JPH07104187A

JPH07104187A - 共焦点型光学顕微鏡

Info

Publication number: JPH07104187A
Application number: JP26407693A
Authority: JP
Inventors: Masato Sumiya; 正人住谷; Shinji Suzuki; 信二鈴木
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 1993-09-29
Filing date: 1993-09-29
Publication date: 1995-04-21

Abstract

(57)【要約】【目的】第１の目的は、コントラストの高い良好な像
を観察することができる共焦点型光学顕微鏡を提供する
こと。第２の目的は、長期間にわたって明るい像を観察
することができる共焦点型光学顕微鏡を提供すること。【構成】本発明の共焦点型光学顕微鏡は、結像レンズ
と対物レンズとの間の光路上に配置された四分の一波長
板を、基準光軸に対して傾斜するように配置したことを
特徴とする。また、本発明の共焦点型光学顕微鏡は、光
源からの放射光のうち３４０ｎｍ以下の波長光を少なく
とも減衰させる短波長減光手段が設けられていることを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、共焦点型光学顕微鏡
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、共焦点型光学顕微鏡は、その
焦点深度が極めて浅いという特性を利用して、生物学や
半導体工学等の分野における微細な対象物について、そ
の断面形状等の形状観察および各種測定のために好適に
用いられてきた。

【０００３】図４は、従来の共焦点型光学顕微鏡におけ
る基本的な構成を示す説明図であり、同図において、１
は照明用光学系、２は第１の偏光子、３は偏光ビームス
プリッタ、４はピンホールを有する絞り板、５は第１の
対物レンズ、６は第１の結像レンズ、７は第２の対物レ
ンズ、８は第２の偏光子、９は第２の結像レンズ、１０
はカメラ等よりなる受像手段、１１は四分の一波長板で
ある。

【０００４】このような構成の共焦点型光学顕微鏡にお
いては、照明用光学系１からの放射光が第１の偏光子２
により直線偏光とされた後、偏光ビームスプリッタ３に
より反射され、ピンホールを有する絞り板４の表面にス
ポット照射される。ここで、スポット照射される領域
は、受像手段１０の視野領域（受像手段が受光すること
ができる絞り板上の領域をいう）とほぼ一致する。スポ
ット照射された光において、絞り板４の一つのピンホー
ルを通過した光束は、第１の結像レンズ６によって平行
光もしくは平行光に近い光とされ、第１の対物レンズ５
に入射される。第１の対物レンズ５に入射された光は対
象物Ｓの表面に集光され、これにより対象物Ｓの一点が
照明される。対象物Ｓからの反射光は、第１の対物レン
ズ５、四分の一波長板１１および第１の結像レンズ６を
通り、絞り板４のピンホールにおいて再び結像する。な
お、第１の対物レンズ５から第１の結像レンズ６へ向か
う反射光は、四分の一波長板１１を通過することにより
円偏光から直線偏光（照明光に対して偏光方向を９０°
回転した直線偏光）とされる。絞り板４のピンホールを
通過した反射光は、第２の対物レンズ７、偏光ビームス
プリッタ３、第２の偏光子８および第２の結像レンズ９
を通過して受像手段１０に受光される。なお図４に示す
光路のうち、破線は照明用光学系１から絞り板４に至る
照明光全体の光路であり、また実線はさらに絞り板４の
１つのピンホールを通過した光が、対象物Ｓに集光し反
射され最終的に受像手段１０に至る光路である。

【０００５】このように、照明用光学系１と偏光ビーム
スプリッタ３との間の光路上に第１の偏光子２（偏光
板）を配置し、偏光ビームスプリッタ３と受像手段１０
との間の光路上に第２の偏光子８（検光子）を配置し、
第１の対物レンズ５と第１の結像レンズ６との間におけ
る光路上に四分の一波長板１１を配置することにより、
対象物Ｓからの反射光と、絞り板４の表面から反射され
る散乱光とが区別され、この散乱光の大半は受像手段１
０に受光されることはない。これにより、絞り板４の表
面からの散乱光が受光されることに起因するコントラス
トの低下が防止され、ある程度良好な像を観察すること
ができる。

