JPH07105230A - データの検索方法及び検索システム - Google Patents
データの検索方法及び検索システムInfo
- Publication number
- JPH07105230A JPH07105230A JP5249010A JP24901093A JPH07105230A JP H07105230 A JPH07105230 A JP H07105230A JP 5249010 A JP5249010 A JP 5249010A JP 24901093 A JP24901093 A JP 24901093A JP H07105230 A JPH07105230 A JP H07105230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- keyword
- database
- keywords
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Information Retrieval, Db Structures And Fs Structures Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 入力した抽出条件が狭い範囲であっても関連
するデータを漏らすことなく抽出できるデータの検索方
法を提供する。 【構成】 配線、断線というキーワードを条件入力部1
より入力する。検査部2でこれらのキーワードの構成要
因である、レジスト、アルミ等のキーワードをデータベ
ース20から抽出する。同様に形成工程のデータベース
21よりフォトリソグラフィー、スパッタリング等のキ
ーワードも抽出する。次に、これらのキーワードを用い
て知識データベース6を検索しデータを検索する。その
結果を画面表示部4や印刷部5によって出力する。
するデータを漏らすことなく抽出できるデータの検索方
法を提供する。 【構成】 配線、断線というキーワードを条件入力部1
より入力する。検査部2でこれらのキーワードの構成要
因である、レジスト、アルミ等のキーワードをデータベ
ース20から抽出する。同様に形成工程のデータベース
21よりフォトリソグラフィー、スパッタリング等のキ
ーワードも抽出する。次に、これらのキーワードを用い
て知識データベース6を検索しデータを検索する。その
結果を画面表示部4や印刷部5によって出力する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はキーワードを用いてデー
タを検索するデータの検索方法及び検索システムに関す
るものである。
タを検索するデータの検索方法及び検索システムに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】近年、データの検索はコンピュータの発
達並びにデータベースの発達にともなって広い範囲にわ
たって日常的に用いられてきている。その中で、大量の
データや広範囲のデータの検索においてはその効率は大
きな影響を与えるため非常に重要である。例えば、過去
の事例を記録したデータベースを用いて装置の修理方法
や、問題発生時の対処の方法など補佐するようなシステ
ムにおいては、文献の調査などとは異なり、短時間で結
果が得られることが重要である。
達並びにデータベースの発達にともなって広い範囲にわ
たって日常的に用いられてきている。その中で、大量の
データや広範囲のデータの検索においてはその効率は大
きな影響を与えるため非常に重要である。例えば、過去
の事例を記録したデータベースを用いて装置の修理方法
や、問題発生時の対処の方法など補佐するようなシステ
ムにおいては、文献の調査などとは異なり、短時間で結
果が得られることが重要である。
【0003】以下図面を参照しながら、上記した従来の
データの検索方法及び検索システムの一例について説明
する。
データの検索方法及び検索システムの一例について説明
する。
【0004】図7は従来のデータ検索システムの構成を
示すものである。図7において、1は検索条件入力部で
ある。2は検索部であり、3はデータベースである。4
は結果表示部、5は結果印刷部であり検索結果を出力す
るものである。
示すものである。図7において、1は検索条件入力部で
ある。2は検索部であり、3はデータベースである。4
は結果表示部、5は結果印刷部であり検索結果を出力す
るものである。
【0005】以上のように構成されたデータ検索システ
ムについて、以下その動作について説明する。
ムについて、以下その動作について説明する。
【0006】まず、検索対象となるデータは図2に示す
ような構造でデータベースに記録されている。つまり、
