JPH0679447B2 - 酸化物誘電材料 - Google Patents
酸化物誘電材料Info
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- JPH0679447B2 JPH0679447B2 JP3328601A JP32860191A JPH0679447B2 JP H0679447 B2 JPH0679447 B2 JP H0679447B2 JP 3328601 A JP3328601 A JP 3328601A JP 32860191 A JP32860191 A JP 32860191A JP H0679447 B2 JPH0679447 B2 JP H0679447B2
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- dielectric material
- dielectric
- oxide dielectric
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Landscapes
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＱの値が大きく、共振周
波数の温度変化率が小さく、機械的強度の大きな酸化物
誘電材料に関するものである。
波数の温度変化率が小さく、機械的強度の大きな酸化物
誘電材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、高周波用誘電材料は、インピーダ
ンス整合用コンデンサ、誘電体共振器、フィルター、マ
イクロ波ＩＣ用基板等として種々の高周波電子回路に用
いられている。
ンス整合用コンデンサ、誘電体共振器、フィルター、マ
イクロ波ＩＣ用基板等として種々の高周波電子回路に用
いられている。
【０００３】特に使用周波数領域も準ミリ波、ミリ波領
域と広がり、マイロク波ＩＣ基板等に高誘電率、低損失
の誘電材料を使った小形化の検討が積極的に進められて
いる。
域と広がり、マイロク波ＩＣ基板等に高誘電率、低損失
の誘電材料を使った小形化の検討が積極的に進められて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来一般的な誘電材料
としてはＢａＯ−ＴｉＯ2 系、ＣａＴｉＯ3 系、ＳｒＴ
ｉＯ3 系が知られているが、これらは誘電率が大きすぎ
るため、マイクロ波、準ミリ波用ＩＣ基板として使用し
た場合、配線密度があまりにも細密化され、他の電子素
子の実装が困難となる欠点がある。
としてはＢａＯ−ＴｉＯ2 系、ＣａＴｉＯ3 系、ＳｒＴ
ｉＯ3 系が知られているが、これらは誘電率が大きすぎ
るため、マイクロ波、準ミリ波用ＩＣ基板として使用し
た場合、配線密度があまりにも細密化され、他の電子素
子の実装が困難となる欠点がある。
【０００５】また、ＭｇＯ−ＣａＯ−ＴｉＯ3 系材料は
誘電率が２０前後であるが、この系はＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 、ＴｉＯ2 等を夫々単独に焼成して作り、そ
の後、混合するという工程を取るため、通常の製造工程
に比べて複雑な工程を取らなければならないという欠点
がある。
誘電率が２０前後であるが、この系はＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 、ＴｉＯ2 等を夫々単独に焼成して作り、そ
の後、混合するという工程を取るため、通常の製造工程
に比べて複雑な工程を取らなければならないという欠点
がある。
【０００６】一方、高周波用の誘電材料としては、２
（Ｃａ1-x Ｚｎx ）Ｏ・ｙ（Ｎｂ2-zＴａz Ｏ5 ）で表
される組成物においてｘが０＜ｘ＜１．０、ｙが０．５
＜ｙ＜１．６、ｚが０＜ｚ＜２．０の範囲の酸化物誘電
材料が公知である。（特願昭４９−３９００５）この材
料は誘電損失が小さく（すなわち、Ｑの値が大きく）、
誘電率温度係数が小さい優れた材料である。しかし、こ
の材料は共振器等に用いる場合に非常に重要な特性であ
る共振周波数の湿度係数については全く不明であり、さ
らにマイクロ波用の基板に用いる場合に要求される機械
的強度の値に関してもデータがなく不明であった。
（Ｃａ1-x Ｚｎx ）Ｏ・ｙ（Ｎｂ2-zＴａz Ｏ5 ）で表
される組成物においてｘが０＜ｘ＜１．０、ｙが０．５
＜ｙ＜１．６、ｚが０＜ｚ＜２．０の範囲の酸化物誘電
材料が公知である。（特願昭４９−３９００５）この材
料は誘電損失が小さく（すなわち、Ｑの値が大きく）、
誘電率温度係数が小さい優れた材料である。しかし、こ
の材料は共振器等に用いる場合に非常に重要な特性であ
る共振周波数の湿度係数については全く不明であり、さ
らにマイクロ波用の基板に用いる場合に要求される機械
的強度の値に関してもデータがなく不明であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、以上の
従来材料の欠点を大巾に改善したものであり、誘電率が
大きすぎず、Ｑの値が従来の諸材料に比べ、さらに大き
く、共振周波数の温度係数が小さく、機械的強度の大き
な高周波用酸化物誘電材料を提供するものである。
従来材料の欠点を大巾に改善したものであり、誘電率が
大きすぎず、Ｑの値が従来の諸材料に比べ、さらに大き
く、共振周波数の温度係数が小さく、機械的強度の大き
な高周波用酸化物誘電材料を提供するものである。
【０００８】ここで本発明は（ＣａＯ）x （ＺｎＯ）y
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が
０．３８＜ｘ＜０．５１５６ｙの値が０．０４＜ｙ＜
０．１０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成
範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特
徴とするものである。この範囲を図１の組成図において
斜線の領域として示す。
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が
０．３８＜ｘ＜０．５１５６ｙの値が０．０４＜ｙ＜
０．１０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成
範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特
徴とするものである。この範囲を図１の組成図において
斜線の領域として示す。
【０００９】
【作用】以下本発明について具体的に説明する。まず、
本発明に使用されるＣａ、Ｚｎ、Ｎｂ等の化学形態は、
酸化物や炭酸塩等化学的に安定で秤量に便利な形態を用
いるのが好ましい。
本発明に使用されるＣａ、Ｚｎ、Ｎｂ等の化学形態は、