【０００６】上記のような構成の共焦点型光学顕微鏡
は、例えば特表平１−５０３４９３号公報に開示されて
いる。この公報に記載の共焦点型光学顕微鏡には複数個
のピンホールを有する走査円板〔ニプコフ（ＮＩＰＫＯ
Ｗ）の回転円板〕が絞り板として用いられ、対象物の全
体像を実時間で測定することが可能とされている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
共焦点型光学顕微鏡においては、以下のような問題があ
る。（１）図４に示したような構成の共焦点型光学顕微鏡に
おいて、絞り板４の一つのピンホールを通過し、第１の
結像レンズ６から第１の対物レンズ５へ入射する光の光
束はほぼ平行光束とされる。このため、絞り板４の一つ
のピンホールを通過した光の一部で四分の一波長板１１
の表、裏面によって反射された反射光が、第１の結像レ
ンズ６を通過して再度絞り板４のスポット照射領域にお
けるピンホールに集光する。そして、受像手段１０の視
野領域とほぼ一致するスポット照射領域に集光した反射
光、その中でも四分の一波長板１１の裏面によって反射
された反射光は、その偏光方向が照明光に対して９０°
回転されているため、その大半が最終的に受像手段１０
によって受光され、対象物Ｓ以外で反射された迷光とし
て像のコントラストを低下させてしまう。（２）共焦点型光学顕微鏡の使用を重ねるに従って、顕
微鏡の光学系を構成するレンズやレンズ系の接合用接着
剤が経時的に劣化し、これらの光学系における光透過率
が比較的短い時間で低下してしまう。そして、光透過率
の低下に伴って、観察される像が全体的に暗くて見にく
いものとなる。

【０００８】この発明は以上のような事情に基いてなさ
れたものである。この発明の第１の目的は、受像手段に
受光される迷光を可能な限り少なくしてＳＮ比を向上さ
せ、コントラストの高い良好な像を観察することができ
る共焦点型光学顕微鏡を提供することにある。この発明
の第２の目的は、光学系における高い光透過率が安定的
に維持され、長期間にわたって明るい像を観察すること
ができる共焦点型光学顕微鏡を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の共焦点型光学
顕微鏡は、１個又は複数個のピンホールを有する絞り板
と、この絞り板の一面にスポット光を照射するための光
源と、前記絞り板の一面に照射する光を偏光させる第１
の偏光子と、前記絞り板の他面側において、観察される
べき対象物に近接して配置された対物レンズと、前記対
物レンズと合わせて使用し、対象物の像を前記絞り板上
に結像させるよう、前記絞り板と前記対物レンズとの間
の光路上に配置された結像レンズと、この結像レンズと
前記対物レンズとの間の光路上に配置された四分の一波
長板と、前記絞り板の一面側において、前記第１の偏光
子と前記四分の一波長板との間の光路上に配置された偏
光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタを通
過する前記対象物からの反射光を受光して当該対象物の
像を受像する受像手段と、前記偏光ビームスプリッタと
前記受像手段との間の光路上に配置された第２の偏光子
とを有してなる共焦点型光学顕微鏡において、前記四分
の一波長板は、その表面における法線が、前記対物レン
ズと前記結像レンズとがなす光軸に対して傾斜するよう
に配置されていることを特徴とする。

【００１０】この発明の共焦点型光学顕微鏡において
は、前記四分の一波長板を傾斜するように配置したこと
による当該四分の一波長板の前後における光軸のずれを
補正するための光軸補正板が、前記対物レンズと前記結
像レンズとの間の光路上に配置されていることが好まし
い。

【００１１】また、この発明の共焦点型光学顕微鏡にお
いては、前記光源からの放射光のうち、３４０ｎｍ以下
の波長光を少なくとも減衰させる短波長減光手段が設け
られていることが好ましい。

