JPH0710516A - アルミニウム、炭素または／および窒素を主成分とする固体材料およびその製造法 - Google Patents
アルミニウム、炭素または／および窒素を主成分とする固体材料およびその製造法Info
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- JPH0710516A JPH0710516A JP5161685A JP16168593A JPH0710516A JP H0710516 A JPH0710516 A JP H0710516A JP 5161685 A JP5161685 A JP 5161685A JP 16168593 A JP16168593 A JP 16168593A JP H0710516 A JPH0710516 A JP H0710516A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】負極活物質として有用なアルミニウム、炭素ま
たは／および窒素を主成分とする固体材料を提供する。 【構成】本質的にアルミニウム、炭素または／および窒
素を主成分とし、Ｃｕ−Ｋα線によるＸ線回折測定で２
θが２０〜３０°および４０〜５０°の範囲に回折ピー
クを有する固体材料で、サッカロース、あるいは炭素源
および窒素源のポリマーとＡｌＣｌ3 およびポリ塩化ア
ルミニウムとを２００〜４００℃の温度範囲で反応させ
る。
たは／および窒素を主成分とする固体材料を提供する。 【構成】本質的にアルミニウム、炭素または／および窒
素を主成分とし、Ｃｕ−Ｋα線によるＸ線回折測定で２
θが２０〜３０°および４０〜５０°の範囲に回折ピー
クを有する固体材料で、サッカロース、あるいは炭素源
および窒素源のポリマーとＡｌＣｌ3 およびポリ塩化ア
ルミニウムとを２００〜４００℃の温度範囲で反応させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、その層間に種々の化学
種を挿入させるインターカレーション特性を利用した電
極材料あるいは半導性を利用した機能性材料としての幅
広い用途に使用され、特に、現在では軽量、小型で高出
力が得られる次世代の二次電池であるＬｉイオン二次電
池の負極活物質として利用されるアルミニウム、炭素ま
たは／および窒素を主成分とする固体材料およびその製
造法に関する。
種を挿入させるインターカレーション特性を利用した電
極材料あるいは半導性を利用した機能性材料としての幅
広い用途に使用され、特に、現在では軽量、小型で高出
力が得られる次世代の二次電池であるＬｉイオン二次電
池の負極活物質として利用されるアルミニウム、炭素ま
たは／および窒素を主成分とする固体材料およびその製
造法に関する。
【０００２】
【従来の技術および解決すべき問題点】現在、Ｌｉイオ
ン二次電池の負極活物質としてカーボンが盛んに検討さ
れている。しかし、カーボン負極の問題点として、過
電時にＬｉがカーボン層間に挿入し、層間を拡散する場
合のエネルギーとして過電圧が必要であり、充放電効率
を低下させる。Ｌｉの挿入と共に負極が膨張する等が
ある。これはグラファイト自体の層間距離が３．３５Ａ
であるのに対し、Ｌｉがカーボン負極に挿入された場合
のカーボンの層間距離が３．７〜３．８Ａと大きくなる
ためである。
ン二次電池の負極活物質としてカーボンが盛んに検討さ
れている。しかし、カーボン負極の問題点として、過
電時にＬｉがカーボン層間に挿入し、層間を拡散する場
合のエネルギーとして過電圧が必要であり、充放電効率
を低下させる。Ｌｉの挿入と共に負極が膨張する等が
ある。これはグラファイト自体の層間距離が３．３５Ａ
であるのに対し、Ｌｉがカーボン負極に挿入された場合
のカーボンの層間距離が３．７〜３．８Ａと大きくなる
ためである。
【０００３】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、かかる
問題点を解決すべく鋭意検討の結果、特定の炭素源、窒
素源とＡｌＣｌ3 およびポリ塩化アルミニウム（以下Ｐ
