JPH075397A - シュリーレン顕微鏡装置 - Google Patents
シュリーレン顕微鏡装置Info
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- JPH075397A JPH075397A JP14230293A JP14230293A JPH075397A JP H075397 A JPH075397 A JP H075397A JP 14230293 A JP14230293 A JP 14230293A JP 14230293 A JP14230293 A JP 14230293A JP H075397 A JPH075397 A JP H075397A
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- main lens
- schlieren
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小な試料のシュリーレン観察を可能とす
る。 【構成】 レーザー光源１を発したレーザー光線を集光
レンズ２によって主レンズ３の前側焦点位置１１に集光
させ、主レンズ３で平行とされたレーザー光線が主レン
ズ５で集光する位置１２を主レンズ７の前側焦点位置に
一致させるとともに、位置１２にナイフエッジ６を配置
し、撮像レンズ８によって、鏡筒９で前後に移動可能な
ＣＣＤカメラ１０の撮像面に観測部４のなかの試料の像
を結像させる。
る。 【構成】 レーザー光源１を発したレーザー光線を集光
レンズ２によって主レンズ３の前側焦点位置１１に集光
させ、主レンズ３で平行とされたレーザー光線が主レン
ズ５で集光する位置１２を主レンズ７の前側焦点位置に
一致させるとともに、位置１２にナイフエッジ６を配置
し、撮像レンズ８によって、鏡筒９で前後に移動可能な
ＣＣＤカメラ１０の撮像面に観測部４のなかの試料の像
を結像させる。
Description
【産業上の利用分野】本発明は光源ならびに前記光源を
発する光線の進行方向に順次配置された第１主レンズ、
観測部、第２主レンズ、空間フィルター、撮像レンズお
よび撮像面よりなる光学系を備え、前記観測部を撮像レ
ンズによって前記撮像面に結像させるシュリーレン顕微
鏡装置に関する。
発する光線の進行方向に順次配置された第１主レンズ、
観測部、第２主レンズ、空間フィルター、撮像レンズお
よび撮像面よりなる光学系を備え、前記観測部を撮像レ
ンズによって前記撮像面に結像させるシュリーレン顕微
鏡装置に関する。
【従来の技術】従来、シュリーレン装置は、一例を図４
に示すように、点光源１’から出た光を、主レンズ３に
よって平行光線に変換し、主レンズ５によって集光させ
た位置にナイフエッジ６等の空間フィルターをおき、撮
像レンズ８によって、観測部４を撮像面１０’に結像さ
せるものである（流れの可視化学会編、新版流れの可視
化ハンドブック、朝倉書店、１９８６参照）。この時、
観測部４が光学的に一様であれば、ナイフエッジ６の働
きにより、光線（実線で表示）が遮られるが、屈折率が
変化するような場所があれば、そこを通った光線（点線
で表示）はナイフエッジ６を通過し、撮像面１０’の上
に到達するようにしておく。そうすると、観測部４中で
屈折率が変化する部分を撮像面１０’上に可視化するこ
とができる。この方法は、衝撃波、炎等の熱流体計測に
おいてよく用いられる他、拡大投影装置等への応用もあ
る（特開昭４６−２６０９、特開昭４６−２６３６、特
開昭５９−７２４２８、特開昭６２−２８６０８９およ
び特開昭６３−１５３５１６参照）。シュリーレン法の
光学系は、目的に応じて種々の工夫・変形がなされ、と
くに、観測部分が大きい場合は、レンズのかわりに凹面
鏡が用いられる場合もある。
に示すように、点光源１’から出た光を、主レンズ３に
よって平行光線に変換し、主レンズ５によって集光させ
た位置にナイフエッジ６等の空間フィルターをおき、撮
像レンズ８によって、観測部４を撮像面１０’に結像さ
せるものである（流れの可視化学会編、新版流れの可視
化ハンドブック、朝倉書店、１９８６参照）。この時、
観測部４が光学的に一様であれば、ナイフエッジ６の働
きにより、光線（実線で表示）が遮られるが、屈折率が
変化するような場所があれば、そこを通った光線（点線
で表示）はナイフエッジ６を通過し、撮像面１０’の上
に到達するようにしておく。そうすると、観測部４中で
屈折率が変化する部分を撮像面１０’上に可視化するこ
とができる。この方法は、衝撃波、炎等の熱流体計測に
おいてよく用いられる他、拡大投影装置等への応用もあ
る（特開昭４６−２６０９、特開昭４６−２６３６、特
開昭５９−７２４２８、特開昭６２−２８６０８９およ
び特開昭６３−１５３５１６参照）。シュリーレン法の
光学系は、目的に応じて種々の工夫・変形がなされ、と
くに、観測部分が大きい場合は、レンズのかわりに凹面
鏡が用いられる場合もある。
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のシュリ
ーレン装置は観測部の拡大倍率が比較的に小さいので、
顕微鏡を必要とするような微小な試料を観察することが
できないという欠点がある。本発明の目的は、倍率が充
分大きな結像が得られて、微小な試料を観察することが
可能なシュリーレン顕微鏡装置を提供することである。
ーレン装置は観測部の拡大倍率が比較的に小さいので、
顕微鏡を必要とするような微小な試料を観察することが
できないという欠点がある。本発明の目的は、倍率が充
分大きな結像が得られて、微小な試料を観察することが
可能なシュリーレン顕微鏡装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】本発明のシュリーレン顕
微鏡装置は、光源と第１主レンズとの間に配置され、前
記光源を発した光線を第１主レンズの前側焦点位置に集
光させる集光レンズと、第２主レンズによって光線が集
光される位置に配置された空間フィルターと撮像レンズ
との間に配置され、第２主レンズによる集光位置と一致
する前側焦点位置を有する第３主レンズとを含む。前記
光学系の全ての構成要素が直線上に配置されていてもよ
い。第１主レンズを通過した光線を観測部へ向けて反射
するハーフミラーと、前記ハーフミラーから反射され、
前記観測部を通過した光線を再度前記観測部を通過させ
