JPH0691293B2 - Laser device - Google Patents
Laser deviceInfo
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- JPH0691293B2 JPH0691293B2 JP59031763A JP3176384A JPH0691293B2 JP H0691293 B2 JPH0691293 B2 JP H0691293B2 JP 59031763 A JP59031763 A JP 59031763A JP 3176384 A JP3176384 A JP 3176384A JP H0691293 B2 JPH0691293 B2 JP H0691293B2
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- resonator
- axis
- laser beam
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜発明の技術分野＞ 本発明は、自動車ライン等で用いる赤外線レーザ装置等
の高出力レーザ装置に関し、詳しくは、レーザ発振状
態、特に、共振器のアライメント状態をレーザ加工中に
おいても常にモニターして安定した加工が行えるように
したレーザ装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a high-power laser device such as an infrared laser device used in an automobile line or the like, and more specifically, laser processing of a laser oscillation state, particularly, a cavity alignment state. The present invention relates to a laser device capable of performing stable processing by constantly monitoring the inside.
＜従来技術＞ 従来この種のレーザ装置としては、例えば第１図に示す
ように構成されるもの（CO2レーザ）がある。<Prior Art> Conventionally, as a laser device of this type, there is, for example, a device (CO 2 laser) configured as shown in FIG. 1.
図において、１は交流高電圧の電源、2,3は相対向して
配置されるそれぞれの電極、４は各電極2,3間に発生さ
れる放電空間、５は一部のレーザビームを反射する部分
反射ミラー、６は全反射ミラー、７は部分反射ミラー５
の近傍に配設されるアパーチャ、８はレーザ媒質ガスの
ガス流であり、第１図に示すように紙面と直角の方向に
流れている。９は発生されるレーザビームである。In the figure, 1 is a high-voltage AC power supply, 2 and 3 are electrodes arranged opposite to each other, 4 is a discharge space generated between the electrodes 2 and 3, and 5 is a part of the laser beam reflected Partial reflection mirror, 6 total reflection mirror, 7 partial reflection mirror 5
An aperture 8 disposed in the vicinity of is a gas flow of the laser medium gas, which flows in a direction perpendicular to the paper surface as shown in FIG. Reference numeral 9 is a laser beam to be generated.
次にかかるレーザ装置の動作について説明する。まず、
各電極2,3間に電源１から交流高電圧を印加し、各電極
2,3間に放電空間４を発生させる。一方、各電極2,3間に
レーザ媒質ガスのガス流８を流し、レーザ媒質ガスを無
声放電によつて励起することによりレーザ光を生成させ
る。しかして、放電空間４をはさんで相対向して配設さ
れる部分反射ミラー５と全反射ミラー６、及び部分反射
ミラー５近傍に配設される円形の開口部7aを有するアパ
ーチャ７とにより、円形のレーザビーム９を外部に取り
出すことができる。Next, the operation of the laser device will be described. First,
AC high voltage is applied from the power supply 1 between each electrode 2 and 3,
A discharge space 4 is generated between 2 and 3. On the other hand, a gas flow 8 of the laser medium gas is caused to flow between the electrodes 2 and 3, and the laser medium gas is excited by silent discharge to generate laser light. Therefore, by the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6 which are arranged to face each other across the discharge space 4, and the aperture 7 having a circular opening 7a which is arranged in the vicinity of the partial reflection mirror 5. The circular laser beam 9 can be extracted to the outside.
このとき、部分反射ミラー５と全反射ミラー６との相互
の対向位置の調整、すなわちアライメントが不良であれ
ば、レーザビーム９のモードの対称性やビーム出射方向
の軸が崩れ、このため、レーザ加工により被加工物の切
断時等の加工特性が劣化する。At this time, if the positions where the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6 face each other are adjusted, that is, if the alignment is poor, the symmetry of the mode of the laser beam 9 and the axis of the beam emission direction are broken. The processing deteriorates the processing characteristics such as when cutting the workpiece.
