JPH0677073A - Manufacture of monolithic electronic part - Google Patents

Manufacture of monolithic electronic part

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JPH0677073A
JPH0677073A JP24729592A JP24729592A JPH0677073A JP H0677073 A JPH0677073 A JP H0677073A JP 24729592 A JP24729592 A JP 24729592A JP 24729592 A JP24729592 A JP 24729592A JP H0677073 A JPH0677073 A JP H0677073A
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JP
Japan
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hole
transfer
pattern
sheet
laminated
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP24729592A
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Japanese (ja)
Inventor
Michiaki Tanaka
道明 田中
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0677073A publication Critical patent/JPH0677073A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain a method of manufacturing a monolithic electronic part where a pattern is protected against disconnection in a through-hole. CONSTITUTION:A through-hole 4 used for connecting coil conductor patterns is provided to a magnetic ferrite green sheet 3 at a prescribed place. On the other hand, a coil conductor pattern corresponding to the pattern of the through- hole 4 and a transfer pad 2 and printed on a transfer release film with conductive paste. Then, a first process where a coil conductor pattern is transferred onto the surface of a sheet, a second process where the magnetic ferrite green sheets 3 each provided with the through-hole 4 are superposed on one another and bonded by pressure, and a third process where a transfer pad 2 is transferred on a lower coil conductor pattern inside the through-hole 4 are provided. These processes are repeatedly carried out for the formation of a monolithic body. Then, the obtained monolithic body is fully bonded together by pressure and burned, and an outer electrode is provided to the end faces of the monolithic body where coil ends and led out.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層チップインダクタ
など積層電子部品の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component such as a laminated chip inductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、積層電子部品の製造方法の一
つとして、転写用剥離フィルムに印刷した内部導体パタ
ーンをグリーンシートに転写する工程と、スルーホール
が形成されたグリーンシートを積層する工程とを交互に
繰り返して積層体を得、得られた積層体を圧着した後外
部電極を形成するという方法が知られており、特にこの
方法は、厚さの薄いグリーンシートからなる積層電子部
品を製造する場合に広く用いられてきた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as one of methods for manufacturing a laminated electronic component, a step of transferring an internal conductor pattern printed on a transfer release film to a green sheet and a step of laminating a green sheet having through holes formed therein. A method is known in which the above is alternately repeated to obtain a laminated body, and the obtained laminated body is pressure-bonded and then external electrodes are formed. In particular, this method is applied to a laminated electronic component made of a thin green sheet. It has been widely used in manufacturing.

【0003】上記積層電子部品の製造方法における積層
体の作製工程を、積層チップインダクタを製造する場合
を例にあげて具体的に説明すると次の通りである。ま
ず、複数枚のダミーシートからなるダミー部の上に、積
層およびスルーホール接続することによってらせん状の
コイルが構成される内部導体パターン(コイル導体パタ
ーン)が印刷された透明なプラスチックフィルムからな
る転写用剥離フィルムを、該パターンを下向きにして重
ねる。次いで、このフィルムを上方から平板で加圧し、
コイル導体パターンをシート上に転写した後、転写用剥
離フィルムをシートから剥がす。
The steps of producing a laminated body in the above-mentioned method for producing a laminated electronic component will be specifically described below by taking the case of producing a laminated chip inductor as an example. First, a transfer made of a transparent plastic film on which an internal conductor pattern (coil conductor pattern) is formed by stacking and connecting through holes to form a spiral coil on a dummy part composed of a plurality of dummy sheets. Release film is laminated with the pattern facing downward. Then, press the film from above with a flat plate,
After the coil conductor pattern is transferred onto the sheet, the transfer release film is peeled off from the sheet.