たのち、前記ハーフミラーを透過して第２主レンズへ向
けて反射する反射鏡とを有するものを含む。光源がレー
ザー光源であってもよい。光源と集光レンズとの間にレ
ーザー光のビーム径を拡大させる手段が配置されていて
もよい。集光レンズによって光線が集光される位置に配
置されたピンホールまたは絞りを有することを含む。第
２主レンズの焦点距離と第３主レンズの焦点距離とが同
一であることが望ましい。空間フィルターがナイフエッ
ジで構成されていてもよい。撮像面が感光性フィルムま
たは固体撮像素子で構成されるものを含む。
微鏡装置は、光源と第１主レンズとの間に配置され、前
記光源を発した光線を第１主レンズの前側焦点位置に集
光させる集光レンズと、第２主レンズによって光線が集
光される位置に配置された空間フィルターと撮像レンズ
との間に配置され、第２主レンズによる集光位置と一致
する前側焦点位置を有する第３主レンズとを含む。前記
光学系の全ての構成要素が直線上に配置されていてもよ
い。第１主レンズを通過した光線を観測部へ向けて反射
するハーフミラーと、前記ハーフミラーから反射され、
前記観測部を通過した光線を再度前記観測部を通過させ
たのち、前記ハーフミラーを透過して第２主レンズへ向
けて反射する反射鏡とを有するものを含む。光源がレー
ザー光源であってもよい。光源と集光レンズとの間にレ
ーザー光のビーム径を拡大させる手段が配置されていて
もよい。集光レンズによって光線が集光される位置に配
置されたピンホールまたは絞りを有することを含む。第
２主レンズの焦点距離と第３主レンズの焦点距離とが同
一であることが望ましい。空間フィルターがナイフエッ
ジで構成されていてもよい。撮像面が感光性フィルムま
たは固体撮像素子で構成されるものを含む。
【作用】集光レンズと第３主レンズが付加されているの
で、撮像面に像質の良い拡大倍率の大きい像を結像し、
微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
で、撮像面に像質の良い拡大倍率の大きい像を結像し、
微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明のシュリーレン顕微鏡装置の
第１実施例の構成図である。このシュリーレン顕微鏡装
置は、図４のシュリーレン装置の点光源としてレーザー
光源１が使用され、集光レンズ２と主レンズ７が加えら
れ、また撮像面１０’としてＣＣＤカメラ１０が使用さ
れ、光学系の全ての構成要素が直線上に配置された透過
型顕微鏡装置とされている。集光レンズ２はレーザー光
源１と主レンズ３との間にあり、レーザー光源１から発
した光線を主レンズ３の前側焦点位置１１に集中させ
る。ナイフエッジ６は空間フィルターであって、観測部
４を経た光線が主レンズ５によって集光される位置１２
に配置されている。主レンズ７はナイフエッジ６と撮像
レンズ８との間に、ナイフエッジ６が配置された、主レ
ンズ５の集光位置１２と自レンズの前側焦点位置が一致
するように配置されている。撮像レンズ８とＣＣＤカメ
ラ１０は鏡筒９に取り付けられ、一体のものとして前後
に移動できるようになっており、ＣＣＤカメラ１０には
固体撮像素子による撮像面がある。光源１を出た光は、
集光レンズ２によって集光されたのち、主レンズ３によ
って平行光線に変換され、観測部４を通過したのち、主
レンズ５によって集光され、さらに主レンズ７によって
再び平行光線に変換される。観測部４の中に入れられた
試料は、主レンズ７の後方に中間像が形成され、撮像レ
ンズ８によって、ＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像す
る。像のピントは鏡筒９を前後させることによって合わ
せることができる。この装置を使用して試料の屈折率分
布を観測するには、ナイフエッジ６の位置を調整して、
観測部４を直進する光線を遮断し、試料の光学的不均一
によって屈折した光線を通過させるようにすれば、光学
的に不均一な部分だけが強調された試料像がＣＣＤカメ
ラ１０の撮像面上に得られる。このシュリーレン顕微鏡
装置は、集光レンズ２と主レンズ７があるので、像質が
良く充分な倍率で拡大された試料の像が撮像面１０上に
結像し、コンパクトな構成でありながら、微小な試料の
シュリーレン観察が可能であり、撮像レンズ８を取り替
えることにより、任意の倍率で試料を観察することがで
きる。しかも、主レンズ５による集光位置と主レンズ７
の前側焦点位置が一致しているため、試料の位置に関わ
らず、同一倍率の中間像が形成されるので、試料の位置
がずれても、ピントを取り直せば、倍率は変化しない。
特に、主レンズ５と主レンズ７の焦点距離を同一にして
おけば、中間像の結像倍率は、１倍となって、光学系の
設計上便利である。さらに、撮像レンズ８として、鏡筒
長に応じた同焦点系の顕微鏡対物レンズを用いれば、撮
像レンズを取り替えたときにピントを取り直す手間が省
ける。また、レーザー光を使用しており、レーザー光は
指向性が高いので、少ないエネルギーで明るい画像を得
ることができる。しかし、場合によっては、光源として
他のもの、例えばＬＥＤ、放電型光源、白熱光源等の一
般の光源を用いても差支えない。各レンズは、収差の少
ない組レンズを用いるのがよいが、単レンズであっても
構わない。撮像面にはＣＣＤカメラが使用されている
が、固体撮像素子以外のもの、例えば、銀塩写真フィル
ム等の感光性材料を用いても良い。本実施例のシュリー
レン顕微鏡装置では、像質の良い拡大倍率の充分大きい
像が撮像面に得られるので、微小な試料のシュリーレン
観察が可能となる。図２は本発明のシュリーレン顕微鏡
装置の第２実施例の構成図である。このシュリーレン顕
微鏡装置は図１のレーザー光源１と集光レンズ２の間に
ビームエキスパンダー１３が配置され、また、集光レン
ズ２の集光位置１１にピンホール１４が配置された構成
となっている。ビームエキスパンダー１３はレーザー光
源１を発したレーザー光線のビーム径を拡大する。ピン
ホール１４は集光位置１１を通過するレーザー光線のノ
イズ成分を除去する。このシュリーレン顕微鏡装置では
ビームエキスパンダー１３の作用によりレーザー光線の
ビーム径が大きくなるので、集光位置１１におけるレー
ザー光ビーム径がさらに小さくなり、シュリーレン法の
感度が向上し、さらに、ピンホール１４の作用によりノ
