JPH09277073A - High output laser transmission method and device therefor - Google Patents
High output laser transmission method and device thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、切断、溶接等のレ
ーザ加工において利用される高出力レーザ伝送方法及び
その装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high power laser transmission method and apparatus used in laser processing such as cutting and welding.
【０００２】[0002]
【従来の技術】高出力レーザを用いるレーザ加工装置の
構成として、レーザ発振器を固定して加工ヘッドを移動
させる形式がある。このような形式のレーザ加工装置で
は、加工に用いる高出力レーザ（以下、「加工レーザ」
と称する）を発振器から加工ヘッドまで伝送する必要が
ある。しかし、高出力の加工レーザは光ファイバでは伝
送不能であり、ミラーなどを組合わせた光学系によって
伝送しなければならない。2. Description of the Related Art As a configuration of a laser processing apparatus using a high-power laser, there is a type in which a laser oscillator is fixed and a processing head is moved. In such a type of laser processing apparatus, a high-power laser used for processing (hereinafter, "processing laser"
Called) from the oscillator to the machining head. However, a high-power processing laser cannot be transmitted by an optical fiber, and must be transmitted by an optical system that combines a mirror and the like.
【０００３】このレーザ伝送光学系において、レーザビ
ームが正確に伝送されるように、ミラー等の位置を調整
することは極めて重要である。しかし、加工レーザは出
力が数kW〜数１０kWと大きく、被加工物に集光される前
の比較的出力密度の小さい状態であっても、検出用セン
サを破壊することなくビームの位置を検出することは不
可能である。そのため、加工レーザを低出力・可視光レ
ーザであるＨｅ−Ｎｅレーザに切り替えて、目視により
Ｈｅ−Ｎｅレーザの光路を確認しつつ、ミラー等の位置
を調整していた。In this laser transmission optical system, it is extremely important to adjust the positions of mirrors and the like so that the laser beam is accurately transmitted. However, the processing laser has a large output of several kW to several tens of kW, and even if the output density is relatively small before being focused on the workpiece, the beam position can be detected without destroying the detection sensor. It is impossible to do. Therefore, the processing laser is switched to a He-Ne laser that is a low-power visible light laser, and the positions of the mirrors and the like are adjusted while visually confirming the optical path of the He-Ne laser.
【０００４】しかし、この従来の方法には、加工レーザ
照射中の加工レーザ伝送経路を測定していないため、加
工レーザ照射中にミラーの位置・角度が振動等によって
変動して伝送経路が正規の経路から外れても、これを検
知し、修正することができないという欠点があった。However, in this conventional method, since the processing laser transmission path during the processing laser irradiation is not measured, the position / angle of the mirror fluctuates due to vibration or the like during the processing laser irradiation and the transmission path becomes normal. There is a drawback in that even if the vehicle deviates from the route, it cannot be detected and corrected.
【０００５】この欠点を解決した方法の一つに、特願平
７−３１８４１６号に提案されているように加工レーザ
と同時にガイドレーザを伝送し、ガイドレーザの位置変
動をもって加工レーザの位置変動とみなし、加工レーザ
照射中にガイドレーザの位置に応じてミラーの位置・角
度を調整する方法がある。As one of the methods for solving this drawback, a guide laser is transmitted simultaneously with a processing laser as proposed in Japanese Patent Application No. 7-318416, and the position fluctuation of the guide laser causes a change in the position of the processing laser. There is a method of adjusting the position and angle of the mirror according to the position of the guide laser during irradiation of the processing laser.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】高出力レーザを伝送す
る光学系には反射形光学部品、中でも表面に金蒸着を施
して表面の酸化を防ぐと共に、裏面を水冷して放熱を容
易にした全反射ミラーを用いるのが一般的である。しか
しミラー裏面を水冷しても、ミラー表面からの入熱の影
響を完全に排除することは困難であり、図１に示すよう
にミラー表面は凸面形状に熱変形する。The optical system for transmitting a high-power laser is a reflection type optical component, in particular, gold is vapor-deposited on the surface to prevent oxidation of the surface, and the back surface is water-cooled to facilitate heat dissipation. It is common to use a reflecting mirror. However, even if the rear surface of the mirror is water-cooled, it is difficult to completely eliminate the influence of heat input from the front surface of the mirror, and as shown in FIG. 1, the front surface of the mirror is thermally deformed into a convex shape.
【０００７】図２にこのミラー表面の熱変形をシミュレ
ーションした結果を示す。シミュレーションの条件は、
入射ビームは径９０mmの４５kWＣＯ2 レーザ、ミラー表
面吸収率２％、ミラー背面冷却水温度３５℃、雰囲気温
度３５℃、である。図２に示すように、ＣＯ2 レーザ照
射範囲の外側ではミラー表面はほぼ一定の勾配を持つ斜
面となっている。FIG. 2 shows the result of simulating the thermal deformation of the mirror surface. The simulation conditions are
The incident beam is a 45 kW CO 2 laser having a diameter of 90 mm, a mirror surface absorptivity of 2%, a mirror back surface cooling water temperature of 35 ° C., and an ambient temperature of 35 ° C. As shown in FIG. 2, the mirror surface is a slope having a substantially constant gradient outside the CO 2 laser irradiation range.
【０００８】加工レーザと同時にガイドレーザを伝送す
る場合、加工レーザはミラー中央部で反射・伝送される
ためミラー表面の熱変形が反射後の光路に与える影響は
少ないが、ガイドレーザはミラーの加工レーザ照射範囲
の外側で反射されるため、ミラー表面の熱変形が反射後
の光路に少なからず影響を与える。前述のシミュレーシ
ョンによれば、ミラー周辺部に生じる傾斜の角度は約
０．１７mradである。したがって、本来加工レーザと平
行に伝送されるはずのガイドレーザはの反射方向は加工
レーザの反射方向に対して約０．３４mradずれることに
なる。When the guide laser is transmitted at the same time as the processing laser, the processing laser is reflected and transmitted at the central portion of the mirror, so that thermal deformation of the mirror surface has little influence on the optical path after reflection, but the guide laser processes the mirror. Since the light is reflected outside the laser irradiation range, thermal deformation of the mirror surface has a considerable influence on the optical path after reflection. According to the above-mentioned simulation, the angle of inclination generated around the mirror is about 0.17 mrad. Therefore, the reflection direction of the guide laser, which is supposed to be transmitted in parallel with the processing laser, deviates by about 0.34 mrad from the reflection direction of the processing laser.
