JPH0690571A

JPH0690571A - ステッピングアクチュエータ

Info

Publication number: JPH0690571A
Application number: JP4149050A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiko Ogawa; 靖彦小川
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1992-06-09
Filing date: 1992-06-09
Publication date: 1994-03-29

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は可動体を微少量づつ移動するステッ
ピングアクチュエータに関し、特に可動体の変位量をご
く微少にし、かつそれをくりかえすことの可能なステッ
ピングアクチュエータを提供することを目的とする。【構成】制御信号によりその軸方向に伸縮する駆動部
Ｃと、その両端に固着され、制御信号によりその径方向
に伸縮する可動体のロック部Ａとから成り、駆動部Ｃ、
ロック部Ａはともに、その内側に可動片４が滑動する穴
部を有するように構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、可動体を微少量づつ移
動するステッピングアクチュエータに係り、特に微少量
の移動をくりかえすことにより可動体の変位量を任意の
ストロークにすることが出来るとともに、小型化、低消
費電力化を実現したステッピングアクチュエータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、直線駆動アクチュエータの最も基
本的なものとして、電磁ソレノイドを利用したアクチュ
エータがある。

【０００３】これは電磁ソレノイドの吸引力を用いて可
動片であるプランジャをソレノイドに吸引したり、ノン
アクティブ時に離したりして可動片を駆動するものであ
る。その他電磁リニアステッピングアクチュエータや、
ステッピングモータを用いたアクチュエータが実用的に
用いられている。

【０００４】電磁リニアステッピングアクチュエータは
必要とするステップ間隔に応じて線輪を配置し、直線状
の可動片に例えば線輪と対応する間隔で多数個設けた永
久磁石との相互作用により、可動片のステップ駆動を行
うものである。

【０００５】ステッピングモータを用いたアクチュエー
タはステッピングモータの回転をネジやスクリュー等を
用いて直線的な変位に変換する方式である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、電磁ソレノ
イドを用いたアクチュエータの場合、可動片であるプラ
ンジャの確定位置は通常、電磁ソレノイドによって吸引
された位置の１ケ所に限定される。

【０００７】また吸引されていないノンアクティブ時
に、スプリング等で所定の位置に引戻すことにしても２
ケ所であり、それ以外の位置でプランジャを停止するこ
とは出来ない。

【０００８】さらに駆動すべき負荷に応じてストローク
の上限が限定されるし、当然のことながら、可動片であ
るプランジャは強磁性体材料に限定される等の問題点が
ある。

【０００９】また、電磁リニアステッピングアクチュエ
ータにおいては、電磁力によって可動片を駆動する力は
アンペアターンに比例するため、駆動力を増加するため
には電流を増加するか、線輪の巻数を増加するかあるい
はその両者を増加するなどの方法をとる必要がある。

【００１０】そのためアクチュエータの小型化、強力化
が極めて困難である上、１ステップの変位量の微少化、
長ストローク化及び高速化が困難である。さらにこのア
クチュエータで可動する可動片は精密な直線性が要求さ
れ、構造を決定した後で、制御信号により１ステップの
変位量を変えることも不可能である等の問題点がある。

【００１１】ステッピングモータを用いたアクチュエー
タの場合、ステッピングモータの小型化には限界があ
り、小型化しかつ強力化することは不可能と考えられる
等の問題点がある。

【００１２】これらの従来のアクチュエータはいずれも
電磁力を利用するため、漏洩磁束を嫌う環境では使用で
きず、更に発熱の問題があるため、高密実装も極めて困
難である。

【００１３】従って本発明の目的は、可動体を微少量ず
つ駆動するステッピングアクチュエータにおいて、特
に、小型で低消費電力でありかつ、任意のストロークの
移動量を実現する電磁力を用いないステッピングアクチ
ュエータを提供するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の原理を図１を用
いて説明する。図１は本発明のステッピングアクチュエ
ータの概略構成説明図であり、図１において、Ｃは駆動
部であって、制御信号によりその軸方向に伸縮する性質
を有する材料から成り、その内側に本発明で動かす可動
軸Ｄを滑動する穴部を有する。

【００１５】Ａ及びＢはロック部であり、制御信号によ
り、その中心に対して径方向に伸縮する性質を有する材
料から成り、必要に応じて制御信号により内側に滑動す
る可動片Ｄをロックするものである。ロック部Ａ、Ｂは
駆動部Ｃの両端に固着されており、駆動部Ｃと一体化し
て移動する。

