JPH07109168A - Ceramic part - Google Patents
Ceramic partInfo
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- JPH07109168A JPH07109168A JP5253089A JP25308993A JPH07109168A JP H07109168 A JPH07109168 A JP H07109168A JP 5253089 A JP5253089 A JP 5253089A JP 25308993 A JP25308993 A JP 25308993A JP H07109168 A JPH07109168 A JP H07109168A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はセラミックス部品に関す
る。FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to ceramic parts.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉末にＭ
ｇＯ、ＺｒＯ2 粉末等の添加物やＳｉＣ、ＴｉＣ粉末等
の介在物を添加して焼結させることにより、アルミナの
結晶粒の成長を抑制し、もってアルミナセラミックスの
強度を増す方法が知られている（例えば、セラミック工
学ハンドブック第１３０〜１３２頁）。2. Description of the Related Art Conventionally, alumina (Al 2 O 3 ) powder has been mixed with M
There is known a method of suppressing the growth of alumina crystal grains and increasing the strength of alumina ceramics by adding and sintering additives such as gO and ZrO 2 powder and inclusions such as SiC and TiC powder. (For example, Ceramic Engineering Handbook, pp. 130-132).
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記技術によ
り得られるセラミックス部品は、結晶粒径が小さいこと
により機械的強度が増しているものの、全体の結晶粒径
がほぼ等しく小さくなってしまうため、ＳＣＣ（Ｓｔｒ
ｅｓｓ ｃｏｒｒｏｓｉｏｎ ｃｒａｃｋ：応力腐食割
れ）のようなＳＣＧ（Ｓｌｏｗ ｃｒａｃｋ ｇｒｏｗ
ｔｈ：低速亀裂成長）によって生じた亀裂が０．５ｍｍ
以上に進展した後で破壊に繋がるような荷重条件下で
は、全体の結晶粒径がほぼ等しく大きなセラミックス部
品と比較して、破断寿命が短くなることが明らかとなっ
た。However, in the ceramic parts obtained by the above technique, although the mechanical strength is increased due to the small crystal grain size, the overall crystal grain size is reduced to be almost equal. SCC (Str
SCG (Slow crack grow) like ess corrosion crack: stress corrosion cracking
th: 0.5 mm of cracks generated by slow crack growth)
Under the load conditions that lead to fracture after the above-mentioned progress, it became clear that the fracture life becomes shorter than that of a large ceramic component having a substantially equal overall grain size.
【０００４】すなわち、粒界破壊が支配的なアルミナセ
ラミックス等の非相転移型セラミックス部品では、亀裂
の架橋効果（結晶粒による亀裂面間の橋渡し）は、亀裂
が短いならば結晶粒径が小さいものほど大きく、亀裂が
長いならば結晶粒径が大きいものほど大きくなる。そし
て、応力の遮蔽効果、つまり亀裂進展抵抗は、一般に、
亀裂の開口量が結晶粒径の約１／４になるまで亀裂の進
展とともに増加し続ける（上昇型Ｒ曲線挙動）。このた
め、結晶粒径の小さいセラミックス部品は、表面側で微
小な亀裂を生じにくいが、亀裂が進展するにつれ、亀裂
進展抵抗が小さくなり、破断を生じやすいこととなる。
逆に、結晶粒径の大きいセラミックス部品は、亀裂が進
展するにつれ、亀裂進展抵抗が大きくなるが、表面側で
微小な亀裂を生じやすく、やはり破断を生じやすいこと
となる。That is, in non-phase transition type ceramic parts such as alumina ceramics in which grain boundary fracture is dominant, the bridging effect of cracks (bridge between crack faces by crystal grains) has a small crystal grain size if the cracks are short. The larger the grain size, and the longer the crack, the larger the grain size. The stress shielding effect, that is, the crack growth resistance, is generally
It continues to increase with the progress of cracks until the crack opening amount becomes about ¼ of the crystal grain size (rising R curve behavior). For this reason, a ceramic component having a small crystal grain size is unlikely to cause minute cracks on the surface side, but as the crack propagates, the crack growth resistance decreases and the fracture tends to occur.
On the contrary, in a ceramic component having a large crystal grain size, the crack growth resistance increases as the crack grows, but minute cracks are likely to occur on the surface side, and fracture is also likely to occur.