【0004】次に、導体パターンが転写されたシートの
上に、所定位置にスルーホールが形成されたグリーンシ
ートを積層し、このシートの表面に、上記と同様にして
コイル導体パターンを転写する。この工程を、所定のコ
イル巻数が得られるまで繰り返し行った後、複数枚のダ
ミーシートを積層してダミー部を構成し、積層体を得
る。
Next, a green sheet having through holes formed at predetermined positions is laminated on the sheet to which the conductor pattern has been transferred, and the coil conductor pattern is transferred to the surface of this sheet in the same manner as described above. This step is repeated until a predetermined number of coil turns is obtained, and then a plurality of dummy sheets are laminated to form a dummy part, and a laminated body is obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の転写用剥離
フィルムを用いた積層電子部品の製造方法によると、転
写用剥離フィルム上に印刷された内部導体パターンをグ
リーンシート上に重ね、フィルムを上方から平板で加圧
することにより、内部導体パターンの転写を行ってお
り、この内部導体パターンと下層の内部導体パターンと
の導電接続は、上記転写用剥離フィルムをスルーホール
が形成されたシートに重ねた際に、転写用剥離フィルム
に印刷された内部導体パターンにおけるスルーホール上
に位置した部分を、スルーホールを通して下層の内部導
体パターン上に転写することにより行われていた。
According to the conventional method for producing a laminated electronic component using the transfer release film, the internal conductor pattern printed on the transfer release film is overlaid on the green sheet, and the film is placed upward. The internal conductor pattern is transferred by pressing with a flat plate from the above. For the conductive connection between the internal conductor pattern and the internal conductor pattern of the lower layer, the release film for transfer is overlaid on a sheet having a through hole. At this time, the portion located on the through hole in the internal conductor pattern printed on the transfer release film is transferred to the internal conductor pattern of the lower layer through the through hole.

【0006】しかしながら、内部導体パターンが形成さ
れた転写用剥離フィルムをグリーンシートに重ねて上方
から平板で加圧すると、スルーホール部以外の部分には
転写するのに十分な圧力が一様に付加されるが、空洞で
あるスルーホール部は付加される圧力が弱いため、下層
の内部導体パターンとの間に十分な密着強度を得ること
ができなかった。
However, when the transfer release film having the internal conductor pattern formed thereon is stacked on the green sheet and pressed by a flat plate from above, a sufficient pressure for transfer is uniformly applied to the portions other than the through holes. However, since the pressure applied to the hollow through-hole portion is weak, it was not possible to obtain sufficient adhesion strength with the internal conductor pattern of the lower layer.

【0007】そのため、転写用剥離フィルムを剥がした
際に、スルーホール上に位置した内部導体パターンが転
写用剥離フィルムに付いたまま剥がされてしまい、パタ
ーンが断線してしまうことがあった。
Therefore, when the transfer peeling film is peeled off, the internal conductor pattern located on the through hole may be peeled off while being attached to the transfer peeling film, and the pattern may be broken.

【0008】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、スルーホール部におけるパターンの断線が防
止された積層電子部品の製造方法を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a method of manufacturing a laminated electronic component in which disconnection of a pattern in a through hole portion is prevented.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究した結果、内部導体パターンを
転写する前に、スルーホール内における下層の内部導体
パターン上に導電性の転写用パッドを転写しておくこと
により、上記課題が解決されることを見い出し、本発明
に到達した。
As a result of earnest research for achieving the above-mentioned object, the present inventor has found that before transferring the internal conductor pattern, conductive transfer is performed on the lower internal conductor pattern in the through hole. It has been found that the above-mentioned problems can be solved by transferring the pad for a computer, and has reached the present invention.

