JPH0679447B2 - 酸化物誘電材料 - Google Patents
酸化物誘電材料Info
- Publication number
- JPH0679447B2 JPH0679447B2 JP3328601A JP32860191A JPH0679447B2 JP H0679447 B2 JPH0679447 B2 JP H0679447B2 JP 3328601 A JP3328601 A JP 3328601A JP 32860191 A JP32860191 A JP 32860191A JP H0679447 B2 JPH0679447 B2 JP H0679447B2
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- JP
- Japan
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- dielectric material
- dielectric
- oxide dielectric
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- composition
- Prior art date
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＱの値が大きく、共振周
波数の温度変化率が小さく、機械的強度の大きな酸化物
誘電材料に関するものである。
波数の温度変化率が小さく、機械的強度の大きな酸化物
誘電材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、高周波用誘電材料は、インピーダ
ンス整合用コンデンサ、誘電体共振器、フィルター、マ
イクロ波ＩＣ用基板等として種々の高周波電子回路に用
いられている。
ンス整合用コンデンサ、誘電体共振器、フィルター、マ
イクロ波ＩＣ用基板等として種々の高周波電子回路に用
いられている。
【０００３】特に使用周波数領域も準ミリ波、ミリ波領
域と広がり、マイロク波ＩＣ基板等に高誘電率、低損失
の誘電材料を使った小形化の検討が積極的に進められて
いる。
域と広がり、マイロク波ＩＣ基板等に高誘電率、低損失
の誘電材料を使った小形化の検討が積極的に進められて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来一般的な誘電材料
としてはＢａＯ−ＴｉＯ2 系、ＣａＴｉＯ3 系、ＳｒＴ
ｉＯ3 系が知られているが、これらは誘電率が大きすぎ
るため、マイクロ波、準ミリ波用ＩＣ基板として使用し
た場合、配線密度があまりにも細密化され、他の電子素
子の実装が困難となる欠点がある。
としてはＢａＯ−ＴｉＯ2 系、ＣａＴｉＯ3 系、ＳｒＴ
ｉＯ3 系が知られているが、これらは誘電率が大きすぎ
るため、マイクロ波、準ミリ波用ＩＣ基板として使用し
た場合、配線密度があまりにも細密化され、他の電子素
子の実装が困難となる欠点がある。
【０００５】また、ＭｇＯ−ＣａＯ−ＴｉＯ3 系材料は
誘電率が２０前後であるが、この系はＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 、ＴｉＯ2 等を夫々単独に焼成して作り、そ
の後、混合するという工程を取るため、通常の製造工程
に比べて複雑な工程を取らなければならないという欠点
がある。
誘電率が２０前後であるが、この系はＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 、ＴｉＯ2 等を夫々単独に焼成して作り、そ
の後、混合するという工程を取るため、通常の製造工程
に比べて複雑な工程を取らなければならないという欠点
がある。
【０００６】一方、高周波用の誘電材料としては、２
（Ｃａ1-x Ｚｎx ）Ｏ・ｙ（Ｎｂ2-zＴａz Ｏ5 ）で表
される組成物においてｘが０＜ｘ＜１．０、ｙが０．５
＜ｙ＜１．６、ｚが０＜ｚ＜２．０の範囲の酸化物誘電
材料が公知である。（特願昭４９−３９００５）この材
料は誘電損失が小さく（すなわち、Ｑの値が大きく）、
誘電率温度係数が小さい優れた材料である。しかし、こ
の材料は共振器等に用いる場合に非常に重要な特性であ
る共振周波数の湿度係数については全く不明であり、さ
らにマイクロ波用の基板に用いる場合に要求される機械
的強度の値に関してもデータがなく不明であった。
（Ｃａ1-x Ｚｎx ）Ｏ・ｙ（Ｎｂ2-zＴａz Ｏ5 ）で表
される組成物においてｘが０＜ｘ＜１．０、ｙが０．５
＜ｙ＜１．６、ｚが０＜ｚ＜２．０の範囲の酸化物誘電
材料が公知である。（特願昭４９−３９００５）この材
料は誘電損失が小さく（すなわち、Ｑの値が大きく）、
誘電率温度係数が小さい優れた材料である。しかし、こ
の材料は共振器等に用いる場合に非常に重要な特性であ
る共振周波数の湿度係数については全く不明であり、さ
らにマイクロ波用の基板に用いる場合に要求される機械
的強度の値に関してもデータがなく不明であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、以上の
従来材料の欠点を大巾に改善したものであり、誘電率が
大きすぎず、Ｑの値が従来の諸材料に比べ、さらに大き
く、共振周波数の温度係数が小さく、機械的強度の大き
な高周波用酸化物誘電材料を提供するものである。
従来材料の欠点を大巾に改善したものであり、誘電率が
大きすぎず、Ｑの値が従来の諸材料に比べ、さらに大き
く、共振周波数の温度係数が小さく、機械的強度の大き
な高周波用酸化物誘電材料を提供するものである。
【０００８】ここで本発明は（ＣａＯ）x （ＺｎＯ）y
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が
０．３８＜ｘ＜０．５１５６ｙの値が０．０４＜ｙ＜
０．１０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成
範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特
徴とするものである。この範囲を図１の組成図において
斜線の領域として示す。
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が
０．３８＜ｘ＜０．５１５６ｙの値が０．０４＜ｙ＜
０．１０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成
範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特
徴とするものである。この範囲を図１の組成図において
斜線の領域として示す。
【０００９】
【作用】以下本発明について具体的に説明する。まず、
本発明に使用されるＣａ、Ｚｎ、Ｎｂ等の化学形態は、
酸化物や炭酸塩等化学的に安定で秤量に便利な形態を用