【０００５】本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされ
たものであって、亀裂が発生した場合に長い破断寿命を
確保することのできるセラミックス部品を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in view of the above conventional circumstances, and an object of the present invention is to provide a ceramic component capable of ensuring a long fracture life when a crack occurs.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明のセラミックス部
品は、表面側の結晶粒径が内部の結晶粒径より小さいこ
とを特徴とする。このセラミックス部品を製造するため
には、次の方法を採用することができる。The ceramic part of the present invention is characterized in that the grain size on the surface side is smaller than the grain size on the inside. In order to manufacture this ceramic component, the following method can be adopted.
【０００７】第１の方法は、セラミックス成形体の表面
層においてアルミナ等のセラミック粉末にＭｇＯ粉末等
の添加物を添加し、焼結させるものである。これによ
り、セラミックス部品の表面側において結晶粒の成長を
抑制する。添加物としては、例えばセラミック粉末とし
てアルミナ粉末を採用するのであれば、ＭｇＯ、ＺｒＯ
2 等を採用することができ、介在物としてはアルミナと
反応しないＳｉＣ、ＴｉＣ等を採用することができる。The first method is the surface of a ceramic molded body.
In the layer, MgO powder or the like is added to ceramic powder such as alumina.
The additive is added and sintered. By this
The growth of crystal grains on the surface side of ceramic parts.
Suppress. As the additive, for example, ceramic powder
If you want to use alumina powder, MgO, ZrO
2Etc. can be adopted, and alumina is used as inclusions.
It is possible to employ SiC, TiC, or the like that does not react.
【０００８】第２の方法は、セラミックス仮焼結体又は
セラミックス成形体の表面に、セラミックス仮焼結体又
はセラミックス成形体の粒径よりも小さな粒径のセラミ
ック粉末をコーティングし、セラミックス仮焼結体又は
セラミックス成形体の結晶粒径を成長させるとともにコ
ーティングしたセラミック粉末を焼結させるものであ
る。The second method is to coat the surface of the ceramic calcinated body or ceramic molded body with a ceramic powder having a particle size smaller than the particle size of the ceramic calcinated body or ceramic molded body, and perform the ceramic calcination. This is to grow the crystal grain size of the body or the ceramic compact and to sinter the coated ceramic powder.
【０００９】[0009]
【作用】本発明のセラミックス部品では、最大応力の作
用する表面側では結晶粒径が小さく、内部では結晶粒径
が大きくされている。このため、このセラミックス部品
では、表面側において結晶粒径が小さいことから微小な
亀裂を生じにくく、最大応力に屈して亀裂が発生した場
合にも、亀裂が内部に進展すれば、内部では結晶粒径が
大きいことから亀裂進展抵抗が大きくなり、亀裂の進展
が抑制されるので、破断しにくくされている。In the ceramic part of the present invention, the crystal grain size is small on the surface side where the maximum stress acts, and the crystal grain size is large inside. For this reason, in this ceramic component, since the crystal grain size on the surface side is small, it is difficult for minute cracks to occur, and even if the cracks yield to the maximum stress and the cracks develop inside, if the cracks propagate inside Since the diameter is large, the crack growth resistance is increased and the crack growth is suppressed, so that it is difficult to break.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明を具体化した実施例を図面を参
照しつつ説明する。 （実施例１）図１に示すように、粒径が１μｍ以下のア
ルミナ粉末によりセラミックス成形体１を得る。また、
同粒径のアルミナ粉末８５ｗｔ％と、添加物２としての
粒径１μｍ以下のＺｒＯ2 粉末１５ｗｔ％とを混合し、
添加物混合スラリーを得る。セラミックス成形体１の表
面全体に０．５〜０．６ｍｍの厚さｔで添加物混合スラ
リーをコーティングし、添加層３を形成する。この後、
乾燥し、焼結を行う。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Example 1) As shown in FIG. 1, a ceramic compact 1 is obtained from alumina powder having a particle size of 1 μm or less. Also,
85 wt% of alumina powder having the same particle size and 15 wt% of ZrO 2 powder having a particle size of 1 μm or less as the additive 2 were mixed,
An additive mixed slurry is obtained. The entire surface of the ceramic molded body 1 is coated with the additive mixed slurry with a thickness t of 0.5 to 0.6 mm to form the additive layer 3. After this,
Dry and sinter.