酸化物や炭酸塩等化学的に安定で秤量に便利な形態を用
いるのが好ましい。
【００１０】上記試料を、（ＣａＯ）X （ＺｎＯ）
y （Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、０．０４＜ｙ＜０．１０、０．
４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋
ｚ＝１．００）に秤量することが必要である。
y （Ｎｂ2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、０．０４＜ｙ＜０．１０、０．
４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲（ただし、ｘ＋ｙ＋
ｚ＝１．００）に秤量することが必要である。
【００１１】上記したｘ、ｙ、ｚの範囲外ではＱが小さ
く、抗折強度も１０００Ｋｇ／ｃｍ3 以下で好ましくな
い。
く、抗折強度も１０００Ｋｇ／ｃｍ3 以下で好ましくな
い。
【００１２】これらをボールミル等にて充分に均一にな
る様に混合する。混合は湿式混合が好ましい。つぎに乾
燥後予備焼成し、粉末結合剤（糊）を混合する。粉末結
合剤としてはポリ・ビニール・アルコール（Ｐ．Ｖ．
Ａ）が好ましいが、特にこれに限定されるものではな
い。成形圧は１．０〜３．０ｔｏｎ／ｃｍ2 が好まし
い。成形後、粉末結合剤を脱脂し焼成を行う。焼結体は
希望する形状に加工する。
る様に混合する。混合は湿式混合が好ましい。つぎに乾
燥後予備焼成し、粉末結合剤（糊）を混合する。粉末結
合剤としてはポリ・ビニール・アルコール（Ｐ．Ｖ．
Ａ）が好ましいが、特にこれに限定されるものではな
い。成形圧は１．０〜３．０ｔｏｎ／ｃｍ2 が好まし
い。成形後、粉末結合剤を脱脂し焼成を行う。焼結体は
希望する形状に加工する。
【００１３】
【実施例】実施例として次に示す条件にて行った。すな
わち、ＣａＯ−ＺｎＯ−Ｎｂ2 Ｏ5 系組成物で表１に示
した各々の組成となる様に秤量し、ボールミルにて約４
６時間混合し、１０００℃−３時間で仮焼した後、バイ
ンダーを加えて乾燥・造粒し、１トン／ｃｍ2 の圧力
で、直径１３ｍの円柱に圧縮成形後、１１６０℃〜１２
４０℃で２時間酸素雰囲気中で、焼成を行い、その後、
直径１０ｍ、高さ８ｍの円柱に加工し、６ＯＨz 近傍の
周波数で誘電体共振器法で誘電率（εｒ）、誘電損失
（ｔａｎ／δ＝１／Ｑ）、共振周波数の温度変化（ｆｒ
・ｋ）等の誘電特性を測定した。
わち、ＣａＯ−ＺｎＯ−Ｎｂ2 Ｏ5 系組成物で表１に示
した各々の組成となる様に秤量し、ボールミルにて約４
６時間混合し、１０００℃−３時間で仮焼した後、バイ
ンダーを加えて乾燥・造粒し、１トン／ｃｍ2 の圧力
で、直径１３ｍの円柱に圧縮成形後、１１６０℃〜１２
４０℃で２時間酸素雰囲気中で、焼成を行い、その後、
直径１０ｍ、高さ８ｍの円柱に加工し、６ＯＨz 近傍の
周波数で誘電体共振器法で誘電率（εｒ）、誘電損失
（ｔａｎ／δ＝１／Ｑ）、共振周波数の温度変化（ｆｒ
・ｋ）等の誘電特性を測定した。
【００１４】また、機械的強度として試料の抗折強度を
測定した。測定結果を第１表に示す。
測定した。測定結果を第１表に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】
【発明の効果】表に示したように、本発明の請求範囲の
組成物はＱの値が、すべて１００００以上と非常に大き
く、共振周波数の温度係数も小さく、そらに抗折強度
も、いづれも１５００ｋｇ／ｃｍ2 以上という優れた値
を示している。
組成物はＱの値が、すべて１００００以上と非常に大き
く、共振周波数の温度係数も小さく、そらに抗折強度
も、いづれも１５００ｋｇ／ｃｍ2 以上という優れた値
を示している。
【図１】本発明の請求の範囲を示すＣａＯ、ＺｎＯ、Ｎ
ｂ2 Ｏ5 からなる３成分組成図である。
ｂ2 Ｏ5 からなる３成分組成図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 （ＣａＯ）x （ＺｎＯ）y （Ｎｂ
2 Ｏ5 ）z で表される組成物において、ｘの値が０．３
８＜ｘ＜０．５１５６、ｙの値が０．０４＜ｙ＜０．１
０、ｚの値が０．４４４４＜ｚ＜０．５２の組成範囲
（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００）にあることを特徴と
する酸化物誘電材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3328601A JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57017354A JPS58135508A (ja) | 1982-02-05 | 1982-02-05 | 酸化物誘電材料 |
| JP3328601A JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57017354A Division JPS58135508A (ja) | 1982-02-05 | 1982-02-05 | 酸化物誘電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676632A JPH0676632A (ja) | 1994-03-18 |
| JPH0679447B2 true JPH0679447B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=26353852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3328601A Expired - Lifetime JPH0679447B2 (ja) | 1982-02-05 | 1991-12-12 | 酸化物誘電材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679447B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9567263B2 (en) * | 2014-10-27 | 2017-02-14 | Tdk Corporation | Dielectric composition and electronic component |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP3328601A patent/JPH0679447B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0676632A (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19950405 |