ＡＣと略す）を反応させることにより負極活物質として
有用な固体材料を見出し本発明に到達した。
問題点を解決すべく鋭意検討の結果、特定の炭素源、窒
素源とＡｌＣｌ3 およびポリ塩化アルミニウム（以下Ｐ
ＡＣと略す）を反応させることにより負極活物質として
有用な固体材料を見出し本発明に到達した。
【０００４】すなわち本発明は、本質的にアルミニウ
ム、炭素または／および窒素を主成分とし、Ｃｕ−Ｋα
線によるＸ線回折測定で２θが２０〜３０°および４０
〜５０°の範囲に回折ピークを有することを特徴とする
固体材料で、サッカロースあるいは炭素源のポリマーと
ＡｌＣｌ3 およびポリ塩化アルミニウムを、または炭素
源および窒素源のポリマーとＡｌＣｌ3 およびポリ塩化
アルミニウムを、反応器内で２００〜４００℃で反応さ
せることを特徴とする請求項１記載の固体材料の製造方
法を提供するものである。
ム、炭素または／および窒素を主成分とし、Ｃｕ−Ｋα
線によるＸ線回折測定で２θが２０〜３０°および４０
〜５０°の範囲に回折ピークを有することを特徴とする
固体材料で、サッカロースあるいは炭素源のポリマーと
ＡｌＣｌ3 およびポリ塩化アルミニウムを、または炭素
源および窒素源のポリマーとＡｌＣｌ3 およびポリ塩化
アルミニウムを、反応器内で２００〜４００℃で反応さ
せることを特徴とする請求項１記載の固体材料の製造方
法を提供するものである。
【０００５】本発明による具体的な効果は、予めカーボ
ン層間に電池の電気化学的動作に影響の無い軽金属であ
るアルミニウムと黒鉛の層状化合物を形成させ、充電時
にＬｉがカーボン層間へ挿入されたときの層間距離３．
７〜３．８Ａ以上を確保することにより充電時の過電圧
を低下させると同時に、負極の膨張を抑制することであ
る。
ン層間に電池の電気化学的動作に影響の無い軽金属であ
るアルミニウムと黒鉛の層状化合物を形成させ、充電時
にＬｉがカーボン層間へ挿入されたときの層間距離３．
７〜３．８Ａ以上を確保することにより充電時の過電圧
を低下させると同時に、負極の膨張を抑制することであ
る。
【０００６】本発明のカーボン源としては、サッカロー
スおよびポリアクリロニトリル（以下ＰＡＮと略す）を
用いたが、これらに限定されるものではない。このカー
ボン源として用いた、サッカロースはカーボン源として
高純度なカーボンが得られ、現在炭化物セラミックス等
のカーボン源としても広く利用されている。また、Ｃ−
Ｎ源として用いたＰＡＮは、特願平５−９９４６号に示
してあるように比較的低温で化学量論的に反応が進行す
るという前例を踏まえた上で選択した。本発明で用いた
Ｃ−Ｎ源は特に限定されず、特公平５−１６３６４号に
示してある二次元平面を形成するトリアジン環状ポリマ
ー等を出発原料とすることも可能である。
スおよびポリアクリロニトリル（以下ＰＡＮと略す）を
用いたが、これらに限定されるものではない。このカー
ボン源として用いた、サッカロースはカーボン源として
高純度なカーボンが得られ、現在炭化物セラミックス等
のカーボン源としても広く利用されている。また、Ｃ−
Ｎ源として用いたＰＡＮは、特願平５−９９４６号に示
してあるように比較的低温で化学量論的に反応が進行す
るという前例を踏まえた上で選択した。本発明で用いた
Ｃ−Ｎ源は特に限定されず、特公平５−１６３６４号に
示してある二次元平面を形成するトリアジン環状ポリマ
ー等を出発原料とすることも可能である。
【０００７】本発明において、サッカロースをカーボン
源とした場合、サッカロースと共にＡｌＣｌ3 あるいは
ＰＡＣを水に溶解し２００℃付近で混合、反応、乾燥を
行い、フレーク状の黒色粉末を得る方法をとった。ま
た、ＰＡＮをカーボン源とした場合、ＰＡＮとＡｌＣｌ
3 を予め均一に混合し、混合した原料を石英反応管の中
央部に設置し窒素気流中、４００℃で反応させ黒色粉末
を得る方法をとった。
源とした場合、サッカロースと共にＡｌＣｌ3 あるいは
ＰＡＣを水に溶解し２００℃付近で混合、反応、乾燥を
行い、フレーク状の黒色粉末を得る方法をとった。ま