【００１６】Ｄは可動軸であって、本発明のステッピン
グアクチュエータによって左方向あるいは右方向に移動
する。

【００１７】

【作用】本発明の構造のステッピングアクチュエータに
おいて、まずロック部Ａを作動し、可動軸をロック部Ａ
によってロックし、ロック部Ｂは開放の状態で、駆動部
Ｃに制御信号を送出して駆動部Ｃを伸長する。

【００１８】駆動部Ｃが軸方向に平行に微少量だけ伸長
すると、それに伴いロック部Ａ、Ｂもともに軸方向に同
様量だけ移動する。この時ロック部Ａは作動しているの
で、可動軸Ｄはロック部Ａとともに微少量左方向に移動
する。

【００１９】駆動部Ｃが伸び切った点で、印加電圧を解
除してロック部Ａを開放し、次にロック部Ｂに電圧を印
加してロック部Ｂで可動軸Ｄをロックする。次に駆動部
Ｃの制御信号を開放し、駆動部Ｃを元の位置まで収縮さ
せる。

【００２０】駆動部Ｃの収縮とともに、ロック部Ａ、Ｂ
はともに元の位置に戻るが、この時ロック部Ｂは作動し
ているので、可動軸Ｄとともにさらに左方向に移動す
る。これにより本体部１の１回の伸長・収縮により、可
動軸Ｄは左方向に移動したことになる。

【００２１】

【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。 (1) 第１実施例図２は、本発明の第１実施例のステッピングアクチュエ
ータ１の斜視図、図３、図４は、図２に示すステッピン
グアクチュエータの動作説明図である。

【００２２】図２〜図４において、図１と同一符号のも
のは同一部分を示す。Ｃは本実施例のステッピングアク
チュエータ１の駆動部であって、例えばＰｂ（Ｔ_i、Ｚ
ｒ）Ｏ₃系セラミックスの如き圧電特性を有する材料か
ら成る中空のパイプ状の形状を有する。１−１、１−２
は駆動部Ｃに電圧を印加するための電極を示し、駆動部
Ｃは電圧を印加することによりその軸方向に伸長するも
のである。

【００２３】Ａ、Ｂはロック部を示し、２−１、２−
２、３−１、３−２はそれぞれロック部Ａ、Ｂに設けら
れた電極を示す。ロック部Ａ、Ｂは、例えばＰｂ
（Ｔ_i、Ｚｒ）Ｏ₃系セラミックスの如き圧電特性を有
する材料から成り、可動軸Ｄを滑動しつつ保持する中空
部を有する。２−１、２−２、３−１、３−２は電極を
示し、２−１、２−２あるいは３−１、３−２に電圧を
印加することにより、ロック部ＡあるいはＢはその径方
向に収縮しシャフトＤを押えつけてロックするものであ
る。

【００２４】Ｄは可動軸を示し、本発明によって微少量
づつその位置を移動する可動片である。本実施例におい
ては一層構造の本体部１の両端にロック部Ａ、Ｂが固着
され、可動軸Ｄは各部に電圧を印加しない時には駆動部
Ｃ、ロック部Ａ、Ｂによって滑動する状態で保持されて
いる。

【００２５】次に図２、図３を参照しつつ本実施例にお
いて左方向に可動軸Ｄを駆動する場合の動作の概略を説
明する。 (1) まずロック部Ａの電極２−１、２−２に電圧を印加
し、ロック部ＡによりシャフトＤを押え込み、ロック部
ＡとシャフトＤが一体となって移動するようにする。こ
の時、駆動部Ｃとロック部Ｂは、電圧を印加せず、ロッ
ク部Ｂは開放されている（図３（ａ）参照）。

【００２６】(2) 次にロック部Ａを作動したまま、駆動
部Ｃに電圧を印加する。これにより駆動部Ｃは軸方向、
即ち可動軸Ｄの左右方向に伸長する。この時ロック部Ａ
は可動軸Ｄとともに、駆動部Ｃが左方向に伸長した分ｄ
だけ左方向に移動する（図３（ｂ）参照）。