データの内容11に加えて、データの内容を代表するキ
ーワード10が1つ以上付与されており、1つのデータ
として記録されている。
ような構造でデータベースに記録されている。つまり、
データの内容11に加えて、データの内容を代表するキ
ーワード10が1つ以上付与されており、1つのデータ
として記録されている。
【0007】検索を行うときには、検索条件入力部1よ
りいくつかのキーワード及びそれらの組合せを示す論理
式などを入力する。検査部2では入力されたキーワード
が付与されているデータをデータベース3より全て抽出
する。この時、論理式によって入力したキーワードを併
せて付与されているデータのみを抽出したり、データの
記憶時期による選別等も行われる。検索結果は結果表示
部4や結果印刷部5などに出力される。
りいくつかのキーワード及びそれらの組合せを示す論理
式などを入力する。検査部2では入力されたキーワード
が付与されているデータをデータベース3より全て抽出
する。この時、論理式によって入力したキーワードを併
せて付与されているデータのみを抽出したり、データの
記憶時期による選別等も行われる。検索結果は結果表示
部4や結果印刷部5などに出力される。
【0008】一部の検索システムにおいては、入力した
キーワードの類義語や日本語英語の変換を行い、入力さ
れたキーワードと完全に一致しなくとも似通った意味の
キーワードが付与されたデータを抽出するものもある。
例えば、「扉」のキーワードに対して、「ドア」、
「戸」などのキーワードのついたデータを抽出するもの
もある(たとえば特開平2−232768号公報)。
キーワードの類義語や日本語英語の変換を行い、入力さ
れたキーワードと完全に一致しなくとも似通った意味の
キーワードが付与されたデータを抽出するものもある。
例えば、「扉」のキーワードに対して、「ドア」、
「戸」などのキーワードのついたデータを抽出するもの
もある(たとえば特開平2−232768号公報)。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、抽出されるデータは抽出条件の入力条件
によって決まるので、例え類義語等まで広めてデータを
抽出したとしても限られてしまう。つまり、適当な抽出
条件を入力できない検索者には限られたデータしか抽出
することができず、さらに広い範囲のデータを抽出する
ためには、一度出力された内容を理解した後、再度適当
な抽出条件を入力し直す必要があるという問題点を有し
ていた。
うな構成では、抽出されるデータは抽出条件の入力条件
によって決まるので、例え類義語等まで広めてデータを
抽出したとしても限られてしまう。つまり、適当な抽出
条件を入力できない検索者には限られたデータしか抽出
することができず、さらに広い範囲のデータを抽出する
ためには、一度出力された内容を理解した後、再度適当
な抽出条件を入力し直す必要があるという問題点を有し
ていた。
【0010】本発明は上記問題点に鑑み、入力した抽出
条件が狭い範囲であっても関連するデータを漏らすこと
なく抽出できるデータの検索方法及び検索システムを提
供するものである。
条件が狭い範囲であっても関連するデータを漏らすこと
なく抽出できるデータの検索方法及び検索システムを提
供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のデータの検索方法は、キーワード間の関連
を示す情報を記録する手段と、該キーワード間関連情報
を用いて入力されたキーワードと関連するキーワードを
抽出する手段と、該抽出した関連キーワードと一致する
キーワードが付与されているデータを抽出する手段とを
備えたものである。
めに本発明のデータの検索方法は、キーワード間の関連
を示す情報を記録する手段と、該キーワード間関連情報
を用いて入力されたキーワードと関連するキーワードを
抽出する手段と、該抽出した関連キーワードと一致する
キーワードが付与されているデータを抽出する手段とを
備えたものである。
【0012】また検索システムはデータ検索システムキ
ーワードを入力する入力部と、データ及びそれぞれに付
与されたキーワードを記録したデータベースと、該キー
ワード間の関連を示す情報を記録したデータベースと、
前記入力されたキーワード及びあるいは関連するキーワ
ードと一致するキーワードを有するデータを前記データ
及びキーワードのデータベースより抽出する検索部と、
検索結果を出力する出力部とを有するものである。
ーワードを入力する入力部と、データ及びそれぞれに付
与されたキーワードを記録したデータベースと、該キー
ワード間の関連を示す情報を記録したデータベースと、
前記入力されたキーワード及びあるいは関連するキーワ