た、ＰＡＮをカーボン源とした場合、ＰＡＮとＡｌＣｌ
3 を予め均一に混合し、混合した原料を石英反応管の中
央部に設置し窒素気流中、４００℃で反応させ黒色粉末
を得る方法をとった。
【０００８】回収した生成物には副生成物のＨＣｌ、未
反応分のＡｌＣｌ3 が含まれており、生成物は構造的に
もアモルファスカーボンに近い。それらの不純物を除去
し結晶性を向上させるため窒素気流中、１０００℃で熱
処理を行った。
反応分のＡｌＣｌ3 が含まれており、生成物は構造的に
もアモルファスカーボンに近い。それらの不純物を除去
し結晶性を向上させるため窒素気流中、１０００℃で熱
処理を行った。
【０００９】上記生成物についてＸ線回折により構造解
析を行った結果、サッカロースとＡｌＣｌ3 の反応によ
る生成物の１０００℃熱処理品は２θ＝２５°、４３°
付近に、サッカロースとＰＡＣの反応による生成物の１
０００℃熱処品は２θ＝２３°、４５°付近に、ＰＡＮ
とＡｌＣｌ3 の反応による生成物の１０００℃熱処理品
は２θ＝２３°、４４°付近にそれぞれブロードな回折
ピークが現れた。上記回折ピークは、これらの材料がグ
ラファイト様層状構造を有することを示唆している。ま
た、サッカロースとＡｌＣｌ3 、サッカロースとＰＡ
Ｃ、ＰＡＮとＡｌＣｌ3 の反応による生成物の１０００
℃熱処理品の００ｌ回折ピークから計算される層間距離
は、それぞれ、３．５Ａ、３．９Ａ、３．８Ａであり、
サッカロース−ＰＡＣ（１０００℃熱処理）系、ＰＡＮ
−ＡｌＣｌ3 （１０００℃熱処理）系の生成物について
はＬｉがカーボン面内に挿入さた場合の層間距離（３．
７〜３．８Ａ）以上を有することが判明した。
析を行った結果、サッカロースとＡｌＣｌ3 の反応によ
る生成物の１０００℃熱処理品は２θ＝２５°、４３°
付近に、サッカロースとＰＡＣの反応による生成物の１
０００℃熱処品は２θ＝２３°、４５°付近に、ＰＡＮ
とＡｌＣｌ3 の反応による生成物の１０００℃熱処理品
は２θ＝２３°、４４°付近にそれぞれブロードな回折
ピークが現れた。上記回折ピークは、これらの材料がグ
ラファイト様層状構造を有することを示唆している。ま
た、サッカロースとＡｌＣｌ3 、サッカロースとＰＡ
Ｃ、ＰＡＮとＡｌＣｌ3 の反応による生成物の１０００
℃熱処理品の００ｌ回折ピークから計算される層間距離
は、それぞれ、３．５Ａ、３．９Ａ、３．８Ａであり、
サッカロース−ＰＡＣ（１０００℃熱処理）系、ＰＡＮ
−ＡｌＣｌ3 （１０００℃熱処理）系の生成物について
はＬｉがカーボン面内に挿入さた場合の層間距離（３．
７〜３．８Ａ）以上を有することが判明した。
【００１０】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが係る実施例に限定されるものではない。
るが係る実施例に限定されるものではない。
【００１１】実施例１ サッカロースとＡｌＣｌ3 の反応は以下のように予想さ
れる。 （Ｃ12Ｈ22Ｏ11)n＋ＡｌＣｌ3 → ＣX Ａｌ＋ｍＨ2 Ｏ
＋３ＨＣｌ ビーカーにサッカロースとＡｌＣｌ3 を理論組成比が
Ｃ：Ａｌ＝２０：１となるように採取し、適量の水に溶
解させ、ホットスターラーを用い２００℃付近で混合、
反応、乾燥を行うと黒褐色のフレーク状の粉末が得られ
た。生成物中には副生成物であるＨＣｌ、および未反応
のＡｌＣｌ3 が残存していると考えられ、窒素中１００
０℃で熱処理を行なった。
れる。 （Ｃ12Ｈ22Ｏ11)n＋ＡｌＣｌ3 → ＣX Ａｌ＋ｍＨ2 Ｏ
＋３ＨＣｌ ビーカーにサッカロースとＡｌＣｌ3 を理論組成比が
Ｃ：Ａｌ＝２０：１となるように採取し、適量の水に溶
解させ、ホットスターラーを用い２００℃付近で混合、
反応、乾燥を行うと黒褐色のフレーク状の粉末が得られ
た。生成物中には副生成物であるＨＣｌ、および未反応
のＡｌＣｌ3 が残存していると考えられ、窒素中１００
０℃で熱処理を行なった。
【００１２】熱処理を行った生成物のＸ線回折パターン
を図１に示す。２θ＝２５．５°、４３．０°付近にブ
ロードなピークが現れグラファイト様層状構造を有すこ