【0010】すなわち、本発明は、転写用剥離フィルム
に印刷した内部導体パターンをグリーンシートに転写す
る工程と、スルーホールが形成されたグリーンシートを
積層する工程とを交互に繰り返して積層体を得、得られ
た積層体を圧着した後、外部電極を形成する積層電子部
品の製造方法であって、スルーホールが形成されたグリ
ーンシートに内部導体パターンを転写する前に、転写用
剥離フィルムに印刷されたスルーホール径と同等もしく
は小さい径で導電性の転写用パッドを、スルーホール内
における下層の内部導体パターン上に転写することを特
徴とする積層電子部品の製造方法を提供するものであ
る。
That is, according to the present invention, a laminated body is obtained by alternately repeating a step of transferring an internal conductor pattern printed on a transfer peeling film to a green sheet and a step of laminating green sheets having through holes. A method for manufacturing a laminated electronic component in which an external electrode is formed after the obtained laminated body is pressure-bonded, which is printed on a transfer release film before the internal conductor pattern is transferred to a green sheet in which a through hole is formed. Provided is a method for manufacturing a laminated electronic component, characterized in that a conductive transfer pad having a diameter equal to or smaller than the diameter of the through hole is transferred onto an internal conductor pattern of a lower layer in the through hole.

【0011】[0011]

【作用】本発明法によると、スルーホールが形成された
グリーンシートに内部導体パターンを転写する前に、転
写用剥離フィルムに印刷した導電性の転写用パッドをス
ルーホール内における下層の内部導体パターン上に転写
しておくことにより、パターンの断線を防止している。
なお、本発明における導電性の転写用パッドとは、スル
ーホールの凹みを導電ペーストで埋めた後、内部導体パ
ターンを印刷しスルーホール接続の断線を防止するもの
であるから、スルーホールの径と同等もしくは小さい径
で、好ましくはシートの厚さと同等の厚さを有するもの
が良い。
According to the method of the present invention, before transferring the internal conductor pattern to the green sheet having the through hole, the conductive transfer pad printed on the transfer release film is provided as the lower internal conductor pattern in the through hole. The transfer of the pattern prevents the disconnection of the pattern.
Incidentally, the conductive transfer pad in the present invention, after filling the recess of the through hole with a conductive paste, to prevent disconnection of the through hole by printing an internal conductor pattern, the diameter of the through hole It is preferable that the diameter is the same as or smaller than that of the sheet, and preferably has the same thickness as that of the sheet.

【0012】このように、内部導体パターンを転写する
前に、好ましくはシートの厚さと同等の厚さを有する導
電性の転写用パッドを、スルーホール内における下層の
内部導体パターン上に転写しておくことにより、シート
上に内部導体パターンが印刷された転写用剥離フィルム
を重ねた際、スルーホール上に位置した内部導体パター
ンを、スルーホール内における下層の内部導体パターン
上に直接転写しなくとも、あらかじめスルーホール内に
印刷された転写用パッド上に印刷すれば電気的に接続さ
れる。好ましくは、シート表面と同一面に位置した転写
用パッドの表面に転写すれば、下層の内部導体パターン
と電気的に接続されるようになる。
Thus, before transferring the internal conductor pattern, a conductive transfer pad having a thickness preferably equal to the thickness of the sheet is transferred onto the lower internal conductor pattern in the through hole. By placing the transfer release film having the internal conductor pattern printed on the sheet, the internal conductor pattern located on the through hole does not have to be directly transferred onto the lower layer internal conductor pattern in the through hole. , Is electrically connected by printing on the transfer pad which is printed in the through hole in advance. Preferably, when the transfer is performed on the surface of the transfer pad located on the same surface as the sheet surface, it is electrically connected to the internal conductor pattern of the lower layer.

【0013】すなわち、スルーホール内における下層の
内部導体パターン上に転写した転写用パッドは、被転写
体における段差(スルーホール部とそれ以外の部分との
段差)がなくなり、平板によって転写用剥離フィルムを
加圧した際、すべての部分に転写するのに十分な圧力が
一様に付加されるようになり、スルーホール上に位置し
た内部導体パターンの接着力が増加するのである。その
ため、転写用剥離フィルムを剥がしたときに、スルーホ
ール上に位置した内部導体パターンがフィルムに付いた
まま剥がされてしまうことがなくなり、パターンの断線
が防止されるようになる。
That is, the transfer pad transferred onto the internal conductor pattern of the lower layer in the through hole has no step (step between the through hole portion and the other portion) in the transferred object, and the transfer release film is formed by the flat plate. When the pressure is applied, a sufficient pressure to transfer to all parts is uniformly applied, and the adhesive force of the internal conductor pattern located on the through hole is increased. Therefore, when the transfer peeling film is peeled off, the internal conductor pattern positioned on the through hole is not peeled off while being attached to the film, and the disconnection of the pattern is prevented.

