JPH069011Y2 - Crucible for vapor deposition - Google Patents
Crucible for vapor depositionInfo
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- JPH069011Y2 JPH069011Y2 JP5069689U JP5069689U JPH069011Y2 JP H069011 Y2 JPH069011 Y2 JP H069011Y2 JP 5069689 U JP5069689 U JP 5069689U JP 5069689 U JP5069689 U JP 5069689U JP H069011 Y2 JPH069011 Y2 JP H069011Y2
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- crucible
- vapor deposition
- sintered
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、焼結ペレットとして形成された蒸着材料を収
容するための、上部が開放した蒸着用るつぼに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Industrial Field of the Invention The present invention relates to a vapor deposition crucible with an open top for containing vapor deposition material formed as sintered pellets.
電子ビームを熱源とする蒸着装置においては、水冷銅ハ
ース内にるつぼを置き、これに蒸着材料を入れ、真空雰
囲気中で電子ビームを照射して蒸着材料を蒸発させるこ
とにより、蒸着対象物の蒸着を行う。In a vapor deposition apparatus using an electron beam as a heat source, a crucible is placed in a water-cooled copper hearth, the vapor deposition material is placed in the crucible, and the vapor deposition material is vaporized by irradiating the vapor beam with an electron beam in a vacuum atmosphere to vaporize the vapor deposition object. I do.
この蒸着用るつぼとしては、上部が開放した半円筒形の
ものや箱形のものが知られている（特開昭61-257468号
公報および特開昭62-164870号公報参照）。As the vapor deposition crucible, a semi-cylindrical one having an open upper portion and a box-shaped one are known (see JP-A-61-257468 and JP-A-62-164870).
更に、蒸着材料としては、蒸着物質の粉末を加圧プレス
で成形し、常圧中で電気炉により焼結処理した焼結ペレ
ットが知られている。Further, as the vapor deposition material, there is known a sintered pellet obtained by forming a powder of vapor deposition material by a pressure press and sintering the powder in an electric furnace under normal pressure.
従来のるつぼを用いて、焼結ペレットを電子ビームで加
熱蒸発させることにより、蒸着対象物に蒸着する場合に
は、電子ビーム加熱によって焼結ペレットがるつぼ内面
に溶融付着するため、焼結ペレットをるつぼから離脱さ
せることが困難であり、蒸着作業に大きな支障をきた
す。また、るつぼから、焼結ペレットを強引に離脱させ
ると、るつぼが変形し、るつぼの寿命が短くなるという
欠点があった。When a conventional crucible is used to heat and evaporate a sintered pellet with an electron beam to deposit it on an object to be vapor-deposited, the sintered pellet is melted and attached to the inner surface of the crucible by the electron beam heating. It is difficult to remove the crucible from the crucible, which greatly hinders the vapor deposition work. Further, when the sintered pellets are forcibly released from the crucible, the crucible is deformed and the life of the crucible is shortened.
本考案は、かかる問題点を解消するためになされたもの
であり、その目的は、蒸着後、焼結ペレットの離脱が容
易であるるつぼを提供することである。The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a crucible in which sintered pellets can be easily removed after vapor deposition.
この目的を達成するために、本考案による蒸着用るつぼ
は、るつぼの底部が開放しており、るつぼ内部空間が上
部から底部に向かって先細になるように、るつぼ側壁が
傾斜していることを特徴とするものである。To this end, the evaporation crucible according to the present invention has an open bottom of the crucible and an inclined side wall of the crucible so that the inner space of the crucible tapers from the top to the bottom. It is a feature.
この場合、るつぼの底部全体を開放形成する代わりに、
るつぼの底部に開口を形成し、この開口に、焼結ペレッ
ト突出し棒を挿入可能とすることができる。In this case, instead of forming the entire bottom of the crucible open,
An opening can be formed in the bottom of the crucible, and a sintered pellet protruding rod can be inserted into this opening.
本考案の蒸着用るつぼの場合には、蒸着後、るつぼ底部
から突出し棒を挿入して焼結ペレットをるつぼから離脱
させることができる。In the case of the vapor deposition crucible of the present invention, after the vapor deposition, a protruding rod can be inserted from the bottom of the crucible to remove the sintered pellet from the crucible.