ードと一致するキーワードを有するデータを前記データ
及びキーワードのデータベースより抽出する検索部と、
検索結果を出力する出力部とを有するものである。
【0013】
【作用】本発明は上記した構成によって、入力されたキ
ーワードの関連するキーワードを抽出し、そのキーワー
ドに関する項目も抽出するため、関連するデータを漏ら
すことなく抽出することができることとなる。
ーワードの関連するキーワードを抽出し、そのキーワー
ドに関する項目も抽出するため、関連するデータを漏ら
すことなく抽出することができることとなる。
【0014】
【実施例】以下本発明の一実施例のデータの検索方法及
び検索システムについて、図面を参照しながら説明す
る。
び検索システムについて、図面を参照しながら説明す
る。
【0015】図1は本発明の実施例におけるデータ検索
システムの構成を示すものである。図1は半導体装置の
開発及び半導体製造装置の管理を補佐する知識データベ
ースの検索システムの例であり、図において、1は検索
条件入力部、2は検索部、3は半導体に関する知識デー
タベース、4は結果表示部、5は結果印刷部である。2
0はキーワードの構成要因に関するデータベースであ
り、21はキーワードの形成工程に関するデータベース
である。
システムの構成を示すものである。図1は半導体装置の
開発及び半導体製造装置の管理を補佐する知識データベ
ースの検索システムの例であり、図において、1は検索
条件入力部、2は検索部、3は半導体に関する知識デー
タベース、4は結果表示部、5は結果印刷部である。2
0はキーワードの構成要因に関するデータベースであ
り、21はキーワードの形成工程に関するデータベース
である。
【0016】以上のように構成されたデータ検索システ
ムについて、以下図1及び図2〜5を用いてその動作を
説明する。
ムについて、以下図1及び図2〜5を用いてその動作を
説明する。
【0017】まず図2はデータベース3内のデータの構
成を示すものであって、検索対象となるデータは図のよ
うにデータ内容11と共にキーワード10が付与された
構成になっている。
成を示すものであって、検索対象となるデータは図のよ
うにデータ内容11と共にキーワード10が付与された
構成になっている。
【0018】図3は構成要因に関するデータベース20
の内容の一部を模式化して示したものである。例えば、
配線30というキーワードに対して、配線の構成要因で
ある配線幅31、断面形状32、配線材質33、配線間
隔34が関連している情報を記録してある。さらに、そ
れぞれのキーワードを構成するキーワードとの関連を明
確にしてあり、配線幅31には設計40、レジスト4
1、エッチング42等と、配線材料33にはアルミ5
0、ポリシリコン51、タングステン52等との関連を
示してある。
の内容の一部を模式化して示したものである。例えば、
配線30というキーワードに対して、配線の構成要因で
ある配線幅31、断面形状32、配線材質33、配線間
隔34が関連している情報を記録してある。さらに、そ
れぞれのキーワードを構成するキーワードとの関連を明
確にしてあり、配線幅31には設計40、レジスト4
1、エッチング42等と、配線材料33にはアルミ5
0、ポリシリコン51、タングステン52等との関連を
示してある。
【0019】図4は形成工程に関するデータベース21
の内容の一部を模式化して示したものである。例えば、
配線30というキーワードに対して、配線の形成に関与
する工程であるフォトリソグラフィー60やドライエッ
チング61、スパッタリング62との関連が示されてお
り、さらにフォトリソグラフィー60の工程の要因であ
るレジストコート70、露光71、現像72、ベーキン
グ73との関連が記録されている。
の内容の一部を模式化して示したものである。例えば、
配線30というキーワードに対して、配線の形成に関与
する工程であるフォトリソグラフィー60やドライエッ
チング61、スパッタリング62との関連が示されてお
り、さらにフォトリソグラフィー60の工程の要因であ
るレジストコート70、露光71、現像72、ベーキン
グ73との関連が記録されている。
【0020】図5は知識データベース6の内容の一部を
表にして示したものであり、例えば、100番のデータ
には配線、断線、形状不良、ドライエッチといったキー
ワードがつけられており、データの内容としてドライエ
ッチ装置の故障により配線断面形状に異常が発生し、微
細な部分で断線したデータが記録されている。このよう
に、半導体の開発及び半導体製造装置の管理のための知
識データベースでは、過去の開発における問題の発生や
半導体製造装置の故障の発生の発生状況や対処方法が記