【００１２】更に、この発明の共焦点型光学顕微鏡にお
いては、前記絞り板が、複数個のピンホールを有する回
転走査円板であることが好ましい。

【００１３】

【作用】

（１）対物レンズと結像レンズとがなす光軸に対して四
分の一波長板が傾斜するように配置されているので、四
分の一波長板の表、裏面からの反射光は、受像手段の視
野領域と一致する絞り板のスポット照射領域内において
は集光しない。従って、この反射光が受像手段によって
受光されることはなく、コントラストの高い良好な像を
観察することができる。（２）対物レンズと結像レンズとの間の光路上に光軸補
正板を配置する、という極めて簡単な構成によって、四
分の一波長板が傾斜するように配置されたことによる光
軸のずれが確実にキャンセルされる。これにより、光軸
のずれに起因する光学的収差の発生を確実に回避するこ
とができる。（３）レンズやレンズ系の接合用接着剤を劣化させる短
波長領域の光が短波長減光手段によって減衰されるの
で、光学系における高い光透過率が安定的に維持され、
長期間にわたって明るい像を観察することができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明の共焦点型光学顕微鏡における構成の
概略を示す説明図である。

【００１５】図１において、２１は、渦巻き状の配列パ
ターンに従って直径２０μｍのピンホールが複数個形成
された回転走査円板である。この回転走査円板２１は、
石英製円板上にクロムを蒸着して不透明膜を形成し、こ
れに、複数個のピンホールを穿設することによって作製
することができる。２２は、この回転走査円板２１を回
転させるための駆動手段であり、この駆動手段２２によ
って、回転走査円板２１は、例えば１５００ｒｐｍの回
転速度で回転する。

【００１６】３０は、回転走査円板２１の一面にスポッ
ト光を照射するための照明用光学系であり、３１は光
源、３２は反射鏡、３３は赤外線カットフィルタ、３４
は本発明の特徴点の１つである紫外線カットフィルタ、
３５はピンホールが中央部に形成された板状部材、３６
は、光源からの光を板状部材３５のピンホールに集光す
るためのアークリレーレンズ、３７はピンホールリレー
レンズである。

【００１７】光源３１としては、例えばキセノンラン
プ、特に、定格電力が７５Ｗのキセノンショートアーク
ランプを好適に使用することができる。このランプは、
エミッタ粉末が混入された焼結体が高融点金属よりなる
電極本体に密着性、密接性良く挿入された構造である電
極を有することに特徴を有し、これにより、従来の消費
電力が１ＫＷ以下であるような小電力型のキセノンラン
プに比べアークの安定性が格段に優れ、照明光の変動を
小さくすることができる。更に、ランプの寿命が長く、
アークの安定性を長時間維持することができる。このよ
うなキセノンショートアークランプの具体例としては、
例えば特開昭６２−２４１２３６号公報、特開昭６２−
２４１２５３号公報などに開示されているものを挙げる
ことができる。なお、光源３１のランプとしてこれらの
ものに限定されるものではないことは勿論である。

【００１８】板状部材３５に形成されたピンホールを通
過した光は、揺らぎがなくて光強度が大きく均一な光束
を有するものである。板状部材３５におけるピンホール
の径の大きさは、光強度、光束均一性、照明に必要な光
量等の観点から規定され、本実施例においては０．４ｍ
ｍとされている。

【００１９】４１は第１の対物レンズ、４２は第２の対
物レンズ、５１は第１の結像レンズ、５２は第２の結像
レンズ、４３はフィールドレンズである。第１の対物レ
ンズ４１は、観察されるべき対象物Ｓに近接して配置さ
れ、第１の結像レンズ５１は第１の対物レンズ４１と合
わせて、対象物Ｓの像を回転走査円板２１のピンホール
上に結像させるレンズであり、第１の対物レンズ４１及
び第１の結像レンズ５１間の光束は、平行光もしくはそ
れに近い状態にされている。