イズ成分が除去されるので観測精度が向上する。本実施
例のシュリーレン顕微鏡装置は、図１のシュリーレン顕
微鏡装置と同様に拡大倍率の大きい像が得られるととも
に、シュリーレン法の感度が向上し、また、ノイズの少
ない像が得られる。図３は本発明のシュリーレン顕微鏡
装置の第３実施例の構成図である。このシュリーレン顕
微鏡装置は図１の集光レンズ２の集光位置１１にピンホ
ール１４が配置され、また、主レンズ３の後方にハーフ
ミラー１５が設置され、ハーフミラー１５の反射光中に
観測部４と反射鏡１６が置かれ、反射鏡１６で反射され
た光線の進行方向に主レンズ５、ナイフエッジ６、主レ
ンズ７、撮像レンズ８、鏡筒９およびＣＣＤカメラ１０
が配置された落射型顕微鏡装置とされている。ハーフミ
ラー１５は主レンズ３と５の間にあり、主レンズ３を出
た平行光線を一部反射する。また、ハーフミラー１５は
反射して観測部４を通過したのち、反射鏡１６で反射さ
れて観測部４を再び通過した光線を主レンズ５の方向へ
透過させる。反射鏡１６はハーフミラー１５から反射さ
れて観測部４を通過した光線をハーフミラー１５へ向け
て反射する位置に設置されている。観測部４のなかに試
料を入れると、主レンズ７の後ろに試料の中間像が形成
され、撮像レンズ８によって、ＣＣＤカメラ１０の撮像
面に結像される。ピントは、鏡筒９を前後させることに
よって合せることができる。ナイフエッジ６の位置を調
整して、観測部４を直進する光線を遮断し、試料の光学
的不均一により屈折した光線を通過させるようにする
と、光学的に不均一な部分だけが強調された試料像が、
ＣＣＤカメラ１０の撮像面上に得られる。また、試料が
基板に載っているような場合でも、基板が鏡面であれ
ば、このシュリーレン顕微鏡で観察することができる。
この場合、反射鏡１６は不要となる。本実施例のシュリ
ーレン顕微鏡装置では、図１の場合と同様に、像質が良
く、結像の拡大倍率が大きいとともに、ノイズの少ない
シュリーレン観察が落射型の形態で実施できる。
て説明する。図１は本発明のシュリーレン顕微鏡装置の
第１実施例の構成図である。このシュリーレン顕微鏡装
置は、図４のシュリーレン装置の点光源としてレーザー
光源１が使用され、集光レンズ２と主レンズ７が加えら
れ、また撮像面１０’としてＣＣＤカメラ１０が使用さ
れ、光学系の全ての構成要素が直線上に配置された透過
型顕微鏡装置とされている。集光レンズ２はレーザー光
源１と主レンズ３との間にあり、レーザー光源１から発
した光線を主レンズ３の前側焦点位置１１に集中させ
る。ナイフエッジ６は空間フィルターであって、観測部
４を経た光線が主レンズ５によって集光される位置１２
に配置されている。主レンズ７はナイフエッジ６と撮像
レンズ８との間に、ナイフエッジ６が配置された、主レ
ンズ５の集光位置１２と自レンズの前側焦点位置が一致
するように配置されている。撮像レンズ８とＣＣＤカメ
ラ１０は鏡筒９に取り付けられ、一体のものとして前後
に移動できるようになっており、ＣＣＤカメラ１０には
固体撮像素子による撮像面がある。光源１を出た光は、
集光レンズ２によって集光されたのち、主レンズ３によ
って平行光線に変換され、観測部４を通過したのち、主
レンズ５によって集光され、さらに主レンズ７によって
再び平行光線に変換される。観測部４の中に入れられた
試料は、主レンズ７の後方に中間像が形成され、撮像レ
ンズ８によって、ＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像す
る。像のピントは鏡筒９を前後させることによって合わ
せることができる。この装置を使用して試料の屈折率分
布を観測するには、ナイフエッジ６の位置を調整して、
観測部４を直進する光線を遮断し、試料の光学的不均一
によって屈折した光線を通過させるようにすれば、光学
的に不均一な部分だけが強調された試料像がＣＣＤカメ
ラ１０の撮像面上に得られる。このシュリーレン顕微鏡
装置は、集光レンズ２と主レンズ７があるので、像質が
良く充分な倍率で拡大された試料の像が撮像面１０上に
結像し、コンパクトな構成でありながら、微小な試料の
シュリーレン観察が可能であり、撮像レンズ８を取り替
えることにより、任意の倍率で試料を観察することがで
きる。しかも、主レンズ５による集光位置と主レンズ７
の前側焦点位置が一致しているため、試料の位置に関わ
らず、同一倍率の中間像が形成されるので、試料の位置
がずれても、ピントを取り直せば、倍率は変化しない。
特に、主レンズ５と主レンズ７の焦点距離を同一にして
おけば、中間像の結像倍率は、１倍となって、光学系の
設計上便利である。さらに、撮像レンズ８として、鏡筒
長に応じた同焦点系の顕微鏡対物レンズを用いれば、撮
像レンズを取り替えたときにピントを取り直す手間が省
ける。また、レーザー光を使用しており、レーザー光は
指向性が高いので、少ないエネルギーで明るい画像を得
ることができる。しかし、場合によっては、光源として
他のもの、例えばＬＥＤ、放電型光源、白熱光源等の一
般の光源を用いても差支えない。各レンズは、収差の少
ない組レンズを用いるのがよいが、単レンズであっても
構わない。撮像面にはＣＣＤカメラが使用されている
が、固体撮像素子以外のもの、例えば、銀塩写真フィル
ム等の感光性材料を用いても良い。本実施例のシュリー
レン顕微鏡装置では、像質の良い拡大倍率の充分大きい
像が撮像面に得られるので、微小な試料のシュリーレン
観察が可能となる。図２は本発明のシュリーレン顕微鏡
装置の第２実施例の構成図である。このシュリーレン顕
微鏡装置は図１のレーザー光源１と集光レンズ２の間に
ビームエキスパンダー１３が配置され、また、集光レン
ズ２の集光位置１１にピンホール１４が配置された構成
となっている。ビームエキスパンダー１３はレーザー光
源１を発したレーザー光線のビーム径を拡大する。ピン
ホール１４は集光位置１１を通過するレーザー光線のノ
イズ成分を除去する。このシュリーレン顕微鏡装置では
ビームエキスパンダー１３の作用によりレーザー光線の
ビーム径が大きくなるので、集光位置１１におけるレー
ザー光ビーム径がさらに小さくなり、シュリーレン法の
感度が向上し、さらに、ピンホール１４の作用によりノ
イズ成分が除去されるので観測精度が向上する。本実施
例のシュリーレン顕微鏡装置は、図１のシュリーレン顕
微鏡装置と同様に拡大倍率の大きい像が得られるととも
に、シュリーレン法の感度が向上し、また、ノイズの少