次に、図を参照して本考案の実施例を詳細に説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は、本考案の実施例による蒸着用るつぼ１を示し
ている。このるつぼ１は上部と底部が開放していて、る
つぼ内部空間が上部から底部に向かって先細になるよう
に、るつぼ側壁１ａが傾斜している。るつぼ１の水平横
断面形状は本実施例では円形であるが、楕円形、多角形
等でもよい。るつぼの材質としては、銅、アルミニウ
ム、黒鉛、タングステン等を用いることができる。FIG. 1 shows a vapor deposition crucible 1 according to an embodiment of the present invention. The crucible 1 has an open top and bottom, and the crucible side wall 1a is inclined so that the inner space of the crucible tapers from the top to the bottom. The horizontal cross-sectional shape of the crucible 1 is circular in this embodiment, but may be elliptical or polygonal. As the material of the crucible, copper, aluminum, graphite, tungsten or the like can be used.
第２図は、第１図に示したるつぼ１を水冷銅ハース２内
に置き、これに蒸着材料としての焼結ペレット３を入れ
た状態を示している。水冷銅ハース２は例えば直方体で
あり、その上部に、るつぼ１に対応する収容凹部２ａを
有し、その内部に、図示していない冷却水通路を有す
る。焼結ペレット３は蒸着物質の粉末を加圧プレスで成
形し、常圧中で電気炉により1000〜1400℃の焼結処理し
たものであり、例えば円柱の形をしている。眼鏡用レン
ズに反射防止膜を蒸着する場合には、蒸着物質として
は、酸化タンタル、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム
等が用いられる。FIG. 2 shows a state in which the crucible 1 shown in FIG. 1 is placed in a water-cooled copper hearth 2 and sintered pellets 3 as a vapor deposition material are put therein. The water-cooled copper hearth 2 is, for example, a rectangular parallelepiped, has an accommodating recess 2a corresponding to the crucible 1 in the upper part thereof, and has a cooling water passage (not shown) therein. The sintered pellets 3 are obtained by molding powder of vapor deposition material with a pressure press and sintering the powder at 1000 to 1400 ° C. in an electric furnace under normal pressure, and have, for example, a cylindrical shape. When the antireflection film is deposited on the spectacle lens, tantalum oxide, titanium dioxide, zirconium dioxide or the like is used as the deposition material.
蒸着は、真空雰囲気中で電子ビーム（矢印４参照）を焼
結ペレット３に照射して蒸着物質を蒸発させることによ
って行われる。The vapor deposition is performed by irradiating the sintered pellet 3 with an electron beam (see arrow 4) in a vacuum atmosphere to evaporate the vapor deposition material.
蒸着後、るつぼ１は残部ペレット３′と共に、水冷銅ハ
ース２から取外される（第３図参照）。そして、るつぼ
１の開放底部から突出し棒（図示していない）を挿入し
（矢印５参照）、残部ペレット３′を突くことにより、
残部ペレット３′の離脱を行う。それによって、残部ペ
レット３′がるつぼ内面に溶融付着していても、残部ペ
レット３′を容易に離脱させることができる。また、離
脱作業時にるつぼ１が変形することがないので、るつぼ
１の寿命が永いという利点がある。After vapor deposition, the crucible 1 is removed from the water-cooled copper hearth 2 along with the remaining pellets 3 '(see Figure 3). Then, by inserting a projecting rod (not shown) from the open bottom of the crucible 1 (see arrow 5) and projecting the remaining pellet 3 ',
The remaining pellet 3'is removed. As a result, even if the residual pellet 3'is melted and adhered to the inner surface of the crucible, the residual pellet 3'can be easily separated. Further, since the crucible 1 is not deformed during the detaching work, there is an advantage that the life of the crucible 1 is long.
上記実施例によるるつぼ１は底部全体が開放している
が、第４図に示すように、突出し棒を挿入できる程度の
開口６を形成してもよい。また、るつぼ１と水冷銅ハー
ス２の間に断熱層７を設けてもよい。Although the crucible 1 according to the above-described embodiment has the entire bottom portion open, as shown in FIG. 4, an opening 6 may be formed so that a protruding rod can be inserted therein. A heat insulating layer 7 may be provided between the crucible 1 and the water-cooled copper hearth 2.