【0014】また、本発明によると、転写用パッドを内
部導体パターンとは別個の転写用剥離フィルムを用いて
転写しているため、極めて容易かつ確実に転写すること
ができる。
Further, according to the present invention, since the transfer pad is transferred by using the transfer release film which is separate from the internal conductor pattern, the transfer can be performed very easily and reliably.

【0015】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited by the following examples.

【0016】[0016]

【実施例】本発明の一実施例として、積層チップインダ
クタの製造方法を示す。
EXAMPLE As one example of the present invention, a method of manufacturing a laminated chip inductor will be described.

【0017】まず、フェライトを主成分とする磁性体原
料粉末に、ポリビニルブチラールを主成分とするバイン
ダーを混合してスラリーを作製し、ドクターブレード法
によってシート状に成型した。次いで、得られた磁性体
フェライトグリーンシート3における所定位置に、積層
してスルーホール接続することによってらせん状のコイ
ルが構成されるコイル導体パターンの接続用のスルーホ
ール4を形成した。
First, a magnetic material powder containing ferrite as a main component was mixed with a binder containing polyvinyl butyral as a main component to prepare a slurry, which was formed into a sheet by the doctor blade method. Next, through holes 4 for connecting the coil conductor patterns, which form a spiral coil, are formed at predetermined positions on the obtained magnetic ferrite green sheet 3 by laminating and connecting through holes.

【0018】一方、剥離性のコーティングを施した透明
の転写用剥離フィルム1上に、シート3に形成したスル
ーホール4のパターンに対応した上記コイル導体Aパタ
ーン6ないしFパターン11、および転写用パッド2を
それぞれ導電ペーストによって印刷し、乾燥させた。
On the other hand, the coil conductors A pattern 6 to F pattern 11 corresponding to the pattern of the through holes 4 formed in the sheet 3 and the transfer pad are formed on the transparent transfer release film 1 having a release coating. 2 were each printed with a conductive paste and dried.

【0019】次に、上記スルーホール4が形成された磁
性体フェライトグリーンシート3、コイル導体Aパター
ン6ないしFパターン11が印刷された転写用剥離フィ
ルム1、および転写用パッド2が印刷された転写用剥離
フィルム1を用い、以下のようにして積層体を作製し
た。まず、スルーホール4が形成されていないグリーン
シート3(ダミーシート)を所定の厚さに積層・圧着
し、ダミー部5を得た(図3)。次いで、ダミー部5の
表面に、外部引き出し口を持つコイル導体Aパターン6
が印刷された転写用剥離フィルム1をパターン印刷面を
下にして重ね、該フィルムを上方から平板で加圧するこ
とによってコイル導体Aパターン6をシート上に転写し
た後、転写用剥離フィルム1をシートから剥がした(図
4)。
Next, the magnetic ferrite green sheet 3 having the through holes 4 formed therein, the transfer peeling film 1 having the coil conductors A pattern 6 to F pattern 11 printed thereon, and the transfer pad 2 having the transfer pad 2 printed thereon are transferred. A release film 1 was used to produce a laminate as follows. First, a green sheet 3 (dummy sheet) having no through holes 4 formed therein was laminated and pressure-bonded to a predetermined thickness to obtain a dummy portion 5 (FIG. 3). Then, on the surface of the dummy portion 5, the coil conductor A pattern 6 having an external lead-out port is formed.
The transfer peeling film 1 on which the pattern is printed is laid down, and the coil conductor A pattern 6 is transferred onto the sheet by pressing the film from above with a flat plate. It was peeled off (FIG. 4).

