JPH0688749A - Spectroscope - Google Patents

Spectroscope

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Publication number
JPH0688749A
JPH0688749A JP26324192A JP26324192A JPH0688749A JP H0688749 A JPH0688749 A JP H0688749A JP 26324192 A JP26324192 A JP 26324192A JP 26324192 A JP26324192 A JP 26324192A JP H0688749 A JPH0688749 A JP H0688749A
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JP
Japan
Prior art keywords
slit
spectroscope
window
light
light source
Prior art date
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Pending
Application number
JP26324192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunari Yokoyama
一成 横山
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
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Publication of JPH0688749A publication Critical patent/JPH0688749A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To collimate a spectroscope with an external object with ease and accuracy. CONSTITUTION:An incident side slit 3 and/or outgoing side slit 10 formed at a spectroscope 2 consists of both an auxiliary light source 21 having low directivity and a slit main body 20. At spectrometry, the slit main body 20 is made to face the first window 34 and/or the second window 35, and at collimation of incident and/or outgoing light paths before spectrometry, positioning means 27, 29a and 29b are provided which make the auxiliary light source 21, in place of the slit main body 20, face the first window 34 and/or the second window 35 so that it is situated at the other focal point against the focal point situated at the object.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、分光器に関し、さら
に詳しくは試料等の分光対象物の位置合わせを簡便かつ
正確に行うことができるツェルニ・ターナ型等の分光器
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectroscope, and more particularly to a Czerny-Turner type spectroscope capable of easily and accurately aligning a spectral object such as a sample.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、この種分光器では、図10に示
すように集光レンズを介して集光された測定試料や光源
などの分光対象物からの入射光1が分光器本体2の入射
側スリット3を通り、分光器内に入り分光測定を行う。
この入射光1はまず、例えば、平面鏡4で反射され、次
に、その反射光が凹面鏡5で反射された後、回折格子6
によって分散され、さらに凹面鏡7、平面鏡8を介して
分散された光9が分光器本体2の出射側スリット10を
通って分光器外に至り、最後に光9はその出射スリット
3と対向する位置に設置された検出器としての例えば、
光電子増倍管に入射することで目的とする分光スペクト
ルを得るようにしている。
2. Description of the Related Art Generally, in this type of spectroscope, as shown in FIG. 10, incident light 1 from a spectroscopic object such as a measurement sample or a light source condensed through a condensing lens enters a spectroscope main body 2. It passes through the side slit 3 and enters the spectroscope to perform spectroscopic measurement.
This incident light 1 is first reflected by, for example, a plane mirror 4, then the reflected light is reflected by a concave mirror 5, and then a diffraction grating 6
The light 9 dispersed by the concave mirror 7 and the plane mirror 8 passes through the exit slit 10 of the spectroscope body 2 to reach the outside of the spectroscope, and finally the light 9 faces the exit slit 3. For example, as a detector installed in
The target spectral spectrum is obtained by entering the photomultiplier tube.

【0003】このような分光測定を行うに際しては、予
め光軸合わせ用光源を用いて試料の位置を合わせる必要
がある。
In performing such a spectroscopic measurement, it is necessary to previously align the position of the sample by using a light source for optical axis alignment.

【0004】従来この位置合わせは、光軸合わせ用光源
としてレーザ11を用いて行われていた。すなわち、図
15に示すように、入射側スリット3および出射側スリ
ット10が、光軸上にくるように、予め分光器本体2に
位置決めされており、光軸合わせ用レーザ11を出射側
スリット10の外側に設置し、レーザ光をこのスリット
10から入れ、分光器本体2内を通って入射側スリット
3から出てきたレーザ光の光軸上に分光対象物12を置
く方法が主にとられている。なお、符号13は集光レン
ズである。
Conventionally, this alignment has been performed using a laser 11 as a light source for optical axis alignment. That is, as shown in FIG. 15, the entrance-side slit 3 and the exit-side slit 10 are preliminarily positioned in the spectroscope main body 2 so as to be on the optical axis, and the optical-axis alignment laser 11 is set to the exit-side slit 10. The method mainly used is to install the laser beam on the outside of the laser beam, enter the laser beam from this slit 10, and place the spectral object 12 on the optical axis of the laser beam that has passed through the spectroscope body 2 and exited from the incident side slit 3. ing. Reference numeral 13 is a condenser lens.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような分
光器の構成では、以下のような問題点がある。
However, the structure of such a spectroscope has the following problems.