ない像が得られる。図３は本発明のシュリーレン顕微鏡
装置の第３実施例の構成図である。このシュリーレン顕
微鏡装置は図１の集光レンズ２の集光位置１１にピンホ
ール１４が配置され、また、主レンズ３の後方にハーフ
ミラー１５が設置され、ハーフミラー１５の反射光中に
観測部４と反射鏡１６が置かれ、反射鏡１６で反射され
た光線の進行方向に主レンズ５、ナイフエッジ６、主レ
ンズ７、撮像レンズ８、鏡筒９およびＣＣＤカメラ１０
が配置された落射型顕微鏡装置とされている。ハーフミ
ラー１５は主レンズ３と５の間にあり、主レンズ３を出
た平行光線を一部反射する。また、ハーフミラー１５は
反射して観測部４を通過したのち、反射鏡１６で反射さ
れて観測部４を再び通過した光線を主レンズ５の方向へ
透過させる。反射鏡１６はハーフミラー１５から反射さ
れて観測部４を通過した光線をハーフミラー１５へ向け
て反射する位置に設置されている。観測部４のなかに試
料を入れると、主レンズ７の後ろに試料の中間像が形成
され、撮像レンズ８によって、ＣＣＤカメラ１０の撮像
面に結像される。ピントは、鏡筒９を前後させることに
よって合せることができる。ナイフエッジ６の位置を調
整して、観測部４を直進する光線を遮断し、試料の光学
的不均一により屈折した光線を通過させるようにする
と、光学的に不均一な部分だけが強調された試料像が、
ＣＣＤカメラ１０の撮像面上に得られる。また、試料が
基板に載っているような場合でも、基板が鏡面であれ
ば、このシュリーレン顕微鏡で観察することができる。
この場合、反射鏡１６は不要となる。本実施例のシュリ
ーレン顕微鏡装置では、図１の場合と同様に、像質が良
く、結像の拡大倍率が大きいとともに、ノイズの少ない
シュリーレン観察が落射型の形態で実施できる。
【発明の効果】以上説明したように本発明は、シュリー
レン法の光学系に集光レンズと第３主レンズとを付加す
ることにより、観測部を任意の充分な倍率に拡大して像
質の良い像を結像させることができるので、顕微鏡的に
微小な試料のシュリーレン観察が実現するという効果が
ある。また、試料の位置がずれてピントを取り直した場
合でも倍率が変化しないという効果がある。また、光源
をレーザー光源とし、レーザー光線のビーム径を拡大さ
せることにより、集光位置におけるビーム径がさらに小
さくなるので、シュリーレン法の感度が向上する効果が
ある。さらに、集光レンズの集光位置にピンホールまた
は絞りを配置することにより、ノイズ光のない結像が得
られるという効果がある。
レン法の光学系に集光レンズと第３主レンズとを付加す
ることにより、観測部を任意の充分な倍率に拡大して像
質の良い像を結像させることができるので、顕微鏡的に
微小な試料のシュリーレン観察が実現するという効果が
ある。また、試料の位置がずれてピントを取り直した場
合でも倍率が変化しないという効果がある。また、光源
をレーザー光源とし、レーザー光線のビーム径を拡大さ
せることにより、集光位置におけるビーム径がさらに小
さくなるので、シュリーレン法の感度が向上する効果が
ある。さらに、集光レンズの集光位置にピンホールまた
は絞りを配置することにより、ノイズ光のない結像が得
られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシュリーレン顕微鏡装置の第１実施例
の構成図である。
の構成図である。
【図２】本発明のシュリーレン顕微鏡装置の第２実施例
の構成図である。
の構成図である。
【図３】本発明のシュリーレン顕微鏡装置の第３実施例
の構成図である。
の構成図である。
【図４】シュリーレン装置の従来例の構成図である。
１ レーザー光源 ２ 集光レンズ ３、５、７ 主レンズ ４ 観測部 ８ 撮像レンズ ９ 鏡筒 １０ ＣＣＤカメラ １１、１２ 位置 １３ ビームエキスパンダー １４ ピンホール １５ ハーフミラー １６ 反射鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光源ならびに前記光源を
発する光線の進行方向に順次配置された第１主レンズ、
観測部、第２主レンズ、空間フィルター、撮像レンズお
よび撮像面よりなる光学系を備え、前記観測部を撮像レ
ンズによって前記撮像面に結像させるシュリーレン顕微
鏡装置に関する。
発する光線の進行方向に順次配置された第１主レンズ、
観測部、第２主レンズ、空間フィルター、撮像レンズお
よび撮像面よりなる光学系を備え、前記観測部を撮像レ
ンズによって前記撮像面に結像させるシュリーレン顕微
鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シュリーレン装置は、一例を図４
に示すように、点光源１’から出た光を、主レンズ３に
よって平行光線に変換し、主レンズ５によって集光させ
た位置にナイフエッジ６等の空間フィルターをおき、撮
像レンズ８によって、観測部４を撮像面１０’に結像さ
せるものである（流れの可視化学会編、新版流れの可視
化ハンドブック、朝倉書店、１９８６参照）。この時、
観測部４が光学的に一様であれば、ナイフエッジ６の働
きにより、光線（実線で表示）が遮られるが、屈折率が
変化するような場所があれば、そこを通った光線（点線
で表示）はナイフエッジ６を通過し、撮像面１０’の上
に到達するようにしておく。そうすると、観測部４中で
屈折率が変化する部分を撮像面１０’上に可視化するこ
とができる。この方法は、衝撃波、炎等の熱流体計測に
おいてよく用いられる他、拡大投影装置等への応用もあ
る（特開昭４６−２６０９、特開昭４６−２６３６、特
開昭５９−７２４２８、特開昭６２−２８６０８９およ
び特開昭６３−１５３５１６参照）。
に示すように、点光源１’から出た光を、主レンズ３に
よって平行光線に変換し、主レンズ５によって集光させ
た位置にナイフエッジ６等の空間フィルターをおき、撮
像レンズ８によって、観測部４を撮像面１０’に結像さ
せるものである（流れの可視化学会編、新版流れの可視
化ハンドブック、朝倉書店、１９８６参照）。この時、
観測部４が光学的に一様であれば、ナイフエッジ６の働
きにより、光線（実線で表示）が遮られるが、屈折率が
変化するような場所があれば、そこを通った光線（点線
で表示）はナイフエッジ６を通過し、撮像面１０’の上
に到達するようにしておく。そうすると、観測部４中で
屈折率が変化する部分を撮像面１０’上に可視化するこ
