粗面化を行って両
面を粗面化してもよいが、赤外線の散乱は、片面で十分
効果が得られる。また、片面が有効に粗面化されている
と、その他面については、穏やかな粗面化を有効に行う
ことができる。
するが、本発明を限定するものではない。また、キャス
ト法によっては、片面のみの粗面化が行われ、その後、
サンドブラスト法等によって、他面の粗面化を行って両
面を粗面化してもよいが、赤外線の散乱は、片面で十分
効果が得られる。また、片面が有効に粗面化されている
と、その他面については、穏やかな粗面化を有効に行う
ことができる。
【００１８】
実施例１ 枠付（高さ１０ｍｍ）ガラス製粗面化キャスト板（＃１
０００砥粒粗面化、６００×６００ｍｍ）に含フッ素高
分子重合体（２Ｆ／３Ｆ／１Ｆ＝８０／１５／５、ηＳ
Ｐ／Ｃ＝３．８）を溶剤（ＤＭＦ）に２％溶解した溶液
を５００ｇキャスト板上に注入し、真空乾燥器（５０
℃、２００ｍｍＨｇ）中で窒素ガスを導入しながら３０
時間吸引乾燥後キャスト板を冷媒中で急冷し、フィルム
を剥離して、厚さ１５μｍの片面粗面化されたフィルム
を得た。
０００砥粒粗面化、６００×６００ｍｍ）に含フッ素高
分子重合体（２Ｆ／３Ｆ／１Ｆ＝８０／１５／５、ηＳ
Ｐ／Ｃ＝３．８）を溶剤（ＤＭＦ）に２％溶解した溶液
を５００ｇキャスト板上に注入し、真空乾燥器（５０
℃、２００ｍｍＨｇ）中で窒素ガスを導入しながら３０
時間吸引乾燥後キャスト板を冷媒中で急冷し、フィルム
を剥離して、厚さ１５μｍの片面粗面化されたフィルム
を得た。
【００１９】更にフィルムを金属の枠に固定して１４５
℃の恒温器で３０時間熱処理を行い、フィルムの結晶化
（９０％以上）を行った。そして、フィルムの両面に金
属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
℃の恒温器で３０時間熱処理を行い、フィルムの結晶化
（９０％以上）を行った。そして、フィルムの両面に金
属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
【００２０】このフィルムを１２０℃の恒温器中でフィ
ルム両面の電極間に１．８ＫＶの電圧を５分間印加して
分極を行ったが、非常に破壊の少ない粗面化されたフィ
ルムを得ることができた。
ルム両面の電極間に１．８ＫＶの電圧を５分間印加して
分極を行ったが、非常に破壊の少ない粗面化されたフィ
ルムを得ることができた。
【００２１】実施例２ 枠付（高さ１０ｍｍ）ガラス製粗面化キャスト板（＃８
００砥粒粗面化、６００×６００ｍｍ）に含フッ素高分
子重合体（２Ｆ／３Ｆ＝９０／１０、ηＳＰ／Ｃ＝２．
８）を溶剤（ＴＨＦ）に１％溶解した溶液を５００ｇキ
ャスト板上に注入し、真空乾燥器（４０℃、５０ｍｍＨ
ｇ）中で窒素ガスを導入しながら２０時間吸引乾燥後キ
ャスト板を冷媒中で急冷し、フィルムを剥離して、厚さ
７．５μｍの片面粗面化されたフィルムを得た。
００砥粒粗面化、６００×６００ｍｍ）に含フッ素高分
子重合体（２Ｆ／３Ｆ＝９０／１０、ηＳＰ／Ｃ＝２．
８）を溶剤（ＴＨＦ）に１％溶解した溶液を５００ｇキ
ャスト板上に注入し、真空乾燥器（４０℃、５０ｍｍＨ
ｇ）中で窒素ガスを導入しながら２０時間吸引乾燥後キ
ャスト板を冷媒中で急冷し、フィルムを剥離して、厚さ
７．５μｍの片面粗面化されたフィルムを得た。
【００２２】更にフィルムを金属の枠に固定して１４０
℃の恒温器で４０時間熱処理を行い、フィルムの結晶化
（９０％以上）を行った。そして、フィルムの両面に金
属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
℃の恒温器で４０時間熱処理を行い、フィルムの結晶化
（９０％以上）を行った。そして、フィルムの両面に金
属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
【００２３】このフィルムを１１０℃の恒温器中でフィ
ルム両面の電極間に０．７５ＫＶの電圧を３分間印加し
て分極を行ったが、非常に破壊の少ない粗面化されたフ
ィルムを得ることができた。
ルム両面の電極間に０．７５ＫＶの電圧を３分間印加し
て分極を行ったが、非常に破壊の少ない粗面化されたフ
ィルムを得ることができた。
【００２４】比較例１ 枠付（高さ１０ｍｍ）ガラス製平面キャスト板（６００
×６００ｍｍ）を使用した以外は、実施例１と同一の条
件で成膜および熱処理したフィルムを得た。更に、フィ
ルムの端部に粘着テープを用い、定板（ガラス板）に固
定してサンドブラスト法（アルミナ質、砥粒度６００、
噴射圧力４kgf/平方cm、噴射時間１２０秒間）によりフ
ィルム表面を粗面化した。更に洗浄乾燥後フィルムの両
面に金属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
×６００ｍｍ）を使用した以外は、実施例１と同一の条
件で成膜および熱処理したフィルムを得た。更に、フィ
ルムの端部に粘着テープを用い、定板（ガラス板）に固
定してサンドブラスト法（アルミナ質、砥粒度６００、
噴射圧力４kgf/平方cm、噴射時間１２０秒間）によりフ
ィルム表面を粗面化した。更に洗浄乾燥後フィルムの両
面に金属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
【００２５】このフィルムを１２０℃の恒温器中でフィ
ルム両面の電極間に１．８ＫＶの電圧を５分間印加して
分極を行ったが、非常に破壊の多いものであり、好まし
いものではなかった。
ルム両面の電極間に１．８ＫＶの電圧を５分間印加して
分極を行ったが、非常に破壊の多いものであり、好まし
いものではなかった。
【００２６】比較例２ 枠付（高さ１０ｍｍ）ガラス製平面キャスト板（６００
×６００ｍｍ）を使用した以外は、実施例２と同一の条