【０００９】図３は、図２に示したように熱変形したミ
ラー表面で反射されたガイドレーザが、３５ｍ伝送後に
正規の伝送位置からどれだけずれるかを示したシミュレ
ーション結果である。加工レーザとガイドレーザの間隔
にもよるが、伝送後の加工レーザとガイドレーザの位置
には約１０．０〜１１．５mmものずれが生じる。したが
って、ガイドレーザの位置変動をもって加工レーザの位
置変動とみなす制御系においては、加工レーザが正規の
経路で伝送されていても３５ｍ伝送後にはガイドレーザ
の位置が約１０．０〜１１．５mmずれているものと検出
されてしまう。この位置変動を修正するべくミラーの位
置・角度が調整される結果、加工レーザの伝送に著しい
ずれが生じてしまう。FIG. 3 is a simulation result showing how much the guide laser reflected by the mirror surface thermally deformed as shown in FIG. 2 deviates from the regular transmission position after 35 m transmission. Although depending on the distance between the processing laser and the guide laser, a deviation of about 10.0 to 11.5 mm occurs between the positions of the processing laser and the guide laser after transmission. Therefore, in the control system that regards the position fluctuation of the guide laser as the position fluctuation of the processing laser, even if the processing laser is transmitted through the regular path, the position of the guide laser is deviated by about 10.0 to 11.5 mm after 35 m transmission. Will be detected. As a result of adjusting the position and angle of the mirror to correct this position fluctuation, a significant deviation occurs in the transmission of the processing laser.
【００１０】本発明は、高出力レーザのエネルギーによ
って伝送ミラーに変形が生じても、加工レーザを正確に
伝送することができる高出力レーザ伝送方法及び装置を
提供するものである。The present invention provides a high-power laser transmission method and device capable of accurately transmitting a processing laser even if the transmission mirror is deformed by the energy of the high-power laser.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明の高出力レーザ
伝送方法は、高出力レーザを所定の位置に伝送する方法
において、高出力レーザを伝送すると同時に高出力レー
ザと光軸が平行なガイドレーザを複数本伝送し、各ガイ
ドレーザの光路に生じたずれをセンサにより検出し、高
出力レーザの照射面に形成される複数のガイドレーザ照
射点の幾何学的重心位置偏差を算出し、その結果に基づ
いてミラーの角度および位置の少なくとも一つを調整す
ることを特徴としている。A high-power laser transmission method of the present invention is a method for transmitting a high-power laser to a predetermined position, in which a high-power laser is transmitted and a guide laser whose optical axis is parallel to the high-power laser is transmitted. Of multiple guide lasers, the deviations in the optical path of each guide laser are detected by a sensor, and the geometrical barycentric position deviations of the guide laser irradiation points formed on the irradiation surface of the high-power laser are calculated. It is characterized in that at least one of the angle and the position of the mirror is adjusted based on
【００１２】上記高出力レーザ伝送方法において、ガイ
ドレーザ照射点が高出力レーザ照射点に対し対称となる
ように、または照射面上の高出力レーザ照射点を中心と
する円周上に等間隔となるようにガイドレーザを配置す
るようにしてもよい。In the above high-power laser transmission method, the guide laser irradiation points are symmetrical with respect to the high-power laser irradiation point, or the guide laser irradiation points are arranged at equal intervals on the circumference centered on the irradiation surface. You may make it arrange | position a guide laser so that it may become.
【００１３】また、この発明の高出力レーザ伝送装置
は、高出力レーザ発振器と、複数のガイドレーザ発振器
と、角度が調整可能なレーザ伝送可動ミラーと、レーザ
伝送可動ミラーの出射側にあって高出力レーザと光軸を
平行にして伝送される各ガイドレーザの位置を検出する
センサと、センサからの各ガイドレーザの位置信号に基
づいて高出力レーザの光軸に垂直な照射面に形成される
複数のガイドレーザ照射点の幾何学的重心位置を算出
し、複数のガイドレーザ照射点の幾何学的重心位置に基
づき高出力レーザの位置を算出する信号処理装置と、信
号処理装置からの高出力レーザの位置信号に応じてレー
ザ伝送可動ミラーを調整するミラー調整手段とを備えた
ことを特徴としている。The high-power laser transmission device of the present invention includes a high-power laser oscillator, a plurality of guide laser oscillators, a laser-transmission movable mirror whose angle can be adjusted, and a high-power laser transmission device on the emitting side of the laser-transmission movable mirror. A sensor for detecting the position of each guide laser transmitted in parallel with the optical axis of the output laser, and formed on an irradiation surface perpendicular to the optical axis of the high output laser based on the position signal of each guide laser from the sensor. A signal processing device that calculates the geometrical barycentric positions of a plurality of guide laser irradiation points and calculates the position of a high-power laser based on the geometrical barycentric positions of a plurality of guide laser irradiation points, and a high output from the signal processing device. Mirror adjusting means for adjusting the laser transmission movable mirror according to the position signal of the laser.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】この発明の高出力レーザ伝送方法
及び装置は、主としてレーザ加工装置において用いられ
る。ここで、レーザ加工装置とは、高出力レーザビーム
を被加工物に集光照射して、溶接、切断等のレーザ加工
を行う装置をいう。レーザ加工はオンラインで移動する
被加工物に行うようにしても、オフラインで被加工物を
固定して行ってもよい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A high-power laser transmission method and apparatus according to the present invention is mainly used in a laser processing apparatus. Here, the laser processing apparatus refers to an apparatus that focuses and irradiates a workpiece with a high-power laser beam to perform laser processing such as welding and cutting. The laser processing may be performed on a workpiece moving online, or may be performed while the workpiece is fixed offline.
【００１５】加工に用いる高出力レーザとしては、例え
ばＣＯ2 レーザが適している。加工レーザはレーザ発振
器から加工ヘッドまで反射形光学部品や透過形光学部品
等からなる光学系によって伝送され、加工ヘッドに設け
られた集光光学素子によって被加工物上に集光される。
加工点を移動させながら加工を行う場合には、レーザ発
振器は固定して、加工ヘッドを移動させて行う。A CO 2 laser, for example, is suitable as a high-power laser used for processing. The processing laser is transmitted from the laser oscillator to the processing head by an optical system including reflective optical components, transmissive optical components, and the like, and is focused on a workpiece by a focusing optical element provided in the processing head.