【００２７】(3) 本体部１が伸び切った点で、ロック部
Ｂに電圧を印加し、ロック部Ｂを作動させ、ロック部Ｂ
により可動軸Ｄを押えこみ、ロック部Ａの電圧印加を停
止し、ロック部Ａを開放する（図３（ｃ）参照）。

【００２８】(4) 次に駆動部Ｃの電圧印加を停止する。
これにより駆動部Ｃは元の長さまで収縮し、これととも
にロック部Ａ、Ｂも元の位置に戻る。しかし、ロック部
Ｂは可動軸Ｄを押さえ込んだまま左方向に収縮するの
で、可動軸Ｄはロック部Ｂが移動した分ｄだけさらに左
方向に移動する。

【００２９】その結果、可動軸Ｄは始めの位置より２ｄ
だけ左方向に移動したことになる（図３（ｄ）参照）。
以下同様のステップをくり返して、可動軸Ｄを左方向に
微少量づつ駆動できる。

【００３０】ここで駆動部Ｃが電圧印加によって伸長す
る変位量ｄは、ごく微小な量であり、１回のステップに
よって駆動する可動軸の変位量２ｄも非常に小さく、例
えば１００〜２００Ｖの電圧の印加により数μｍ程度の
駆動が可能となる。

【００３１】さらに、１つのシーケンスを複数回繰り返
すことにより、可動軸Ｄの移動の長ストローク化もはか
れることはいうまでもない。また、右方向へ駆動する場
合には、同様の構成のステッピングアクチュエータ１に
おいてロック部Ａ、Ｂの作動の順序を変えることによっ
て実現できる。

【００３２】これを図４によって説明する。まずロック
部Ｂに電圧印加して、ロック部Ｂと可動軸Ｄを一体化
し、ロック部Ａは開放する（図４（ａ）参照）。次に駆
動部Ｃに電圧を印加して、駆動部Ｃを伸長する。これに
よりロック部Ｂとともに可動軸Ｄは右方向へ本体部１が
伸長した分だけ移動する（図４（ｂ）参照）。

【００３３】本体部１が伸び切ったところで、ロック部
Ｂの電圧印加を停止し可動軸Ｄを開放し、ロック部Ａに
電圧を印加して可動軸Ｄとロック部Ａを一体化する（図
４（ｃ）参照）。

【００３４】次に駆動部の電圧印加を停止すると、駆動
部Ｃが収縮して元の位置に戻るとともに、ロック部Ａも
右方向に駆動部Ｃが収縮した分だけ移動する。従って、
ロック部Ａとともに可動軸Ｄも右方向に移動する（図４
（ｄ）参照）。

【００３５】また、図３で説明したと同様のシーケンス
で、駆動部Ｃを逆極性にするのみで、図３の場合と反対
方向即ち右方向に可動軸を移動することも可能である。
即ち、駆動部Ｃの電圧印加を逆極性にすることにより、
駆動部Ｃが収縮し、これにより可動軸Ｄを右方向に移動
することができる。

【００３６】同様に図４で説明した右方向へ駆動するシ
ーケンスにおいても、駆動部Ｃを逆極性に電圧印加する
のみで、左方向へ駆動することも可能になる。このよう
にして、本発明によれば、印加電圧の大きさや周期を変
えることにより単位ステップあたりの微少移動量を調整
することができる、微少駆動可能なステッピングアクチ
ュエータを提供できる。

【００３７】(2) 第２実施例第１実施例においては、図２〜図４からも明らかなよう
に、駆動部Ｃの形状は一層構造のパイプ状である。

【００３８】本発明はこれに限られるものではなく、例
えば図５に示す如く、積層形のものでもよい。図５は積
層タイプのステッピングアクチュエータ２０の一例を示
し、図５（ａ）はその斜視図、図５（ｂ）は駆動部の分
解説明図である。

【００３９】図５において、２１、２２・・・は各々板
状駆動部であって、例えばＰｂ（Ｔ _i、Ｚｒ）Ｏ₃系セ
ラミックスの如き圧電特性を有する材料から成り、可動
軸Ｄを滑動・保持する穴部Ｄ´を有する円板状である。

【００４０】板状駆動部２１、２２・・・の両面には電
極２１−１、２１−２、２２−１、２２−２・・・が形
成されており、各板上本体部２１、２２・・・は並列に
結合されて一体化している。