【００１１】これにより、添加層３（表面側）において
は、緻密化のみが進行し、結晶粒の成長が抑制され、セ
ラミックス成形体１（内部）においては緻密化と結晶粒
の成長とが行われる。こうして、図２に示すように、表
面側３の結晶粒径が１μｍ程度、内部１の結晶粒径が２
０μｍ程度のアルミナセラミックスを得る。ここで、破
断寿命を評価する。 （１）破断寿命の算出方法・条件 一般に、静荷重下の場合における応力拡大係数（Ｓｔｒ
ｅｓｓ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ ＫI （Ｍ
Ｐａ・ｍ1/2 ））及び亀裂進展速度（Ｃｒａｃｋ ｐｒ
ｏｐａｇａｔｉｏｎ ｒａｔｅ ｄａ／ｄｔ（ｍ／ｓｅ
ｃ））と、繰返し荷重下の場合における応力拡大係数
（Ｓｔｒｅｓｓ ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ ｆａｃｔｏｒ
ＫI （ＭＰａ・ｍ1/2 ））及び亀裂進展速度（Ｃｒａｃ
ｋ ｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎ ｒａｔｅ ｄａ／ｄＮ
（ｍ／ｃｙｃｌｅ））とを示す亀裂進展速度線図におい
て、亀裂進展速度ｄａ／ｄｔ、ｄａ／ｄＮは、 ｄａ／ｄｔ＝ｆ×ｄａ／ｄＮ＝ｆ×ＡＫI n …式 で表される（静荷重下の場合はｆ＝１）。ここに、ａ：
亀裂長さ（ｍ）、ｆ：荷重繰返し周波数（Ｈｚ）、Ａ及
びｎ：各亀裂進展速度線図によって決定される定数であ
る。As a result, only densification progresses in the additive layer 3 (front surface side) and crystal grain growth is suppressed, and densification and crystal grain growth occur in the ceramic compact 1 (inside). Be seen. Thus, as shown in FIG. 2, the crystal grain size on the surface side 3 is about 1 μm and the crystal grain size on the inside 1 is 2 μm.
Alumina ceramics of about 0 μm is obtained. Here, the breaking life is evaluated. (1) Fracture life calculation method / condition Generally, stress intensity factor (Str
ess intensity factor K I (M
Pa · m 1/2 )) and crack growth rate (Crac pr
operation rate da / dt (m / se
c)) and the stress intensity factor under cyclic loading.
K I (MPa · m 1/2 )) and crack growth rate (Crac
k propagation rate da / dN
In (m / cycle)) and crack growth speed diagram showing a crack growth rate da / dt, da / dN is expressed by da / dt = f × da / dN = f × AK I n ... formula ( F = 1) under static load. Where a:
Crack length (m), f: load repetition frequency (Hz), A and n: constants determined by each crack growth rate diagram.
【００１２】したがって、応力拡大係数ＫI ＝一定の場
合、破断寿命ｔf は、初期亀裂長さをａi 、破断時亀裂
長さをａf とすると、式より、Therefore, when the stress intensity factor K I = constant, the rupture life t f is given by the following equation, where the initial crack length is a i and the crack length at break is a f :
【００１３】[0013]
【数１】 …式[Equation 1] …formula
【００１４】なお、ＫI は負荷応力亀裂長さ、試験片形
状によって決定される係数であり、亀裂先端近傍の応力
場の強さの程度を示す。また、亀裂開口変位δと応力拡
大係数ＫI とは比例関係があり、応力拡大係数ＫI ＝一
定の破壊は亀裂開口変位δ＝一定の破壊と同等である。 （２）アルミナセラミックスの破断寿命の比較 比較例１として全体が結晶粒径小（平均粒径ｄ＝１μ
ｍ）のアルミナセラミックスと、比較例２として全体が
結晶粒径大（平均粒径ｄ＝１９μｍ）のアルミナセラミ
ックスとを製作する。比較例１、２のアルミナセラミッ
クスの他の条件は実施例１のアルミナセラミックスと同
様である。Note that K I is a coefficient determined by the length of the loaded stress crack and the shape of the test piece and indicates the strength of the stress field near the crack tip. Further, the crack opening displacement δ and the stress intensity factor K I have a proportional relationship, and the stress intensity factor K I = constant fracture is equivalent to the crack opening displacement δ = constant fracture. (2) Comparison of fracture life of alumina ceramics As Comparative Example 1, the whole has a small crystal grain size (average grain size d = 1 μ).
m) and an alumina ceramic having a large crystal grain size (average grain size d = 19 μm) as a comparative example 2 are manufactured. The other conditions of the alumina ceramics of Comparative Examples 1 and 2 are the same as those of the alumina ceramics of Example 1.