When processing is performed while moving the processing point, the laser oscillator is fixed and the processing head is moved.
【００１６】この発明では、光学系に加工レーザと同時
に複数本のガイドレーザを伝送させる。ガイドレーザは
加工レーザと光軸を平行にして、レーザ伝送装置の上流
側から入射させる。例えば、レーザ伝送装置の入側の加
工レーザ経路の近傍にビーム合成ミラーを設け、このビ
ーム合成ミラーにガイドレーザ発振器からのビームを照
射して反射させ、加工レーザと同時にレーザ伝送装置に
導入するようにしてもよい。In the present invention, a plurality of guide lasers are transmitted to the optical system simultaneously with the processing laser. The guide laser has its optical axis parallel to the processing laser and is incident from the upstream side of the laser transmission device. For example, a beam synthesizing mirror is provided in the vicinity of the processing laser path on the entrance side of the laser transmission device, and a beam from a guide laser oscillator is radiated and reflected on this beam synthesizing mirror to be introduced into the laser transmission device at the same time as the processing laser. You may
【００１７】ガイドレーザとしては、出力が数mW程度の
レーザが好ましい。過度に高出力のガイドレーザを用い
るとガイドレーザがセンサを破壊し、低出力のものでは
センサで正確に検出できないからである。例えば、出力
５mW程度のＨｅ−Ｎｅレーザを用いるとよい。As the guide laser, a laser having an output of several mW is preferable. If a guide laser with an excessively high output is used, the guide laser will destroy the sensor, and a sensor with a low output cannot accurately detect the sensor. For example, a He-Ne laser with an output of about 5 mW may be used.
【００１８】加工レーザと複数のガイドレーザとは、レ
ーザ伝送装置内を反射型光学部品、例えばレーザ伝送ミ
ラーを介して同時に伝送される。本発明では、レーザ伝
送装置内部にガイドレーザの位置変動を検出するセンサ
を設けている。加工レーザ照射中にレーザ伝送ミラーの
位置・角度が振動等によって変動して加工レーザ伝送経
路に変動が生じた場合、平行に伝送されているガイドレ
ーザにも同様の位置変動が生じる。The processing laser and the plurality of guide lasers are simultaneously transmitted in the laser transmission device through a reflection type optical component such as a laser transmission mirror. According to the present invention, a sensor is provided inside the laser transmission device to detect a position variation of the guide laser. If the position / angle of the laser transmission mirror fluctuates due to vibration or the like during irradiation of the processing laser and the machining laser transmission path fluctuates, the same position fluctuation also occurs in the guide lasers transmitted in parallel.
【００１９】センサは、ガイドレーザの伝送される光路
上、レーザ伝送ミラーの出射側に設ける。レーザ伝送ミ
ラーの出射側に出射側ミラーを設け、この出射側ミラー
とセンサとを一体にしてもよい。またセンサには、フォ
トダイオード等の光電変換素子からなる２次元イメージ
センサ、あるいはＣＣＤカメラ等を用いる。センサは、
ガイドレーザの位置を検出して、その位置を位置信号と
して出力する。また、本発明ではガイドレーザを複数用
いているが、センサは各ガイドレーザの位置変動を各々
独立して検出できるように配置する。また、各ガイドレ
ーザの位置変動を検出する位置は、加工レーザ光軸と垂
直な平面上にあることが望ましい。The sensor is provided on the exit side of the laser transmission mirror on the optical path through which the guide laser is transmitted. An emission side mirror may be provided on the emission side of the laser transmission mirror, and the emission side mirror and the sensor may be integrated. A two-dimensional image sensor including a photoelectric conversion element such as a photodiode or a CCD camera is used as the sensor. The sensor is
The position of the guide laser is detected and the position is output as a position signal. Further, although a plurality of guide lasers are used in the present invention, the sensor is arranged so as to be able to detect the position variation of each guide laser independently. Further, it is desirable that the position for detecting the position variation of each guide laser is on a plane perpendicular to the optical axis of the processing laser.
【００２０】レーザ伝送ミラー表面で加工レーザのエネ
ルギーが１〜２％吸収され、ミラー表面は図２のシミュ
レーション結果が示すように熱変形する。その結果、加
工レーザの反射方向は熱変形の影響を受けないものの、
加工レーザの外側で反射されるガイドレーザはこの影響
を受ける。具体的には、反射ガイドレーザは反射加工レ
ーザに対して発散角を持つようになる。したがって、セ
ンサが検出するガイドレーザの位置はこの発散角により
加工レーザからずれており、ガイドレーザの位置から直
接的に加工レーザの位置を知ることはできない。Energy of the processing laser is absorbed by 1 to 2% on the laser transmission mirror surface, and the mirror surface is thermally deformed as shown by the simulation result of FIG. As a result, the reflection direction of the processing laser is not affected by thermal deformation,
The guide laser reflected outside the processing laser is affected by this. Specifically, the reflection guide laser has a divergence angle with respect to the reflection processing laser. Therefore, the position of the guide laser detected by the sensor deviates from the processing laser due to this divergence angle, and the position of the processing laser cannot be directly known from the position of the guide laser.
【００２１】そこで本発明は、複数のガイドレーザを用
いて、各ガイドレーザの光路に生じたずれをセンサによ
り検出し、当該ずれ間でミラーの変形による影響を補償
して高出力レーザの光路に生じたずれを算出し、算出し
た高出力レーザの光路のずれを修正するようにした。Therefore, according to the present invention, a plurality of guide lasers are used to detect a deviation caused in the optical path of each guide laser by a sensor, and the influence of the deformation of the mirror is compensated between the deviations so that the optical path of the high output laser is obtained. The generated deviation was calculated and the calculated deviation of the optical path of the high-power laser was corrected.