【0006】 光軸合わせ用レーザ11を設置するス
ペース確保のために、位置合わせの後、続いて行われる
分光測定の際に、出射側スリット10におかれた光学部
品などを退癖させる必要がある場合があり、面倒であ
る。
In order to secure a space for installing the laser 11 for optical axis alignment, it is necessary to make the optical components and the like placed in the exit side slit 10 regress in the subsequent spectroscopic measurement after the alignment. Sometimes it is troublesome.

【0007】 レーザ光は出射側スリット10と入射
側スリット3のそれぞれの中心を同時に正確に通さなけ
ればならず、手間がかかる。
The laser light must pass through the centers of the exit side slit 10 and the entrance side slit 3 accurately at the same time, which is troublesome.

【0008】 用いるレーザ光は指向性が強く、ま
た、ビーム径が細いため、焦点が合っているかどうかわ
かりにくい。すなわち、レーザ光を使った場合、図11
に示すように、焦点Fの位置に結像した場合と焦点ズレ
したそれぞれの位置A,Bに結像した場合とは目視等で
は区別し難い。従って、光路に沿った方向の位置合わせ
(分光対象物をどこに置くべきか)が困難である。この
ことは、例えば、分光測定の際、可視光でない光(赤外
線、紫外線)も使用するので、これら光は目視できない
光であるから、これらの光を使用することを含めて焦点
合わせが重要な課題となっている。
Since the laser beam used has a strong directivity and the beam diameter is small, it is difficult to know whether or not it is in focus. That is, when using laser light,
As shown in, it is difficult to visually distinguish the case where the image is formed at the position of the focus F and the case where the image is formed at the positions A and B where the focus is deviated. Therefore, it is difficult to perform alignment in the direction along the optical path (where to place the spectroscopic object). This is because, for example, in the case of spectroscopic measurement, non-visible light (infrared rays, ultraviolet rays) is also used, so these lights are invisible, so focusing including using these lights is important. It has become a challenge.

【0009】この発明は、分光器と外部対象物の光軸合
わせを簡便かつ正確に行なうことができる分光器を提供
するものである。
The present invention provides a spectroscope capable of easily and accurately aligning the optical axes of the spectroscope and an external object.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、光源からの光を分光対象物に照射し、
この分光対象物からの反射光あるいは蛍光等を、分光器
本体に設けた第1の窓から入射側スリットを通過させて
分光器本体に入射し、この入射光を分光器本体内に設置
された回折格子等の分光手段により分散した後、この分
散光を出射側スリットから第2の窓を通過されて分光器
本体から出射し、その出射光を出射側スリットに対向す
る位置に設けた分光測定系に取り込んで分光測定する分
光器において、入射側スリットおよび/または出射側ス
リットが、指向性の弱い補助光源とスリット本体とから
なり、さらに分光測定時は、スリット本体を第1の窓お
よび/または第2の窓に臨ませ、分光測定前の入射光路
および/または出射光路の光軸合わせの際には、スリッ
ト本体の代りに前記補助光源を分光対象物が位置する焦
点に対するもう一つの焦点に位置するよう第1の窓およ
び/または第2の窓に臨ませうる位置決め手段を備えた
ことを特徴とする分光器である。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention irradiates light from a light source onto a spectral object,
The reflected light or fluorescence from this spectral object is made incident on the spectroscope body through the entrance side slit from the first window provided on the spectroscope body, and this incident light is installed in the spectroscope body. After being dispersed by a spectroscopic means such as a diffraction grating, the dispersed light passes through the second window from the emission side slit and is emitted from the spectroscope body, and the emitted light is provided at a position facing the emission side slit. In a spectroscope for taking a spectroscopic measurement by taking it into a system, an entrance side slit and / or an exit side slit is composed of an auxiliary light source having a weak directivity and a slit main body. Alternatively, when facing the second window and aligning the optical axes of the incident optical path and / or the outgoing optical path before the spectroscopic measurement, the auxiliary light source is used instead of the slit main body for another focus with respect to the focus. A spectroscope, characterized in that with a first window and / or positioning means capable to face the second window to be located at the focal point of.