録されており、新たな問題が生じた際に本データベース
を検索して事例を参照しながら対処できるようにするも
のである。
表にして示したものであり、例えば、100番のデータ
には配線、断線、形状不良、ドライエッチといったキー
ワードがつけられており、データの内容としてドライエ
ッチ装置の故障により配線断面形状に異常が発生し、微
細な部分で断線したデータが記録されている。このよう
に、半導体の開発及び半導体製造装置の管理のための知
識データベースでは、過去の開発における問題の発生や
半導体製造装置の故障の発生の発生状況や対処方法が記
録されており、新たな問題が生じた際に本データベース
を検索して事例を参照しながら対処できるようにするも
のである。
【0021】例えば、半導体の開発においてアルミ配線
形成工程のフォトリソグラフィーにおいて、レジスト膜
厚が薄すぎて段差部で断線が生じ、電気測定時に配線の
断線が発見された場合を想定する。生じた問題は配線の
断線であるので、キーワードとして配線、断線を図1の
条件入力部1より入力する。検査部2ではキーワード配
線の構成要因をデータベース20から抽出し、レジスト
41やアルミ50などのキーワードを抽出する。また、
形成工程のデータベース21よりフォトリソグラフィー
60やスパッタリング62などのキーワードも抽出す
る。
形成工程のフォトリソグラフィーにおいて、レジスト膜
厚が薄すぎて段差部で断線が生じ、電気測定時に配線の
断線が発見された場合を想定する。生じた問題は配線の
断線であるので、キーワードとして配線、断線を図1の
条件入力部1より入力する。検査部2ではキーワード配
線の構成要因をデータベース20から抽出し、レジスト
41やアルミ50などのキーワードを抽出する。また、
形成工程のデータベース21よりフォトリソグラフィー
60やスパッタリング62などのキーワードも抽出す
る。
【0022】次に、これらのキーワードを用いて知識デ
ータベース6を検索し、図5のデータ100、101、
102などのデータを検索する。その結果を画面表示や
印刷によって出力する。
ータベース6を検索し、図5のデータ100、101、
102などのデータを検索する。その結果を画面表示や
印刷によって出力する。
【0023】半導体開発者は、この結果を用いてレジス
ト寸法や、レジストコーターをチェックすることによっ
て問題を解決することができる。
ト寸法や、レジストコーターをチェックすることによっ
て問題を解決することができる。
【0024】ここで、従来のように入力したキーワード
配線30及び断線のみで検索を行っていれば、図5のデ
ータの内100番のデータしか検索することができな
い。
配線30及び断線のみで検索を行っていれば、図5のデ
ータの内100番のデータしか検索することができな
い。
【0025】このように、熟練したものであれば当初よ
り配線の断線には配線幅やレジスト等が関係することが
わかっており、該当する事例を検索することが可能であ
るかも知れないが、本実施例の検索システムを用いれば
熟練していないものでも関連するデータを全て検索する
ことができる。
り配線の断線には配線幅やレジスト等が関係することが
わかっており、該当する事例を検索することが可能であ
るかも知れないが、本実施例の検索システムを用いれば
熟練していないものでも関連するデータを全て検索する
ことができる。
【0026】同様に半導体製造装置の故障の例として、
装置の搬送システムにおいて、半導体ウエハをセンサで
検知して搬送ベルトを停止するシステムがセンサの故障
によりウエハが到着してもベルトを停止しないという現
象が起きた場合を想定する。入力するキーワードとし
て、搬送という単語を入力した場合、従来であれば図5
において200番のデータは検出できるが、より重要で
ある201番のデータを検出することができない。これ
は、搬送の類義語である移載、移動などのキーワードで
あれば熟練者でなくても入力することができるが、これ
らのキーワードでは検索されるデータは同様に狭い範囲
のものとなる。
装置の搬送システムにおいて、半導体ウエハをセンサで
検知して搬送ベルトを停止するシステムがセンサの故障
によりウエハが到着してもベルトを停止しないという現
象が起きた場合を想定する。入力するキーワードとし
て、搬送という単語を入力した場合、従来であれば図5
において200番のデータは検出できるが、より重要で
ある201番のデータを検出することができない。これ
は、搬送の類義語である移載、移動などのキーワードで
あれば熟練者でなくても入力することができるが、これ
らのキーワードでは検索されるデータは同様に狭い範囲
のものとなる。
【0027】しかしながら本実施例のように、構成要因