このため、従来、レーザ共振器のアライメント状態の良
し悪しを、発生されるビームの形状，位置によって判定
する技術として、実開昭58−115716号公報に示されたも
のがある。For this reason, conventionally, there is a technique disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 58-115716, which is a technique for determining the quality of alignment of a laser resonator based on the shape and position of a beam to be generated.
しかし、この技術にあっては、レーザ共振器の状態を知
ろうとした場合、レーザ加工を一度休止して、レーザ発
振器とレーザ加工物との間にこの検出器を挿入する必要
がある。しかし、実際には、レーザ発振器とレーザ加工
物との間にはダクト等で覆われており、実ライン等でそ
の間に検出器を挿入することは困難で、更に、レーザ加
工を中止して検出を行うことが必要であるという欠点が
ある等、工業的な応用に際しては有効的な技術ではな
い。However, in this technique, when trying to know the state of the laser resonator, it is necessary to pause the laser processing once and insert this detector between the laser oscillator and the laser processed product. However, in reality, it is difficult to insert a detector between the laser oscillator and the laser-processed product with a duct, etc. between the laser line and the laser-processed product. It is not an effective technique for industrial application because of the drawback that it is necessary to perform
又、レーザビームの発振軸及びレーザパワーを安定化す
る技術として、従来、特公昭57−19583号公報に示され
たものがある。Further, as a technique for stabilizing the oscillation axis of the laser beam and the laser power, there is a technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 57-19583.
かかる公報に開示された第１の検出手段は、不安定型共
振器から取り出されたリングビームと検出器が共振器外
部で完全に接触して検出を行うものである。つまり、こ
の共振器から取り出されたレーザビームの外周の一部が
位置検出のために使用されることになる。レーザビーム
はその一部がこのように切り取られると、その切り取り
による回折効果により集光性が悪化する。従って、検出
器を使用して検出するには、レーザ加工を中止して行う
必要がある。従って、このものでも、工業的な応用に際
しては有効な技術ではない。The first detecting means disclosed in this publication is for detecting by making a complete contact between the ring beam extracted from the unstable resonator and the detector outside the resonator. That is, a part of the outer circumference of the laser beam extracted from this resonator is used for position detection. When a part of the laser beam is cut off in this way, the focusing effect deteriorates due to the diffraction effect due to the cutout. Therefore, in order to perform detection using the detector, it is necessary to stop the laser processing. Therefore, even this is not an effective technique for industrial application.
次に、第２の検出手段は、基本的にメインビームの端を
直接検知しようとするものである。メインビームの端を
検出するには、メインビームの端に検出器を配設する必
要がある。しかし、検出器は有限の大きさを持つため、
例えば、直接ミラー外周に配設するとメインビームの端
と距離があく。従って、メインビームがその距離内で位
置ずれした場合にはその検出が行えない。これを防ぐた
めに、小反射鏡を用いてメインビームの端の光を検出器
に導くようにしている。従って、このものでも、小反射
鏡を必要とする等工業的な応用に際しては有効的な技術
ではない。Next, the second detecting means basically tries to directly detect the end of the main beam. In order to detect the end of the main beam, it is necessary to arrange a detector at the end of the main beam. However, because the detector has a finite size,
For example, if it is arranged directly on the outer circumference of the mirror, it is separated from the end of the main beam. Therefore, if the main beam is displaced within that distance, it cannot be detected. In order to prevent this, a small reflector is used to guide the light at the end of the main beam to the detector. Therefore, even this one is not an effective technique for industrial applications such as requiring a small reflecting mirror.
ここで、本発明者らは、実験の結果、レーザ発振が停止
するほどのミスアライメント状態に至り、ビーム形状が
崩れても、ビームの回折光の分布がビームの崩れ、位置
変化に比例して変化することを発見し、この発見に基づ
いて本発明を完成させた。Here, as a result of experiments, the inventors of the present invention have reached a misalignment state in which laser oscillation is stopped, and even if the beam shape is destroyed, the distribution of the diffracted light of the beam is destroyed in proportion to the position change. It was discovered that they changed, and the present invention was completed based on this discovery.