【００４１】３１、３２・・・は絶縁物から成るスペー
サであって、各板状駆動部２１、２２・・・の間に挿入
され、各板状本体部間を絶縁する。本体部をこのような
形状にすることにより、低電圧駆動が可能となる。ま
た、駆動力の増大が期待できる。

【００４２】(3) 第３実施例また、駆動部は、前記第２実施例の如く板状の駆動部で
なく、複数個の棒状駆動部から構成されてもよい。

【００４３】図６にこの棒状駆動部を有するステッピン
グアクチュエータ３０の一例を示し、（ａ）は斜視図、
（ｂ）に断面説明図を示す。図６において、４１、４２
・・・は棒状駆動部であって、例えばＰｂ（Ｔ_i、Ｚ
ｒ）Ｏ₃系セラミックスの如き圧電特性を有する材料か
ら成る。５１、５２は棒状駆動部４１、４２・・・の支
持部である。なお、図６の場合は、例えば６本の棒状駆
動部を使用した例を示す。

【００４４】２、３はロック部、２−１、２−２、３−
１、３−２、４０−１、４０−２・・・は各電極を示
す。本実施例の如く複数の棒状駆動部４１、４２・・・
を用いることにより大型化、強力化を実現することがで
きる。

【００４５】また、これらの第１実施例〜第３実施例に
おいて、駆動部Ｃの両端に設けたロック部に電圧を印加
するための電極として、各端部よりリード線をとり出す
形状のものを示したが、本発明は、これら電極の構成も
前記のものに限られるものではない。

【００４６】即ち、図７（ａ）に示す如く、ロック部２
の両側面部に電極７１、７２を形成するもの、ロック部
２の外周面部と内周面部に電極７３、７４を形成するも
のでもよい。

【００４７】更に、ロック部２、３の印加電圧に対する
伸縮は極性によって逆転することは言うまでもないが、
いずれの場合も、伸縮は図７の矢印で示す如くシャフト
を押し込んだり、離したりする径方向に伸縮するもので
ある。

【００４８】(4) 第４実施例本発明の更に他の実施例を図８によって説明する。図８
は第４実施例の構成説明図であって、これはロック部の
一方を省き、摩擦部で可動軸Ｄを保持するものである。

【００４９】図８において、図２と同一符号のものは同
一部分を示し、８１は固定部、８２は摩擦部を示す。固
定部８１は、このステッピングアクチュエータ５０の駆
動部Ｃを固定し、該固定部より右方向に駆動部Ｃが伸縮
しないように固定支持するものである。

【００５０】摩擦部８２は、可動軸Ｄを保持するととも
に、後述のように、可動軸Ｄの不要の滑動を阻止するも
のである。図８に示す構成の実施例の動作の概略を図９
によって説明する。

【００５１】(1) 可動軸Ｄの左方向移動ロック部Ａに電圧を印加し、ロック部Ａによって可動軸
Ｄを押さえ込んでから、駆動部Ｃに電圧を印加する（図
９（ａ）参照）。

【００５２】駆動部Ｃは電圧印加により伸長するが、固
定部８１によって、右方向への伸長は阻止され、左方向
にのみ伸長する。これにより駆動部Ｃとともに左方向に
移動するロック部Ａに押し込まれた可動軸Ｄも、駆動部
Ｃの伸長した分ｄ₁だけ左方向に移動する（図９（ｂ）
参照）。

【００５３】次に、ロック部Ａの電圧印加を停止し、ロ
ック部ＡとシャフトＤを開放した後、駆動部Ｃの電圧印
加を停止する。これにより駆動部Ｃは、ロック部Ａとと
もに元の位置に収縮移動するが、可動軸Ｄはロック部Ａ
が開放されているため左方向に移動したままであり、結
果的にシャフトＤは元の位置よりｄ₁だけ左方向に移動
したことになる（図９（ｃ）参照）。

【００５４】以上のシーケンスを単位ステップとして同
様のステップをくり返すことにより可動軸Ｄのステッピ
ングが可能となる。 (2) 可動軸Ｄの右方向移動可動軸Ｄを右方向に移動させる場合の動作を図１０によ
って説明する。