とができる。この方法は、衝撃波、炎等の熱流体計測に
おいてよく用いられる他、拡大投影装置等への応用もあ
る（特開昭４６−２６０９、特開昭４６−２６３６、特
開昭５９−７２４２８、特開昭６２−２８６０８９およ
び特開昭６３−１５３５１６参照）。
【０００３】シュリーレン法の光学系は、目的に応じて
種々の工夫・変形がなされ、とくに、観測部分が大きい
場合は、レンズのかわりに凹面鏡が用いられる場合もあ
る。
種々の工夫・変形がなされ、とくに、観測部分が大きい
場合は、レンズのかわりに凹面鏡が用いられる場合もあ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のシュリ
ーレン装置は観測部の拡大倍率が比較的に小さいので、
顕微鏡を必要とするような微小な試料を観察することが
できないという欠点がある。
ーレン装置は観測部の拡大倍率が比較的に小さいので、
顕微鏡を必要とするような微小な試料を観察することが
できないという欠点がある。
【０００５】本発明の目的は、倍率が充分大きな結像が
得られて、微小な試料を観察することが可能なシュリー
レン顕微鏡装置を提供することである。
得られて、微小な試料を観察することが可能なシュリー
レン顕微鏡装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のシュリーレン顕
微鏡装置は、光源と第１主レンズとの間に配置され、前
記光源を発した光線を第１主レンズの前側焦点位置に集
光させる集光レンズと、第２主レンズによって光線が集
光される位置に配置された空間フィルターと撮像レンズ
との間に配置され、第２主レンズによる集光位置と一致
する前側焦点位置を有する第３主レンズとを含む。
微鏡装置は、光源と第１主レンズとの間に配置され、前
記光源を発した光線を第１主レンズの前側焦点位置に集
光させる集光レンズと、第２主レンズによって光線が集
光される位置に配置された空間フィルターと撮像レンズ
との間に配置され、第２主レンズによる集光位置と一致
する前側焦点位置を有する第３主レンズとを含む。
【０００７】前記光学系の全ての構成要素が直線上に配
置されていてもよい。第１主レンズを通過した光線を観
測部へ向けて反射するハーフミラーと、前記ハーフミラ
ーから反射され、前記観測部を通過した光線を再度前記
観測部を通過させたのち、前記ハーフミラーを透過して
第２主レンズへ向けて反射する反射鏡とを有するものを
含む。
置されていてもよい。第１主レンズを通過した光線を観
測部へ向けて反射するハーフミラーと、前記ハーフミラ
ーから反射され、前記観測部を通過した光線を再度前記
観測部を通過させたのち、前記ハーフミラーを透過して
第２主レンズへ向けて反射する反射鏡とを有するものを
含む。
【０００８】光源がレーザー光源であってもよい。光源
と集光レンズとの間にレーザー光のビーム径を拡大させ
る手段が配置されていてもよい。
と集光レンズとの間にレーザー光のビーム径を拡大させ
る手段が配置されていてもよい。
【０００９】集光レンズによって光線が集光される位置
に配置されたピンホールまたは絞りを有することを含
む。第２主レンズの焦点距離と第３主レンズの焦点距離
とが同一であることが望ましい。
に配置されたピンホールまたは絞りを有することを含
む。第２主レンズの焦点距離と第３主レンズの焦点距離
とが同一であることが望ましい。
【００１０】空間フィルターがナイフエッジで構成され
ていてもよい。撮像面が感光性フィルムまたは固体撮像
素子で構成されるものを含む。
ていてもよい。撮像面が感光性フィルムまたは固体撮像
素子で構成されるものを含む。
【００１１】
【作用】集光レンズと第３主レンズが付加されているの
で、撮像面に像質の良い拡大倍率の大きい像を結像し、
微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
で、撮像面に像質の良い拡大倍率の大きい像を結像し、
微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１は本発明のシュリーレン顕微鏡装置の
第１実施例の構成図である。このシュリーレン顕微鏡装
置は、図４のシュリーレン装置の点光源としてレーザー
光源１が使用され、集光レンズ２と主レンズ７が加えら
れ、また撮像面１０’としてＣＣＤカメラ１０が使用さ
れ、光学系の全ての構成要素が直線上に配置された透過
型顕微鏡装置とされている。集光レンズ２はレーザー光
源１と主レンズ３との間にあり、レーザー光源１から発
した光線を主レンズ３の前側焦点位置１１に集中させ
る。ナイフエッジ６は空間フィルターであって、観測部
４を経た光線が主レンズ５によって集光される位置１２
に配置されている。主レンズ７はナイフエッジ６と撮像
レンズ８との間に、ナイフエッジ６が配置された、主レ
ンズ５の集光位置１２と自レンズの前側焦点位置が一致
するように配置されている。撮像レンズ８とＣＣＤカメ
ラ１０は鏡筒９に取り付けられ、一体のものとして前後
に移動できるようになっており、ＣＣＤカメラ１０には
固体撮像素子による撮像面がある。
第１実施例の構成図である。このシュリーレン顕微鏡装
置は、図４のシュリーレン装置の点光源としてレーザー
光源１が使用され、集光レンズ２と主レンズ７が加えら
れ、また撮像面１０’としてＣＣＤカメラ１０が使用さ
れ、光学系の全ての構成要素が直線上に配置された透過
型顕微鏡装置とされている。集光レンズ２はレーザー光
源１と主レンズ３との間にあり、レーザー光源１から発
した光線を主レンズ３の前側焦点位置１１に集中させ
る。ナイフエッジ６は空間フィルターであって、観測部
４を経た光線が主レンズ５によって集光される位置１２
に配置されている。主レンズ７はナイフエッジ６と撮像
レンズ８との間に、ナイフエッジ６が配置された、主レ
ンズ５の集光位置１２と自レンズの前側焦点位置が一致
するように配置されている。撮像レンズ８とＣＣＤカメ
ラ１０は鏡筒９に取り付けられ、一体のものとして前後
に移動できるようになっており、ＣＣＤカメラ１０には
固体撮像素子による撮像面がある。
【００１４】光源１を出た光は、集光レンズ２によって
集光されたのち、主レンズ３によって平行光線に変換さ
れ、観測部４を通過したのち、主レンズ５によって集光
され、さらに主レンズ７によって再び平行光線に変換さ