【００２２】レーザ伝送ミラーの熱変形により各ガイド
レーザは発散するが、図２のシミュレーション結果が示
すように熱変形ミラーの斜面の角度はほぼ一定であり、
その発散角はほぼ等しい。したがって、レーザ光軸に対
して垂直な平面上で各ガイドレーザの位置を検出すれ
ば、各ガイドレーザのミラー熱変形による移動量は均等
である。したがって、２本のガイドレーザがレーザ光軸
に対し対称に配置されている２本の場合にはその中心の
位置を算出すれば、ミラー熱変形による発散角の影響が
相殺され、加工レーザの位置を知ることができる。ま
た、ガイドレーザを３本以上用いる場合には、ガイドレ
ーザ照射点が高出力レーザ照射点に対し対称となるよう
に、または照射面上の高出力レーザ照射点を中心とする
円周上に等間隔となるようにガイドレーザを配置すれば
よい。Although each guide laser diverges due to thermal deformation of the laser transmission mirror, the angle of the slope of the thermal deformation mirror is almost constant as shown by the simulation result of FIG.
The divergence angles are almost equal. Therefore, if the position of each guide laser is detected on a plane perpendicular to the laser optical axis, the amount of movement of each guide laser due to thermal deformation of the mirror is uniform. Therefore, when the two guide lasers are arranged symmetrically with respect to the laser optical axis, the influence of the divergence angle due to the thermal deformation of the mirrors is canceled out by calculating the position of the center, and the position of the processing laser is offset. You can know. When three or more guide lasers are used, the guide laser irradiation point should be symmetrical with respect to the high power laser irradiation point, or on the circumference centered on the high power laser irradiation point on the irradiation surface. The guide lasers may be arranged at intervals.
【００２３】図２において示されているように、熱変形
したミラーによるガイドレーザの移動量はガイドレーザ
の位置により多少変動するが、上述のようにガイドレー
ザのと高出力レーザとを配置すれば、この変動の影響を
排除することもできる。As shown in FIG. 2, the amount of movement of the guide laser due to the thermally deformed mirror slightly varies depending on the position of the guide laser, but if the guide laser and the high power laser are arranged as described above. , The effect of this fluctuation can be eliminated.
【００２４】センサから出力された各ガイドレーザの位
置信号は、加工レーザ位置算出装置に伝達される。加工
レーザ位置算出装置は、各ガイドレーザの位置信号から
加工レーザの位置を算出し、これを加工レーザ位置信号
として伝送ミラー調整手段に伝達する。伝送ミラー調整
手段は、コントローラ、モータ、ミラー回転および／ま
たは変位機構などからなる。例えば、制御モータにコン
トローラを備えたパルスモータを用いて、加工レーザ位
置信号をコントローラに出力し、加工レーザのずれを算
出させて、これを修正するべく制御モータを制御して、
伝送ミラーを調整するようにしてもよい。尚、伝送ミラ
ーの調整とは、ミラー角度及びミラー位置の少なくとも
一つを変更させることをいう。The position signal of each guide laser output from the sensor is transmitted to the processing laser position calculating device. The processing laser position calculating device calculates the position of the processing laser from the position signal of each guide laser and transmits this to the transmission mirror adjusting means as a processing laser position signal. The transmission mirror adjusting means includes a controller, a motor, a mirror rotation and / or displacement mechanism, and the like. For example, using a pulse motor equipped with a controller for the control motor, the processing laser position signal is output to the controller, the deviation of the processing laser is calculated, and the control motor is controlled to correct this,
The transmission mirror may be adjusted. Note that adjusting the transmission mirror means changing at least one of the mirror angle and the mirror position.
【００２５】また、レーザ伝送装置の出側に出射側ミラ
ーを設ける場合には、出射側ミラーの位置をモニターす
る手段を設けて、上述と同様の手順により、出射側ミラ
ーの位置に応じて伝送ミラーの調整を行うようにしても
よい。Further, when the emission side mirror is provided on the emission side of the laser transmission device, means for monitoring the position of the emission side mirror is provided, and transmission is performed according to the position of the emission side mirror by the same procedure as described above. The mirror may be adjusted.
【００２６】[0026]
【実施例】図４に示すように配置した装置により、図２
及び図３に示したシミュレーション結果の検証実験を行
った。EXAMPLE FIG. 2 shows an apparatus arranged as shown in FIG.
And the verification experiment of the simulation result shown in FIG. 3 was conducted.
【００２７】［実験１］直径３００mm、ミラー背面冷却
水温度３０℃、表面に金蒸着を施したレーザ伝送ミラー
に、径９０mmの４５kWＣＯ2 レーザと、ＣＯ2 レーザ光
軸と１００mmの間隔を持たせたＣＯ2 レーザと平行な出
力２mWのＨｅＮｅレーザとを同時に照射し、反射させ
た。ミラーの位置・角度に変動は与えなかったが、ミラ
ー熱変形の影響を受けたＨｅＮｅレーザはミラーで反射
してから３５m 伝送後、１１mmレーザ光軸と反対の方向
にずれており、この値は図２及び図３に示したシミュレ
ーション結果からの予測値によく一致する。[0027] [Experiment 1] diameter 300 mm, mirror backside cooling water temperature 30 ° C., the laser transmission mirror gold-deposited on the surface, to have a 45KWCO 2 laser diameter 90 mm, the distance between the CO 2 laser beam axis and 100mm The CO 2 laser and the parallel HeNe laser with an output of 2 mW were simultaneously irradiated and reflected. Although the position and angle of the mirror did not change, the HeNe laser affected by thermal deformation of the mirror was reflected by the mirror, transmitted 35 m, and then shifted in the direction opposite to the 11 mm laser optical axis. It is in good agreement with the predicted value from the simulation results shown in FIGS.
【００２８】［実験２］図５（ａ）及び（ｂ）に示すよ
うにＣＯ2 レーザとＨｅＮｅレーザを配置して、レーザ
伝送ミラーに照射し、反射させた。ＣＯ2 レーザ、Ｈｅ
Ｎｅレーザ、レーザ伝送ミラーは実験１で使用したもの
と同様である。図５（ａ）に示すように２本のＨｅＮｅ
レーザを配置した場合の３５m 伝送後に各ガイドレーザ
に生じた変動を表１に、図５（ｂ）に示すように４本の
ＨｅＮｅレーザを配置した場合の変動を表２に示す。ど
ちらの場合も、ミラーの位置・角度に変動を与えなかっ
たにも関わらず各ガイドレーザは大きく変動している
が、本発明の方法にしたがってガイドレーザの幾何学的
重心の位置を算出すれば、その位置はほとんど変動せず
ミラー熱変形の影響を受けていないことがわかる。[Experiment 2] A CO 2 laser and a HeNe laser were arranged as shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), and a laser transmission mirror was irradiated with the laser and reflected. CO 2 laser, He
The Ne laser and the laser transmission mirror are the same as those used in Experiment 1. Two HeNe as shown in FIG.