とが判明した。また、００ｌ回折ピークから求まるカー
ボンの層間距離は３．５Ａであり、比較的結晶性が良好
で面間隔も小さいことが判った。これはＡｌＣｌ3 によ
り炭化が促進されたためと考えられる。またこの場合、
面間隔がカーボンの場合と大差がなかったことからＡｌ
金属はカーボン層間に挿入されておらず、カーボン面内
に固溶していると考えられる。この生成物のＣ含有量を
燃焼法により、Ａｌはアルカリ分解させた後ＩＣＰによ
り定量分析を行った結果、組成はＣ20Ａｌであることを
確認した。
を図１に示す。２θ＝２５．５°、４３．０°付近にブ
ロードなピークが現れグラファイト様層状構造を有すこ
とが判明した。また、００ｌ回折ピークから求まるカー
ボンの層間距離は３．５Ａであり、比較的結晶性が良好
で面間隔も小さいことが判った。これはＡｌＣｌ3 によ
り炭化が促進されたためと考えられる。またこの場合、
面間隔がカーボンの場合と大差がなかったことからＡｌ
金属はカーボン層間に挿入されておらず、カーボン面内
に固溶していると考えられる。この生成物のＣ含有量を
燃焼法により、Ａｌはアルカリ分解させた後ＩＣＰによ
り定量分析を行った結果、組成はＣ20Ａｌであることを
確認した。
【００１３】実施例２ サッカロースとＰＡＣの反応は以下のように予想され
る。 Ｃ12Ｈ22Ｏ11＋（Ａｌ2(ＯＨ)nＣｌ6-n ）m →Ｃx Ａｌ
＋Ｈ2 Ｏ＋ＨＣｌ 製造方法は実施例１と同様である。ＰＡＣは液体である
ため混合、反応が容易に均一に行えると考え、理論組成
比がＣ：Ａｌ＝５：１となるように行った。同様に窒素
気流中１０００℃で熱処置した生成物のＸ線回折パター
ンを図２に示す。２θ＝２３．０°、４４．５°付近に
ブロードなピーク現れ、この生成物もグラファイト様層
状構造を有することが判明した。そのブロードな００ｌ
回折ピークから求まる層間距離は３．９ＡでありＡｌＣ
ｌ3 を金属源として用いた場合に比べ結晶性が低く面間
隔が広がった。これはＡｌＣｌ3 に対しＰＡＣのサッカ
ロースにおける触媒的作用が弱いためと考えられる。ま
た、ＰＡＣを過剰に混合したため、２θ＝３７°、６６
°付近に未反応ＰＡＣの熱分解により生成するブロード
なγ−Ａｌ2 Ｏ3 のピークが現れた。実施例１と同様の
元素分析の結果、組成はＣ5.5 Ａｌであった。
る。 Ｃ12Ｈ22Ｏ11＋（Ａｌ2(ＯＨ)nＣｌ6-n ）m →Ｃx Ａｌ
＋Ｈ2 Ｏ＋ＨＣｌ 製造方法は実施例１と同様である。ＰＡＣは液体である
ため混合、反応が容易に均一に行えると考え、理論組成
比がＣ：Ａｌ＝５：１となるように行った。同様に窒素
気流中１０００℃で熱処置した生成物のＸ線回折パター
ンを図２に示す。２θ＝２３．０°、４４．５°付近に
ブロードなピーク現れ、この生成物もグラファイト様層
状構造を有することが判明した。そのブロードな００ｌ
回折ピークから求まる層間距離は３．９ＡでありＡｌＣ
ｌ3 を金属源として用いた場合に比べ結晶性が低く面間
隔が広がった。これはＡｌＣｌ3 に対しＰＡＣのサッカ
ロースにおける触媒的作用が弱いためと考えられる。ま
た、ＰＡＣを過剰に混合したため、２θ＝３７°、６６
°付近に未反応ＰＡＣの熱分解により生成するブロード
なγ−Ａｌ2 Ｏ3 のピークが現れた。実施例１と同様の
元素分析の結果、組成はＣ5.5 Ａｌであった。
【００１４】実施例３ ＰＡＮとＡｌＣｌ3 の反応は以下のように予想される。 （ＣＨ2 ＣＨＣＮ）n ＋ＡｌＣｌ3 →（ＡｌＣ3 Ｎ）n
＋３ＨＣｌ 化学量論的に等モルのＡｌＣｌ3 とＰＡＮを予め均一に
混合した出発原料を黒鉛シートに載せ、石英反管の中央
部に設置し、窒素気流中４００℃まで試料の状態を確認
しながら昇温させた。反応後の生成物は光沢のある黒褐
色を呈し鱗片状の固形物であった。生成物は実施例１、
２と同様、窒素気流中１０００℃で熱処理を行った。熱
処理前（４００℃合成）の生成物のＸ線回折パターンを
図３（Ａ）に示す。この温度域でもグラファイト様層状
構造を有しており、００ｌ回折ピークから求まる層間距
離は３．５Ａであった。この面間隔はＰＡＮを単独で熱