【0020】次に、表面にコイル導体Aパターン6が転
写されたダミー部5の上に、スルーホール4が形成され
た磁性フェライトグリーンシート3を積層・圧着し(図
5および図22)、その表面に、図1(a)に示すよう
に上記スルーホール4と対応する位置に転写用パッド2
が印刷された転写用剥離フィルム1を、図1(b)に示
すように転写用パッド2の印刷面を下にして位置合わせ
した後、図1(c)に示すように重ねて圧着することに
よってスルーホール4内における下層のコイル導体Aパ
ターン6上に転写用パッド2を転写し、図1(d)に示
すように転写用剥離フィルム1をシート3から剥がした
(図6および図23)。
Next, the magnetic ferrite green sheet 3 having the through holes 4 formed thereon is laminated and pressure-bonded on the dummy portion 5 having the coil conductor A pattern 6 transferred to the surface (FIGS. 5 and 22), As shown in FIG. 1A, the transfer pad 2 is provided on the surface at a position corresponding to the through hole 4.
After aligning the transfer release film 1 on which is printed as shown in FIG. 1 (b) with the printing surface of the transfer pad 2 facing downward, stacking and pressure bonding as shown in FIG. 1 (c). The transfer pad 2 was transferred onto the coil conductor A pattern 6 in the lower layer in the through hole 4 and the transfer release film 1 was peeled from the sheet 3 as shown in FIG. 1D (FIGS. 6 and 23). .

【0021】次いで、このシートの表面に、上記と同様
にしてコイル導体Bパターン7を転写し(図7および図
24)、スルーホール4が形成されたグリーンシート3
を積層・圧着した後(図8)、スルーホール4内におけ
る下層のコイル導体Bパターン7上に転写用パッド2を
転写した(図9)。このようにして、図10に示すコイ
ル導体Cパターン8の転写、図11に示すスルーホール
4が形成されたグリーンシート3の積層・圧着、図12
に示す転写用パッド2の転写、図13に示すコイル導体
Dパターン9の転写、図14に示すスルーホール4が形
成されたグリーンシート3の積層・圧着、図15に示す
転写用パッド2の転写、図16に示すコイル導体Eパタ
ーン10の転写、図17に示すスルーホール4が形成さ
れたグリーンシート3の積層・圧着、および図18に示
す転写用パッド2の転写を行った。
Then, the coil conductor B pattern 7 is transferred onto the surface of this sheet in the same manner as described above (FIGS. 7 and 24), and the green sheet 3 having the through holes 4 formed therein.
After stacking and pressure bonding (FIG. 8), the transfer pad 2 was transferred onto the lower layer coil conductor B pattern 7 in the through hole 4 (FIG. 9). In this way, the coil conductor C pattern 8 shown in FIG. 10 is transferred, the green sheet 3 having the through holes 4 shown in FIG.
Transfer of the transfer pad 2 shown in FIG. 13, transfer of the coil conductor D pattern 9 shown in FIG. 13, stacking and pressure bonding of the green sheet 3 having the through holes 4 shown in FIG. 14, transfer of the transfer pad 2 shown in FIG. The transfer of the coil conductor E pattern 10 shown in FIG. 16, the lamination and pressure bonding of the green sheet 3 having the through holes 4 shown in FIG. 17, and the transfer pad 2 shown in FIG. 18 were performed.

【0022】上記の操作を繰り返し行うことにより所望
の巻数のコイルを構成した後、もう一方の外部引き出し
口を持つコイル導体Fパターン11を転写し(図1
9)、その上にスルーホールが形成されていないグリー
ンシート3(ダミーシート)を所定の厚さに積層・圧着
してダミー部5を形成し、積層体を得た(図20)。そ
の後、得られた積層体を温度 120℃、圧力 500kg/cm2
で本圧着し、チップ素体を得た。なお、実際の量産工程
においては、図2に示すように複数個分の積層体が一度
に作製されるため、本圧着後、個々のチップにカットす
る工程が挿入される。
After the coil having a desired number of turns is constructed by repeating the above-mentioned operation, the coil conductor F pattern 11 having the other external outlet is transferred (see FIG. 1).
9) Then, the green sheet 3 (dummy sheet) having no through holes formed thereon was laminated and pressure-bonded to a predetermined thickness to form a dummy portion 5, thereby obtaining a laminated body (FIG. 20). After that, the obtained laminated body is heated at a temperature of 120 ° C. and a pressure of 500 kg / cm 2
Then, main bonding was performed to obtain a chip element body. In the actual mass production process, a plurality of laminated bodies are manufactured at once as shown in FIG. 2, and therefore, a step of cutting into individual chips is inserted after the main pressure bonding.