Table 1 shows the fluctuations that occurred in each guide laser after 35 m transmission when the lasers were arranged, and Table 2 shows the fluctuations when four HeNe lasers were arranged as shown in FIG. 5B. In each case, each guide laser largely fluctuates even if the position / angle of the mirror is not changed. However, if the position of the geometric center of gravity of the guide laser is calculated according to the method of the present invention, , It can be seen that the position hardly changes and is not affected by the thermal deformation of the mirror.
【表１】 [Table 1]
【表２】 [Table 2]
【００２９】図６は、本発明を用いたレーザ加工装置の
一例を示す模式的に示す斜視図である。レーザ加工装置
は、主として、レーザ供給源１、レーザ伝送ミラー群１
１〜１６、親台車３１、子台車４１、加工ヘッド２３、
光センサユニット５１、制御装置５３、ミラー姿勢調整
機構６１よりなっている。また、図中Ｗは被加工物を、
Ｌは加工レーザの光軸を、Ｇはガイドレーザの光軸をそ
れぞれ示している。FIG. 6 is a schematic perspective view showing an example of a laser processing apparatus using the present invention. The laser processing apparatus mainly includes a laser supply source 1 and a laser transmission mirror group 1
1 to 16, parent cart 31, child cart 41, processing head 23,
The optical sensor unit 51, the control device 53, and the mirror attitude adjusting mechanism 61 are included. Further, in the figure, W is a workpiece,
L indicates the optical axis of the processing laser, and G indicates the optical axis of the guide laser.
【００３０】被加工物Ｗは矢印方向に連続的に移動して
おり、これと同期して親台車３１が親台車レール３３上
を移動する。子台車４１は親台車３１上に設けられた子
台車レール４３上を被加工物の幅方向に移動する。親台
車３１の移動距離は最長３０m 、子台車４１の移動距離
は最長２m である。The workpiece W is continuously moving in the direction of the arrow, and in synchronization with this, the parent carriage 31 moves on the parent carriage rail 33. The sub trolley 41 moves on the sub trolley rail 43 provided on the main trolley 31 in the width direction of the workpiece. The maximum moving distance of the parent carriage 31 is 30 m, and the maximum moving distance of the slave carriage 41 is 2 m.
【００３１】レーザ供給源１から出射された加工レーザ
は、第１伝送ミラー１１、親台車３１上に設けた第２伝
送ミラー１２、子台車４１上に設けた第３伝送ミラー１
３、第４伝送ミラー１４、第５伝送ミラー１５、及び第
６伝送ミラー１６により伝送されて、パラボリックミラ
ー２１により集光され、加工ヘッド２３から被加工物Ｗ
の加工点に照射される。The processing laser emitted from the laser supply source 1 includes a first transmission mirror 11, a second transmission mirror 12 provided on a parent carriage 31, and a third transmission mirror 1 provided on a slave carriage 41.
3, transmitted by the fourth transmission mirror 14, the fifth transmission mirror 15, and the sixth transmission mirror 16, condensed by the parabolic mirror 21, and transmitted from the processing head 23 to the workpiece W.
Irradiated at the processing point.
【００３２】この装置では、レーザ供給源１から加工レ
ーザと同時に、光軸Ｇが加工レーザの光軸Ｌと平行なガ
イドレーザを４本出射し、第１伝送ミラー（レーザ伝送
可動ミラー）１１により伝送させる。この４本のガイド
レーザの位置を第２伝送ミラー１２の手前に設けた４台
の光センサユニット５１により検出して各ガイドレーザ
の位置信号を制御装置５３に出力する。制御装置５３か
らの制御信号によりミラー姿勢調整機構６１で第１伝送
ミラー１１の位置・角度を調整する。In this apparatus, simultaneously with the processing laser, four guide lasers whose optical axis G is parallel to the optical axis L of the processing laser are emitted from the laser supply source 1, and the first transmission mirror (laser transmission movable mirror) 11 is used. To transmit. The positions of the four guide lasers are detected by the four optical sensor units 51 provided in front of the second transmission mirror 12, and the position signals of the respective guide lasers are output to the control device 53. The position / angle of the first transmission mirror 11 is adjusted by the mirror attitude adjusting mechanism 61 according to a control signal from the control device 53.
【００３３】図７は、図６に示したレーザ加工装置で用
いられるレーザ供給源１を示した側面図である。このレ
ーザ供給源１は、加工レーザ発振器２、第１ミラー３、
コリメーションミラー４、ミラーシャッタ５、第２ミラ
ー６、４台のガイドレーザ発振器８、及びガイドレーザ
反射ミラー９からなっている。加工レーザ発振器２は出
力４５kWの連続波ＣＯ2 レーザ発振器であり、その出力
するレーザビームの径は１００mm、ビーム自体の発散角
は１〜２mradである。ガイドレーザ発振器８は出力５mW
のＨｅＮｅレーザ発振器で、ビームの径１０mm、ビーム
自体の発散角は０．１mradである。FIG. 7 is a side view showing the laser supply source 1 used in the laser processing apparatus shown in FIG. The laser supply source 1 includes a processing laser oscillator 2, a first mirror 3,
It comprises a collimation mirror 4, a mirror shutter 5, a second mirror 6, four guide laser oscillators 8 and a guide laser reflecting mirror 9. The processing laser oscillator 2 is a continuous wave CO 2 laser oscillator with an output of 45 kW, the diameter of the laser beam output from it is 100 mm, and the divergence angle of the beam itself is 1 to 2 mrad. Guide laser oscillator 8 output 5mW
The beam diameter of the HeNe laser oscillator is 10 mm, and the divergence angle of the beam itself is 0.1 mrad.