分解したときの面間隔（３．５Ａ）に等しく、ＡｌＣｌ
3 による炭化への影響は見られなかった。その他の出発
原料及び不純物のピークは観察されなかった。図３
（Ｂ）に１０００℃熱処理した生成物の回折パターンを
示す。００ｌ回折ピークにおける面間隔は３．８Ａと熱
処理前に比べ広がった。これはカーボン面内に固溶して
いたＡｌ原子が熱処理によりエネルギー的に安定な面の
上下方向に突出したと考えられる。図３（Ｃ）に生成物
を１５００℃で熱処理した場合のＸ線回折パターンを示
す。これにはＡｌＮの回折ピークが観察され、ＡｌＣ3
Ｎポリマーが熱分解しＡｌＮとカーボンに相分離してい
ることが判った。１０００℃で熱処理した生成物の元素
分析結果による組成はＡｌＣ3.6 Ｎであることが判明し
た。
＋３ＨＣｌ 化学量論的に等モルのＡｌＣｌ3 とＰＡＮを予め均一に
混合した出発原料を黒鉛シートに載せ、石英反管の中央
部に設置し、窒素気流中４００℃まで試料の状態を確認
しながら昇温させた。反応後の生成物は光沢のある黒褐
色を呈し鱗片状の固形物であった。生成物は実施例１、
２と同様、窒素気流中１０００℃で熱処理を行った。熱
処理前（４００℃合成）の生成物のＸ線回折パターンを
図３（Ａ）に示す。この温度域でもグラファイト様層状
構造を有しており、００ｌ回折ピークから求まる層間距
離は３．５Ａであった。この面間隔はＰＡＮを単独で熱
分解したときの面間隔（３．５Ａ）に等しく、ＡｌＣｌ
3 による炭化への影響は見られなかった。その他の出発
原料及び不純物のピークは観察されなかった。図３
（Ｂ）に１０００℃熱処理した生成物の回折パターンを
示す。００ｌ回折ピークにおける面間隔は３．８Ａと熱
処理前に比べ広がった。これはカーボン面内に固溶して
いたＡｌ原子が熱処理によりエネルギー的に安定な面の
上下方向に突出したと考えられる。図３（Ｃ）に生成物
を１５００℃で熱処理した場合のＸ線回折パターンを示
す。これにはＡｌＮの回折ピークが観察され、ＡｌＣ3
Ｎポリマーが熱分解しＡｌＮとカーボンに相分離してい
ることが判った。１０００℃で熱処理した生成物の元素
分析結果による組成はＡｌＣ3.6 Ｎであることが判明し
た。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、サッカロースおよびＰＡＮを
カーボン（炭窒化物）源として用いたことにより、反応
が化学理論的に進行し、かつ比較的低温で行えるため、
短時間で高い収量、収率が得られ、簡易な装置で合成が
可能である。また本発明における固体材料は、インター
カレーション特性を利用した電極材料あるいは半導性を
利用した機能性材料等に応用できる。特にサッカロース
とＰＡＣ、ＰＡＮとＡｌＣｌ3 の反応による生成物を１
０００℃処理した材料はその面間隔が３．９Ａ、３．８
Ａとカーボン面内にＬｉ原子が挿入した場合の面間隔以
上を有しており、Ｌｉイオン二次電池の負極材料におけ
る問題点（過電圧、負極の膨張）を大幅に改善するもの
である。
カーボン（炭窒化物）源として用いたことにより、反応
が化学理論的に進行し、かつ比較的低温で行えるため、
短時間で高い収量、収率が得られ、簡易な装置で合成が
可能である。また本発明における固体材料は、インター
カレーション特性を利用した電極材料あるいは半導性を
利用した機能性材料等に応用できる。特にサッカロース
とＰＡＣ、ＰＡＮとＡｌＣｌ3 の反応による生成物を１
０００℃処理した材料はその面間隔が３．９Ａ、３．８
Ａとカーボン面内にＬｉ原子が挿入した場合の面間隔以
上を有しており、Ｌｉイオン二次電池の負極材料におけ
る問題点（過電圧、負極の膨張）を大幅に改善するもの
である。
【図１】実施例１における本発明の固体材料の１０００
℃熱処理品のＸ線回折パターンを示す。
℃熱処理品のＸ線回折パターンを示す。
【図２】実施例２における本発明の固体材料の１０００
℃熱処理品のＸ線回折パターンを示す。
℃熱処理品のＸ線回折パターンを示す。
【図３】実施例３における本発明の固体材料のＸ線回折
パターン〔（Ａ）：熱処理なし、（Ｂ）：１０００℃熱