【００２０】６０はＣＣＤカメラからなる受像手段であ
り、６１は倍率を変更するためのアイピースである。回
転走査円板２１の回転速度（１５００ｒｐｍ）は、受像
手段６０であるＣＣＤカメラのビデオフレームレートに
同期して設定されている。

【００２１】７１は第１の偏光子であり、第１の偏光子
７１は、照明用光学系３０からの照明光を偏光させるも
のである。

【００２２】７２は、第１の結像レンズ５１と第１の対
物レンズ４１との間の光路上に配置された四分の一波長
板である。この四分の一波長板７２は、例えば、０．２
ｍｍ厚の水晶板と０．２５ｍｍ厚のフッ化マグネシウム
板とを積層して作製することができ、このようにして作
製された四分の一波長板７２は、４００〜７００ｎｍ程
度の比較的広い波長領域において、１／５λ〜１／３λ
（λ：入射光の波長）の位相差を生じさせる。

【００２３】７３は、第１の偏光子７１と四分の一波長
板７２との間の光路上に配置された偏光ビームスプリッ
タである。この偏光ビームスプリッタ７３は、２個の三
角プリズムを接合することにより作製することができ、
この接合面には誘電体多層膜が蒸着によって形成されて
いる。この偏光ビームスプリッタ７３は、第１の偏光子
７１により偏光された光を反射し、四分の一波長板７２
を通過した対象物Ｓからの反射光を透過するように設定
されている。

【００２４】７４は、偏光ビームスプリッタ７３と受像
手段６０との間の光路上に配置された第２の偏光子であ
る。

【００２５】７５は、四分の一波長板７２と第１の対物
レンズ４１との間の光路上に配置された、本発明の特徴
点の１つである光軸補正板である。

【００２６】このように、照明用光学系３０から対象物
Ｓを経て受像手段６０へ至る光路上に、第１の偏光子７
１、四分の一波長板７２、偏光ビームスプリッタ７３お
よび第２の偏光子７４を挿入配置することによって、回
転走査円板２１の表面からの散乱光が受像手段６０に受
光されることが防止される。

【００２７】以上のような構成の共焦点型光学顕微鏡に
おいて、次のようにして対象物の観察・測定が行われ
る。光源３１からの放射光は、アークリレーレンズ３６
によって板状部材３５のピンホールに集光され、このピ
ンホールを通過した光は、ピンホールリレーレンズ３７
を通過して第１の偏光子７１によって直線偏光とされた
後、偏光ビームスプリッタ７３により反射されて第２の
対物レンズ４２の射出瞳上に集光する。集光された光束
は、第２の対物レンズ４２によって平行光束とされ、複
数個のピンホールを有する回転走査円板２１の表面にス
ポット照射される。ここで、スポット照射される領域
（図１においてＡで示す）は、受像手段６０の視野領域
（受光可能領域）とほぼ一致する。

【００２８】回転走査円板２１の表面にスポット照射さ
れた光は、回転走査円板２１の複数個のピンホールそれ
ぞれを通過し、さらにフィールドレンズ４３、第１の結
像レンズ５１を通過し、また、四分の一波長板７２を通
過することにより円偏光とされた後、光軸補正板７５を
通過して第１の対物レンズ４１の出射瞳上に集光する。
集光された光束は第１の対物レンズ４１によってほぼ平
行光束とされ、対象物Ｓを均一に照明する。一方、回転
走査円板２１のある一つのピンホールを通過した光束に
着目すると、ある一つのピンホールを通過した光束はフ
ィールドレンズ４３および第１の結像レンズ５１を通過
することによって平行もしくは平行に近い光束とされ、
四分の一波長板７２、光軸補正板７５を通過した後、第
１の対物レンズ４１に入射され対象物Ｓの表面のほぼ一
点に集光される。