＜発明の概要＞ そこで、本発明は、工業的な応用に際して有効的な技術
とするため、レーザ発振状態で、実ラインでレーザ加工
中にも常に共振器の状態を監視することを目的とし、レ
ーザ発振器内の一方の開口によりメインビームが切り取
られ発生した光がゲイン空間内で増幅され対向側の開口
外周に到達する回折光を検出する構成を基本概念とし、
具体的には次のように構成した。<Summary of the Invention> Therefore, in order to make the present invention an effective technique in industrial application, it is an object of the present invention to constantly monitor the state of a resonator in a laser oscillation state even during laser processing in a real line, The basic concept is to detect the diffracted light that the light generated by cutting off the main beam by one of the openings in the laser oscillator is amplified in the gain space and reaches the outer circumference of the opening on the opposite side.
Specifically, it is configured as follows.
即ち、本発明は、相対向する第１ミラーと第２ミラーを
配置してなるレーザ共振器を備えたレーザ装置におい
て、前記レーザ共振器内で発生されたレーザビームのメ
インビームの回折光を検出することによって該レーザビ
ームの光軸と設定光軸との軸ずれ度を検知する軸ずれ検
知手段を前記第１ミラーと第２ミラー近傍のレーザビー
ムの裾野に当たる円周上に設けるとともに、該軸ずれ検
知手段からの信号に基づいて前記第１ミラーと第２ミラ
ーの設定角度を修正する角度修正手段を設けた構成とす
る。That is, the present invention detects a diffracted light of a main beam of a laser beam generated in the laser resonator in a laser device including a laser resonator in which a first mirror and a second mirror facing each other are arranged. By providing the axis deviation detecting means for detecting the degree of axis deviation between the optical axis of the laser beam and the set optical axis on the circumference of the circumference of the laser beam near the first mirror and the second mirror, the axis deviation detecting means is provided. An angle correction means for correcting the set angles of the first mirror and the second mirror based on a signal from the deviation detection means is provided.
＜発明の実施例＞ 以下、本発明の１実施例を第２図以下の図面に基づいて
詳細に説明する。<Embodiment of the Invention> An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings starting from FIG.
図において、70はレーザ共振器内で発生されたレーザビ
ームのメインビームの回折光を検出することによってレ
ーザビーム９の光軸の設定光軸との軸ずれ度を検知する
軸ずれ検知手段としての１対の軸ずれセンサーで、アパ
ーチャ７の前面近傍と、全反射ミラー６の前面近傍と、
のそれぞれレーザビームの裾野に当たる円周上に配設さ
れている。該軸ずれセンサー70は、第３図に示すよう
に、その円形の開口部の直径を上記アパーチャ７の円形
の開口部の直径よりやや大きく形成された板状のホルダ
72と、このホルダ72の上記円形の開口部の内径近くに中
心対称に相対向して周方向の例えば４ヶ所に配置される
受光素子71と、により構成され、この受光素子71の受け
たレーザ光パワーに応じた出力がX1,X2,Y1及びY2であ
る。尚、受光素子71として熱電対を用いた場合、出力は
熱起電力となる。In the figure, reference numeral 70 denotes an axis deviation detecting means for detecting the degree of axis deviation of the optical axis of the laser beam 9 from the set optical axis by detecting the diffracted light of the main beam of the laser beam generated in the laser resonator. With a pair of axis deviation sensors, near the front surface of the aperture 7 and near the front surface of the total reflection mirror 6,
Are arranged on the circumference corresponding to the skirt of the laser beam. As shown in FIG. 3, the axis shift sensor 70 is a plate-shaped holder in which the diameter of the circular opening is slightly larger than the diameter of the circular opening of the aperture 7.