【0011】この発明における指向性の弱い補助光源と
は、レーザ光のような指向性の強い光とは異なり、レー
ザ光よりは大きな幅をもった発光ダイオード等の光源を
意味する。例えば、図11に示すレーザ光40は指向性
が強い状態のまま集光するので、つまり一定の厚み
(幅)を持ち続けた状態で光軸L上に置かれた集光レン
ズ13aに入射するので、集光レンズ13aを出射した
集束光が、焦点Fに集光するのか、焦点Fの位置からそ
れぞれ前後に極少の焦点ズレした位置A,Bに集光する
のかの区別が難しい。一方、図12に示すように、この
発明で用いる補助光源としての発光ダイオード21の光
41は指向性が弱いので、集光焦点Fの位置と、焦点ズ
レの位置A,Bとを明確に区別しやすくなる。
The auxiliary light source having weak directivity in the present invention means a light source such as a light emitting diode having a width larger than that of laser light, unlike light having strong directivity such as laser light. For example, since the laser beam 40 shown in FIG. 11 is condensed while the directivity is strong, that is, the laser beam 40 is incident on the condensing lens 13a placed on the optical axis L in a state where it has a constant thickness (width). Therefore, it is difficult to distinguish whether the focused light emitted from the condenser lens 13a is focused on the focal point F or is focused on the positions A and B where the focal point F is slightly deviated in the front and rear directions. On the other hand, as shown in FIG. 12, since the light 41 of the light emitting diode 21 as the auxiliary light source used in the present invention has a weak directivity, the position of the converging focus F and the positions A and B of defocus are clearly distinguished. Easier to do.

【0012】この発明における位置決め手段として、例
えば、図3に示すようにプランジャー27とV溝29
a,29bからなるものが挙げられる。また、この発明
では、図7,9に示すように単にスリットボックス19
a,19bにスリットホルダ22a,22bを保持する
ためのスリット保持用の穴40を設けた簡単な構成のも
のも位置決め手段として含まれる。
As the positioning means in the present invention, for example, as shown in FIG. 3, a plunger 27 and a V groove 29 are provided.
Examples include those composed of a and 29b. Further, in the present invention, as shown in FIGS.
The positioning means includes a simple structure in which slit holding holes 40 for holding the slit holders 22a and 22b are provided in a and 19b.

【0013】この発明における分光対象物としては、測
定試料や光源等が挙げられる。
The spectroscopic object in the present invention includes a measurement sample, a light source and the like.

【0014】[0014]

【作用】上記の構成によれば、分光器の入射側スリット
および/または出射側スリットに設けられたスリット本
体の代りに、補助光源を焦点位置に位置するよう第1お
よび/または第2窓に臨ませる構成にしたことから、光
軸合わせの際、分光器の周辺の光学部品等を移動させる
必要が全くなくなる。また、光軸合わせ用の補助光源と
してレーザではなく指向性の弱い光源を用いたので、焦
点ズレの発生をレーザを光源として用いたときよりも抑
制できて補助光源からの集束光を確実に焦点位置に集束
できる。その結果、続いて行われる分光測定に際して、
上記焦点上に分光測定用の光源を位置させることによっ
て焦点ズレのない分光測定が可能となる。さらに、この
発明では、スリット本体を補助光源で置き換えるという
簡単な操作で光軸合わせを行うことができる。
According to the above construction, instead of the slit body provided in the entrance side slit and / or the exit side slit of the spectroscope, the auxiliary light source is provided in the first and / or second window so as to be located at the focal position. Since it is configured to face, there is no need to move the optical components around the spectroscope at the time of optical axis alignment. In addition, since a light source with weak directivity is used as the auxiliary light source for optical axis alignment instead of a laser, the occurrence of defocus can be suppressed more than when a laser is used as the light source, and the focused light from the auxiliary light source can be reliably focused. Focus on the position. As a result, in the subsequent spectroscopic measurements,
By placing a light source for spectroscopic measurement on the focus, spectroscopic measurement without defocus becomes possible. Further, in the present invention, the optical axis can be adjusted by a simple operation of replacing the slit body with the auxiliary light source.