【００３４】このレーザ供給源１は、加工レーザを第１
ミラー３、コリメーションミラー４、第２ミラー６を介
して伝送し、レーザ加工装置へ供給する。その際に、第
２ミラー６の出側に設けたガイドレーザ反射ミラー９に
より、ガイドレーザ発振器８から出力された４本のガイ
ドレーザを、その光軸Ｇを加工レーザの光軸Ｌと平行に
なるようにして、加工レーザとともにレーザ加工装置へ
供給する。ガイドレーザ光軸Ｇは正方形に配置されてお
り、その幾何学的重心に加工レーザ光軸Ｌが配置されて
いる。ガイドレーザの光軸Ｇと加工レーザの光軸Ｌとの
間隔は８０mmである。なお、ミラーシャッタ５は、加工
中断時にコリメーションミラー４と第２ミラー６との間
で加工レーザを遮断する。This laser source 1 is a processing laser
The light is transmitted through the mirror 3, the collimation mirror 4, and the second mirror 6, and supplied to the laser processing device. At that time, the guide laser reflecting mirror 9 provided on the exit side of the second mirror 6 causes the four guide lasers output from the guide laser oscillator 8 to have their optical axes G parallel to the optical axis L of the processing laser. In this way, it is supplied to the laser processing apparatus together with the processing laser. The guide laser optical axis G is arranged in a square, and the processing laser optical axis L is arranged at the geometric center of gravity thereof. The distance between the optical axis G of the guide laser and the optical axis L of the processing laser is 80 mm. The mirror shutter 5 shuts off the processing laser between the collimation mirror 4 and the second mirror 6 when the processing is interrupted.
【００３５】図８は、図６に示したレーザ加工装置で用
いられる光センサユニット５１を示した側面図である。
この光センサユニット５１は、複数のフォトダイオード
を平面的に配列したエリアセンサ（２次元イメージセン
サ）であり、ガイドレーザの光路（Ｘ軸）上に垂直に配
置される。ガイドレーザのスポットをエリアセンサで検
出した映像信号をパルス信号に変換し、パルスの位相に
基づいてガイドレーザの光軸の水平（Ｙ軸）方向及び垂
直（Ｚ）方向位置を把握する。FIG. 8 is a side view showing an optical sensor unit 51 used in the laser processing apparatus shown in FIG.
The optical sensor unit 51 is an area sensor (two-dimensional image sensor) in which a plurality of photodiodes are arranged in a plane, and is arranged vertically on the optical path (X axis) of the guide laser. The video signal detected by the area sensor of the spot of the guide laser is converted into a pulse signal, and the horizontal (Y-axis) direction and the vertical (Z) position of the optical axis of the guide laser are grasped based on the phase of the pulse.
【００３６】この実施例の装置では、第２伝送ミラー１
２と光センサユニット５１とを一体に成形している。こ
のように配置することで、第１伝送ミラー１１に生じた
ずれだけでなく、親台車３１の振動等により生じる第２
伝送ミラー１２の位置等のずれも光センサユニット５１
により検出でき、第１伝送ミラー１１の調整によりこの
ずれを修正することができる。In the apparatus of this embodiment, the second transmission mirror 1
2 and the optical sensor unit 51 are integrally molded. By arranging in this way, not only the displacement generated in the first transmission mirror 11 but also the second displacement caused by the vibration of the parent carriage 31 or the like.
The shift of the position of the transmission mirror 12 or the like is caused by the optical sensor unit 51.
Can be detected, and the deviation can be corrected by adjusting the first transmission mirror 11.
【００３７】図９は、光センサユニット５１が出力した
電気信号を処理して第１伝送ミラー１１の姿勢を調整す
る制御装置５３及びミラー姿勢調整機構６１の構成図で
ある。光センサユニット５１からの各ガイドレーザ位置
の信号は、増幅器５４、サンプルホールド回路５５を経
て加工レーザ位置算出装置５２に出力される。第１伝送
ミラー１１の姿勢制御による自励振動を防止するため
に、サンプルホールド回路５５のタイミングは親台車３
１の移動速度に応じて設定する。上記タイミングは、親
台車の移動速度や制御系の特性によっては０．１〜０．
５sec に固定することもできる。FIG. 9 is a block diagram of the control device 53 and the mirror attitude adjusting mechanism 61 for adjusting the attitude of the first transmission mirror 11 by processing the electric signal output from the optical sensor unit 51. The signal of each guide laser position from the optical sensor unit 51 is output to the processing laser position calculation device 52 via the amplifier 54 and the sample hold circuit 55. In order to prevent self-excited vibration due to the attitude control of the first transmission mirror 11, the timing of the sample hold circuit 55 is set to the parent carriage 3.
Set according to the moving speed of 1. The above timing is 0.1 to 0. depending on the moving speed of the parent carriage and the characteristics of the control system.
It can be fixed at 5 seconds.
【００３８】加工レーザ位置算出装置５２は、各ガイド
レーザ光軸Ｇのずれを水平方向と垂直方向のそれぞれに
ついて演算し、その値からガイドレーザ光軸Ｇの幾何学
的重心の位置に生じた水平方向及び垂直方向のずれを算
出してモータコントローラ５６に位置信号として出力す
る。そして、モータコントローラ５６は、このずれの値
を加工レーザに生じているずれとみなして、第１パルス
モータ６３及び第２パルスモータ７２に制御信号を出力
する。この際、第２伝送ミラー１２の位置データと親台
車３１の移動速度データとをメインコントローラ５７を
介してモータコントローラ５６に導入して位置信号に修
正を加える。モータコントローラ５６は修正した位置信
号に応じて第１パルスモータ６３と第２パルスモータ７
２を駆動して第１伝送ミラー１１の姿勢調整を行い、加
工レーザ光軸のずれが修正される。The processing laser position calculating device 52 calculates the deviation of each guide laser optical axis G in each of the horizontal direction and the vertical direction, and from the calculated value, the horizontal position generated at the position of the geometric center of gravity of the guide laser optical axis G is calculated. The deviation between the direction and the vertical direction is calculated and output to the motor controller 56 as a position signal. Then, the motor controller 56 regards the value of this deviation as the deviation occurring in the processing laser and outputs a control signal to the first pulse motor 63 and the second pulse motor 72. At this time, the position data of the second transmission mirror 12 and the moving speed data of the parent carriage 31 are introduced into the motor controller 56 via the main controller 57 to correct the position signal. The motor controller 56 operates the first pulse motor 63 and the second pulse motor 7 according to the corrected position signal.