【００５５】ロック部Ａに電圧を印加せず、開放したま
ま（図１０（ａ）参照）、駆動部Ｃに電圧を印可する。
すると駆動部Ｃは固定部８１によって固定されているの
で、左方向にのみ伸長する。しかし、この時可動軸Ｄは
ロック部Ａによってロックされておらず、可動軸Ｄに対
して設けられた摩擦部８２の働きによって可動軸Ｄが滑
動することが阻止され動かない（図１０（ｂ）参照）。

【００５６】この状態でロック部Ａに電圧を印加してか
ら、駆動部Ｃの電圧印加を停止する。すると、駆動部Ｃ
は元の位置に収縮するが、この時ロック部Ａとともに可
動軸Ｄも右方向へｄ₂だけ移動する（図１０（ｃ）参
照）。

【００５７】以上のシーケンスを単位ステップとしてく
り返すことにより可動軸Ｄは右方向にｄ₂づつ移動す
る。なお、この実施例の場合も、第１実施例と同様に、
図９で説明したと同様のシーケンスで駆動部Ｃを逆極性
に印加することにより、可動軸Ｄを右方向に移動するこ
とが出来る。

【００５８】即ち、駆動部Ｃの印加電圧を逆極性にする
ことにより、駆動部Ｃが収縮し、この時電圧を印加され
たロック部Ａとともに可動軸Ｄが右方向に移動する。次
に印加電圧を解除してロック部Ａと駆動部Ｃが元の位置
にもどっても、摩擦部８２によって可動軸Ｄの滑動は阻
止され、右方向に移動したままで止まる。

【００５９】同様に図１０で説明したと同じシーケンス
で、駆動部Ｃの印加電圧を逆極性にすることにより、可
動軸Ｄが左方向に移動できることはもちろんである。ま
た、印加電圧を例えばマイナス側からプラス側にまで変
化する両極性のものを用いると、単位ステップの移動距
離を今までの印加電圧の約２倍程度に大きくすることも
可能である。

【００６０】図１１、図１２に本発明の応用例をいくつ
か紹介する。図１１（ａ）の装置は、駆動部１とロック
部Ａ、Ｂから構成されるステッピングアクチュエータ１
によって、ステップ移動される可動片５、６より大きい
駆動対象物９を移動させるものである。

【００６１】ステッピングアクチュエータ１は任意の位
置で固定した状態で、可動片５、６を左あるいは右に移
動する。これに従って、可動片５、６に連結した駆動対
象物保持部７、８により保持された駆動対象物９を左あ
るいは右に移動することができる。

【００６２】この時、可動片５、６はステッピングアク
チュエータ１の内部で連結している場合はもちろんであ
るが、可動片５、６がステッピングアクチュエータの内
部で摺動するように嵌合していてもよい。

【００６３】また本応用例による駆動対象物は棒状、板
状など駆動対象物保持部７、８によって保持、移動でき
るものであれば、特にその形状を限定するものではな
い。さらに別の応用例として、本発明のステッピングア
クチュエータ１を、液状あるいは気体を微少量づつ送出
するマイクロポンプに応用した例を図１１（ｂ）に示
す。

【００６４】図１１（ｂ）において、１００はマイクロ
ポンプ、１０１はベローズ、１０２は第１の弁、１０３
は第１の管、１０４は第２の弁、１０５は第２の管を示
す。図１１（ｂ）に示す構造にすることにより、本発明
のステッピングアクチュエータ１をマイクロポンプ１０
０に連動させ、ステッピングアクチュエータ１による可
動軸Ｄの上下に従ってベローズ１０１を連動させて、第
１の弁１０２、第２の弁１０４の開閉を制御するもので
ある。

【００６５】この場合、ステッピングアクチュエータ１
の材質、形状、印加電圧によって基本伸縮量、即ち単位
ステップ量が決まる。またアクチュエータ形成後は材
質、形状は固定されるので、単位ステップ量は印加電圧
により変化することが出来る。

【００６６】さらに、可動軸Ｄを連続して何ステップづ
つか送りながら往復連動させることによってストローク
が決まる。さらに他の応用例として、図１２（ａ）に、
今までの実施例で可動軸として説明したシャフトを固定
してステッピングアクチュエータ１を移動させる場合の
構成を示す。

【００６７】図１２（ａ）において、本発明のステッピ
ングアクチュエータ１は可動にされ、シャフト９０が９
０−１、９０−２において固定されている。従って、ス
テッピングアクチュエータ１自身がシャフト９０に沿っ
て微少量づつ左あるいは右に移動するものである。