件で成膜および熱処理したフィルムを得た。更に、フィ
ルムの端部に粘着テープを用い、定板（ガラス板）に固
定してサンドブラスト法（アルミナ質、砥粒度８００、
噴射圧力３kgf/平方cm、噴射時間６０秒間）によりフィ
ルム表面を粗面化した。更に洗浄乾燥後フィルムの両面
に金属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
×６００ｍｍ）を使用した以外は、実施例２と同一の条
件で成膜および熱処理したフィルムを得た。更に、フィ
ルムの端部に粘着テープを用い、定板（ガラス板）に固
定してサンドブラスト法（アルミナ質、砥粒度８００、
噴射圧力３kgf/平方cm、噴射時間６０秒間）によりフィ
ルム表面を粗面化した。更に洗浄乾燥後フィルムの両面
に金属アルミニウムを蒸着して電極を形成させた。
【００２７】このフィルムを１１０℃の恒温器中でフィ
ルム両面の電極間に０．７５ＫＶの電圧を３分間印加し
て分極を行ったが、非常に破壊の多いものであり、好ま
しいものではなかった。
ルム両面の電極間に０．７５ＫＶの電圧を３分間印加し
て分極を行ったが、非常に破壊の多いものであり、好ま
しいものではなかった。
【００２８】上記各例の分極時の破壊数と素子としての
収率を比較してみると、図２に示すように、キャスト法
によるフィルムは、サンドブラスト法のフィルムに比較
して破壊数が少なく、焦電素子用フィルムとして使用で
きる面積も広い。
収率を比較してみると、図２に示すように、キャスト法
によるフィルムは、サンドブラスト法のフィルムに比較
して破壊数が少なく、焦電素子用フィルムとして使用で
きる面積も広い。
【００２９】また、表面粗さ計によって各例のフィルム
の表面粗さを比較してみると、図１に示すように、キャ
スト法によるフィルムは、サンドブラスト法のフィルム
に比較して均一に粗されていて、約０．５μｍ以下の凹
凸が連続していて局所的に深い部分がない。
の表面粗さを比較してみると、図１に示すように、キャ
スト法によるフィルムは、サンドブラスト法のフィルム
に比較して均一に粗されていて、約０．５μｍ以下の凹
凸が連続していて局所的に深い部分がない。
【００３０】そして、この比較例１、２のフィルムで
は、実施例１、２のフィルムに比べて約１μｍ以上の凹
部が形成され、局所的な薄い部分ができるために、破壊
が多く起こるものと考えられる。
は、実施例１、２のフィルムに比べて約１μｍ以上の凹
部が形成され、局所的な薄い部分ができるために、破壊
が多く起こるものと考えられる。
【００３１】上記実施例１のフィルムおよび比較例１の
サンドブラスト法を実施しない平面のフィルムの上下面
にニクロムを蒸着して電極を構成し、黒体炉からの赤外
線を利用して焦電性について比較した。
サンドブラスト法を実施しない平面のフィルムの上下面
にニクロムを蒸着して電極を構成し、黒体炉からの赤外
線を利用して焦電性について比較した。
【００３２】その結果、図３に示すように、粗面のフィ
ルムによる素子は、出力感度が大きくノイズが小さく、
総合的に赤外線の受光効率が向上している。
ルムによる素子は、出力感度が大きくノイズが小さく、
総合的に赤外線の受光効率が向上している。
【００３３】即ち、素子の受光面が従来の平面では、素
子の感じることのできる赤外線は、主に受光面の電極を
通過した量だけであるが、受光面を凹凸のある粗面にし
ておくと、受光面の電極において反射した赤外線が再度
電極面に進行する。従って表面散乱を起こさせることに
より、従来反射ないし通過されていた分量の赤外線まで
素子が感じることができる。その結果として、素子とし
て高感度になるという効果がある。
子の感じることのできる赤外線は、主に受光面の電極を
通過した量だけであるが、受光面を凹凸のある粗面にし
ておくと、受光面の電極において反射した赤外線が再度
電極面に進行する。従って表面散乱を起こさせることに
より、従来反射ないし通過されていた分量の赤外線まで
素子が感じることができる。その結果として、素子とし
て高感度になるという効果がある。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明の焦電素子用フィ
ルムは、少なくとも一方の面が粗面化されているので、
従来反射ないし通過されていた分量の赤外線まで素子が
感じることができ、その結果として、素子として高感度
になるという効果を有する。
ルムは、少なくとも一方の面が粗面化されているので、
従来反射ないし通過されていた分量の赤外線まで素子が
感じることができ、その結果として、素子として高感度
になるという効果を有する。
【００３５】そして、表面が粗面化されているキャスト
板上に含フッ素高分子重合体の溶液を注入し、溶剤を蒸
発乾燥させてキャスト板から剥離させることにより、局
所的な凹部を作成することなく、少なくとも一方の面が
粗面化されている含フッ素高分子重合体のフィルムが製
造可能となる。
板上に含フッ素高分子重合体の溶液を注入し、溶剤を蒸
発乾燥させてキャスト板から剥離させることにより、局
所的な凹部を作成することなく、少なくとも一方の面が
粗面化されている含フッ素高分子重合体のフィルムが製
造可能となる。
【図１】表面粗さ計による本発明の製造方法と比較例と
のフィルムの表面粗さ。
のフィルムの表面粗さ。
【図２】本発明の製造方法と比較例とのフィルム分極時
の破壊数および収率。
の破壊数および収率。
【図３】本発明のフィルムと従来例のフィルムの焦電性
を示す出力感度およびノイズ。
を示す出力感度およびノイズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 7:00
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも一方の面が粗面化されている