【0015】[0015]

【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
なお、それによってこの発明は限定を受けるものではな
い。図2〜図4において、図10および図15に示す符
号と同一のものは同一物または相当物を示す。
Embodiments of the present invention will be described below.
However, the present invention is not limited thereby. 2 to 4, the same reference numerals as those shown in FIGS. 10 and 15 indicate the same or corresponding components.

【0016】図2〜図4は、この発明の第1の実施例を
示す。
2 to 4 show a first embodiment of the present invention.

【0017】図2において、分光器は、箱型で、上方開
口2aを有する分光器本体2と、この本体のそれぞれ対
向する面2b,2cに設けられた入射側の第1の窓3
4、出射側の第2の窓35と、入射側スリット3と、出
射側スリット10から主としてなる。
In FIG. 2, the spectroscope is a box-shaped spectroscope main body 2 having an upper opening 2a, and a first window 3 on the incident side provided on the facing surfaces 2b and 2c of the main body.
4. The second window 35 on the emission side, the incident side slit 3, and the emission side slit 10 mainly.

【0018】さらに、入射側スリット3は、図2〜図4
に示すように、挿入口18を有するスリットボックス1
9と、スリット本体(以下スリットという)20と発光
ダイオード(補助光源)21を同一面に有するスリット
ホルダ22からなる。このホルダには、分光測定の際に
分光対象物(以下試料という)からの反射光あるいは蛍
光等を通過させうる光穴23が設けられ、その段部23
aにスリット23が交換可能な状態で固着されている。
また、ホルダ22には、光穴23の下方にL字型の発光
ダイオード穴21aが設けられ、発光ダイオード21は
電源24およびケーブル25を有し、穴21aの段部2
1bによって、穴21aに挿入された発光ダイオード2
1が係止されている。そして、図4に示すように、それ
ぞれの段部23a,21bによってスリット20と同一
面上に発光ダイオード21が係止されている。すなわ
ち、発光ダイオード21を窓34に臨ませたときに、ス
リット20の中心位置、すなわち、スリット20が窓3
4に臨んでいるときのスリット20の中心位置と同じ位
置に、発光ダイオード21がくるように設置されてい
る。このようにすれば、入射光路の光軸合わせの際に、
集光レンズにより形成される結像位置に発光ダイオード
21がくることになる。
Further, the entrance side slit 3 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 1, a slit box 1 having an insertion opening 18
9 and a slit holder 22 having a slit body (hereinafter referred to as a slit) 20 and a light emitting diode (auxiliary light source) 21 on the same surface. This holder is provided with a light hole 23 through which reflected light or fluorescence from a spectroscopic object (hereinafter referred to as sample) can pass during spectroscopic measurement.
The slit 23 is fixed to a in a replaceable state.
Further, the holder 22 is provided with an L-shaped light emitting diode hole 21a below the light hole 23, and the light emitting diode 21 has a power source 24 and a cable 25, and the step portion 2 of the hole 21a is provided.
1b, the light emitting diode 2 inserted into the hole 21a
1 is locked. Then, as shown in FIG. 4, the light emitting diode 21 is locked on the same surface as the slit 20 by the respective step portions 23a and 21b. That is, when the light emitting diode 21 faces the window 34, the center position of the slit 20, that is, the slit 20 is positioned at the window 3.
The light emitting diode 21 is installed at the same position as the center position of the slit 20 when facing the slit 4. By doing this, when aligning the optical axes of the incident optical paths,
The light emitting diode 21 comes to the image forming position formed by the condenser lens.

【0019】また、スリットボックス19の一側面には
ネジ穴26が設けられており、ネジ穴26にプランジャ
ー27が挿入され、ナット28によって固定されてい
る。このプランジャー27は、先端のピン27aがバネ
27bによって付勢されている(図5参照)。一方、ス
リットホルダ22の一側面には、スリットボックス19
の挿入口18にホルダ22を挿入した際にプランジャー
27のピン27aとで、ホルダ22をスリット20を窓
34に臨むよう固定したり、ホルダ22を発光ダイオー
ド21を窓34に臨むよう固定したりするためのV溝2
9a,29bがそれぞれ設けられている。これら、プラ
ンジャー27、V溝29a,29bから位置決め手段が
構成されている。
A screw hole 26 is provided on one side surface of the slit box 19, and a plunger 27 is inserted into the screw hole 26 and fixed by a nut 28. A pin 27a at the tip of the plunger 27 is biased by a spring 27b (see FIG. 5). On the other hand, on one side surface of the slit holder 22, the slit box 19
With the pin 27a of the plunger 27 when the holder 22 is inserted into the insertion opening 18, the holder 22 is fixed so that the slit 20 faces the window 34, or the holder 22 fixes the light emitting diode 21 so as to face the window 34. V groove 2 for
9a and 29b are provided, respectively. The plunger 27 and the V grooves 29a and 29b constitute positioning means.

