JPH07100484A - 水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水の処理方法 - Google Patents

水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水の処理方法

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JPH07100484A
JPH07100484A JP5012177A JP1217793A JPH07100484A JP H07100484 A JPH07100484 A JP H07100484A JP 5012177 A JP5012177 A JP 5012177A JP 1217793 A JP1217793 A JP 1217793A JP H07100484 A JPH07100484 A JP H07100484A
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JP
Japan
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tetramethylammonium hydroxide
waste water
activated sludge
treating
tmah
Prior art date
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Pending
Application number
JP5012177A
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English (en)
Inventor
Keiji Hirano
啓二 平野
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10Biological treatment of water, waste water, or sewage

Abstract

(57)【要約】 【目的】汚泥の馴養に1〜2カ月を要していた水酸化テ
トラメチルアンモニウム含有廃水の生物学的処理におい
て、特殊な分解菌の接種や、活性汚泥の馴養期間を必要
としない処理法を提供する。 【構成】水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水中に
易生分解性の炭素源を添加した後、活性汚泥による処理
を行い、テトラメチルアンモニウムイオンを除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、水酸化テトラメチルア
ンモニウム(以下TMAHと記す)を生物学的に処理す
る方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の製造工程等で使用され
るTMAHは、毒性を有する強いアルカリであり、TM
AHを含有する廃水は処理が不可欠である。しかし、T
MAHは化学的に安定であり、オゾン、紫外線等の処理
によっても分解されず、また活性炭にも吸着されない。
現在、この廃水の処理には逆浸透膜による濃縮やイオン
交換樹脂での吸着による処理が一般に行われている。こ
れらの方法はいずれも濃縮液が発生する。この濃厚廃水
は燃焼によって処理されるため多額のランニングコスト
がかかる。そのため、TMAHを分解して処理する生物
学的処理法も検討され、一部で実施されている。その例
として、活性汚泥法による約200mg/lまでの低濃
度廃水の処理や、特開昭62−106898号公報に示
されるように、TMAH分解菌を使用した処理法等があ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】これらの従来のTMA
H廃水の生物学的処理法では、TMAHが生物学的に難
分解性物質であるため、TMAHに対する馴養を行って
いない活性汚泥を使用する場合には、TMAHを安定に
処理するために、1〜2カ月という長期の汚泥馴養期間
を要していた。またTMAH分解菌を使用する場合に
は、分解菌の単離、大量培養のための長期の準備期間を
必要とし、さらに分解菌を活性汚泥に添加して使用する
場合には、添加後の活性汚泥の調整に長い期間を必要と
した。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明は、水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃
水の生物学的処理において、廃水中に生分解し易い炭素
源(以下易生分解性炭素源と記す)を共存させることを
特徴とするものである。
【0005】
【実施例】次に本発明の実施例について説明する。
【0006】約1000mg/lのTMAHを含有する
廃水のpHをを塩酸で7に調整後、易生分解性炭素源と
してグルコースを2000mg/lになるように、ま
た、リン源としてリン酸二水素ナトリウムを100mg
/lになるように添加した。この様にして調製した廃水
2lを容積3lの曝気槽に注入した。標準的な活性汚泥
法の汚泥濃度範囲にするため、あらかじめ表1に示した
基礎培地組成の溶液に懸濁した標準活性汚泥混合液50
0mlを曝気槽に注入後、活性汚泥濃度を測定した。活
性汚泥濃度は乾燥菌体重量(MLSS)にして約300
0mg/lであった。空気供給量1.5l/分で曝気を
開始した。曝気開始後から一定時間間隔で曝気槽から活
性汚泥懸濁液をを採取し、濾過などで懸濁物を除いてか
らTMAH濃度をテトラメチルアンモニウムイオンとし
て液体クロマトグラフィにより測定した。
【0007】
【表1】
【0008】TMAH濃度は図1に示したように変化
し、曝気開始から12時間後には、5mg/l以下に低
下した。またグルコースの代りに、エタノール、メチル
エチルケトン、イソプロパノールを使用しても、同様に
短時間でTMAHが大部分分解された。
【0009】比較例として約1000mg/lのTMA
Hを含有する廃水のpHを塩酸で7に調整後、リン源と
してリン酸二水素ナトリウムを100mg/lになるよ
うに添加しただけの廃水を実施例と同様にして処理し
た。曝気開始後から24時間後のTMAイオン濃度は8
50mg/lであり、TMAHはほとんど分解されなか
った。
【0010】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によるTMA
H含有廃水の処理方法によれば、標準活性汚泥のように
TMAHに対し未馴養の活性汚泥を用いても短時間にテ
トラメチルアンモニウムイオンを除去することができる
ため、これまで1〜2カ月を要していた汚泥馴養の過程
を省略することが可能になり、処理設備設置後すぐにT
MAH含有廃水の処理を開始することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】TMAイオン濃度の経時変化を示した図であ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年4月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】約1000mg/1のTMAHを含有する
廃水のpHを塩酸で7に調整後、易生分解性炭素源とし
てグルコ−スを2000mg/1になるように、また、
リン源としてリン酸二水素ナトリウムを100mg/1
になるように添加した。この様にして調整した廃水21
を容積3リットルの曝気槽に注入した。標準的な活性汚
泥法の汚泥濃度範囲にするため、あらかじめ表1に示し
た窒素源を除いた基礎培地組成の溶液に懸濁した標準活
性汚泥混合液500mlを曝気槽に注入後、活性汚泥濃
度を測定した。活性汚泥濃度は乾燥菌体重量(MLS
S)にして約300mg/1であった。空気供給量1.
51/分で曝気を開始した。曝気開始後から一定時間間
隔で曝気槽から活性汚泥懸濁液を採取し、濾過などで懸
濁物を除いてからTMAH濃度をテトラメチルアンモニ
ウムイオンとして液体クロマトグラフィにより測定し
た。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃
    水の生物学的処理において、前記廃水中に生分解し易い
    炭素源を共存させることを特徴とする水酸化テトラメチ
    ルアンモニウム含有廃水の処理方法。
  2. 【請求項2】 炭素源がグルコース,エタノール,メチ
    ルエチルケントまたはイソプロパノールである請求項1
    記載の水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水の処理
    方法。
JP5012177A 1993-01-28 1993-01-28 水酸化テトラメチルアンモニウム含有廃水の処理方法 Pending JPH07100484A (ja)

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Effective date: 19960618