【0023】本圧着後、上記チップ素体を大気中におい
て 900℃で焼成し、チップ素体における外部引き出し口
が露出している一対の対向する端面に、外部電極用導電
ペーストを塗布し、これを大気中において 600℃で焼き
付けて外部電極12を形成した(図21)。
After the main press bonding, the chip element body is fired at 900 ° C. in the atmosphere, and a conductive paste for external electrodes is applied to a pair of opposing end faces of the chip element body where the external extraction ports are exposed. Was baked at 600 ° C. in the atmosphere to form the external electrode 12 (FIG. 21).

【0024】上記のようにして製造した積層チップイン
ダクタは、内設されたコイルの断線がなく、極めて信頼
性の高いものであった。
The multilayer chip inductor manufactured as described above was extremely reliable because there was no disconnection of the coil provided therein.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明の開発により、スルーホール部に
おける内部導体パターンの断線が防止されるようになっ
た。そのため、製品の信頼性および歩留が著しく向上し
た。また、本発明法は、従来の転写用剥離フィルムを用
いた積層電子部品の製造工程を大幅に変えることなく、
容易かつ安価に実施することができるため、極めて商業
的価値が高いものである。
As a result of the development of the present invention, the disconnection of the internal conductor pattern in the through hole portion can be prevented. Therefore, the reliability and the yield of the product are remarkably improved. Further, the method of the present invention, without significantly changing the manufacturing process of a laminated electronic component using a conventional release film for transfer,
It is extremely commercial value because it can be implemented easily and cheaply.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明法における転写用パッドを転写する際の
態様を段階的に示す図であって、(a)は転写用パッド
が印刷された転写用剥離フィルムを示す斜視図、(b)
は(a)の転写用剥離フィルムを位置合わせしている際
の態様を示す斜視図、(c)はシート上に転写用剥離フ
ィルムを重ねて圧着した際の態様を示す斜視図、(d)
はシートから転写用剥離フィルムを剥がしている際の態
様を示す斜視図である。
FIG. 1 is a diagram showing stepwise a mode of transferring a transfer pad in the method of the present invention, in which (a) is a perspective view showing a transfer release film having a transfer pad printed thereon, and (b).
Is a perspective view showing a mode when the transfer release film of (a) is aligned, (c) is a perspective view showing a mode when the transfer release film is superposed on the sheet and pressure-bonded, (d)
[Fig. 3] is a perspective view showing an aspect in which the transfer release film is being peeled from the sheet.

【図2】本発明法を量産工程に当てはめた場合における
転写用パッドを転写する際の態様を段階的に示す図であ
って、(a)は転写用剥離フィルムを位置合わせしてい
る際の態様を示す斜視図、(b)はシート上に転写用剥
離フィルムを重ねて圧着した際の態様を示す斜視図、
(c)はシートから転写用剥離フィルムを剥がしている
際の態様を示す斜視図である。
FIG. 2 is a diagram showing stepwise a mode in which a transfer pad is transferred in the case where the method of the present invention is applied to a mass production process. FIG. 2 (a) is a view when a transfer release film is aligned. A perspective view showing a mode, (b) is a perspective view showing a mode when a release film for transfer is superposed on the sheet and pressure-bonded,
(C) is a perspective view showing a mode in which the transfer release film is peeled from the sheet.