【0020】なお、この実施例では出射側スリット10
には上記入射側スリット3と同様の構成を用いていない
が、この実施例の機構を出射側スリットに付けると、出
射光路の光軸合わせも簡単確実に行うことができる。従
って、目的に応じて入射側スリットおよび出射側スリッ
トのどちらか一方、もしくは、双方に、この発明の機構
を設けるのが良い。
In this embodiment, the exit side slit 10 is used.
However, if the mechanism of this embodiment is attached to the exit side slit, the optical axis of the exit optical path can be easily and surely adjusted. Therefore, it is preferable to provide the mechanism of the present invention in either or both of the entrance slit and the exit slit depending on the purpose.

【0021】さらに、図2〜図4において、符号30は
分光器本体2の上蓋であり、これには入射側スリット3
の挿入口18に連通するスリットホルダ挿入用の穴30
aが設けられている。出射側スリット10の側にも同じ
穴30bが設けられている。符号31は分光器本体2の
脚部であり、符号32はスリットホルダ22のつまみで
ある。
Further, in FIGS. 2 to 4, reference numeral 30 is an upper lid of the spectroscope body 2, which has an entrance slit 3.
Hole 30 for inserting a slit holder communicating with the insertion port 18 of
a is provided. The same hole 30b is also provided on the exit side slit 10 side. Reference numeral 31 is a leg portion of the spectrometer body 2, and reference numeral 32 is a knob of the slit holder 22.

【0022】以下、図1及び図2〜図4を参照しながら
分光測定前の入射光路の光軸合わせの方法について説明
する。
A method of aligning the optical axis of the incident optical path before the spectroscopic measurement will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 to 4.

【0023】スリット20の代わりに発光ダイオード2
1を第1の窓34に臨ませるために、スリットホルダ2
2を上にあげると、スリット20の代りに発光ダイオー
ド21がスリット20の中心位置と同一の位置に設置さ
れる。これにより、発光ダイオード21が分光器の光軸
に正しく設置できる。そのために、上述したように、位
置決めストッパ用のプランジャー27とV溝29bで、
位置を決めている。この際、集光レンズ13も適宜調節
する。これにより、図1に示すように、発光ダイオード
21からの光は分光器外部に置かれた集光レンズ13で
焦点を結ぶ。この焦点位置に試料12を置き、さらに、
レーザ14を焦点位置に入射させることにより、入射光
路の光軸合わせは完了する。
Instead of the slit 20, the light emitting diode 2
1 to face the first window 34, the slit holder 2
When 2 is mentioned above, the light emitting diode 21 is installed at the same position as the central position of the slit 20 instead of the slit 20. Thereby, the light emitting diode 21 can be correctly installed on the optical axis of the spectroscope. Therefore, as described above, with the plunger 27 for the positioning stopper and the V groove 29b,
I have decided the position. At this time, the condenser lens 13 is also adjusted appropriately. As a result, as shown in FIG. 1, the light from the light emitting diode 21 is focused by the condenser lens 13 placed outside the spectroscope. Place the sample 12 at this focus position, and
By making the laser 14 incident on the focus position, the optical axis alignment of the incident optical path is completed.