A laser beam received by the light receiving element 71 is constituted by 72 and light receiving elements 71 that are arranged symmetrically opposite to each other in the vicinity of the inner diameter of the circular opening of the holder 72 in the circumferential direction, for example. The outputs corresponding to the optical power are X1, X2, Y1 and Y2. When a thermocouple is used as the light receiving element 71, the output is thermoelectromotive force.
一方、前記軸ずれセンサー70からの信号に基づいてレー
ザビーム９の光軸を設定光軸上に位置するように両ミラ
ー5,6の設定角度を修正する角度修正手段としては、例
えば第６図に示すように構成される。即ち、51,51はそ
れぞれ両ミラー5,6を保持するミラーホルダ、52,52はギ
ヤー、53,53はステツピングモータ、54,54はマイクロメ
ータヘツド、55,55はベローズ、56,56はパルス電圧を出
力するステツピングモータ用の駆動電源、57,57はミラ
ー基台、58,58は支点を示し、前記マイクロメータヘツ
ド54,54の進み量は、駆動電源56,56からのパルスを受
け、一定の角度回転するステツピングモータ53,53の角
度をギヤー52,52によつて減速し、マイクロメータヘツ
ド54,54を回転・直進させることから１パルスあたりの
ミラー5,6の傾きが決まることによつて決定される。On the other hand, as an angle correcting means for correcting the set angles of both mirrors 5 and 6 so that the optical axis of the laser beam 9 is located on the set optical axis based on the signal from the axis shift sensor 70, for example, FIG. It is configured as shown in. That is, 51 and 51 are mirror holders for holding both mirrors 5 and 6, 52 and 52 are gears, 53 and 53 are stepping motors, 54 and 54 are micrometer heads, 55 and 55 are bellows, and 56 and 56 are The drive power source for the stepping motor that outputs the pulse voltage, 57 and 57 are mirror bases, 58 and 58 are fulcrums, and the advance amount of the micrometer heads 54 and 54 is the pulse from the drive power sources 56 and 56. The angles of the stepping motors 53, 53 that rotate by a certain angle are decelerated by the gears 52, 52, and the micrometer heads 54, 54 are rotated and moved straight. It is decided by what is decided.
次に作用について述べる。Next, the operation will be described.
共振器内に形成されるレーザビームの定圧波は、第２図
に従つて述べると、右向き（部分反射ミラー５向き）と
左向きの光とで構成されている。右向きの定圧波はアパ
ーチャ７で形状を制限され、部分反射ミラー５に入り、
そのパワーの一部を外部に放出し、レーザビーム９とな
る。のこりの反射光は全反射ミラー６に向う左向きの定
圧波となり、そこで反射され、アパーチャ７に復する。
該往復の過程で増幅を受け、パワーが増大すると共に、
第４図に示すようにビームの形状は裾野の長い拡がりを
もつものとなるが、アパーチャ７で再び端切り（裾野を
カツト）される。The constant pressure wave of the laser beam formed in the resonator is composed of light directed to the right (toward the partial reflection mirror 5) and light directed to the left, as described with reference to FIG. The constant pressure wave to the right is limited in shape by the aperture 7, enters the partial reflection mirror 5, and
A part of the power is emitted to the outside and becomes a laser beam 9. The reflected light of the sawdust becomes a constant pressure wave directed to the left toward the total reflection mirror 6, is reflected there, and returns to the aperture 7.
As the power is increased by receiving amplification in the process of the round trip,
As shown in FIG. 4, the beam has a shape with a long skirt, but the beam is cut off again by the aperture 7 (cutting the skirt).
ここで、例えばガウシアンビームを例にとれば、アパー
チャ７で端切りするパワーは右向き全パワーの１％前後
で、強度は第４図に示すように中心からの距離の増加と
共に急激に小さくなる分布を示す。Here, taking a Gaussian beam as an example, the power cut off by the aperture 7 is around 1% of the total rightward power, and the intensity sharply decreases as the distance from the center increases as shown in FIG. Indicates.