【図3】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
ダミーシートの積層・圧着によって構成されたダミー部
を示す斜視図である。
FIG. 3 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the dummy part comprised by laminating | stacking and pressure bonding of a dummy sheet.

【図4】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図3のシート体の表面に外部引き出し口を有するコイル
導体Aパターンを転写した際の態様を示す斜視図であ
る。
FIG. 4 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the aspect at the time of transferring the coil conductor A pattern which has an external drawing port on the surface of the sheet body of FIG.

【図5】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図4のシート体の上にスルーホールが形成されたシート
を積層・圧着した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 5 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the aspect at the time of laminating | stacking and pressure-bonding the sheet in which the through hole was formed on the sheet body of FIG.

【図6】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図5のシート体に転写用パッドを転写した際の態様を示
す斜視図である。
FIG. 6 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the aspect at the time of transferring the transfer pad to the sheet body of FIG.

【図7】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図6のシート体の表面にコイル導体Bパターンを転写し
た際の態様を示す斜視図である。
FIG. 7 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the aspect at the time of transferring the coil conductor B pattern on the surface of the sheet body of FIG.

【図8】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図7のシート体の上にスルーホールが形成されたシート
を積層・圧着した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 8 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
FIG. 8 is a perspective view showing an aspect in which sheets having through holes are formed on the sheet body of FIG. 7 by stacking and pressure bonding.

【図9】本発明法による積層チップインダクタの製造時
における積層体の製造工程を段階的に示す図であって、
図8のシート体に転写用パッドを転写した際の態様を示
す斜視図である。
FIG. 9 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention,
It is a perspective view which shows the aspect at the time of transferring the transfer pad to the sheet body of FIG.

【図10】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図9のシート体の表面にコイル導体Cパターンを転
写した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 10 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing the laminated chip inductor according to the method of the present invention, showing a mode in which the coil conductor C pattern is transferred to the surface of the sheet body of FIG. 9; It is a perspective view.

【図11】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図10のシート体の上にスルーホールが形成された
シートを積層・圧着した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 11 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, in which a sheet having through holes is laminated and pressure-bonded on the sheet body of FIG. It is a perspective view which shows the aspect at the time.

【図12】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図11のシート体に転写用パッドを転写した際の態
様を示す斜視図である。
12 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, and is a perspective view showing an aspect when a transfer pad is transferred to the sheet body of FIG. is there.

【図13】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図12のシート体の表面にコイル導体Dパターンを
転写した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 13 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing the laminated chip inductor according to the method of the present invention, showing a mode in which the coil conductor D pattern is transferred to the surface of the sheet body of FIG. 12; It is a perspective view.

【図14】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図13のシート体の上にスルーホールが形成された
シートを積層・圧着した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 14 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, in which a sheet having through holes is laminated and pressure-bonded on the sheet body of FIG. 13; It is a perspective view which shows the aspect at the time.

【図15】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図14のシート体に転写用パッドを転写した際の態
様を示す斜視図である。
15 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, which is a perspective view showing an aspect when a transfer pad is transferred to the sheet body of FIG. 14; is there.

【図16】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図15のシート体の表面にコイル導体Eパターンを
転写した際の態様を示す斜視図である。
16 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing the laminated chip inductor according to the method of the present invention, showing a mode in which the coil conductor E pattern is transferred to the surface of the sheet body of FIG. It is a perspective view.

【図17】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図16のシート体の上にスルーホールが形成された
シートを積層・圧着した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 17 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, in which a sheet having through holes is laminated and pressure-bonded on the sheet body of FIG. 16; It is a perspective view which shows the aspect at the time.

【図18】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図17のシート体に転写用パッドを転写した際の態
様を示す斜視図である。
18 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing the laminated chip inductor according to the method of the present invention, which is a perspective view showing an aspect when the transfer pad is transferred to the sheet body of FIG. is there.