れる。観測部４の中に入れられた試料は、主レンズ７の
後方に中間像が形成され、撮像レンズ８によって、ＣＣ
Ｄカメラ１０の撮像面に結像する。像のピントは鏡筒９
を前後させることによって合わせることができる。
集光されたのち、主レンズ３によって平行光線に変換さ
れ、観測部４を通過したのち、主レンズ５によって集光
され、さらに主レンズ７によって再び平行光線に変換さ
れる。観測部４の中に入れられた試料は、主レンズ７の
後方に中間像が形成され、撮像レンズ８によって、ＣＣ
Ｄカメラ１０の撮像面に結像する。像のピントは鏡筒９
を前後させることによって合わせることができる。
【００１５】この装置を使用して試料の屈折率分布を観
測するには、ナイフエッジ６の位置を調整して、観測部
４を直進する光線を遮断し、試料の光学的不均一によっ
て屈折した光線を通過させるようにすれば、光学的に不
均一な部分だけが強調された試料像がＣＣＤカメラ１０
の撮像面上に得られる。
測するには、ナイフエッジ６の位置を調整して、観測部
４を直進する光線を遮断し、試料の光学的不均一によっ
て屈折した光線を通過させるようにすれば、光学的に不
均一な部分だけが強調された試料像がＣＣＤカメラ１０
の撮像面上に得られる。
【００１６】このシュリーレン顕微鏡装置は、集光レン
ズ２と主レンズ７があるので、像質が良く充分な倍率で
拡大された試料の像が撮像面１０上に結像し、コンパク
トな構成でありながら、微小な試料のシュリーレン観察
が可能であり、撮像レンズ８を取り替えることにより、
任意の倍率で試料を観察することができる。しかも、主
レンズ５による集光位置と主レンズ７の前側焦点位置が
一致しているため、試料の位置に関わらず、同一倍率の
中間像が形成されるので、試料の位置がずれても、ピン
トを取り直せば、倍率は変化しない。特に、主レンズ５
と主レンズ７の焦点距離を同一にしておけば、中間像の
結像倍率は、１倍となって、光学系の設計上便利であ
る。さらに、撮像レンズ８として、鏡筒長に応じた同焦
点系の顕微鏡対物レンズを用いれば、撮像レンズを取り
替えたときにピントを取り直す手間が省ける。また、レ
ーザー光を使用しており、レーザー光は指向性が高いの
で、少ないエネルギーで明るい画像を得ることができ
る。しかし、場合によっては、光源として他のもの、例
えばＬＥＤ、放電型光源、白熱光源等の一般の光源を用
いても差支えない。
ズ２と主レンズ７があるので、像質が良く充分な倍率で
拡大された試料の像が撮像面１０上に結像し、コンパク
トな構成でありながら、微小な試料のシュリーレン観察
が可能であり、撮像レンズ８を取り替えることにより、
任意の倍率で試料を観察することができる。しかも、主
レンズ５による集光位置と主レンズ７の前側焦点位置が
一致しているため、試料の位置に関わらず、同一倍率の
中間像が形成されるので、試料の位置がずれても、ピン
トを取り直せば、倍率は変化しない。特に、主レンズ５
と主レンズ７の焦点距離を同一にしておけば、中間像の
結像倍率は、１倍となって、光学系の設計上便利であ
る。さらに、撮像レンズ８として、鏡筒長に応じた同焦
点系の顕微鏡対物レンズを用いれば、撮像レンズを取り
替えたときにピントを取り直す手間が省ける。また、レ
ーザー光を使用しており、レーザー光は指向性が高いの
で、少ないエネルギーで明るい画像を得ることができ
る。しかし、場合によっては、光源として他のもの、例
えばＬＥＤ、放電型光源、白熱光源等の一般の光源を用
いても差支えない。
【００１７】各レンズは、収差の少ない組レンズを用い
るのがよいが、単レンズであっても構わない。撮像面に
はＣＣＤカメラが使用されているが、固体撮像素子以外
のもの、例えば、銀塩写真フィルム等の感光性材料を用
いても良い。
るのがよいが、単レンズであっても構わない。撮像面に
はＣＣＤカメラが使用されているが、固体撮像素子以外
のもの、例えば、銀塩写真フィルム等の感光性材料を用
いても良い。
【００１８】本実施例のシュリーレン顕微鏡装置では、
像質の良い拡大倍率の充分大きい像が撮像面に得られる
ので、微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
像質の良い拡大倍率の充分大きい像が撮像面に得られる
ので、微小な試料のシュリーレン観察が可能となる。
【００１９】図２は本発明のシュリーレン顕微鏡装置の
第２実施例の構成図である。
第２実施例の構成図である。
【００２０】このシュリーレン顕微鏡装置は図１のレー
ザー光源１と集光レンズ２の間にビームエキスパンダー
１３が配置され、また、集光レンズ２の集光位置１１に
ピンホール１４が配置された構成となっている。
ザー光源１と集光レンズ２の間にビームエキスパンダー
１３が配置され、また、集光レンズ２の集光位置１１に
ピンホール１４が配置された構成となっている。
【００２１】ビームエキスパンダー１３はレーザー光源
１を発したレーザー光線のビーム径を拡大する。ピンホ
ール１４は集光位置１１を通過するレーザー光線のノイ
ズ成分を除去する。
１を発したレーザー光線のビーム径を拡大する。ピンホ
ール１４は集光位置１１を通過するレーザー光線のノイ
ズ成分を除去する。
【００２２】このシュリーレン顕微鏡装置ではビームエ
キスパンダー１３の作用によりレーザー光線のビーム径
が大きくなるので、集光位置１１におけるレーザー光ビ
ーム径がさらに小さくなり、シュリーレン法の感度が向
上し、さらに、ピンホール１４の作用によりノイズ成分
が除去されるので観測精度が向上する。
キスパンダー１３の作用によりレーザー光線のビーム径
が大きくなるので、集光位置１１におけるレーザー光ビ
ーム径がさらに小さくなり、シュリーレン法の感度が向
上し、さらに、ピンホール１４の作用によりノイズ成分
が除去されるので観測精度が向上する。
【００２３】本実施例のシュリーレン顕微鏡装置は、図
１のシュリーレン顕微鏡装置と同様に拡大倍率の大きい
像が得られるとともに、シュリーレン法の感度が向上
し、また、ノイズの少ない像が得られる。
１のシュリーレン顕微鏡装置と同様に拡大倍率の大きい
像が得られるとともに、シュリーレン法の感度が向上
し、また、ノイズの少ない像が得られる。
【００２４】図３は本発明のシュリーレン顕微鏡装置の
第３実施例の構成図である。
第３実施例の構成図である。
【００２５】このシュリーレン顕微鏡装置は図１の集光
レンズ２の集光位置１１にピンホール１４が配置され、