【００１５】実施例１及び比較例１、２について、下記
の条件で式を用い、破断寿命として亀裂進展（破断）
時間を比較する。静荷重下での結果を表１に示し、繰返
し荷重下での結果を表２に示す。 荷重条件：（１）繰返し荷重（荷重繰返し周波数ｆ＝１
（Ｈｚ）、応力比Ｒ＝０．１、正弦波）、（２）静荷
重。いずれも応力拡大係数ＫI ＝一定（ＫI ＝２．５、
３．０、３．５（ＭＰａ・ｍ1/2 ）の３パターンで比
較）とする。With respect to Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, the equation is used under the following conditions, and the crack life (rupture) is calculated as the fracture life.
Compare the time. The results under static load are shown in Table 1, and the results under repeated load are shown in Table 2. Load conditions: (1) Cyclic load (load repetition frequency f = 1
(Hz), stress ratio R = 0.1, sine wave), (2) static load. In both cases, the stress intensity factor K I = constant (K I = 2.5,
3 patterns of 3.0 and 3.5 (MPa · m 1/2 ) are compared).
【００１６】亀裂長さ：初期亀裂長さａi ＝０．２（ｍ
ｍ）、破断時亀裂長さａf ＝３．０（ｍｍ）。いずれも
実験データが得られている範囲である。Crack length: Initial crack length a i = 0.2 (m
m), the crack length at break a f = 3.0 (mm). All are within the range where experimental data are obtained.
【００１７】[0017]
【表１】 [Table 1]
【００１８】[0018]
【表２】 [Table 2]
【００１９】表１、２より、実施例１のアルミナセラミ
ックスでは、表面側３において結晶粒径が小さいことか
ら微小な亀裂を生じにくく、最大応力に屈して亀裂が発
生した場合にも、亀裂が内部１に進展すれば、内部１で
は結晶粒径が大きいことから亀裂進展抵抗が大きくな
り、亀裂の進展が抑制されるので、破断しにくくされて
いることがわかる。 （実施例２）セラミックス部品の最大応力面あるいは最
大応力部位が既知である場合には、図３に示すように、
セラミックス成形体１の該当部位のみに添加物混合スラ
リーをコーティングし、添加層３を形成することもでき
る。他の条件は実施例１と同一である。From Tables 1 and 2, in the alumina ceramics of Example 1, since the crystal grain size on the surface side 3 is small, minute cracks are unlikely to occur, and even if the cracks occur due to the maximum stress, the cracks do not occur. It can be seen that if the crack propagates to the interior 1, the crack growth resistance increases due to the large crystal grain size in the interior 1, and crack propagation is suppressed, so that fracture is less likely to occur. (Example 2) When the maximum stress surface or the maximum stress portion of the ceramic component is known, as shown in FIG.
The additive layer 3 can also be formed by coating the additive mixture slurry only on the relevant part of the ceramic molded body 1. The other conditions are the same as in Example 1.
【００２０】これにより、添加層３（該当部位）におい
ては、緻密化のみが進行し、結晶粒の成長が抑制され、
セラミックス成形体１（内部及び該当部位以外の部位）
においては緻密化と結晶粒の成長とが行われる。こうし
て、該当部位３の結晶粒径が１μｍ程度、内部及び該当
部位以外の部位１の結晶粒径が２０μｍのアルミナセラ
ミックスを得る。As a result, in the added layer 3 (corresponding portion), only the densification progresses and the growth of crystal grains is suppressed,
Ceramic molded body 1 (inside and parts other than the corresponding part)
In the above, densification and growth of crystal grains are performed. In this way, an alumina ceramics having a crystal grain size of about 1 μm in the corresponding portion 3 and a crystal grain size of 20 μm in the inside and the portion other than the corresponding portion is obtained.