本考案は、るつぼの底部が開放しているかまたはるつぼ
の底部に開口が形成され、るつぼ内部空間が上部から底
部に向かって先細になるように、るつぼ側壁が傾斜して
いるので、るつぼの底部から突出し棒を挿入して焼結ペ
レットを突出すことができる。従って、蒸着後、焼結ペ
レットがるつぼ内面に溶融付着していても、焼結ペレッ
トをるつぼから容易に離脱させることができる。また、
離脱作業時にるつぼが変形することがないので、るつぼ
の寿命が永いという利点がある。According to the present invention, since the bottom of the crucible is open or an opening is formed in the bottom of the crucible and the crucible side wall is inclined so that the inner space of the crucible tapers from the top to the bottom, the bottom of the crucible is A sinter pellet can be protruded by inserting a protrusion bar from the slab. Therefore, even if the sintered pellets are melted and adhered to the inner surface of the crucible after vapor deposition, the sintered pellets can be easily separated from the crucible. Also,
Since the crucible is not deformed during the detaching work, there is an advantage that the crucible has a long life.
第１図は、本考案の実施例によるるつぼを示す斜視図、
第２図は水冷銅ハースに装着された蒸着状態のるつぼを
示す縦断面図、第３図は蒸着後、水冷銅ハースから取出
されたるつぼを示す縦断面図、第４図はるつぼの変形例
を示す縦断面図である。 １……るつぼ、１ａ……るつぼ側壁、２……水冷銅ハー
ス、２ａ……るつぼ収容凹部、３……焼結ペレット、
３′……残部ペレット、４……電子ビーム、５……突出
し棒挿入方向、６……底部開口、７……断熱層FIG. 1 is a perspective view showing a crucible according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing a vapor-deposited crucible mounted on a water-cooled copper hearth, FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a crucible taken out from the water-cooled copper hearth after vapor deposition, and FIG. 4 is a modification of the crucible. FIG. 1 ... crucible, 1a ... crucible side wall, 2 ... water-cooled copper hearth, 2a ... crucible housing recess, 3 ... sintered pellet,
3 '... Remainder pellet, 4 ... Electron beam, 5 ... Projecting rod insertion direction, 6 ... Bottom opening, 7 ... Thermal insulation layer
Claims (2)
収容するための、上部が開放した蒸着用るつぼにおい
て、 るつぼの底部が開放しており、 るつぼ内部空間が上部から底部に向かって先細になるよ
うに、るつぼ側壁が傾斜していることを特徴とする蒸着
用るつぼ。1. A vapor deposition crucible with an open top for containing vapor deposition material formed as sintered pellets, wherein the bottom of the crucible is open and the crucible internal space tapers from top to bottom. The crucible for vapor deposition is characterized in that the side wall of the crucible is inclined.
収容するための、上部が開放した蒸着用るつぼにおい
て、 るつぼの底部に開口が形成され、この開口に、焼結ペレ
ット突出し棒を挿入可能であり、 るつぼ内部空間が上部から底部に向かって先細になるよ
うに、るつぼ側壁が傾斜していることを特徴とする蒸着
用るつぼ。2. A crucible for vapor deposition having an open top for accommodating a vapor deposition material formed as a sintered pellet, wherein an opening is formed at the bottom of the crucible, and a sintered pellet protruding rod can be inserted into this opening. The crucible side wall is inclined so that the inner space of the crucible tapers from the top to the bottom.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5069689U JPH069011Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Crucible for vapor deposition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5069689U JPH069011Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Crucible for vapor deposition |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02142463U JPH02142463U (en) | 1990-12-03 |
| JPH069011Y2 true JPH069011Y2 (en) | 1994-03-09 |
Family
ID=31569466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5069689U Expired - Lifetime JPH069011Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Crucible for vapor deposition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069011Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008100299A (en) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Hoya Corp | Apparatus and method for removing vapor deposition material |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP5069689U patent/JPH069011Y2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008100299A (en) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Hoya Corp | Apparatus and method for removing vapor deposition material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02142463U (en) | 1990-12-03 |
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Legal Events
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