このため、本実施例にかかる軸ずれセンサー70は、レー
ザ発振器内の一方の開口によりメインビームが切り取ら
れ発生した光がゲイン空間内で増幅され対向側の開口外
周に到達する回折光を検出するものであり、アパーチャ
７の外周に対称に配設した受光素子71の出力X1,X2の比
較によつてＸ方向のレーザビームの軸ずれを検知でき、
Y1,Y2の比較によつてＹ方向のレーザビームの軸ずれを
検知できる。Therefore, the axis shift sensor 70 according to the present embodiment detects the diffracted light that reaches the outer circumference of the opposite opening by amplifying the light generated by cutting off the main beam by one opening in the laser oscillator in the gain space. By comparing the outputs X1 and X2 of the light receiving elements 71 symmetrically arranged on the outer periphery of the aperture 7, it is possible to detect the axis deviation of the laser beam in the X direction.
By comparing Y1 and Y2, the axis deviation of the laser beam in the Y direction can be detected.
かかるレーザ装置の機能を第５図に従つてさらに詳細に
説明する。図には、出発点の軸ずれ状態を同図（ａ）
に、この発明の操作による動きを説明するための図を同
図（ｂ）及び（ｃ）に示している。簡単のため、以下で
は全反射ミラー６をM1（第１ミラー）、部分反射ミラー
５をM2（第２ミラー）、１対の軸ずれセンサー70をそれ
ぞれS1,S2と呼び、これらはレーザ出射方向にM1,S1,S2,
M2の順で配置されている。The function of such a laser device will be described in more detail with reference to FIG. The figure shows the deviation of the axis at the starting point (a).
9 (b) and 9 (c) are diagrams for explaining the movements of the operation of the present invention. For simplicity, in the following, the total reflection mirror 6 is referred to as M1 (first mirror), the partial reflection mirror 5 is referred to as M2 (second mirror), and the pair of axis deviation sensors 70 are referred to as S1 and S2, respectively. To M1, S1, S2,
They are arranged in the order of M2.
いま、発生するレーザビームが設定光軸に対して第５図
（ａ）に示すような軸ずれを発生している場合、ビーム
の対称性はくずれ、出力も低下し、かつビームの出射位
置も設定光軸Ｌ−Ｌ′からずれている。Now, when the generated laser beam is deviated from the set optical axis as shown in FIG. 5 (a), the symmetry of the beam is broken, the output is lowered, and the beam emission position is also decreased. It is deviated from the set optical axis L-L '.
ここで、S1とS2を比較したとき軸ずれの度合がより大き
いのはS2である。そこで、まずS2の軸ずれ出力を最小に
するべくM2を角度調整し、その状態を示すのが同図
（ｂ）で、発振軸は02′−01′である。Here, when S1 and S2 are compared, it is S2 that the degree of axis deviation is greater. Therefore, first, the angle of M2 is adjusted so as to minimize the axis deviation output of S2, and the state is shown in FIG. 6B, and the oscillation axis is 02'-01 '.
この第５図（ｂ）のような場合、レーザビームはM2の設
定中心から出力されるが、設定光軸Ｌ−Ｌ′とは傾きが
あり一致していない。In the case of FIG. 5 (b), the laser beam is output from the set center of M2, but it does not match the set optical axis L-L 'because of the inclination.
この状態から、M1とM2を以下の（１）式の比例関係即ち （R1が無限大（平面ミラー）の場合はΔθ２／Δθ１＝
−１） の比例関係を満しながら変位させると、S2における「軸
ずれ＝０」の状態は固定される。これに対して、S1をバ
ランスさせ、S2に着目しつつM1,M2を比例角度調整させ
るときは、M1,M2を以下の（２）式に基づいて比例角度
調整すれば良い。From this state, M1 and M2 are expressed by the proportional relationship of the following formula (1), that is, (When R 1 is infinity (plane mirror), Δθ 2 / Δθ 1 =
When the displacement is performed while satisfying the proportional relationship of -1), the state of "axis deviation = 0" in S2 is fixed. On the other hand, when S1 is balanced and M1 and M2 are proportionally adjusted while paying attention to S2, it is sufficient to adjust M1 and M2 based on the following equation (2).