【００２９】対象物Ｓを照明した光は対象物Ｓの表面で
反射される。対象物Ｓの表面における１点からの反射光
は、第１の対物レンズ４１、光軸補正板７５、四分の一
波長板７２、第１の結像レンズ５１およびフィールドレ
ンズ４３を通り、回転走査円板２１のピンホールにおい
て再び結像する。なお、第１の対物レンズ４１から第１
の結像レンズ５１へ向かう反射光は、四分の一波長板７
２を通過することにより円偏光から直線偏光（照明光に
対して偏光方向を９０°回転した直線偏光）とされる。

【００３０】回転走査円板２１のピンホールを通過した
対象物からの反射光は、第２の対物レンズ４２を通過し
て偏光ビームスプリッタ７３に到達する。この反射光
は、四分の一波長板７２の通過により照明光に対して偏
光方向を９０°回転した直線偏光とされているため、偏
光ビームスプリッタ７３を通過し、更に２の偏光子７
４、第２の結像レンズ５２およびアイピース６１を通過
して受像手段６０に入射されて結像する。なお図１に示
す光路のうち、破線は照明用光学系３０から対象物Ｓに
至る照明光全体の光路であり、また実線は回転走査円板
２１のある１つのピンホールを通過した光が、対象物Ｓ
のある一点に集光、反射され最終的に受像手段６０に至
る光路である。

【００３１】本実施例において、四分の一波長板７２
は、その表面における法線が、第１の対物レンズ４１と
第１の結像レンズ５１とがなす光軸（以下「基準光軸」
という）に対して傾斜するように配置されている。四分
の一波長板７２を基準光軸に対して傾斜するように配置
することによって、回転走査円板２１のピンホールから
の光の一部が四分の一波長板７２の表、裏面によって反
射されても、この反射光は、スポット照射領域Ａにおけ
るピンホールに集光することはない。従って、受像手段
６０によってこの反射光が受光されることはなく、コン
トラストの高い良好な像を観察することができる。四分
の一波長板を傾斜させない場合には、四分の一波長板の
表、裏面からの反射光がスポット照射領域Ａにおけるピ
ンホールに再度集光し、特に四分の一波長板７２の裏面
によって反射された反射光はその偏光方向が照明光に対
して９０°回転されているため、その大半が最終的に受
像手段によって受光されて像のコントラストを低下させ
る。

【００３２】四分の一波長板の傾斜角度（表面における
法線の基準光軸に対する角度）は、四分の一波長板
の表、裏面からの反射光がスポット照射領域内における
ピンホールに集光しないこと、四分の一波長板とし
ての性能が維持されること（１／５λ〜１／３λの範囲
の位相差を生じさせ得ること）、傾斜による光学的
収差が無視できる程度に小さいこと、等の観点から規定
される。

【００３３】上記の観点から、傾斜角度θは、スポッ
ト照射領域の直径、および第１の結像レンズの焦点距離
によって設定することができる。具体的には、下記式
（１）を満足することが必要であり、更に、下記式
（２）を満足することが好ましい。式（１） θ≧ｓｉｎ^-1（ｄ／２ｆ）式（２） θ≧２×ｓｉｎ^-1（ｄ／２ｆ）〔式（１）および式（２）において、ｄはスポット照射
領域の直径、ｆは第１の結像レンズの焦点距離であ
る。〕また、上記および上記の観点からは傾斜角度
θは１０°以下であることが必要である。従って、一般
的なスポット照射領域の大きさおよび焦点距離を考慮す
れば、傾斜角度θは３〜１０°の範囲とされる。

【００３４】本実施例においては、スポット照射領域Ａ
の直径ｄが４ｍｍ、第１の結像レンズ５１の焦点距離ｆ
が９５ｍｍであるので、これらを上記式（２）に代入
し、「２×ｓｉｎ^-1〔４／（２×９５）〕＝２．４１
°」から、傾斜角度θを３°に設定している。