【００２１】このアルミナセラミックスでは、最大応力
の作用する該当部位３では結晶粒径が小さく、内部及び
該当部位以外の部位１では結晶粒径が大きくされてい
る。このため、このアルミナセラミックスにおいても、
破断しにくくされている。 （実施例３）図４に示すように、予め粒径１５μｍ程度
にセラミックス仮焼結体４を製作する。また、粒径が１
μｍ以下のアルミナ粉末によりアルミナスラリーを得
る。セラミックス仮焼結体４の表面全体に０．５〜０．
６ｍｍの厚さｔでアルミナスラリーをコーティングし、
表面層５を形成する。この後、乾燥し、焼結を行う。In this alumina ceramics, the crystal grain size is small in the corresponding portion 3 where the maximum stress acts, and the crystal grain size is large in the inside and the portion 1 other than the corresponding portion. Therefore, even in this alumina ceramics,
It is hard to break. (Embodiment 3) As shown in FIG. 4, a ceramic pre-sintered body 4 having a particle size of about 15 μm is manufactured in advance. Also, the particle size is 1
An alumina slurry is obtained from alumina powder having a particle size of not more than μm. The entire surface of the ceramic pre-sintered body 4 is 0.5 to 0.
Coating the alumina slurry with a thickness t of 6 mm,
The surface layer 5 is formed. After that, it is dried and sintered.
【００２２】これにより、セラミックス仮焼結体４（内
部）の結晶粒径を成長させるとともに表面層５（表面
側）のアルミナ粉末を焼結させる。こうして、表面側５
の結晶粒径が１μｍ程度、内部４の結晶粒径が２０μｍ
のアルミナセラミックスを得る。このアルミナセラミッ
クスでは、セラミックス仮焼結体４（内部）と表面層５
（表面側）とはともに同一の熱膨脹係数のアルミナ粉末
からなるため、界面で強度低下が生じない。As a result, the crystal grain size of the ceramic pre-sintered body 4 (inside) is grown and the alumina powder of the surface layer 5 (surface side) is sintered. Thus, the front side 5
Has a crystal grain size of about 1 μm and the inner 4 has a grain size of 20 μm
To obtain alumina ceramics. In this alumina ceramic, the ceramic temporary sintered body 4 (inside) and the surface layer 5 are
Since both (front side) are made of alumina powder having the same coefficient of thermal expansion, strength does not decrease at the interface.
【００２３】このアルミナセラミックスにおいても実施
例１と同様の効果を奏することができる。なお、アルミ
ナセラミックスの最大応力面あるいは最大応力部位が既
知である場合には、実施例２のように、セラミックス仮
焼結体４の該当部位のみにアルミナスラリーをコーティ
ングし、表面層５を形成することもできる。 （実施例４）図５に示すように、予め粒径１０μｍ程度
に第１セラミックス仮焼結体６を製作する。また、粒径
が１μｍ以下のアルミナ粉末によりアルミナスラリーを
得る。第１セラミックス仮焼結体６の表面全体に０．３
〜０．４ｍｍの厚さｔ1 でアルミナスラリーをコーティ
ングし、第１表面層７を形成する。この後、乾燥し、仮
焼結を行う。The same effects as in Example 1 can be obtained with this alumina ceramics. When the maximum stress surface or the maximum stress portion of the alumina ceramics is known, the alumina slurry is coated only on the relevant portion of the ceramic pre-sintered body 4 to form the surface layer 5, as in the second embodiment. You can also (Embodiment 4) As shown in FIG. 5, a first ceramic pre-sintered body 6 having a grain size of about 10 μm is manufactured in advance. Further, an alumina slurry is obtained from alumina powder having a particle size of 1 μm or less. 0.3 on the entire surface of the first ceramic pre-sintered body 6.
The first surface layer 7 is formed by coating the alumina slurry with a thickness t 1 of ˜0.4 mm. After that, it is dried and pre-sintered.
【００２４】これにより、第１セラミックス仮焼結体６
（最内部）の結晶粒径を成長させるとともに第１表面層
７（表面側）のアルミナ粉末を焼結させる。こうして表
面側７の結晶粒径が２μｍ程度、最内部６の結晶粒径が
１５μｍ程度の第２セラミックス仮焼結体８を予め製作
する。この第２セラミックス仮焼結体８の表面全体に再
度０．３〜０．４ｍｍの厚さｔ2 でアルミナスラリーを
コーティングし、第２表面層９を形成する。この後、乾
燥し、焼結を行う。As a result, the first ceramics temporary sintered body 6
The crystal grain size of (innermost) is grown and the alumina powder of the first surface layer 7 (surface side) is sintered. In this way, a second ceramics calcinated body 8 having a crystal grain size of about 2 μm on the surface side 7 and a crystal grain size of about 15 μm on the innermost part 6 is manufactured in advance. The entire surface of the second ceramics calcinated body 8 is again coated with the alumina slurry with a thickness t 2 of 0.3 to 0.4 mm to form the second surface layer 9. After that, it is dried and sintered.