このようにしてレーザビームの発振光軸を01″−02″と
し、設定光軸Ｌ−Ｌ′に一致させた第５図（ｃ）に示す
状態とできる。 In this way, the oscillation optical axis of the laser beam is set to 01 ″ -02 ″, and the state shown in FIG. 5C in which the oscillation optical axis is aligned with the set optical axis LL ′ can be obtained.
さらに、上記のようなミラーの変化角度を所定の比とし
て前記角度修正手段を駆動することによつてM1,M2の傾
斜角度が決定される。即ち、駆動電源56,56からのパル
スを受けて一定の角度回転するステツピングモータ53,5
3の角度をギヤー52,52によつて減速し、マイクロメータ
ヘツド54,54を回転・直進させることによつて１パルス
当りのM1,M2の傾きが決まる。従つてギヤー52の減速比
を前記式（１）あるいは（２）にしたがつて各々のM1,M
2に対して予め決めておけば、第５図（ｂ）→（ｃ）の
制御ができる。Further, the tilt angles of M1 and M2 are determined by driving the angle correction means with the change angle of the mirror as a predetermined ratio. That is, the stepping motors 53, 5 that rotate by a certain angle in response to the pulses from the driving power supplies 56, 56
The angles of 3 are decelerated by the gears 52 and 52, and the inclinations of M1 and M2 per pulse are determined by rotating and moving the micrometer heads 54 and 54 straight. Therefore, according to the reduction ratio of the gear 52 according to the above equation (1) or (2),
If 2 is determined in advance, the control of FIG. 5 (b) → (c) can be performed.
なお、上記実施例では、共振器内部に１対の軸ずれセン
サー70を設置したが、その一方、あるいは両方を外部ビ
ーム取出し側に設置しても良いことは明らかである。In the above embodiment, the pair of axis shift sensors 70 is installed inside the resonator, but it is clear that one or both of them may be installed on the external beam extraction side.
また、２つのミラー5,6の角度を同時にかえなくとも、
交互に前記式（１）または（２）によつて角度調整して
も良い。Moreover, even if the angles of the two mirrors 5 and 6 are not changed at the same time,
Alternatively, the angle may be adjusted by the formula (1) or (2).
＜発明の効果＞ 以上説明したように本発明は、レーザ発振器内の一方の
開口によりメインビームが切り取られ発生した光がゲイ
ン空間内で増幅され対向側の開口外周に到達する回折光
を検出する構成を基本概念として構成したから、レーザ
発振状態で、実ラインでレーザ加工中にも常に共振器の
状態を監視することができると共に、小反射鏡も必要と
せず、工業的な応用に際して有効的な技術である。又、
レーザ共振器を構成する２つのミラーの角度を予め定め
られた一定の比で変化させる手段を採用したので、簡
便，確実に常に最適のレーザビームを得ることができる
効果がある。<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the light generated by cutting off the main beam by one of the openings in the laser oscillator is amplified in the gain space, and the diffracted light reaching the outer circumference of the opening on the opposite side is detected. Since the configuration is based on the basic concept, it is possible to constantly monitor the state of the resonator in the laser oscillation state even during laser processing on the real line, and it does not require a small reflecting mirror, which is effective for industrial applications. Technology. or,
Since the means for changing the angles of the two mirrors constituting the laser resonator at a predetermined constant ratio is adopted, there is an effect that an optimum laser beam can be always obtained easily and surely.