のデータベース20に搬送がセンサやベルト、モーター
等により構成されていることが示されていれば、図5の
201番のデータを検出することが可能である。
のデータベース20に搬送がセンサやベルト、モーター
等により構成されていることが示されていれば、図5の
201番のデータを検出することが可能である。
【0028】以上のように本実施例のデータ検索方法及
び検索システムを用いることにより、検索条件としての
キーワードが狭い範囲のものであっても、関連するデー
タを漏らすことなく抽出することができる。
び検索システムを用いることにより、検索条件としての
キーワードが狭い範囲のものであっても、関連するデー
タを漏らすことなく抽出することができる。
【0029】以下本発明の第2の実施例について図面を
用いて説明する。図6は本発明の第2の実施例を示すデ
ータ検索システムのキーワード間の関連情報を記録する
データベースの内容の模式図である。
用いて説明する。図6は本発明の第2の実施例を示すデ
ータ検索システムのキーワード間の関連情報を記録する
データベースの内容の模式図である。
【0030】第1の実施例では、狭い範囲のキーワード
を検索条件として入力された場合でも、検索システムが
広い範囲にわたってデータを検索しデータを漏れること
なく抽出することができることを示した。この場合、検
出されるデータ量が少ない場合には問題とならないが、
検出データ量が希望する量よりも多い場合には、新に必
要とするデータを抽出するのに時間を要するという問題
が生じる。このような場合には、図6に示すように、キ
ーワード間の関連情報を記録するデータベース内に、そ
れぞれの関連の重み80を設けて記録する。重み80
は、過去に使用した頻度やデータベース形成時点で入力
値として設定する。この重み80を付与しておけば、検
索時に重みの任意の値以上の関連のみを用いて入力キー
ワードに関連するキーワードを抽出することが可能とな
り、不必要に広い範囲のデータを検索することを防ぐこ
とができる。
を検索条件として入力された場合でも、検索システムが
広い範囲にわたってデータを検索しデータを漏れること
なく抽出することができることを示した。この場合、検
出されるデータ量が少ない場合には問題とならないが、
検出データ量が希望する量よりも多い場合には、新に必
要とするデータを抽出するのに時間を要するという問題
が生じる。このような場合には、図6に示すように、キ
ーワード間の関連情報を記録するデータベース内に、そ
れぞれの関連の重み80を設けて記録する。重み80
は、過去に使用した頻度やデータベース形成時点で入力
値として設定する。この重み80を付与しておけば、検
索時に重みの任意の値以上の関連のみを用いて入力キー
ワードに関連するキーワードを抽出することが可能とな
り、不必要に広い範囲のデータを検索することを防ぐこ
とができる。
【0031】以上に示した実施例において、キーワード
間の関連情報を記録するデータベースはデータベース形
成時に熟練者の情報を入力するのみでなく、随時変更で
きるようにしておくことにより、より精度の高いデータ
ベースを構築し、より短時間に必要なデータの検索を行
うことが可能となる。
間の関連情報を記録するデータベースはデータベース形
成時に熟練者の情報を入力するのみでなく、随時変更で
きるようにしておくことにより、より精度の高いデータ
ベースを構築し、より短時間に必要なデータの検索を行
うことが可能となる。
【0032】なお、第1の実施例において知識データベ
ースのデータ構成を図2のようにデータとキーワードが
組み合わされて記録されるとしてが、記録場所は離れて
いるさらには異なる記録媒体状でも構わず、個々のデー
タに付与しているキーワードが検出できるようになって
いればよい。
ースのデータ構成を図2のようにデータとキーワードが
組み合わされて記録されるとしてが、記録場所は離れて
いるさらには異なる記録媒体状でも構わず、個々のデー
タに付与しているキーワードが検出できるようになって
いればよい。
【0033】
【発明の効果】以上のように本発明は、キーワード間の
関連を示す情報を記録することと、該キーワード間関連
情報を用いて入力されたキーワードと関連するキーワー
ドを抽出することと、該抽出した関連キーワードと一致
するキーワードが付与されているデータを抽出するとい
う構成を備えることにより、関連するデータを漏らすこ
となく抽出することができる。
関連を示す情報を記録することと、該キーワード間関連
情報を用いて入力されたキーワードと関連するキーワー
ドを抽出することと、該抽出した関連キーワードと一致
するキーワードが付与されているデータを抽出するとい
う構成を備えることにより、関連するデータを漏らすこ