【図19】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、コイル導体BパターンないしDパターンの転写、転
写用パッドの転写およびスルーホールが形成されたグリ
ーンシートの積層を所定回数繰り返し行って得たシート
体の表面に、外部引き出し口を有するコイル導体Fパタ
ーンを転写した際の態様を示す斜視図である。
FIG. 19 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, in which transfer of a coil conductor B pattern or D pattern, transfer of a transfer pad and formation of a through hole. It is a perspective view showing a mode when a coil conductor F pattern having an external lead-out port is transferred onto the surface of a sheet body obtained by repeatedly stacking the formed green sheets a predetermined number of times.

【図20】本発明法による積層チップインダクタの製造
時における積層体の製造工程を段階的に示す図であっ
て、図19のシート体の上にダミーシートを積層・圧着
して得た積層体を示す斜視図である。
FIG. 20 is a diagram showing stepwise a manufacturing process of a laminated body at the time of manufacturing a laminated chip inductor according to the method of the present invention, wherein the laminated body obtained by laminating / press-bonding a dummy sheet on the sheet body of FIG. 19; FIG.

【図21】本発明法によって製造された積層チップイン
ダクタを示す斜視図である。
FIG. 21 is a perspective view showing a multilayer chip inductor manufactured by the method of the present invention.

【図22】図5のシート体におけるスルーホール近辺の
拡大側断面図である。
22 is an enlarged side sectional view in the vicinity of a through hole in the sheet body of FIG.

【図23】図6のシート体におけるスルーホール近辺の
拡大側断面図である。
FIG. 23 is an enlarged side sectional view of the sheet body of FIG. 6 near the through hole.

【図24】図7のシート体におけるスルーホール近辺の
拡大側断面図である。
FIG. 24 is an enlarged side sectional view of the sheet body of FIG. 7 near the through hole.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥‥転写用剥離フィルム 2‥‥‥転写用パッド 3‥‥‥磁性体グリーンシート 4‥‥‥スルーホール 5‥‥‥ダミー部 6‥‥‥コイル導体Aパターン 7‥‥‥コイル導体Bパターン 8‥‥‥コイル導体Cパターン 9‥‥‥コイル導体Dパターン 10‥‥‥コイル導体Eパターン 11‥‥‥コイル導体Fパターン 12‥‥‥外部電極 1 ... Release film for transfer 2 ... Transfer pad 3 ... Magnetic green sheet 4 ... Through hole 5 ... Dummy part 6 ... Coil conductor A pattern 7 ... Coil conductor B Pattern 8 ... Coil conductor C pattern 9 ... Coil conductor D pattern 10 ... Coil conductor E pattern 11 ... Coil conductor F pattern 12 ... External electrode

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】転写用剥離フィルムに印刷した内部導体パ
ターンをグリーンシートに転写する工程と、スルーホー
ルが形成されたグリーンシートを積層する工程とを交互
に繰り返して積層体を得、得られた積層体を圧着した
後、外部電極を形成する積層電子部品の製造方法であっ
て、スルーホールが形成されたグリーンシートに内部導
体パターンを転写する前に、転写用剥離フィルムに印刷
されたスルーホール径と同等もしくは小さい径で導電性
の転写用パッドを、スルーホール内における下層の内部
導体パターン上に転写することを特徴とする積層電子部
品の製造方法。
1. A laminate is obtained by alternately repeating a step of transferring an internal conductor pattern printed on a transfer release film to a green sheet and a step of laminating green sheets having through holes formed therein. A method of manufacturing a laminated electronic component, comprising forming external electrodes after pressure-bonding a laminated body, wherein a through-hole printed on a transfer release film before transferring an internal conductor pattern to a green sheet on which a through-hole is formed. A method of manufacturing a laminated electronic component, comprising: transferring a conductive transfer pad having a diameter equal to or smaller than a diameter onto an internal conductor pattern of a lower layer in a through hole.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08138941A (en) * 1994-09-12 1996-05-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Multilayer ceramic chip inductor and manufacture thereof
JP2004006964A (en) * 1994-09-12 2004-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laminated ceramic chip inductor and method of manufacturing the same

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