含フッ素高分子重合体のフィルムであることを特徴とす
る焦電素子用フィルム。 - 【請求項２】 少なくとも一方の面が約１μｍ以下の凹
凸面に形成されている含フッ素高分子重合体のフィルム
である請求項１の焦電素子用フィルム。 - 【請求項３】 表面が粗面化されているキャスト板上に
含フッ素高分子重合体の溶液を注入し、溶剤を蒸発乾燥
させて該含フッ素高分子重合体のフィルムとし、該フィ
ルムを前記キャスト板から剥離させることを特徴とする
焦電素子用フィルムの製造方法。 - 【請求項４】 キャスト板は、＃４００〜２０００の砥
粒の研磨材の吹き付けによって粗面化されたガラス板で
ある請求項３の焦電素子用フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150278A JPH0711018A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 焦電素子用フィルムおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5150278A JPH0711018A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 焦電素子用フィルムおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0711018A true JPH0711018A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15493478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5150278A Pending JPH0711018A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 焦電素子用フィルムおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711018A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006126735A1 (en) * | 2005-05-27 | 2006-11-30 | Fujifilm Corporation | Method for producing self-assembled construction |
| JP2007092036A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-04-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高分子フィルム、その製造方法、および配線基板用積層体 |
| JP2007160826A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Fujimori Kogyo Co Ltd | ダイスおよびフィルムの製造方法 |
| JP2009501826A (ja) * | 2005-07-19 | 2009-01-22 | ウニベルシダージ ド ミーニョ | ベータ相非多孔性フッ化ビニリデン樹脂（ｐｖｄｆ）フィルム及びその処理方法 |
| US7901133B2 (en) | 2006-08-29 | 2011-03-08 | Konica Minolta Business Technologies, Inc. | Temperature detecting device, fixing device, and image forming apparatus |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP5150278A patent/JPH0711018A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006126735A1 (en) * | 2005-05-27 | 2006-11-30 | Fujifilm Corporation | Method for producing self-assembled construction |
| JP2009501826A (ja) * | 2005-07-19 | 2009-01-22 | ウニベルシダージ ド ミーニョ | ベータ相非多孔性フッ化ビニリデン樹脂（ｐｖｄｆ）フィルム及びその処理方法 |
| JP2007092036A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-04-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高分子フィルム、その製造方法、および配線基板用積層体 |
| JP2007160826A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Fujimori Kogyo Co Ltd | ダイスおよびフィルムの製造方法 |
| JP4739005B2 (ja) * | 2005-12-16 | 2011-08-03 | 藤森工業株式会社 | ダイスおよびフィルムの製造方法 |
| US7901133B2 (en) | 2006-08-29 | 2011-03-08 | Konica Minolta Business Technologies, Inc. | Temperature detecting device, fixing device, and image forming apparatus |
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