【００２５】これにより、第２セラミック仮焼結体８
（内部）の結晶粒径を成長させるとともに第２表面層９
（最表面側）のアルミナ粉末を焼結させる。こうして、
最表面側９の結晶粒径が１μｍ程度、表面側７の結晶粒
径が５μｍ程度、最内部６の結晶粒径が２０μｍのアル
ミナセラミックスを得る。このアルミナセラミックスに
おいても、両界面で強度低下が生じない。As a result, the second ceramic temporary sintered body 8
The (inside) crystal grain size is grown and the second surface layer 9
Sinter the alumina powder (on the outermost surface side). Thus
Alumina ceramics having a crystal grain size of about 1 μm on the outermost surface side 9, a crystal grain size of about 5 μm on the surface side 7, and a crystal grain size of 20 μm on the innermost side 6 are obtained. Even in this alumina ceramic, strength does not decrease at both interfaces.
【００２６】このアルミナセラミックスにおいては、最
表面側９、表面側７及び最内部６と段階的に結晶粒径が
大きくされているため、亀裂が内部に進むに従って段階
的に亀裂進展抵抗が大きくなり、より破断しにくくされ
ている。なお、上記表面層を増やせば、表面側から内部
までさらに段階的に結晶粒径を大きくすることができ、
これにより、より一層破断しにくくすることができる。In this alumina ceramic, since the crystal grain size is gradually increased from the outermost surface side 9, the surface side 7 and the innermost portion 6, the crack growth resistance gradually increases as the crack progresses inward. , More difficult to break. If the number of surface layers is increased, the crystal grain size can be increased stepwise from the surface side to the inside,
This makes it more difficult to break.
【００２７】以上の実施例で明らかなように、本発明
は、亀裂の進展が亀裂架橋効果に支配される、すなわち
粒界破壊を主として起こす非相転移型セラミックス部品
であれば、アルミナセラミックス以外のセラミックス部
品に適用可能であるため、例えば自動車用構造セラミッ
クス部品として最も利用度の高い窒化珪素（Ｓｉ
3 Ｎ4）セラミックスにも適用可能である。As is clear from the above examples, according to the present invention, a non-phase-transition type ceramic component in which the progress of cracks is governed by the crack cross-linking effect, that is, grain boundary fracture is the main cause, other than alumina ceramics. Since it can be applied to ceramic parts, for example, silicon nitride (Si, which is most used as a structural ceramic part for automobiles, can be used.
It can also be applied to 3 N 4 ) ceramics.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のセラミッ
ク部品では、表面側の結晶粒径が内部の結晶粒径より小
さくされているため、亀裂が発生した場合に長い破断寿
命を確保することができる。As described above in detail, in the ceramic component of the present invention, the crystal grain size on the surface side is made smaller than the crystal grain size on the inside, so that a long rupture life is secured when a crack occurs. be able to.
【図１】実施例１における焼結前のアルミナセラミック
スの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of alumina ceramics before sintering in Example 1.
【図２】実施例１のアルミナセラミックスの断面図であ
る。2 is a cross-sectional view of the alumina ceramics of Example 1. FIG.
【図３】実施例２のアルミナセラミックスの断面図であ
る。FIG. 3 is a sectional view of an alumina ceramics of Example 2.
【図４】実施例３における本焼結前のアルミナセラミッ
クスの断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of alumina ceramics before main sintering in Example 3.
【図５】実施例４のアルミナセラミックスの断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional view of alumina ceramics of Example 4.
３、５…表面側 １、４…内部 ９…最
表面側 ７…表面側 ６…最内部3, 5 ... front side 1, 4 ... inside 9 ... outermost side 7 ... front side 6 ... innermost
Claims (1)
さいことを特徴とするセラミックス部品。1. A ceramic part characterized in that the grain size on the surface side is smaller than the grain size on the inside.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5253089A JPH07109168A (en) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Ceramic part |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5253089A JPH07109168A (en) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Ceramic part |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07109168A true JPH07109168A (en) | 1995-04-25 |
Family
ID=17246342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5253089A Pending JPH07109168A (en) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | Ceramic part |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109168A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11705269B2 (en) | 2019-03-27 | 2023-07-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Coil component |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP5253089A patent/JPH07109168A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11705269B2 (en) | 2019-03-27 | 2023-07-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Coil component |
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