第１図は従来のレーザ装置の一例を示す構成図、第２図
〜第６図は本発明のレーザ装置の１実施例に係り、第２
図は構成図、第３図はその軸ずれセンサー部分の構造
図、第４図はビームの強度分布を示す説明図、第５図
（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれミラー調整手段の説
明をするための図、第６図はミラーの角度修正手段を示
す図である。 ４…放電空間、５…部分反射ミラー、６…全反射ミラ
ー、７…アパーチャ、９…レーザビーム、53…ステツピ
ングモータ、54…マイクロメータヘツド、56…駆動電
源、58…支点、70…軸ずれセンサー、71…受光素子FIG. 1 is a block diagram showing an example of a conventional laser device, and FIGS. 2 to 6 relate to an embodiment of the laser device of the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram, FIG. 3 is a structural diagram of an axis deviation sensor portion thereof, FIG. 4 is an explanatory diagram showing a beam intensity distribution, and FIGS. 5 (a), (b) and (c) are mirror adjusting means, respectively. 6 is a diagram for explaining the angle correction means of the mirror. 4 ... Discharge space, 5 ... Partial reflection mirror, 6 ... Total reflection mirror, 7 ... Aperture, 9 ... Laser beam, 53 ... Stepping motor, 54 ... Micrometer head, 56 ... Driving power supply, 58 ... Support point, 70 ... Axis Deviation sensor, 71 ... Light receiving element
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 周治 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (72)発明者 葛本 昌樹 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社応用機器研究所内 (56)参考文献 特開 昭58−93294（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−115716（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭57−19583（ＪＰ，Ｂ２) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shuji Ogawa 8-1-1 Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City, Hyogo Prefecture Sanryu Electric Co., Ltd. Applied Equipment Research Laboratory (72) Inventor Masaki Kuzumoto 8 Tsukaguchi Honcho, Amagasaki City, Hyogo Prefecture 1-1-1 Sanritsu Electric Co., Ltd. Applied Equipment Research Laboratory (56) Reference JP 58-93294 (JP, A) Actual development S58-115716 (JP, U) JP 57-19583 (JP, B2)
Claims (1)
してなるレーザ共振器と共振器内のモードを選択するた
めのアパーチャを備えたレーザ装置において、前記レー
ザ共振器内でアパーチャにより発生されたレーザビーム
のメインビームの回折光を検出することによって該レー
ザビームの光軸と設定光軸との軸ずれ度を検知する軸ず
れ検知手段を前記第１ミラーと第２ミラー近傍のレーザ
ビームの裾野に当たる円周上に設けるとともに、該軸ず
れ検知手段からの信号に基づいて前記第１ミラーと第２
ミラーの設置角度を修正する角度修正手段を設けたこと
を特徴とするレーザ装置。1. A laser device comprising a laser resonator having a first mirror and a second mirror facing each other and an aperture for selecting a mode in the resonator, wherein the aperture is provided in the laser resonator. Axis deviation detecting means for detecting the degree of axis deviation between the optical axis of the laser beam and the set optical axis by detecting the diffracted light of the main beam of the generated laser beam is provided near the first mirror and the second mirror. The first mirror and the second mirror are provided on the circumference corresponding to the skirt of the beam, and based on the signal from the axis deviation detecting means.
A laser device comprising an angle correction means for correcting the installation angle of a mirror.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031763A JPH0691293B2 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031763A JPH0691293B2 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176284A JPS60176284A (en) | 1985-09-10 |
| JPH0691293B2 true JPH0691293B2 (en) | 1994-11-14 |
Family
ID=12340069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59031763A Expired - Lifetime JPH0691293B2 (en) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | Laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691293B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2539223B2 (en) * | 1987-07-01 | 1996-10-02 | 三菱電機株式会社 | Laser device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022264B2 (en) * | 1980-07-10 | 1985-05-31 | 工藤 和子 | Vacuum drying equipment |
| JPS5893294A (en) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Hitachi Ltd | Laser oscillator |
| JPS58115716U (en) * | 1982-01-29 | 1983-08-08 | 株式会社日立製作所 | Optical axis automatic adjustment device |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP59031763A patent/JPH0691293B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60176284A (en) | 1985-09-10 |
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