【００６８】この構成のものは濃淡画像やカラー画像の
ような画をプリントする場合に有効である。他の応用例
として、図１２（ｂ）には、可動片であるシャフトが直
線でなく、リング状の形状の場合の構成を示す。

【００６９】図１２（ｂ）において、本発明のステッピ
ングアクチュエータ１がリング状の可動片１１０のわん
曲率に対して十分小さければ、本発明のステッピングア
クチュエータ１を固定して作動させることにより、リン
グ状の可動片１１０を微少量づつ移動させることもでき
る。

【００７０】

【発明の効果】本発明のステッピングアクチュエータは
小型で低消費電力でごく微少量づつ可動片を移動させる
ことの出来るステッピングアクチュエータであり、ステ
ップを繰り返すことにより任意の長さのストロークの移
動も可能である。

【００７１】また、印加電圧の極性を逆にすることやロ
ック機構の作動の順序を変えるなどごく簡易な操作によ
って可動片の移動方向や単位ステップの変位量を変える
ことも出来る。

【００７２】さらに本発明のものは電磁力を利用してい
ないため、漏洩磁束を嫌う環境でも十分使用することが
出来る。その上、低消費電力であるために装置の発熱量
も少なく高密度実装も容易に実現できるなど、工業的な
利益にははかりしれないものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の発明原理説明図である。

【図２】本発明の一実施例の構成説明図である。

【図３】本発明の一実施例の動作説明図である

【図４】本発明の一実施例の他の動作説明図である。

【図５】本発明の第２実施例の構成説明図である。

【図６】本発明の第３実施例の構成説明図である。

【図７】本発明の装置の電極の形状説明図である。

【図８】本発明の第４実施例の構成説明図である。

【図９】本発明の第４実施例の動作説明図である。

【図１０】本発明の第４実施例の他の動作説明図であ
る。

【図１１】本発明の応用例の構成説明図である。

【図１２】本発明の第２の応用例の構成説明図である。

【符号の説明】

Ａロック部Ｂロック部Ｃ駆動部Ｄ可動片

【手続補正書】

【提出日】平成５年６月２２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】同様に図４で説明した右方向ヘ駆動するシ
ーケンスにおいても、駆動部Ｃを逆極性に電圧印加する
のみで、左方向へ駆動することも可能になる。このよう
にして、本発明によれば、印加電圧の大きさや周期を変
えることにより単位ステップあたりの微少移動量を調整
することができる、微少駆動可能なステッピングアクチ
ュエータを提供できる。なお、この実施例の駆動部Ｃ
は、固定されていないが、駆動部Ｃの一部を固定する
か、全体を弾性的に固定してもよい。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】Ａ、Ｂはロック部、２−１、２−２、３−
１、３−２、４０−１、４０−２・・・は各電極を示
す。本実施例の如く複数の棒状駆動部４１、４２・・・
を用いることにより大型化、強力化を実現することがで
きる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４６】即ち、図７（ａ）に示す如く、ロック部Ａ
の両側面部に電極７１、７２を形成するもの、ロック部
Ａの外周面部と内周面部に電極７３、７４を形成するも
のでもよい。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４７】更に、ロック部Ａ、Ｂの印加電圧に対する
伸縮は極性によって逆転することは言うまでもないが、
いずれの場合も、伸縮は図７の矢印で示す如くシャフト
を押し込んだり、離したりする径方向に伸縮するもので
ある。

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】 ─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１０月７日

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可動体を微少量づつ移動させるステッピ
ングアクチュエータにおいて、制御信号により、その可動体の移動方向に伸縮する圧電
体の駆動部Ｃと、該駆動部Ｃの端部に固着して形成され、制御信号により
その可動体の移動方向と直角方向に伸縮する圧電体のロ
ック部Ａを具備し、駆動部Ｃ、ロック部Ａは内側に可動体を滑動保持し、駆
動部Ｃの動きに応じてロック部Ａが該可動体をロックす
ることによって、可動体を微少量づつ移動することを特
徴とするステッピングアクチュエータ。
【請求項２】前記駆動部Ｃのいずれか一端にロック部
Ａを固着して形成し、他端を固定するとともに、他端側
の可動体の任意の位置に摩擦部８２を形成することを特
徴とする請求項１記載のステッピングアクチュエータ。