また、主レンズ３の後方にハーフミラー１５が設置さ
れ、ハーフミラー１５の反射光中に観測部４と反射鏡１
６が置かれ、反射鏡１６で反射された光線の進行方向に
主レンズ５、ナイフエッジ６、主レンズ７、撮像レンズ
８、鏡筒９およびＣＣＤカメラ１０が配置された落射型
顕微鏡装置とされている。ハーフミラー１５は主レンズ
３と５の間にあり、主レンズ３を出た平行光線を一部反
射する。また、ハーフミラー１５は反射して観測部４を
通過したのち、反射鏡１６で反射されて観測部４を再び
通過した光線を主レンズ５の方向へ透過させる。反射鏡
１６はハーフミラー１５から反射されて観測部４を通過
した光線をハーフミラー１５へ向けて反射する位置に設
置されている。
レンズ２の集光位置１１にピンホール１４が配置され、
また、主レンズ３の後方にハーフミラー１５が設置さ
れ、ハーフミラー１５の反射光中に観測部４と反射鏡１
６が置かれ、反射鏡１６で反射された光線の進行方向に
主レンズ５、ナイフエッジ６、主レンズ７、撮像レンズ
８、鏡筒９およびＣＣＤカメラ１０が配置された落射型
顕微鏡装置とされている。ハーフミラー１５は主レンズ
３と５の間にあり、主レンズ３を出た平行光線を一部反
射する。また、ハーフミラー１５は反射して観測部４を
通過したのち、反射鏡１６で反射されて観測部４を再び
通過した光線を主レンズ５の方向へ透過させる。反射鏡
１６はハーフミラー１５から反射されて観測部４を通過
した光線をハーフミラー１５へ向けて反射する位置に設
置されている。
【００２６】観測部４のなかに試料を入れると、主レン
ズ７の後ろに試料の中間像が形成され、撮像レンズ８に
よって、ＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像される。ピン
トは、鏡筒９を前後させることによって合せることがで
きる。ナイフエッジ６の位置を調整して、観測部４を直
進する光線を遮断し、試料の光学的不均一により屈折し
た光線を通過させるようにすると、光学的に不均一な部
分だけが強調された試料像が、ＣＣＤカメラ１０の撮像
面上に得られる。
ズ７の後ろに試料の中間像が形成され、撮像レンズ８に
よって、ＣＣＤカメラ１０の撮像面に結像される。ピン
トは、鏡筒９を前後させることによって合せることがで
きる。ナイフエッジ６の位置を調整して、観測部４を直
進する光線を遮断し、試料の光学的不均一により屈折し
た光線を通過させるようにすると、光学的に不均一な部
分だけが強調された試料像が、ＣＣＤカメラ１０の撮像
面上に得られる。
【００２７】また、試料が基板に載っているような場合
でも、基板が鏡面であれば、このシュリーレン顕微鏡で
観察することができる。この場合、反射鏡１６は不要と
なる。
でも、基板が鏡面であれば、このシュリーレン顕微鏡で
観察することができる。この場合、反射鏡１６は不要と
なる。
【００２８】本実施例のシュリーレン顕微鏡装置では、
図１の場合と同様に、像質が良く、結像の拡大倍率が大
きいとともに、ノイズの少ないシュリーレン観察が落射
型の形態で実施できる。
図１の場合と同様に、像質が良く、結像の拡大倍率が大
きいとともに、ノイズの少ないシュリーレン観察が落射
型の形態で実施できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、シュリー
レン法の光学系に集光レンズと第３主レンズとを付加す
ることにより、観測部を任意の充分な倍率に拡大して像
質の良い像を結像させることができるので、顕微鏡的に
微小な試料のシュリーレン観察が実現するという効果が
ある。また、試料の位置がずれてピントを取り直した場
合でも倍率が変化しないという効果がある。
レン法の光学系に集光レンズと第３主レンズとを付加す
ることにより、観測部を任意の充分な倍率に拡大して像
質の良い像を結像させることができるので、顕微鏡的に
微小な試料のシュリーレン観察が実現するという効果が
ある。また、試料の位置がずれてピントを取り直した場
合でも倍率が変化しないという効果がある。
【００３０】また、光源をレーザー光源とし、レーザー
光線のビーム径を拡大させることにより、集光位置にお
けるビーム径がさらに小さくなるので、シュリーレン法
の感度が向上する効果がある。
光線のビーム径を拡大させることにより、集光位置にお
けるビーム径がさらに小さくなるので、シュリーレン法
の感度が向上する効果がある。
【００３１】さらに、集光レンズの集光位置にピンホー
ルまたは絞りを配置することにより、ノイズ光のない結
像が得られるという効果がある。
ルまたは絞りを配置することにより、ノイズ光のない結
像が得られるという効果がある。
Claims (9)
- 【請求項１】 光源ならびに前記光源を発する光線の進
行方向に順次配置された第１主レンズ、観測部、第２主
レンズ、空間フィルター、撮像レンズおよび撮像面を構
成要素とする光学系を備え、前記観測部を撮像レンズに
よって前記撮像面に結像させるシュリーレン顕微鏡装置
において、 前記光源と第１主レンズとの間に配置され、前記光源を
発した光線を第１主レンズの前側焦点位置に集光させる
集光レンズと、 第２主レンズによって光線が集光される位置に配置され
た空間フィルターと前記撮像レンズとの間に配置され、
第２主レンズによる集光位置と一致する前側焦点位置を
有する第３主レンズとを含むことを特徴とするシュリー
レン顕微鏡装置。 - 【請求項２】 光学系の全ての構成要素が直線上に配置
されたことを特徴とする請求項１記載の透過型シュリー
レン顕微鏡装置。 - 【請求項３】 第１主レンズを通過した光線を観測部へ
向けて反射するハーフミラーと、 前記ハーフミラーから反射され、前記観測部を通過した
光線を再度前記観測部を通過させたのち、前記ハーフミ
ラーを透過して第２主レンズへ向けて反射する反射鏡と
を有することを特徴とする請求項１記載の落射型シュリ
ーレン顕微鏡装置。 - 【請求項４】 光源がレーザー光源であることを特徴と
する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のシュリー
レン顕微鏡装置。 - 【請求項５】 光源と集光レンズとの間にレーザー光の
ビーム径を拡大させる手段が配置されていることを特徴
とする請求項４記載のシュリーレン顕微鏡装置。 - 【請求項６】 集光レンズによって光線が集光される位
置に配置されたピンホールまたは絞りを有することを特
徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のシュ
リーレン顕微鏡装置。 - 【請求項７】 第２主レンズの焦点距離と第３主レンズ
の焦点距離とが同一であることを特徴とする請求項１な
いし６のいずれか１項に記載のシュリーレン顕微鏡装
置。 - 【請求項８】 空間フィルターがナイフエッジで構成さ
れていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか
１項に記載のシュリーレン顕微鏡装置。 - 【請求項９】 撮像面が感光性フィルムまたは固体撮像
素子で構成されていることを特徴とする請求項１ないし
８のいずれか１項に記載のシュリーレン顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230293A JPH075397A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | シュリーレン顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14230293A JPH075397A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | シュリーレン顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075397A true JPH075397A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15312216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14230293A Pending JPH075397A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | シュリーレン顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075397A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005087101A1 (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Teruo Takeno | 毛細血管血流観察装置 |
| WO2007136100A1 (ja) * | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Japan Science And Technology Agency | 暗視野顕微鏡及びその調整方法 |
| JP2014515500A (ja) * | 2011-05-27 | 2014-06-30 | ハー・エス・エー・ベー・ドレスデン・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 微分干渉コントラスト像の生成のためのアセンブリ |
| CN110579474A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-17 | 中国科学院力学研究所 | 一种同时观测晶体形貌及测量晶体周围浓度场的装置 |
| CN115128788A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 与观测物平行的水平放置显微装置 |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP14230293A patent/JPH075397A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005087101A1 (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-22 | Teruo Takeno | 毛細血管血流観察装置 |
| WO2007136100A1 (ja) * | 2006-05-24 | 2007-11-29 | Japan Science And Technology Agency | 暗視野顕微鏡及びその調整方法 |
| JP2007316221A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Japan Science & Technology Agency | 暗視野顕微鏡及びその調整方法 |
| US8379304B2 (en) | 2006-05-24 | 2013-02-19 | Japan Science And Technology Agency | Dark field microscope and its adjusting method |
| JP2014515500A (ja) * | 2011-05-27 | 2014-06-30 | ハー・エス・エー・ベー・ドレスデン・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | 微分干渉コントラスト像の生成のためのアセンブリ |
| US9229208B2 (en) | 2011-05-27 | 2016-01-05 | Hseb Dresden Gmbh | Arrangement for generating a differential interference contrast image |
| CN110579474A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-17 | 中国科学院力学研究所 | 一种同时观测晶体形貌及测量晶体周围浓度场的装置 |
| CN115128788A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 与观测物平行的水平放置显微装置 |
| CN115128788B (zh) * | 2022-05-30 | 2023-11-28 | 中国人民解放军国防科技大学 | 与观测物平行的水平放置显微装置 |
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