【００３５】ここで、四分の一波長板７２を傾斜するよ
う配置したことにより、この四分の一波長板７２を通過
した光束における光軸は横方向にずれることになるが、
この光軸のずれは、光軸補正板７５によって補正され
る。

【００３６】図２は、光軸補正板によって光軸のずれが
補正されている状態を示す説明図である。同図におい
て、光軸補正板７５は、四分の一波長板７２の傾斜方向
とは反対方向に傾斜するよう四分の一波長板７２の下方
に配置されている。これにより、第１の結像レンズ５１
と四分の一波長板７２とがなす光軸Ｐ₁と、光軸補正板
７５と第１の対物レンズ４１とがなす光軸Ｐ₂とが同一
直線上に位置することになる。なお、光軸のずれをキャ
ンセルするための補正量は、光軸補正板の厚さおよびそ
の傾斜角度を変化させることにより任意に調整すること
ができ、本実施例では、厚さ０．５１ｍｍの光軸補正板
７５を３°の傾斜角度で配置することで、四分の一波長
板７２による約１０μｍのずれを補正している。

【００３７】この光軸補正板７５が配置されていない場
合には、１０μｍ程度のずれであっても、四分の一波長
板以降の光学系で光学的収差が発生する。また、この光
学的収差を回避するために、四分の一波長板前後の光軸
のずれを考慮しながら光学系を配置することも考えられ
るが、機械的アライメントが困難で現実的ではない。

【００３８】図３は、第１の結像レンズ（図示省略）と
第１の対物レンズ（図示省略）との間の光路上に、四分
の一波長板７２と光軸補正板７５とが組み込まれている
状態を示す断面図である。同図において、８１は前記光
路を取り囲むよう設けられた真鍮製の筒状保持部材、８
２は、その上端部および下端部が、それぞれ、正確に３
°に傾斜しているリング状のスペーサー部材である。四
分の一波長板７２および光軸補正板７５は、それぞれス
ペーサー部材８２の上端部および下端部に貼り合わせら
れ、この状態で筒状保持部材８１内に挿入配置されてい
る。このような組み込み手段によれば、四分の一波長板
７２および光軸補正板７５の傾斜角度に誤差を生じるこ
とがなく、また、水平方向の精密な位置アライメント作
業を必要とせず容易に組み込みを行うことができる。

【００３９】照明用光学系３０を構成する紫外線カット
フィルタ３４は、誘電体多層膜を有する短波長減光手段
であり、光源３１からの放射光のうち３８０ｎｍ以下の
波長光を０．５％以下まで減衰させる機能を有するもの
である。３８０ｎｍ以下の波長光は、レンズ自体（硝
材）の劣化や各レンズの貼り合わせ用接着剤を劣化させ
てレンズ系の光透過率を低下させる原因となる。そこ
で、本実施例においては、紫外線カットフィルタ３４を
設けて斯かる短波長の光を有効にカットし、光学系の光
透過率の経時的低下を抑制している。これにより、長期
間にわたって明るい像を観察することができる。具体的
には、紫外線カットフィルタ３４を設けていない場合に
は、１０００時間経過後における像の明るさが３０％程
度低下するのに対し、紫外線カットフィルタ３４を設け
ることにより、像の明るさの低下率を５％以下に抑える
ことができる。

【００４０】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明の共焦点型光学顕微鏡は、この実施例に限定
されるものではなく種々の変更が可能である。例えば、（１）複数個のピンホールを有する回転走査円板に代え
て、１個のピンホールを有する絞り板を用いてもよい。
この場合においては、対象物を走査することによって対
象物の像を観察することができる。（２）短波長減光手段として、紫外線カットフィルタに
代えて波長選択性を有するミラーを用いてもよい。（３）紫外線カットフィルタとしては、３４０ｎｍ以下
の波長光を少なくとも減衰させるものであればよく、レ
ンズ系を構成する硝材および接着剤における耐紫外光性
の向上に伴い、３４０ｎｍを超える短波長光（３４１〜
３８０ｎｍ）を透過するフィルタを用いてもよい。