いるのが好ましい。
本発明に使用されるＣａ、Ｚｎ、Ｎｂ等の化学形態は、
酸化物や炭酸塩等化学的に安定で秤量に便利な形態を用
いるのが好ましい。
【００１０】上記試料を、（ＣａＯ）X （ＺｎＯ）
y （Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、０．０４＜ｙ＜０．１０、０．
４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋
ｚ＝１．００）に秤量することが必要である。
y （Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、０．０４＜ｙ＜０．１０、０．
４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋
ｚ＝１．００）に秤量することが必要である。
【００１１】上記したｘ、ｙ、ｚの範囲外ではＱが小さ
く、抗折強度も１０００Ｋｇ／ｃｍ3 以下で好ましくな
い。
く、抗折強度も１０００Ｋｇ／ｃｍ3 以下で好ましくな
い。
【００１２】これらをボールミル等にて充分に均一にな
る様に混合する。混合は湿式混合が好ましい。つぎに乾
燥後予備焼成し、粉末結合剤（糊）を混合する。粉末結
合剤としてはポリ・ビニール・アルコール（Ｐ．Ｖ．
Ａ）が好ましいが、特にこれに限定されるものではな
い。成形圧は１．０〜３．０ｔｏｎ／ｃｍ2 が好まし
い。成形後、粉末結合剤を脱脂し焼成を行う。焼結体は
希望する形状に加工する。
る様に混合する。混合は湿式混合が好ましい。つぎに乾
燥後予備焼成し、粉末結合剤（糊）を混合する。粉末結
合剤としてはポリ・ビニール・アルコール（Ｐ．Ｖ．
Ａ）が好ましいが、特にこれに限定されるものではな
い。成形圧は１．０〜３．０ｔｏｎ／ｃｍ2 が好まし
い。成形後、粉末結合剤を脱脂し焼成を行う。焼結体は
希望する形状に加工する。
【００１３】
【実施例】実施例として次に示す条件にて行った。すな
わち、ＣａＯ−ＺｎＯ−Ｎｂ2 Ｏ5 系組成物で表１に示
した各々の組成となる様に秤量し、ボールミルにて約４
６時間混合し、１０００℃−３時間で仮焼した後、バイ
ンダーを加えて乾燥・造粒し、１トン／ｃｍ2 の圧力
で、直径１３ｍの円柱に圧縮成形後、１１６０℃〜１２
４０℃で２時間酸素雰囲気中で、焼成を行い、その後、
直径１０ｍ、高さ８ｍの円柱に加工し、６ＯＨz 近傍の
周波数で誘電体共振器法で誘電率（εｒ）、誘電損失
（ｔａｎ／δ＝１／Ｑ）、共振周波数の温度変化（ｆｒ
・ｋ）等の誘電特性を測定した。
わち、ＣａＯ−ＺｎＯ−Ｎｂ2 Ｏ5 系組成物で表１に示
した各々の組成となる様に秤量し、ボールミルにて約４
６時間混合し、１０００℃−３時間で仮焼した後、バイ
ンダーを加えて乾燥・造粒し、１トン／ｃｍ2 の圧力
で、直径１３ｍの円柱に圧縮成形後、１１６０℃〜１２
４０℃で２時間酸素雰囲気中で、焼成を行い、その後、
直径１０ｍ、高さ８ｍの円柱に加工し、６ＯＨz 近傍の
周波数で誘電体共振器法で誘電率（εｒ）、誘電損失
（ｔａｎ／δ＝１／Ｑ）、共振周波数の温度変化（ｆｒ
・ｋ）等の誘電特性を測定した。
【００１４】また、機械的強度として試料の抗折強度を
測定した。測定結果を第１表に示す。
測定した。測定結果を第１表に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】
【発明の効果】表に示したように、本発明の請求範囲の
組成物はＱの値が、すべて１００００以上と非常に大き
く、共振周波数の温度係数も小さく、そらに抗折強度
も、いづれも１５００ｋｇ／ｃｍ2 以上という優れた値
を示している。
組成物はＱの値が、すべて１００００以上と非常に大き
く、共振周波数の温度係数も小さく、そらに抗折強度
も、いづれも１５００ｋｇ／ｃｍ2 以上という優れた値
を示している。
【図１】本発明の請求の範囲を示すＣａＯ、ＺｎＯ、Ｎ
ｂ2 Ｏ5 からなる３成分組成図である。
ｂ2 Ｏ5 からなる３成分組成図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 （ＣａＯ）x （ＺｎＯ）y （Ｎｂ
2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、ｙの値が０．０４＜ｙ＜０．１
０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲
（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特徴と
する酸化物誘電材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3328601A JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57017354A JPS58135508A (ja) | 1982-02-05 | 1982-02-05 | 酸化物誘電材料 |
| JP3328601A JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57017354A Division JPS58135508A (ja) | 1982-02-05 | 1982-02-05 | 酸化物誘電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676632A JPH0676632A (ja) | 1994-03-18 |
| JPH0679447B2 true JPH0679447B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=26353852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3328601A Expired - Lifetime JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679447B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9567263B2 (en) * | 2014-10-27 | 2017-02-14 | Tdk Corporation | Dielectric composition and electronic component |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3328601A patent/JPH0679447B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0676632A (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19950405 |