【0024】次に分光測定を行うには、図3の状態から
ホルダ22を下げてスリット20が分光器の光軸上に設
置される。すなわち、図1に示すように、レーザ光源1
4からの光を、試料としての蛍光体12に照射し、その
蛍光体12からの反射光(蛍光)を集光レンズ13を介
して分光器本体2に設けた窓(第1の窓)34から入射
側スリット3を通過させて分光器本体2に入射し、この
入射光を分光器本体2内に設置された回折格子等の分光
手段により分散した(図10参照)後この分散光を出射
側スリット10から窓(第2の窓)35を通過させて分
光器本体2から出射し、この出射光を集光レンズ15を
介して出射側スリット10に対向する位置に設けた分光
測定系としての光電子増幅管16に、取り込んで分光測
定を行う。本実施例では、波長500nmのレーザ光を
光源14に使い、蛍光体12から発せられる光は波長6
20nmの蛍光を使った。また、発光ダイオードとして
赤色のものを使った。
Next, in order to perform spectroscopic measurement, the holder 22 is lowered from the state of FIG. 3 and the slit 20 is installed on the optical axis of the spectroscope. That is, as shown in FIG.
A window (first window) 34 provided on the spectroscope main body 2 by irradiating the phosphor 12 as a sample with the light from the sample 4 and reflected light (fluorescence) from the phosphor 12 through the condenser lens 13. From the incident side, passes through the incident side slit 3 and is incident on the spectroscope main body 2, and the incident light is dispersed by a spectroscopic means such as a diffraction grating installed in the spectroscope main body 2 (see FIG. 10), and then the dispersed light is emitted. As a spectroscopic measurement system, the side slit 10 passes through a window (second window) 35 and is emitted from the spectroscope body 2, and the emitted light is provided at a position facing the emission side slit 10 via the condenser lens 15. It is taken into the photoelectron amplification tube 16 and the spectroscopic measurement is performed. In this embodiment, a laser beam having a wavelength of 500 nm is used as the light source 14, and the light emitted from the phosphor 12 has a wavelength of 6
20 nm fluorescence was used. The red light emitting diode was used.

【0025】このように本実施例では、指向性のあるレ
ーザ光を補助光源に用いないで、指光性の弱い発光ダイ
オードを補助光源として用いたので、レーザ光を使った
場合、図11に示すように、焦点Fの位置に結像した場
合と焦点ズレしたそれぞれの位置A,Bに結像した場合
とは目視等では区別し難い訳であるが、図12に示す本
実施例のように、発光ダイオードを使えば、焦点FとA
点、あるいは焦点FとB点とを比較的容易に区別でき確
実に焦点Fに結像できる。その結果、分光測定時に、図
13に示すように、入射側スリット3手前で焦点Fを結
んだり、図14に示すように、スリット上でズレて焦点
Fを結んだりして入射光の光軸が光学系に対して合わな
いという問題はなくなる。
As described above, in the present embodiment, since the laser light having directivity is not used as the auxiliary light source, and the light-emitting diode having weak finger light is used as the auxiliary light source, the case where the laser light is used is shown in FIG. As shown in the figure, it is difficult to visually distinguish the case where the image is formed at the position of the focus F and the case where the image is formed at the positions A and B where the focus is deviated, but as in the present embodiment shown in FIG. In addition, if you use a light-emitting diode, focus F and A
A point or the points F and B can be distinguished relatively easily and an image can be reliably formed on the focus F. As a result, at the time of spectroscopic measurement, as shown in FIG. 13, the focal point F is formed in front of the entrance side slit 3, or as shown in FIG. Does not match the optical system.

【0026】図6〜図9は、入射側スリット3aもしく
は出射側スリット10aを分光器外に取り除いてから、
外部より補助光源としての発光ダイオード21を設置で
きるようにしたこの発明の第2の実施例を示す。
6 to 9 show that after the entrance side slit 3a or the exit side slit 10a is removed from the spectroscope,
A second embodiment of the present invention will be described in which a light emitting diode 21 as an auxiliary light source can be installed from the outside.

【0027】図6〜図9において、図2〜図4に示す符
号と同一のものは同一物または相当物を示す。
6 to 9, the same reference numerals as those shown in FIGS. 2 to 4 designate the same or corresponding components.

【0028】この実験例では、スリットホルダとしてス
リット20のみを有するスリット用のホルダ22b(図
9参照)と、発光ダイオード21のみを有するダイオー
ド用のホルダ22a(図7参照)とにそれぞれ分割され
ていることから、入射光路と出射光路の双方を調整した
い場合、上記第1の実施例では、発光ダイオード21,
21が2セット必要であるが、本実施例では、1つの発
光ダイオード21を入射側と出射側にかわるがわる設置
することにより、用いる発光ダイオード21が1セット
で済むメリットがある。
In this experimental example, a slit holder 22b (see FIG. 9) having only the slit 20 as a slit holder and a diode holder 22a (see FIG. 7) having only the light emitting diode 21 are divided. Therefore, when it is desired to adjust both the incident optical path and the outgoing optical path, the light emitting diode 21,
Although two sets of light emitting diodes 21 are required, this embodiment has an advantage that one light emitting diode 21 can be used by disposing one light emitting diode 21 on the incident side and the emitting side alternately.