となく抽出することができる。
【図1】本発明の第1の実施例におけるデータ検索シス
テムの構成図
テムの構成図
【図2】同実施例における知識データベース内のデータ
構成図
構成図
【図3】同実施例における構成要因に関するデータベー
スの内容の模式図
スの内容の模式図
【図4】同実施例における形成工程に関するデータベー
スの内容の模式図
スの内容の模式図
【図5】同実施例における知識データベースの内容を示
す図
す図
【図6】本発明の第2の実施例における形成工程に関す
るデータベースの内容の模式図
るデータベースの内容の模式図
【図7】従来のデータ検索システムの構成図
1 検索条件入力部 2 検索部 3 データベース 4 結果表示部 5 結果印刷部 6 半導体知識データベース 10 キーワード 11 データ内容 20 キーワード構成要因データベース 21 キーワード工程データベース 30 配線 31 配線幅 33 配線材質 40 設計配線 41 レジスト 42 エッチング 50 アルミ 51 ポリシリコン 52 タングステン 60 フォトリソグラフィー 61 ドライエッチング 62 スパッタリング 70 レジストコート 71 露光 72 現像 73 ベーキング 80 重み
Claims (6)
- 【請求項1】個々のデータにキーワードを付与して記録
する手段と、該キーワード間の関連を示す情報を記録す
る手段と、検索時にキーワードを入力する手段と、前記
キーワード間関連情報を用いて該入力されたキーワード
と関連するキーワードを抽出する手段と、該抽出した関
連キーワードと一致するキーワードが付与されているデ
ータを抽出する手段とを有することを特徴とするデータ
の検索方法。 - 【請求項2】キーワードを入力する入力部と、データ及
びそれぞれに付与されたキーワードを記録したデータベ
ースと、該キーワード間の関連を示す情報を記録したデ
ータベースと、前記入力されたキーワード及びあるいは
関連するキーワードと一致するキーワードを有するデー
タを前記データ及びキーワードのデータベースより抽出
する検索部と、検索結果を出力する出力部とを有するこ
とを特徴とするデータ検索システム。 - 【請求項3】キーワードの意味する物質の成分あるいは
構成を示す情報をキーワード間の関連情報として用いる
ことを特徴とする請求項1記載のデータの検索方法。 - 【請求項4】キーワードの意味する物質の成分あるいは
構成を示す情報のデータベースをキーワード間の関連情
報データベースとして用いることを特徴とする請求項2
記載のデータ検索システム。 - 【請求項5】キーワードの意味する物質の製造方法ある
いは作製工程を示す情報をキーワード間の関連情報とし
て用いることを特徴とする請求項1記載のデータの検索
方法。 - 【請求項6】キーワードの意味する物質の製造方法ある
いは作製工程を示す情報のデータベースをキーワード間
の関連情報データベースとして用いることを特徴とする
請求項2記載のデータ検索システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5249010A JPH07105230A (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | データの検索方法及び検索システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5249010A JPH07105230A (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | データの検索方法及び検索システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07105230A true JPH07105230A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17186671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5249010A Pending JPH07105230A (ja) | 1993-10-05 | 1993-10-05 | データの検索方法及び検索システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07105230A (ja) |
-
1993
- 1993-10-05 JP JP5249010A patent/JPH07105230A/ja active Pending
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