【００４１】

【発明の効果】請求項１の共焦点型光学顕微鏡によれ
ば、四分の一波長板の表、裏面からの反射光が絞り板の
スポット照射領域内で集光することはなく、この反射光
が受像手段によって受光されることはないので、コント
ラストの高い良好な像を観察することができる。請求項
２の共焦点型光学顕微鏡によれば、対物レンズと結像レ
ンズとの間の光路上に光軸補正板を配置する、という極
めて簡単な手段によって、四分の一波長板が傾斜するよ
うに配置されたことによる光軸のずれが確実にキャンセ
ルされ、光軸のずれに起因する光学的収差の発生を確実
に回避することができる。請求項３の共焦点型光学顕微
鏡によれば、光源からの放射光のうち、レンズやレンズ
系の接合用接着剤を劣化させる短波長領域の光が短波長
減光手段によって減衰されるので、光学系における高い
光透過率が安定的に維持され、長期間にわたって明るい
像を観察することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の共焦点型光学顕微鏡における構成の概
略を示す説明図である。

【図２】光軸補正板によって光軸のずれが補正されてい
る状態を示す説明図である。

【図３】第１の結像レンズと第１の対物レンズとの間の
光路上に、四分の一波長板と光軸補正板とが組み込まれ
ている状態を示す断面図である。

【図４】従来の共焦点型光学顕微鏡における基本的な構
成を示す説明図である。

【符号の説明】

２１回転走査円板２２回転駆動手段３０照明用光学系３１光源３２反射鏡３３赤外線カットフ
ィルタ３４紫外線カットフィルタ３５板状部材３６アークリレーレンズ３７ピンホールリレ
ーレンズ４１第１の対物レンズ４２第２の対物レン
ズ４３フィールドレンズ５１第１の結像レン
ズ５２第２の結像レンズ６０受像手段６１アイピース７１第１の偏光子７２四分の一波長板７３偏光ビームスプ
リッタ７４第２の偏光子７５光軸補正板８１筒状保持部材８２スペーサー部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１個又は複数個のピンホールを有する絞
り板と、この絞り板の一面にスポット光を照射するため
の光源と、前記絞り板の一面に照射する光を偏光させる
第１の偏光子と、前記絞り板の他面側において、観察さ
れるべき対象物に近接して配置された対物レンズと、前
記対物レンズと合わせて使用し、対象物の像を前記絞り
板上に結像させるよう、前記絞り板と前記対物レンズと
の間の光路上に配置された結像レンズと、この結像レン
ズと前記対物レンズとの間の光路上に配置された四分の
一波長板と、前記絞り板の一面側において、前記第１の
偏光子と前記四分の一波長板との間の光路上に配置され
た偏光ビームスプリッタと、この偏光ビームスプリッタ
を通過する前記対象物からの反射光を受光して当該対象
物の像を受像する受像手段と、前記偏光ビームスプリッ
タと前記受像手段との間の光路上に配置された第２の偏
光子とを有してなる共焦点型光学顕微鏡において、前記四分の一波長板は、その表面における法線が、前記
対物レンズと前記結像レンズとがなす光軸に対して傾斜
するように配置されていることを特徴とする共焦点型光
学顕微鏡。
【請求項２】四分の一波長板を傾斜するように配置し
たことによる当該四分の一波長板の前後における光軸の
ずれを補正するための光軸補正板が、対物レンズと結像
レンズとの間の光路上に配置されていることを特徴とす
る請求項１に記載の共焦点型光学顕微鏡。
【請求項３】光源からの放射光のうち、３４０ｎｍ以
下の波長光を少なくとも減衰させる短波長減光手段が設
けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に
記載の共焦点型光学顕微鏡。
【請求項４】絞り板が、複数個のピンホールを有する
回転走査円板であることを特徴とする請求項１乃至請求
項３の何れかに記載の共焦点型光学顕微鏡。