【0029】なお、この発明は別の観点から、光源から
の光を分光対象物に照射し、この分光対象物からの反射
光あるいは蛍光等を、分光器本体に設けた第1の窓から
入射側スリットを通過させて分光器本体に入射し、この
入射光を分光器本体内に設置された図折格子等の分光手
段により分散した後、この分散光を出射側スリットから
第2の窓を通過させて分光器本体から出射し、その出射
光を出射側スリットに対向する位置に設けた分光測定系
に取り込んで分光測定する分光器の入射光路の光軸合わ
せを行うに際して、 入射側スリットおよび/または出射スリットに設け
られた補助光源を第1および/または第2の窓に臨ま
せ、 補助光源からの光を入射させて入射および/または
出射光路を形成し、 焦点位置に上記分光対象物を設置することからなる
分光器の入射および/または出射光路の光軸合わせ方法
を提供できる。
From another point of view, the present invention irradiates light from a light source onto a spectroscopic object, and reflects light or fluorescence from this spectroscopic object from a first window provided in the spectroscope body. After passing through the side slit and entering the spectroscope body, the incident light is dispersed by a spectroscopic means such as a folding grating installed in the spectroscope body, and then this dispersed light is emitted from the exit side slit to a second window. When passing the light through the spectroscope body and taking the emitted light into a spectroscopic measurement system installed at a position facing the exit side slit to perform spectroscopic measurement, the incident side slit and The auxiliary light source provided in the exit slit faces the first and / or the second window, and light from the auxiliary light source is incident to form an incident and / or exit optical path. Set things up It can provide an optical axis alignment method of the incident and / or emitted light path of the spectrometer consisting of a.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上のようにこの発明では、分光器の入
射側および/または出射側スリットを一時退癖させ、補
助光源を、入射側および/または出射側スリットの元々
の位置の中心部に配置させ、その補助光源からの光を分
光器外部に置かれたレンズ等により、集光されて焦点を
結ぶようにし、この焦点位置に分光された光を集光させ
たい分光対象物を置くことにより光軸合わせができるの
で、 光軸合わせの際、分光器のまわりの光学部品等を移
動させる必要がない。
As described above, according to the present invention, the entrance side and / or the exit side slit of the spectroscope is temporarily retreated, and the auxiliary light source is provided at the center of the original position of the entrance side and / or the exit side slit. Place the light from the auxiliary light source so that it is focused by a lens placed outside the spectroscope, etc., and place the spectroscopic object where you want to collect the dispersed light at this focus position. Since the optical axes can be aligned by means of this, there is no need to move the optical parts around the spectroscope when aligning the optical axes.

【0031】 スリットを微小光源で置き換えるとい
うごく簡単な操作で取り扱える。
It can be handled by a very simple operation of replacing the slit with a minute light source.

【0032】 微小光源は指向性の弱いものを用いる
ため、微小光源からの光は、外部に置かれたレンズ等に
より、焦点位置に確実に焦点を結ぶ。従って、光軸に垂
直な方向ばかりでなく、光軸に沿った方向の位置合わせ
も正確に行うことができる等の効果がある。
Since a minute light source having a weak directivity is used, light from the minute light source is surely focused at the focal position by a lens or the like placed outside. Therefore, not only the direction perpendicular to the optical axis but also the direction along the optical axis can be accurately aligned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の全体構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of the overall configuration of the present invention.

【図2】この発明の第1の実施例を示す分解斜視図であ
る。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing the first embodiment of the present invention.

【図3】上記実施例における要部構成説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a main part configuration in the embodiment.

【図4】図3のIII −III 線の方向からみた要部構成説
明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a main part configuration viewed from a direction of a line III-III in FIG. 3.

【図5】上記第1の実施例における要部構成説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a main part configuration in the first embodiment.

【図6】この発明の第2の実施例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention.

【図7】上記第2の実施例における要部斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of a main part in the second embodiment.