2 is driven to adjust the attitude of the first transmission mirror 11, and the deviation of the processing laser optical axis is corrected.
【００３９】図９に示すように、ミラー調整機構６１は
固定枠６２、第１回転枠７１、及び第２回転枠８１を備
えている。第１回転枠７１及び第２回転枠８１は、基準
状態で固定枠６２と平行になるように設定されている。
固定枠６２には、第１パルスモータ６３で駆動される水
平位置調整ねじ軸６４が取り付けられており、軸先端部
は第１回転枠７１にピン連結６６されている。水平方向
（紙面に対し垂直方向）に間隔をおいて、固定枠６２と
第１回転枠７１との間に第１コイルばね６８が取り付け
られている。第１回転枠７１は、固定枠６２に支持され
た第１支軸７９の回りに回転可能である。また、第１回
転枠７１には、第２パルスモータで駆動される垂直位置
調整ねじ軸７３が取り付けられており、軸先端部は第２
回転枠８１にピン連結７５されている。垂直方向に間隔
をおいて、第１回転枠７１と第２回転枠８１との間に第
２コイルばね７７が取り付けられている。第２回転枠８
１は、第１伝送ミラー１１が固定されており、第１回転
枠７１に支持された第２支軸８３の回りに回転可能であ
る。モータコントローラ５６からの制御信号で第１パル
スモータ６３及び第２パルスモータ７２が駆動される
と、水平位置調整ねじ軸６４及び垂直位置調整ねじ軸７
３がそれぞれ出入し、ガイドビームの位置に応じて第１
回転枠７１及び第２回転枠８１がそれぞれ回転して加工
ビームの光軸位置を修正する。As shown in FIG. 9, the mirror adjusting mechanism 61 includes a fixed frame 62, a first rotary frame 71, and a second rotary frame 81. The first rotating frame 71 and the second rotating frame 81 are set to be parallel to the fixed frame 62 in the reference state.
A horizontal position adjusting screw shaft 64 driven by a first pulse motor 63 is attached to the fixed frame 62, and a tip end of the shaft is connected to a first rotating frame 71 with a pin 66. A first coil spring 68 is mounted between the fixed frame 62 and the first rotating frame 71 at intervals in the horizontal direction (the direction perpendicular to the paper surface). The first rotating frame 71 is rotatable around a first support shaft 79 supported by the fixed frame 62. Further, a vertical position adjusting screw shaft 73 driven by a second pulse motor is attached to the first rotating frame 71, and a shaft tip portion thereof has a second position.
A pin connection 75 is connected to the rotary frame 81. A second coil spring 77 is mounted between the first rotating frame 71 and the second rotating frame 81 at intervals in the vertical direction. Second rotating frame 8
1, the first transmission mirror 11 is fixed, and the first transmission mirror 11 can rotate around the second support shaft 83 supported by the first rotating frame 71. When the first pulse motor 63 and the second pulse motor 72 are driven by the control signal from the motor controller 56, the horizontal position adjusting screw shaft 64 and the vertical position adjusting screw shaft 7
3 enter and exit, respectively, the first according to the position of the guide beam
The rotating frame 71 and the second rotating frame 81 rotate to correct the optical axis position of the processing beam.
【００４０】なお、以上伝送ミラーの角度を調整する場
合について説明したが、伝送ミラーの位置を調整する場
合も同様に、加工レーザの位置を調整できる。Although the case of adjusting the angle of the transmission mirror has been described above, the position of the processing laser can be adjusted in the same manner when the position of the transmission mirror is adjusted.
【００４１】[0041]
【発明の効果】本発明によれば、加工レーザのエネルギ
ー吸収によりレーザ伝送ミラーに熱変形が生じても、伝
送後の加工レーザの位置を正確に把握してこれを制御す
ることができるので、高出力の加工レーザを用いて正確
な加工を行うことができる。According to the present invention, even if the laser transmission mirror is thermally deformed due to energy absorption of the processing laser, the position of the processing laser after transmission can be accurately grasped and controlled. Accurate processing can be performed using a high-power processing laser.
【図１】ミラー表面の熱変形を模式的に示す図面であ
る。FIG. 1 is a drawing schematically showing thermal deformation of a mirror surface.
【図２】ミラー表面の熱変形をシミュレーションした結
果を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing a result of simulating thermal deformation of a mirror surface.
【図３】図２に示したように熱変形したミラー表面で反
射されたガイドレーザが、３５ｍ伝送後に正規の伝送位
置からどれだけずれるかを示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing how the guide laser reflected by the mirror surface which is thermally deformed as shown in FIG. 2 is displaced from the normal transmission position after 35 m transmission.
【図４】ミラー表面の熱変形によるガイドレーザの移動
量を求める実験装置の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of an experimental device for obtaining a movement amount of a guide laser due to thermal deformation of a mirror surface.
【図５】実験２におけるガイドレーザの配置を示す図面
である。（ａ）はガイドレーザを２本用いた場合を、
（ｂ）はガイドレーザを４本用いた場合を示す。5 is a drawing showing the arrangement of guide lasers in Experiment 2. FIG. (A) shows the case where two guide lasers are used,
(B) shows the case where four guide lasers are used.
【図６】本発明を用いたレーザ加工装置の一例を模式的
に示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view schematically showing an example of a laser processing apparatus using the present invention.
【図７】レーザ供給装置を示した側面図である。FIG. 7 is a side view showing a laser supply device.
【図８】伝送ミラーと光センサユニットとを示す側面図
である。FIG. 8 is a side view showing a transmission mirror and an optical sensor unit.
【図９】伝送ミラーの制御装置及びミラー姿勢調整機構
の構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram of a transmission mirror control device and a mirror attitude adjusting mechanism.