処理、（Ｃ）：１５００℃熱処理〕を示す。
パターン〔（Ａ）：熱処理なし、（Ｂ）：１０００℃熱
処理、（Ｃ）：１５００℃熱処理〕を示す。
Claims (3)
- 【請求項１】 本質的にアルミニウム、炭素または／お
よび窒素を主成分とし、Ｃｕ−Ｋα線によるＸ線回折測
定で２θが２０〜３０°および４０〜５０°の範囲に回
折ピークを有することを特徴とする固体材料。 - 【請求項２】 サッカロースあるいは炭素源のポリマー
とＡｌＣｌ3 およびポリ塩化アルミニウムを反応器内で
２００〜４００℃で反応させることを特徴とする請求項
１記載の固体材料の製造方法。 - 【請求項３】 炭素源および窒素源のポリマーとＡｌＣ
ｌ3 およびポリ塩化アルミニウムを反応器内で２００〜
４００℃で反応させることを特徴とする請求項１記載の
固体材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5161685A JPH0710516A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | アルミニウム、炭素または／および窒素を主成分とする固体材料およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5161685A JPH0710516A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | アルミニウム、炭素または／および窒素を主成分とする固体材料およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710516A true JPH0710516A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15739908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5161685A Pending JPH0710516A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | アルミニウム、炭素または／および窒素を主成分とする固体材料およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710516A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329774A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
| WO2008139747A1 (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Hi-Van Corporation | 炭素アルミニウム複合化合物及び炭素アルミニウム複合化合物被覆無機化合物 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP5161685A patent/JPH0710516A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329774A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
| JP4683759B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2011-05-18 | 京セラ株式会社 | ウエハ支持部材およびその製造方法 |
| WO2008139747A1 (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Hi-Van Corporation | 炭素アルミニウム複合化合物及び炭素アルミニウム複合化合物被覆無機化合物 |
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