【図8】図7のV−V線の方向からみた要部構成説明図
を一部含む斜視図である。
8 is a perspective view including a part of an explanatory view of a main part configuration viewed from a direction of line VV in FIG. 7. FIG.

【図9】上記第2の実施例における要部構成説明図であ
る。
FIG. 9 is an explanatory diagram of a main part configuration in the second embodiment.

【図10】分光測定を示す全体構成説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of an overall configuration showing spectroscopic measurement.

【図11】発光ダイオードを用いた場合の集光動作を示
す構成説明図である。
FIG. 11 is a structural explanatory view showing a condensing operation when a light emitting diode is used.

【図12】レーザ光を用いた場合の集光動作を示す構成
説明図である。
FIG. 12 is a configuration explanatory view showing a condensing operation when a laser beam is used.

【図13】光軸が合わない光学系の一例を示す構成説明
図である。
FIG. 13 is a structural explanatory view showing an example of an optical system whose optical axes are not aligned.

【図14】光軸が合わない光学系のもう一つの一例を示
す構成説明図である。
FIG. 14 is a structural explanatory view showing another example of an optical system whose optical axes are not aligned.

【図15】従来例を示す全体構成説明図である。FIG. 15 is an explanatory diagram of an overall configuration showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…入射光、2…分光器本体、3,3a…入射側スリッ
ト、10,10a…出射側スリット、12…蛍光体(分
光対象物)、14…レーザ(光源)、16…光電子倍増
管(分光測定系)、20…スリット本体、21…発光ダ
イオード(補助光源)、27…プランジャー、29a,
29b…V溝、34,35…窓、40…位置決め用の
穴。
1 ... Incident light, 2 ... Spectrometer body, 3, 3a ... Incident side slit, 10, 10a ... Emitting side slit, 12 ... Phosphor (spectral object), 14 ... Laser (light source), 16 ... Photomultiplier tube ( Spectroscopic measurement system), 20 ... Slit body, 21 ... Light emitting diode (auxiliary light source), 27 ... Plunger, 29a,
29b ... V groove, 34, 35 ... Window, 40 ... Positioning hole.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源からの光を分光対象物に照射し、こ
の分光対象物からの反射光あるいは蛍光等を、分光器本
体に設けた第1の窓から入射側スリットを通過させて分
光器本体に入射し、この入射光を分光器本体内に設置さ
れた回折格子等の分光手段により分散した後、この分散
光を出射側スリットから第2の窓を通過されて分光器本
体から出射し、その出射光を出射側スリットに対向する
位置に設けた分光測定系に取り込んで分光測定する分光
器において、入射側スリットおよび/または出射側スリ
ットが、指向性の弱い補助光源とスリット本体とからな
り、さらに分光測定時は、スリット本体を第1の窓およ
び/または第2の窓に臨ませ、分光測定前の入射光路お
よび/または出射光路の光軸合わせの際には、スリット
本体の代りに前記補助光源を分光対象物が位置する焦点
に対するもう一つの焦点に位置するよう第1の窓および
/または第2の窓に臨ませうる位置決め手段を備えたこ
とを特徴とする分光器。
1. A spectroscope which irradiates light from a light source onto a spectroscopic object and allows reflected light or fluorescence from this spectroscopic object to pass through an entrance-side slit through a first window provided in the spectroscopic body. After entering the main body and dispersing this incident light by a spectroscopic means such as a diffraction grating installed in the main body of the spectroscope, the dispersed light is emitted from the main body of the spectroscope after passing through the second window from the slit on the exit side. In the spectroscope for taking the emitted light into a spectroscopic measurement system provided at a position facing the outgoing side slit and performing the spectroscopic measurement, the incident side slit and / or the outgoing side slit are formed from an auxiliary light source having weak directivity and a slit body. Further, during the spectroscopic measurement, the slit main body faces the first window and / or the second window, and when the optical axes of the incident optical path and / or the outgoing optical path before the spectroscopic measurement are aligned, Instead of the above A spectroscope comprising a positioning means capable of exposing the auxiliary light source to the first window and / or the second window so that the auxiliary light source is located at another focal point relative to the focal point where the spectral object is located.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2021053895A1 (en) * 2019-09-17 2021-03-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Moisture detection device
US20220003600A1 (en) * 2017-04-26 2022-01-06 Viavi Solutions Inc. Calibration for an instrument (device, sensor)

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