【符号の説明】 １レーザ供給源 ２ 加工レーザ発振器 ３ 第１ミラー ４ コリメーションミラー ５ ミラーシャッタ ６ 第２ミラー ８ ガイドレーザ発振器 ９ ガイドレーザ反射ミラー １１ 第１伝送ミラー １２ 第２伝送ミラー １３ 第３伝送ミラー １４ 第４伝送ミラー １５ 第５伝送ミラー １６ 第６伝送ミラー ２１ パラボリックミラー ２３ 加工ヘッド ３１ 親台車 ３３ 親台車レール ４１ 子台車 ４３ 子台車レール ５１ 光センサユニット ５３ 制御装置 ５４ 増幅器 ５５ サンプルホールド回路 ５６ モータコントローラ ６１ ミラー姿勢調整機構 ６２ 固定枠 ６３ 第１パルスモータ ６４ 水平位置調整ねじ軸 ６８ コイルばね ７１ 第１回転枠 ７２ 第２パルスモータ ７３ 垂直位置調整ねじ軸 ７７ コイルばね ８１ 第２回転枠 Ｌ 加工レーザ光軸 Ｇ ガイドレーザ光軸 Ｗ 被加工物[Explanation of reference numerals] 1 laser supply source 2 processing laser oscillator 3 first mirror 4 collimation mirror 5 mirror shutter 6 second mirror 8 guide laser oscillator 9 guide laser reflection mirror 11 first transmission mirror 12 second transmission mirror 13 third transmission Mirror 14 Fourth transmission mirror 15 Fifth transmission mirror 16 Sixth transmission mirror 21 Parabolic mirror 23 Processing head 31 Parent bogie 33 Parent bogie rail 41 Child truck 43 Child truck rail 51 Optical sensor unit 53 Controller 54 Amplifier 55 Sample hold circuit 56 Motor controller 61 Mirror attitude adjusting mechanism 62 Fixed frame 63 First pulse motor 64 Horizontal position adjusting screw shaft 68 Coil spring 71 First rotating frame 72 Second pulse motor 73 Vertical position adjusting screw shaft 77 Coil spring 81 Second rotating frame L L machining Leh Optical axis G guide laser optical axis W workpiece
フロントページの続き (72)発明者 城戸 基 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 南田 勝宏 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内Front Page Continuation (72) Inventor Motoki Kido 20-1 Shintomi, Futtsu City, Chiba Nippon Steel Co., Ltd.Technology Development Division (72) Inventor Katsuhiro Minami 20-1 Shintomi, Futtsu City, Chiba Shin Nippon Steel Co., Ltd. Technology Development Division
Claims (4)
送する方法において、高出力レーザを伝送すると同時に
高出力レーザと光軸が平行なガイドレーザを複数本伝送
し、各ガイドレーザの光路に生じたずれをセンサにより
検出し、高出力レーザの照射面に形成される複数のガイ
ドレーザ照射点の幾何学的重心位置偏差を算出し、その
結果に基づいてミラーの角度および位置の少なくとも一
つを調整することを特徴とする高出力レーザ伝送方法。1. A method for transmitting a high-power laser to a predetermined position by a mirror, wherein the high-power laser is transmitted, and at the same time, a plurality of guide lasers whose optical axes are parallel to the high-power laser are transmitted, and the guide laser is provided in the optical path. The generated deviation is detected by the sensor, and the geometrical barycentric position deviation of multiple guide laser irradiation points formed on the irradiation surface of the high-power laser is calculated, and based on the result, at least one of the angle and position of the mirror is calculated. A high-power laser transmission method, characterized in that:
に対し対称となるように、ガイドレーザを配置したこと
を特徴とする請求項１記載の高出力レーザ伝送方法。2. The high power laser transmission method according to claim 1, wherein the guide laser is arranged such that the guide laser irradiation point is symmetrical with respect to the high power laser.
心とする円周上に等間隔となるようにガイドレーザを配
置したことを特徴とする請求項１記載の高出力レーザ伝
送方法。3. The high-power laser transmission method according to claim 1, wherein guide lasers are arranged at equal intervals on a circumference of a circle centered on a high-power laser irradiation point on the irradiation surface.
ーザ発振器と、角度が調整可能なレーザ伝送可動ミラー
と、レーザ伝送可動ミラーの出射側にあって高出力レー
ザと光軸を平行にして伝送される各ガイドレーザの位置
を検出するセンサと、センサからの各ガイドレーザの位
置信号に基づいて高出力レーザの光軸に垂直な照射面に
形成される複数のガイドレーザ照射点の幾何学的重心位
置を算出し、複数のガイドレーザ照射点の幾何学的重心
位置に基づき高出力レーザの位置を算出する信号処理装
置と、信号処理装置からの高出力レーザの位置信号に応
じてレーザ伝送可動ミラーを調整するミラー調整手段と
を備えたことを特徴とする高出力レーザ伝送装置。4. A high-power laser oscillator, a plurality of guide laser oscillators, a laser-transmission movable mirror whose angle can be adjusted, and a high-power laser which is on the emission side of the laser-transmission movable mirror and transmits in parallel with the optical axis. The sensor for detecting the position of each guide laser, and the geometrical shape of a plurality of guide laser irradiation points formed on the irradiation surface perpendicular to the optical axis of the high-power laser based on the position signal of each guide laser from the sensor. A signal processing device that calculates the position of the center of gravity and calculates the position of the high-power laser based on the geometrical positions of the guide laser irradiation points, and the laser transmission can be moved according to the position signal of the high-power laser from the signal processing device. A high-power laser transmission device comprising mirror adjusting means for adjusting a mirror.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09408496A JP3301696B2 (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | High power laser transmission method and device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09408496A JP3301696B2 (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | High power laser transmission method and device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09277073A true JPH09277073A (en) | 1997-10-28 |
| JP3301696B2 JP3301696B2 (en) | 2002-07-15 |
Family
ID=14100613
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09408496A Expired - Fee Related JP3301696B2 (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | High power laser transmission method and device |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301696B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009243021A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Asahi Kasei Fibers Corp | Polyester fiber and method for producing the same |
| JP2010185162A (en) * | 2009-01-16 | 2010-08-26 | Univ Of Yamanashi | Multi-spindle drawing machine for ultrafine filament |
| RU2482945C1 (en) * | 2012-04-16 | 2013-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Владимирский государственный университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" | Device for laser processing |
-
1996
- 1996-04-16 JP JP09408496A patent/JP3301696B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2009243021A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Asahi Kasei Fibers Corp | Polyester fiber and method for producing the same |
| JP2010185162A (en) * | 2009-01-16 | 2010-08-26 | Univ Of Yamanashi | Multi-spindle drawing machine for ultrafine filament |
| RU2482945C1 (en) * | 2012-04-16 | 2013-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Владимирский государственный университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" | Device for laser processing |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3301696B2 (en) | 2002-07-15 |
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